2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Jul 17 13:35:04 2009]
\r
3 Original[170709 cal wafer.dat]
\r
5 3000.000000 65.000000 38.59383 104.81626 0.183227 0.464415
\r
6 3100.000000 65.000000 37.418072 105.64664 0.164605 0.420696
\r
7 3200.000000 65.000000 36.591377 106.66417 0.166914 0.429875
\r
8 3300.000000 65.000000 35.984665 108.0694 0.172825 0.456731
\r
9 3400.000000 65.000000 35.511566 109.44796 0.134255 0.357852
\r
10 3500.000000 65.000000 35.297768 111.34016 0.125593 0.339208
\r
11 3600.000000 65.000000 35.367188 114.3586 0.134418 0.369936
\r
12 3700.000000 65.000000 34.672665 119.44384 0.113735 0.323619
\r
13 3800.000000 65.000000 32.878632 122.81858 0.110524 0.337285
\r
14 3900.000000 65.000000 31.19171 124.40734 0.0953422 0.306628
\r
15 4000.000000 65.000000 29.907795 125.41103 0.0957049 0.321594
\r
16 4100.000000 65.000000 28.847013 126.26962 0.101085 0.341033
\r
17 4200.000000 65.000000 27.965014 127.02903 0.092677 0.322924
\r
18 4300.000000 65.000000 27.199738 127.68358 0.0837028 0.300266
\r
19 4400.000000 65.000000 26.523003 128.35521 0.0824964 0.306069
\r
20 4500.000000 65.000000 25.911539 129.04514 0.0736012 0.281488
\r
21 4600.000000 65.000000 25.349405 129.72575 0.0801553 0.302904
\r
22 4700.000000 65.000000 24.842712 130.37077 0.0724129 0.280864
\r
23 4800.000000 65.000000 24.371912 130.97888 0.070568 0.281447
\r
24 4900.000000 65.000000 23.943602 131.60652 0.0651867 0.266821
\r
25 5000.000000 65.000000 23.548643 132.15115 0.0584301 0.24525
\r
26 5100.000000 65.000000 23.16975 132.8101 0.0648899 0.267354
\r
27 5200.000000 65.000000 22.824146 133.40115 0.0635725 0.268032
\r
28 5300.000000 65.000000 22.499687 133.98546 0.0596074 0.257191
\r
29 5400.000000 65.000000 22.195663 134.52199 0.0545093 0.241036
\r
30 5500.000000 65.000000 21.915497 135.06789 0.0512898 0.232126
\r
31 5600.000000 65.000000 21.642164 135.57452 0.0479764 0.222143
\r
32 5700.000000 65.000000 21.384411 136.15874 0.0511069 0.229791
\r
33 5800.000000 65.000000 21.145685 136.65231 0.051161 0.235263
\r
34 5900.000000 65.000000 20.915258 137.16711 0.0473725 0.222456
\r
35 6000.000000 65.000000 20.696428 137.64226 0.0420214 0.201417
\r
36 6100.000000 65.000000 20.500225 138.10167 0.0393347 0.192263
\r
37 6200.000000 65.000000 20.300798 138.61638 0.0380081 0.179945
\r
38 6300.000000 65.000000 20.117367 139.09258 0.0432163 0.208763
\r
39 6400.000000 65.000000 19.945015 139.58975 0.0431052 0.212151
\r
40 6500.000000 65.000000 19.777111 140.03212 0.0358227 0.179541
\r
41 6600.000000 65.000000 19.621937 140.44514 0.0332719 0.169738
\r
42 6700.000000 65.000000 19.473448 140.88652 0.0346446 0.180032
\r
43 6800.000000 65.000000 19.326706 141.31975 0.0345442 0.17309
\r
44 6900.000000 65.000000 19.187756 141.75119 0.0316817 0.161336
\r
45 7000.000000 65.000000 19.055986 142.16647 0.0302745 0.157026
\r
46 7100.000000 65.000000 18.927801 142.54929 0.0288777 0.152291
\r
47 7200.000000 65.000000 18.804796 142.94479 0.0240419 0.128956
\r
