2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=10, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Sep 02 15:26:00 2011]
\r
3 Original[020911-e1.dat]
\r
5 4000.000000 40.000000 39.240799 160.8985 0.0715961 0.265968
\r
6 4100.000000 40.000000 39.377655 161.17303 0.0584078 0.201596
\r
7 4200.000000 40.000000 39.50671 161.52043 0.0666673 0.23485
\r
8 4300.000000 40.000000 39.621101 161.785 0.070903 0.254741
\r
9 4400.000000 40.000000 39.737095 162.15845 0.0705343 0.258813
\r
10 4500.000000 40.000000 39.858982 162.42157 0.0525806 0.196785
\r
11 4600.000000 40.000000 39.944069 162.72623 0.067152 0.23353
\r
12 4700.000000 40.000000 40.023685 162.99434 0.0619899 0.219459
\r
13 4800.000000 40.000000 40.123024 163.22905 0.0662502 0.238493
\r
14 4900.000000 40.000000 40.182251 163.57506 0.0582561 0.213648
\r
15 5000.000000 40.000000 40.254139 163.72894 0.0617982 0.23059
\r
16 5100.000000 40.000000 40.340401 163.97691 0.0627853 0.218291
\r
17 5200.000000 40.000000 40.401848 164.24574 0.0667411 0.235791
\r
18 5300.000000 40.000000 40.460381 164.50041 0.0644148 0.230931
\r
19 5400.000000 40.000000 40.511616 164.72774 0.0465342 0.169778
\r
20 5500.000000 40.000000 40.575485 164.87979 0.0638471 0.236442
\r
21 5600.000000 40.000000 40.610802 165.07828 0.0579304 0.218056
\r
22 5700.000000 40.000000 40.686108 165.29179 0.0582499 0.204429
\r
23 5800.000000 40.000000 40.724514 165.46672 0.0628177 0.223864
\r
24 5900.000000 40.000000 40.777847 165.66183 0.069268 0.250566
\r
25 6000.000000 40.000000 40.82996 165.87372 0.0581308 0.213343
\r
26 6100.000000 40.000000 40.869896 165.99496 0.0489768 0.182345
\r
27 6200.000000 40.000000 40.918987 166.18398 0.0602384 0.210006
\r
28 6300.000000 40.000000 40.946045 166.32097 0.0708108 0.250069
\r
29 6400.000000 40.000000 40.990704 166.44113 0.0621148 0.222345
\r
30 6500.000000 40.000000 41.020397 166.60123 0.0591584 0.214592
\r
31 6600.000000 40.000000 41.051754 166.73259 0.0591444 0.217265
\r
32 6700.000000 40.000000 41.096539 166.89848 0.0540628 0.2012
\r
33 6800.000000 40.000000 41.143398 167.06097 0.0757451 0.26453
\r
34 6900.000000 40.000000 41.176762 167.16122 0.0668415 0.236281
\r
35 7000.000000 40.000000 41.208469 167.32352 0.0637896 0.22809
\r
36 7100.000000 40.000000 41.235062 167.4557 0.0551362 0.199636
\r
37 7200.000000 40.000000 41.2644 167.53674 0.0646045 0.236755
\r
38 7300.000000 40.000000 41.308796 167.62335 0.0604526 0.224103
\r
39 7400.000000 40.000000 41.348522 167.76851 0.0635845 0.221633
\r
40 7500.000000 40.000000 41.354828 167.90196 0.0740313 0.261007
\r
41 7600.000000 40.000000 41.379868 168.04614 0.0765635 0.272896
\r
42 7700.000000 40.000000 41.408909 168.1599 0.0569162 0.205196
\r
43 7800.000000 40.000000 41.436062 168.18268 0.0672767 0.245062
\r
44 7900.000000 40.000000 41.475845 168.32243 0.0596345 0.219598
\r
45 8000.000000 40.000000 41.488735 168.41592 0.0557133 0.207484
\r
46 4000.000000 45.000000 37.693375 154.87619 0.0573553 0.209204
\r
47 4100.000000 45.000000 37.852283 155.2654 0.0704017 0.240941
\r
48 4200.000000 45.000000 38.017445 155.66597 0.0743987 0.259955
\r
49 4300.000000 45.000000 38.167065 156.03732 0.0735219 0.261671
\r
50 4400.000000 45.000000 38.296844 156.39348 0.0486788 0.176634
\r
51 4500.000000 45.000000 38.434917 156.83759 0.0565893 0.209425
\r
52 4600.000000 45.000000 38.54937 157.20169 0.0671521 0.231806