48 7300.000000 65.000000 18.689814 143.36507 0.0257165 0.140136
\r
49 7400.000000 65.000000 18.575918 143.73476 0.0276777 0.145124
\r
50 7500.000000 65.000000 18.468634 144.12506 0.0241011 0.128259
\r
51 7600.000000 65.000000 18.36573 144.4834 0.0226379 0.122178
\r
52 7700.000000 65.000000 18.266155 144.86299 0.0220241 0.120649
\r
53 7800.000000 65.000000 18.17201 145.24551 0.0217663 0.120831
\r
54 7900.000000 65.000000 18.082121 145.58112 0.0216697 0.122364
\r
55 8000.000000 65.000000 17.991898 145.89861 0.026168 0.149882
\r
56 8100.000000 65.000000 17.912312 146.37819 0.0257784 0.141627
\r
57 8200.000000 65.000000 17.828175 146.70041 0.0265505 0.148269
\r
58 8300.000000 65.000000 17.747911 147.05222 0.0235763 0.133674
\r
59 8400.000000 65.000000 17.660633 147.38103 0.0215207 0.123539
\r
60 8500.000000 65.000000 17.583094 147.73706 0.0297649 0.171041
\r
61 8600.000000 65.000000 17.524031 147.99123 0.0207727 0.121279
\r
62 8700.000000 65.000000 17.452831 148.27036 0.0206534 0.116397
\r
63 8800.000000 65.000000 17.383858 148.64946 0.0218922 0.125537
\r
64 8900.000000 65.000000 17.331388 148.82161 0.019204 0.111325
\r
65 9000.000000 65.000000 17.265802 149.10747 0.0171174 0.10046
\r
66 9100.000000 65.000000 17.201033 149.42395 0.0212451 0.126257
\r
67 9200.000000 65.000000 17.140144 149.68716 0.0188407 0.113291
\r
68 9300.000000 65.000000 17.080267 150.01735 0.0173339 0.10549
\r
69 9400.000000 65.000000 17.018885 150.31447 0.0178712 0.104336
\r
70 9500.000000 65.000000 16.972038 150.55177 0.0166645 0.0983214
\r
71 9600.000000 65.000000 16.92244 150.80161 0.015605 0.0930501
\r
72 9700.000000 65.000000 16.871578 151.08098 0.0180112 0.108598
\r
73 9800.000000 65.000000 16.813202 151.36687 0.0180109 0.110098
\r
74 9900.000000 65.000000 16.772182 151.60623 0.016879 0.1043
\r
75 10000.000000 65.000000 16.730366 151.77815 0.0152593 0.0952757
\r
76 3000.000000 70.000000 38.05439 87.955704 0.237506 0.588135
\r
77 3100.000000 70.000000 37.300434 88.653633 0.214912 0.522782
\r
78 3200.000000 70.000000 36.330364 89.582306 0.150607 0.369997
\r
79 3300.000000 70.000000 35.60532 90.763725 0.136791 0.34905
\r
80 3400.000000 70.000000 35.076221 92.297256 0.132199 0.336955
\r
81 3500.000000 70.000000 34.699181 94.208626 0.130845 0.332326
\r
82 3600.000000 70.000000 34.629734 97.339371 0.118246 0.300213
\r
83 3700.000000 70.000000 33.698013 102.64788 0.103965 0.279619
\r
84 3800.000000 70.000000 31.436121 106.2382 0.101034 0.284073
\r
85 3900.000000 70.000000 29.500572 107.40831 0.0978511 0.287606
\r
86 4000.000000 70.000000 28.000692 108.03434 0.0873122 0.266198
\r
87 4100.000000 70.000000 26.772335 108.53629 0.0912363 0.291622
\r
88 4200.000000 70.000000 25.742752 108.96813 0.0913473 0.299721
\r
89 4300.000000 70.000000 24.85602 109.38034 0.0835466 0.281216
\r
90 4400.000000 70.000000 24.055891 109.74979 0.0771134 0.265466
\r
91 4500.000000 70.000000 23.323738 110.11034 0.0749859 0.265319
\r
92 4600.000000 70.000000 22.648315 110.56165 0.0712411 0.260095
\r
93 4700.000000 70.000000 22.030386 110.94593 0.072045 0.269311
\r
94 4800.000000 70.000000 21.464191 111.31721 0.0654309 0.249455
\r
95 4900.000000 70.000000 20.941492 111.7086 0.061449 0.239784
\r
96 5000.000000 70.000000 20.452839 112.08941 0.058806 0.234349
\r
97 5100.000000 70.000000 19.989325 112.50218 0.0586448 0.239847
\r
98 5200.000000 70.000000 19.546886 112.92253 0.0549837 0.229153
\r
99 5300.000000 70.000000 19.145466 113.31458 0.0523819 0.222286
\r
100 5400.000000 70.000000 18.75629 113.66371 0.0529654 0.229823
\r
101 5500.000000 70.000000 18.400896 114.09119 0.0472456 0.209105
\r
102 5600.000000 70.000000 18.052052 114.4542 0.0441353 0.199161
\r
103 5700.000000 70.000000 17.722483 114.84671 0.0475481 0.218295
\r
104 5800.000000 70.000000 17.405903 115.22073 0.04249 0.198533
\r
105 5900.000000 70.000000 17.115105 115.5957 0.0411002 0.195377
\r
106 6000.000000 70.000000 16.835855 115.98276 0.0383963 0.185687
\r
107 6100.000000 70.000000 16.566931 116.36562 0.03853 0.190326
\r
108 6200.000000 70.000000 16.308865 116.73428 0.0326159 0.162879
\r
109 6300.000000 70.000000 16.051344 117.12234 0.0348636 0.176957
\r
110 6400.000000 70.000000 15.820391 117.48488 0.0311612 0.16065
\r
111 6500.000000 70.000000 15.59526 117.84181 0.0357619 0.187821
\r
112 6600.000000 70.000000 15.378958 118.19847 0.0296515 0.158414
\r
113 6700.000000 70.000000 15.172906 118.58093 0.0284495 0.154557
\r
114 6800.000000 70.000000 14.962476 118.93131 0.0284893 0.15545
\r
115 6900.000000 70.000000 14.776373 119.34226 0.0286569 0.158772
\r
116 7000.000000 70.000000 14.591568 119.70746 0.0296738 0.167319
\r
117 7100.000000 70.000000 14.416915 120.04185 0.0269729 0.154426
\r
118 7200.000000 70.000000 14.238911 120.39495 0.026817 0.155975
\r
119 7300.000000 70.000000 14.071085 120.77385 0.0218036 0.128892
\r
120 7400.000000 70.000000 13.908963 121.10714 0.0247544 0.146127
\r
121 7500.000000 70.000000 13.758819 121.44421 0.0147535 0.0882415
\r
122 7600.000000 70.000000 13.608225 121.80501 0.0228048 0.138643
\r
123 7700.000000 70.000000 13.456373 122.10883 0.0177827 0.109629
\r
124 7800.000000 70.000000 13.321056 122.50703 0.0214816 0.133955
\r
125 7900.000000 70.000000 13.190188 122.7936 0.0184288 0.116832
\r
126 8000.000000 70.000000 13.047751 123.17896 0.0172346 0.110915
\r
127 8100.000000 70.000000 12.898565 123.64297 0.0230452 0.139377
\r
128 8200.000000 70.000000 12.755855 124.11124 0.0250287 0.163979
\r
129 8300.000000 70.000000 12.678777 124.20348 0.0230087 0.151965
\r
130 8400.000000 70.000000 12.559628 124.59058 0.0268355 0.178129
\r
131 8500.000000 70.000000 12.452019 124.92403 0.0266076 0.176555
\r
132 8600.000000 70.000000 12.326067 125.21927 0.0217674 0.14743
\r
133 8700.000000 70.000000 12.228407 125.44205 0.0203165 0.137472
\r
134 8800.000000 70.000000 12.113501 125.92832 0.0193411 0.134546
\r
135 8900.000000 70.000000 12.032963 126.12432 0.0174521 0.122534
\r
136 9000.000000 70.000000 11.934955 126.37207 0.0159314 0.113251
\r