\r
53 4700.000000 45.000000 38.667961 157.62741 0.0635095 0.223156
\r
54 4800.000000 45.000000 38.771641 157.97536 0.0568956 0.2032
\r
55 4900.000000 45.000000 38.867699 158.31754 0.0519015 0.188815
\r
56 5000.000000 45.000000 38.954659 158.60562 0.0503862 0.186411
\r
57 5100.000000 45.000000 39.047287 158.84291 0.0557278 0.192734
\r
58 5200.000000 45.000000 39.130215 159.24023 0.0725063 0.254622
\r
59 5300.000000 45.000000 39.19347 159.50092 0.0495092 0.176742
\r
60 5400.000000 45.000000 39.274628 159.84482 0.0602314 0.218078
\r
61 5500.000000 45.000000 39.324783 160.13817 0.0588134 0.21636
\r
62 5600.000000 45.000000 39.399181 160.30562 0.0480843 0.179608
\r
63 5700.000000 45.000000 39.470242 160.63199 0.0614287 0.214729
\r
64 5800.000000 45.000000 39.536499 160.86685 0.0617847 0.219003
\r
65 5900.000000 45.000000 39.589073 161.13506 0.0608276 0.218699
\r
66 6000.000000 45.000000 39.643238 161.30431 0.0511269 0.186453
\r
67 6100.000000 45.000000 39.690208 161.54799 0.046606 0.172411
\r
68 6200.000000 45.000000 39.750275 161.75668 0.0680388 0.236126
\r
69 6300.000000 45.000000 39.801132 161.98396 0.0556718 0.195836
\r
70 6400.000000 45.000000 39.848969 162.16847 0.0650877 0.231923
\r
71 6500.000000 45.000000 39.908794 162.36494 0.0612451 0.221174
\r
72 6600.000000 45.000000 39.945667 162.57436 0.0543801 0.19893
\r
73 6700.000000 45.000000 40.002148 162.75537 0.0530365 0.196508
\r
74 6800.000000 45.000000 40.053703 162.84584 0.0585876 0.203832
\r
75 6900.000000 45.000000 40.092419 163.09637 0.0703947 0.247933
\r
76 7000.000000 45.000000 40.133282 163.26649 0.0569586 0.203032
\r
77 7100.000000 45.000000 40.167515 163.42535 0.0653028 0.235533
\r
78 7200.000000 45.000000 40.204533 163.58813 0.0463263 0.169094
\r
79 7300.000000 45.000000 40.236397 163.722 0.0571596 0.210959
\r
80 7400.000000 45.000000 40.280788 163.90125 0.0694332 0.2415
\r
81 7500.000000 45.000000 40.319828 164.06705 0.0552857 0.194285
\r
82 7600.000000 45.000000 40.325542 164.25826 0.0632124 0.22454
\r
83 7700.000000 45.000000 40.39307 164.30789 0.0552818 0.198727
\r
84 7800.000000 45.000000 40.421593 164.52174 0.0694193 0.251957
\r
85 7900.000000 45.000000 40.445492 164.67444 0.0551579 0.202447
\r
86 8000.000000 45.000000 40.480373 164.75325 0.0587451 0.217841
\r
87 4000.000000 50.000000 36.005596 147.26894 0.0653303 0.231697
\r
88 4100.000000 50.000000 36.186382 147.77916 0.0703695 0.237203
\r
89 4200.000000 50.000000 36.389828 148.39322 0.0625378 0.214864
\r
90 4300.000000 50.000000 36.564571 148.91946 0.0536117 0.187687
\r
91 4400.000000 50.000000 36.720356 149.3587 0.0834551 0.297492
\r
92 4500.000000 50.000000 36.856812 149.94504 0.0481531 0.174892
\r
93 4600.000000 50.000000 37.013973 150.43257 0.0569438 0.19411
\r
94 4700.000000 50.000000 37.141735 150.93381 0.0557918 0.193541
\r
95 4800.000000 50.000000 37.25288 151.36778 0.0496708 0.174991
\r
96 4900.000000 50.000000 37.366844 151.80801 0.0535337 0.191709
\r
97 5000.000000 50.000000 37.465 152.1873 0.0541016 0.1971
\r
98 5100.000000 50.000000 37.569679 152.59441 0.0555524 0.190127
\r
99 5200.000000 50.000000 37.661438 153.03957 0.0583285 0.202541
\r
100 5300.000000 50.000000 37.75666 153.4174 0.0507969 0.179121
\r
101 5400.000000 50.000000 37.835381 153.79013 0.0433225 0.155073
\r
102 5500.000000 50.000000 37.907654 154.07613 0.041929 0.152259