137 9100.000000 70.000000 11.841686 126.70992 0.013621 0.0980044
\r
138 9200.000000 70.000000 11.743728 126.99297 0.0160238 0.117448
\r
139 9300.000000 70.000000 11.64901 127.35324 0.0165788 0.12303
\r
140 9400.000000 70.000000 11.558251 127.66142 0.0169664 0.124596
\r
141 9500.000000 70.000000 11.474538 127.94635 0.0168512 0.125219
\r
142 9600.000000 70.000000 11.392602 128.22409 0.0159457 0.119715
\r
143 9700.000000 70.000000 11.311904 128.54996 0.0147242 0.111981
\r
144 9800.000000 70.000000 11.231153 128.86427 0.0160433 0.123647
\r
145 9900.000000 70.000000 11.153594 129.15271 0.0155497 0.12129
\r
146 10000.000000 70.000000 11.089598 129.31142 0.0133048 0.104611
\r
147 3000.000000 75.000000 38.838036 68.442055 0.420891 1.09535
\r
148 3100.000000 75.000000 37.77655 69.017258 0.198722 0.518903
\r
149 3200.000000 75.000000 36.845707 69.80024 0.156841 0.4114
\r
150 3300.000000 75.000000 36.199036 70.72448 0.157128 0.415699
\r
151 3400.000000 75.000000 35.529411 72.08194 0.149466 0.396294
\r
152 3500.000000 75.000000 35.098885 73.762108 0.167907 0.442712
\r
153 3600.000000 75.000000 34.881813 76.765091 0.12464 0.32366
\r
154 3700.000000 75.000000 33.616978 81.704323 0.104927 0.279321
\r
155 3800.000000 75.000000 31.094215 84.55526 0.0919473 0.25109
\r
156 3900.000000 75.000000 29.037924 84.943451 0.0877691 0.2474
\r
157 4000.000000 75.000000 27.47934 84.726524 0.0816109 0.236828
\r
158 4100.000000 75.000000 26.199207 84.478264 0.079892 0.248049
\r
159 4200.000000 75.000000 25.128763 84.208595 0.0683893 0.217011
\r
160 4300.000000 75.000000 24.207788 83.922379 0.0712465 0.230601
\r
161 4400.000000 75.000000 23.373346 83.652336 0.0653006 0.214985
\r
162 4500.000000 75.000000 22.614412 83.415573 0.0660036 0.221936
\r
163 4600.000000 75.000000 21.905315 83.171043 0.0555669 0.1973
\r
164 4700.000000 75.000000 21.26837 82.919113 0.0527842 0.190902
\r
165 4800.000000 75.000000 20.670168 82.688408 0.0537918 0.197705
\r
166 4900.000000 75.000000 20.119022 82.474495 0.0491202 0.183604
\r
167 5000.000000 75.000000 19.602261 82.257416 0.0445596 0.169015
\r
168 5100.000000 75.000000 19.10619 82.034424 0.0405016 0.161741
\r
169 5200.000000 75.000000 18.643562 81.835701 0.0378464 0.153195
\r
170 5300.000000 75.000000 18.212492 81.622375 0.0349456 0.143269
\r
171 5400.000000 75.000000 17.796623 81.406616 0.0359209 0.149842
\r
172 5500.000000 75.000000 17.417713 81.185165 0.0330993 0.139834
\r
173 5600.000000 75.000000 17.036896 81.000244 0.0291278 0.124797
\r
174 5700.000000 75.000000 16.68844 80.796059 0.0332943 0.149419
\r
175 5800.000000 75.000000 16.347364 80.597244 0.0277069 0.125854
\r
176 5900.000000 75.000000 16.032211 80.433083 0.0288306 0.132471
\r
177 6000.000000 75.000000 15.72661 80.226677 0.0255337 0.119002
\r
178 6100.000000 75.000000 15.431907 80.068192 0.0241993 0.114187
\r
179 6200.000000 75.000000 15.146017 79.870956 0.0215236 0.1058
\r
180 6300.000000 75.000000 14.874742 79.689819 0.0260594 0.129493
\r
181 6400.000000 75.000000 14.618031 79.499199 0.0243039 0.122578
\r
182 6500.000000 75.000000 14.366498 79.305145 0.023371 0.119118
\r
183 6600.000000 75.000000 14.133286 79.10479 0.0208244 0.10736
\r
184 6700.000000 75.000000 13.897146 78.926468 0.0166573 0.0867814
\r
185 6800.000000 75.000000 13.666899 78.775871 0.021524 0.116286
\r
186 6900.000000 75.000000 13.454371 78.56749 0.0201939 0.110731
\r
187 7000.000000 75.000000 13.243559 78.410477 0.0170449 0.0943933
\r
188 7100.000000 75.000000 13.04803 78.246246 0.0186625 0.10432
\r
189 7200.000000 75.000000 12.848892 78.075768 0.0155133 0.0877086
\r
190 7300.000000 75.000000 12.656706 77.864067 0.0167616 0.095731
\r
191 7400.000000 75.000000 12.479704 77.702942 0.0189831 0.112406
\r
192 7500.000000 75.000000 12.304377 77.536224 0.0152799 0.0913777
\r
193 7600.000000 75.000000 12.132442 77.33667 0.0187339 0.113003
\r
194 7700.000000 75.000000 11.96738 77.162247 0.0145635 0.0886957
\r
195 7800.000000 75.000000 11.800897 77.019356 0.0141829 0.0871157
\r
196 7900.000000 75.000000 11.642787 76.815369 0.0130541 0.0809752
\r
197 8000.000000 75.000000 11.493078 76.664589 0.0120955 0.0760432
\r
198 8100.000000 75.000000 11.326191 76.45723 0.0175471 0.112961
\r
199 8200.000000 75.000000 11.16056 76.219452 0.0147944 0.0972931
\r
200 8300.000000 75.000000 11.060984 76.143822 0.014916 0.0983857
\r
201 8400.000000 75.000000 10.912731 75.968437 0.0144762 0.096127
\r
202 8500.000000 75.000000 10.77387 75.77948 0.0186246 0.124112
\r
203 8600.000000 75.000000 10.660096 75.531662 0.0202373 0.136953
\r
204 8700.000000 75.000000 10.530028 75.475731 0.0187646 0.130887
\r
205 8800.000000 75.000000 10.397212 75.243889 0.0144875 0.102672
\r
206 8900.000000 75.000000 10.297494 75.108772 0.0144196 0.10277
\r
207 9000.000000 75.000000 10.184095 74.950447 0.0153325 0.110128
\r
208 9100.000000 75.000000 10.068949 74.765297 0.0135673 0.098328
\r
209 9200.000000 75.000000 9.9610043 74.582405 0.0128321 0.0938387
\r
210 9300.000000 75.000000 9.8451319 74.366646 0.0133742 0.0986784
\r
211 9400.000000 75.000000 9.7346544 74.191742 0.0158566 0.119899
\r
212 9500.000000 75.000000 9.6325102 73.996613 0.0155369 0.118262
\r
213 9600.000000 75.000000 9.5410604 73.8489 0.0139647 0.107008
\r
214 9700.000000 75.000000 9.4388571 73.659615 0.0134913 0.104248
\r
215 9800.000000 75.000000 9.3398046 73.47641 0.0136645 0.106491
\r
216 9900.000000 75.000000 9.2423477 73.278404 0.0123189 0.0967789
\r
217 10000.000000 75.000000 9.1675587 73.165115 0.0128433 0.101288
\r
218 dpolE 3000.000000 65.000000 0.826502 2.26212
\r
219 dpolE 3100.000000 65.000000 1.01513 2.06115
\r
220 dpolE 3200.000000 65.000000 0.452122 2.13284
\r
221 dpolE 3300.000000 65.000000 0.512588 2.01129
\r
222 dpolE 3400.000000 65.000000 0.519395 1.58891
\r
223 dpolE 3500.000000 65.000000 0.659812 1.50719
\r
224 dpolE 3600.000000 65.000000 0.448836 1.63778
\r
225 dpolE 3700.000000 65.000000 0.598494 1.25315
\r
226 dpolE 3800.000000 65.000000 0.262624 1.17013
\r
227 dpolE 3900.000000 65.000000 0.291443 0.986032
\r