\r
103 5600.000000 50.000000 37.995701 154.50563 0.0393587 0.145174
\r
104 5700.000000 50.000000 38.076542 154.86101 0.0552379 0.191367
\r
105 5800.000000 50.000000 38.158909 155.13452 0.0469179 0.164864
\r
106 5900.000000 50.000000 38.197788 155.48024 0.0474294 0.168967
\r
107 6000.000000 50.000000 38.295177 155.81766 0.0482661 0.174329
\r
108 6100.000000 50.000000 38.345917 156.10379 0.063103 0.230992
\r
109 6200.000000 50.000000 38.417065 156.29541 0.0616397 0.212271
\r
110 6300.000000 50.000000 38.478794 156.62254 0.0497664 0.173784
\r
111 6400.000000 50.000000 38.551342 156.83449 0.0596618 0.210609
\r
112 6500.000000 50.000000 38.568771 157.21208 0.0503685 0.180422
\r
113 6600.000000 50.000000 38.651279 157.41748 0.0549918 0.199328
\r
114 6700.000000 50.000000 38.70105 157.6284 0.058904 0.216212
\r
115 6800.000000 50.000000 38.749599 157.86156 0.0530388 0.183427
\r
116 6900.000000 50.000000 38.805073 158.06361 0.0565494 0.197815
\r
117 7000.000000 50.000000 38.843559 158.28029 0.0557374 0.197368
\r
118 7100.000000 50.000000 38.897148 158.5202 0.0425835 0.152414
\r
119 7200.000000 50.000000 38.946823 158.74809 0.050473 0.182908
\r
120 7300.000000 50.000000 38.99509 158.89883 0.053633 0.196511
\r
121 7400.000000 50.000000 39.031654 159.16357 0.0635794 0.219925
\r
122 7500.000000 50.000000 39.092777 159.37061 0.0689591 0.24102
\r
123 7600.000000 50.000000 39.145409 159.59404 0.0606165 0.214296
\r
124 7700.000000 50.000000 39.17226 159.70949 0.052327 0.186923
\r
125 7800.000000 50.000000 39.216141 159.94969 0.0717655 0.25923
\r
126 7900.000000 50.000000 39.266155 160.03502 0.0562953 0.205267
\r
127 8000.000000 50.000000 39.296261 160.27301 0.0475102 0.175062
\r
128 4000.000000 55.000000 34.204361 138.00478 0.0676743 0.229304
\r
129 4100.000000 55.000000 34.419373 138.73811 0.0829005 0.272381
\r
130 4200.000000 55.000000 34.623791 139.20685 0.063926 0.213067
\r
131 4300.000000 55.000000 34.809784 140.00015 0.0614677 0.208551
\r
132 4400.000000 55.000000 34.986435 140.67175 0.0572234 0.197416
\r
133 4500.000000 55.000000 35.144985 141.27177 0.0467535 0.164257
\r
134 4600.000000 55.000000 35.312778 141.9642 0.0758701 0.252949
\r
135 4700.000000 55.000000 35.468563 142.54388 0.047312 0.160302
\r
136 4800.000000 55.000000 35.587456 143.17026 0.0624915 0.21487
\r
137 4900.000000 55.000000 35.712704 143.70264 0.0499364 0.174255
\r
138 5000.000000 55.000000 35.830761 144.32117 0.0629019 0.223133
\r
139 5100.000000 55.000000 35.943893 144.78885 0.0522324 0.175549
\r
140 5200.000000 55.000000 36.051098 145.25836 0.0523768 0.178378
\r
141 5300.000000 55.000000 36.143776 145.83171 0.0727722 0.251278
\r
142 5400.000000 55.000000 36.242035 146.28502 0.0459224 0.160953
\r
143 5500.000000 55.000000 36.319916 146.65215 0.0494442 0.175516
\r
144 5600.000000 55.000000 36.427052 147.03001 0.0438667 0.158096
\r
145 5700.000000 55.000000 36.494152 147.47908 0.0536985 0.18325
\r
146 5800.000000 55.000000 36.569275 148.01933 0.068437 0.236619
\r
147 5900.000000 55.000000 36.669346 148.31046 0.0607004 0.212331
\r
148 6000.000000 55.000000 36.740391 148.68716 0.0390839 0.138521
\r
149 6100.000000 55.000000 36.804245 149.15698 0.0425667 0.152968
\r
150 6200.000000 55.000000 36.891239 149.40262 0.0567287 0.192993
\r
151 6300.000000 55.000000 36.949379 149.84769 0.0645188 0.222099
\r