228 dpolE 4000.000000 65.000000 0.109481 0.975801
\r
229 dpolE 4100.000000 65.000000 0.2644 0.943777
\r
230 dpolE 4200.000000 65.000000 0.21948 0.856878
\r
231 dpolE 4300.000000 65.000000 0.134322 0.766939
\r
232 dpolE 4400.000000 65.000000 0.144718 0.751015
\r
233 dpolE 4500.000000 65.000000 0.143077 0.664778
\r
234 dpolE 4600.000000 65.000000 0.0954908 0.674315
\r
235 dpolE 4700.000000 65.000000 0.1007 0.604562
\r
236 dpolE 4800.000000 65.000000 0.131998 0.585763
\r
237 dpolE 4900.000000 65.000000 0.0936994 0.537896
\r
238 dpolE 5000.000000 65.000000 0.0662896 0.479636
\r
239 dpolE 5100.000000 65.000000 0.0680304 0.501077
\r
240 dpolE 5200.000000 65.000000 0.0742636 0.487869
\r
241 dpolE 5300.000000 65.000000 0.090569 0.454643
\r
242 dpolE 5400.000000 65.000000 0.0648481 0.414133
\r
243 dpolE 5500.000000 65.000000 0.0732082 0.38778
\r
244 dpolE 5600.000000 65.000000 0.0506478 0.361099
\r
245 dpolE 5700.000000 65.000000 0.0414228 0.364553
\r
246 dpolE 5800.000000 65.000000 0.0557258 0.363495
\r
247 dpolE 5900.000000 65.000000 0.0655338 0.334853
\r
248 dpolE 6000.000000 65.000000 0.0648943 0.295668
\r
249 dpolE 6100.000000 65.000000 0.0280737 0.275787
\r
250 dpolE 6200.000000 65.000000 0.0387677 0.254728
\r
251 dpolE 6300.000000 65.000000 0.0275843 0.288604
\r
252 dpolE 6400.000000 65.000000 0.0436191 0.286483
\r
253 dpolE 6500.000000 65.000000 0.029611 0.237095
\r
254 dpolE 6600.000000 65.000000 0.0199789 0.219422
\r
255 dpolE 6700.000000 65.000000 0.0445245 0.227501
\r
256 dpolE 6800.000000 65.000000 0.0154289 0.218658
\r
257 dpolE 6900.000000 65.000000 0.00535571 0.199614
\r
258 dpolE 7000.000000 65.000000 0.00499674 0.190239
\r
259 dpolE 7100.000000 65.000000 0.0215347 0.180728
\r
260 dpolE 7200.000000 65.000000 0.0549735 0.149816
\r
261 dpolE 7300.000000 65.000000 0.0116675 0.159743
\r
262 dpolE 7400.000000 65.000000 0.00406972 0.166867
\r
263 dpolE 7500.000000 65.000000 0.0188837 0.144678
\r
264 dpolE 7600.000000 65.000000 0.00015972 0.135436
\r
265 dpolE 7700.000000 65.000000 0.029132 0.131218
\r
266 dpolE 7800.000000 65.000000 0.0240638 0.129392
\r
267 dpolE 7900.000000 65.000000 0.0185087 0.12845
\r
268 dpolE 8000.000000 65.000000 0.0236131 0.15471
\r
269 dpolE 8100.000000 65.000000 0.013131 0.148897
\r
270 dpolE 8200.000000 65.000000 0.0176559 0.152258
\r
271 dpolE 8300.000000 65.000000 0.033913 0.134423
\r
272 dpolE 8400.000000 65.000000 0.0418253 0.122438
\r
273 dpolE 8500.000000 65.000000 0.039391 0.171518
\r
274 dpolE 8600.000000 65.000000 0.05579 0.118933
\r
275 dpolE 8700.000000 65.000000 0.0251182 0.115071
\r
276 dpolE 8800.000000 65.000000 0.0326293 0.120736
\r
277 dpolE 8900.000000 65.000000 0.0383211 0.105689
\r
278 dpolE 9000.000000 65.000000 0.0396685 0.093845
\r
279 dpolE 9100.000000 65.000000 0.0550635 0.116014
\r
280 dpolE 9200.000000 65.000000 0.0277742 0.102561
\r
281 dpolE 9300.000000 65.000000 0.0300046 0.0940429
\r
282 dpolE 9400.000000 65.000000 0.0294022 0.0955277
\r
283 dpolE 9500.000000 65.000000 0.0312202 0.0888037