152 6400.000000 55.000000 37.020649 150.1059 0.0593272 0.206567
\r
153 6500.000000 55.000000 37.086609 150.54112 0.042013 0.14817
\r
154 6600.000000 55.000000 37.138569 150.77879 0.0358296 0.127756
\r
155 6700.000000 55.000000 37.205513 151.0818 0.0313276 0.113096
\r
156 6800.000000 55.000000 37.275719 151.4357 0.0507165 0.173544
\r
157 6900.000000 55.000000 37.331997 151.71169 0.0527614 0.18236
\r
158 7000.000000 55.000000 37.412529 152.05724 0.0503984 0.176214
\r
159 7100.000000 55.000000 37.45829 152.36734 0.0564463 0.199761
\r
160 7200.000000 55.000000 37.500023 152.56561 0.0456603 0.163333
\r
161 7300.000000 55.000000 37.547516 152.8268 0.0477746 0.172703
\r
162 7400.000000 55.000000 37.622295 153.07091 0.0503751 0.17262
\r
163 7500.000000 55.000000 37.675301 153.35005 0.0512958 0.177645
\r
164 7600.000000 55.000000 37.716599 153.65491 0.0705815 0.246945
\r
165 7700.000000 55.000000 37.768387 153.88684 0.0538902 0.190381
\r
166 7800.000000 55.000000 37.799843 154.16658 0.0816002 0.291297
\r
167 7900.000000 55.000000 37.860157 154.37491 0.0564582 0.203683
\r
168 8000.000000 55.000000 37.909721 154.56415 0.054035 0.196841
\r
169 4000.000000 60.000000 32.490643 126.18353 0.0584161 0.184752
\r
170 4100.000000 60.000000 32.670025 127.02648 0.0662729 0.208117
\r
171 4200.000000 60.000000 32.887321 127.83937 0.059496 0.189115
\r
172 4300.000000 60.000000 33.089512 128.74286 0.0531524 0.17104
\r
173 4400.000000 60.000000 33.240482 129.52357 0.0542512 0.177347
\r
174 4500.000000 60.000000 33.410694 130.35234 0.0409944 0.135994
\r
175 4600.000000 60.000000 33.560673 131.38431 0.0753288 0.242427
\r
176 4700.000000 60.000000 33.722912 132.03732 0.0622878 0.202882
\r
177 4800.000000 60.000000 33.830078 132.72707 0.0549679 0.180904
\r
178 4900.000000 60.000000 33.952892 133.5058 0.0621322 0.207374
\r
179 5000.000000 60.000000 34.071945 134.07932 0.0475949 0.160907
\r
180 5100.000000 60.000000 34.18544 134.73137 0.0527498 0.17161
\r
181 5200.000000 60.000000 34.29414 135.45218 0.0473557 0.156147
\r
182 5300.000000 60.000000 34.380772 136.07401 0.0581329 0.193732
\r
183 5400.000000 60.000000 34.473148 136.64212 0.0446649 0.150593
\r
184 5500.000000 60.000000 34.582684 137.16534 0.0407811 0.1392
\r
185 5600.000000 60.000000 34.677631 137.71965 0.0445405 0.154199
\r
186 5700.000000 60.000000 34.759693 138.2937 0.0498875 0.165435
\r
187 5800.000000 60.000000 34.850529 138.8161 0.0518828 0.17394
\r
188 5900.000000 60.000000 34.935234 139.32632 0.045123 0.153032
\r
189 6000.000000 60.000000 34.993366 139.7565 0.0405306 0.139003
\r
190 6100.000000 60.000000 35.076904 140.24902 0.0431147 0.149762
\r
191 6200.000000 60.000000 35.173359 140.66328 0.0529818 0.175958
\r
192 6300.000000 60.000000 35.252338 141.28433 0.0617199 0.207405
\r
193 6400.000000 60.000000 35.312668 141.63461 0.035834 0.121668
\r
194 6500.000000 60.000000 35.375641 141.98048 0.0408196 0.139994
\r
195 6600.000000 60.000000 35.451267 142.43712 0.037145 0.128781
\r
196 6700.000000 60.000000 35.52636 142.86876 0.049052 0.172255
\r
197 6800.000000 60.000000 35.592381 143.23807 0.0448698 0.150468
\r
198 6900.000000 60.000000 35.655994 143.54839 0.0340035 0.11517
\r
199 7000.000000 60.000000 35.70348 143.99809 0.0451549 0.154634
\r
200 7100.000000 60.000000 35.787598 144.29561 0.0498067 0.172029
\r
201 7200.000000 60.000000 35.827915 144.68217 0.0389802 0.136199
\r
202 7300.000000 60.000000 35.881744 145.02502 0.0455658 0.160795
\r
203 7400.000000 60.000000 35.944031 145.36528 0.0374685 0.126327
\r
204 7500.000000 60.000000 36.002449 145.77695 0.0544006 0.185137
\r
205 7600.000000 60.000000 36.070919 146.08739 0.0574552 0.197326
\r
206 7700.000000 60.000000 36.113892 146.34683 0.0525814 0.182267
\r
207 7800.000000 60.000000 36.149521 146.66116 0.0554524 0.194046
\r
208 7900.000000 60.000000 36.215576 146.88991 0.0495778 0.175088
\r
209 8000.000000 60.000000 36.267673 147.12175 0.0427175 0.152219
\r
210 4000.000000 65.000000 31.054277 111.40209 0.0823038 0.238049
\r
211 4100.000000 65.000000 31.203585 112.52078 0.0655472 0.193988
\r
212 4200.000000 65.000000 31.390049 113.59587 0.0685712 0.20385
\r
213 4300.000000 65.000000 31.543463 114.52947 0.0605768 0.180884
\r
214 4400.000000 65.000000 31.671665 115.55618 0.0471903 0.142122
\r
215 4500.000000 65.000000 31.839788 116.54993 0.048231 0.146411
\r
216 4600.000000 65.000000 31.970213 117.50717 0.0745643 0.225596
\r
217 4700.000000 65.000000 32.082298 118.47457 0.0522259 0.158938
\r
218 4800.000000 65.000000 32.179287 119.37984 0.0538153 0.16516
\r
219 4900.000000 65.000000 32.298676 120.29259 0.075452 0.233569
\r
220 5000.000000 65.000000 32.388657 120.94045 0.0667938 0.208155
\r
221 5100.000000 65.000000 32.487526 121.95276 0.0613005 0.189311
\r
222 5200.000000 65.000000 32.570179 122.71462 0.0563434 0.1751
\r
223 5300.000000 65.000000 32.657143 123.37227 0.0567821 0.177804
\r
224 5400.000000 65.000000 32.710735 124.15532 0.053306 0.168519
\r
225 5500.000000 65.000000 32.801937 124.90334 0.0503014 0.160714
\r
226 5600.000000 65.000000 32.885368 125.45084 0.05839 0.188081
\r
227 5700.000000 65.000000 32.998726 126.1934 0.0716868 0.226212
\r
228 5800.000000 65.000000 33.054951 126.93493 0.0533851 0.169713
\r
229 5900.000000 65.000000 33.124741 127.48372 0.0529865 0.169791
\r
230 6000.000000 65.000000 33.201611 128.16325 0.0560488 0.181983
\r
231 6100.000000 65.000000 33.288853 128.60939 0.0368826 0.120557
\r
232 6200.000000 65.000000 33.336727 129.29546 0.0763044 0.243478
\r
233 6300.000000 65.000000 33.403934 129.75128 0.0591487 0.19011
\r
234 6400.000000 65.000000 33.47752 130.39589 0.075319 0.244241
\r
235 6500.000000 65.000000 33.551136 130.95834 0.0577724 0.189028
\r
236 6600.000000 65.000000 33.624081 131.40343 0.0416119 0.137133
\r
237 6700.000000 65.000000 33.658176 131.98013 0.0679982 0.226295
\r
238 6800.000000 65.000000 33.737099 132.54501 0.062891 0.203724
\r
239 6900.000000 65.000000 33.788792 133.06529 0.0573952 0.187356
\r
240 7000.000000 65.000000 33.848846 133.32732 0.0492527 0.161625
\r
241 7100.000000 65.000000 33.925343 133.79549 0.0600515 0.198803
\r
242 7200.000000 65.000000 33.984177 134.14259 0.0404585 0.135256
\r
243 7300.000000 65.000000 34.049385 134.72246 0.031589 0.10663
\r
244 7400.000000 65.000000 34.091496 135.09178 0.0550824 0.179564
\r
245 7500.000000 65.000000 34.173847 135.5457 0.0581842 0.191141
\r
246 7600.000000 65.000000 34.207726 135.85216 0.0567668 0.187921
\r
247 7700.000000 65.000000 34.262878 136.29541 0.0495943 0.165872
\r
248 7800.000000 65.000000 34.273426 136.63272 0.0549209 0.184968
\r
249 7900.000000 65.000000 34.360073 137.0085 0.0447147 0.151494
\r
250 8000.000000 65.000000 34.378273 137.42467 0.0638659 0.218958