\r
284 dpolE 9600.000000 65.000000 0.0401561 0.082908
\r
285 dpolE 9700.000000 65.000000 0.0420563 0.0953423
\r
286 dpolE 9800.000000 65.000000 0.0176867 0.0950599
\r
287 dpolE 9900.000000 65.000000 0.0352007 0.0888301
\r
288 dpolE 10000.000000 65.000000 0.0482394 0.0801325
\r
289 dpolE 3000.000000 70.000000 1.70279 2.95521
\r
290 dpolE 3100.000000 70.000000 -0.612439 2.75798
\r
291 dpolE 3200.000000 70.000000 1.18303 1.95232
\r
292 dpolE 3300.000000 70.000000 0.27561 1.6157
\r
293 dpolE 3400.000000 70.000000 0.496784 1.59094
\r
294 dpolE 3500.000000 70.000000 0.490847 1.60469
\r
295 dpolE 3600.000000 70.000000 0.42576 1.47936
\r
296 dpolE 3700.000000 70.000000 0.458123 1.1696
\r
297 dpolE 3800.000000 70.000000 0.197705 1.11029
\r
298 dpolE 3900.000000 70.000000 0.420318 1.05215
\r
299 dpolE 4000.000000 70.000000 0.297544 0.926039
\r
300 dpolE 4100.000000 70.000000 0.320708 0.869233
\r
301 dpolE 4200.000000 70.000000 0.273441 0.862288
\r
302 dpolE 4300.000000 70.000000 0.268049 0.782506
\r
303 dpolE 4400.000000 70.000000 0.212597 0.716337
\r
304 dpolE 4500.000000 70.000000 0.169535 0.693528
\r
305 dpolE 4600.000000 70.000000 0.18375 0.598124
\r
306 dpolE 4700.000000 70.000000 0.167138 0.601856
\r
307 dpolE 4800.000000 70.000000 0.128795 0.54336
\r
308 dpolE 4900.000000 70.000000 0.11091 0.50836
\r
309 dpolE 5000.000000 70.000000 0.105684 0.483894
\r
310 dpolE 5100.000000 70.000000 0.0985929 0.442677
\r
311 dpolE 5200.000000 70.000000 0.0903202 0.412542
\r
312 dpolE 5300.000000 70.000000 0.0914929 0.390918
\r
313 dpolE 5400.000000 70.000000 0.0763556 0.394309
\r
314 dpolE 5500.000000 70.000000 0.0952927 0.350105
\r
315 dpolE 5600.000000 70.000000 0.0851157 0.32557
\r
316 dpolE 5700.000000 70.000000 0.0502785 0.324191
\r
317 dpolE 5800.000000 70.000000 0.0524304 0.288329
\r
318 dpolE 5900.000000 70.000000 0.0634207 0.277697
\r
319 dpolE 6000.000000 70.000000 0.0615635 0.258336
\r
320 dpolE 6100.000000 70.000000 0.027504 0.259014
\r
321 dpolE 6200.000000 70.000000 0.0393055 0.203522
\r
322 dpolE 6300.000000 70.000000 0.0329546 0.216514
\r
323 dpolE 6400.000000 70.000000 0.0439464 0.192755
\r
324 dpolE 6500.000000 70.000000 0.014255 0.220998
\r
325 dpolE 6600.000000 70.000000 0.0395622 0.18256
\r
326 dpolE 6700.000000 70.000000 0.0248613 0.17461
\r
327 dpolE 6800.000000 70.000000 -0.00447615 0.163255
\r
328 dpolE 6900.000000 70.000000 0.0310334 0.163469
\r
329 dpolE 7000.000000 70.000000 0.0193176 0.169186
\r
330 dpolE 7100.000000 70.000000 0.026506 0.153331
\r
331 dpolE 7200.000000 70.000000 0.0169586 0.151927
\r
332 dpolE 7300.000000 70.000000 0.0337611 0.123072
\r
333 dpolE 7400.000000 70.000000 -0.00196607 0.131315
\r
334 dpolE 7500.000000 70.000000 0.0115 0.0780116
\r
335 dpolE 7600.000000 70.000000 -0.00315458 0.120611
\r
336 dpolE 7700.000000 70.000000 -0.0101998 0.0937968
\r
337 dpolE 7800.000000 70.000000 -0.00442489 0.113292
\r
338 dpolE 7900.000000 70.000000 0.0191694 0.0967493
\r
339 dpolE 8000.000000 70.000000 0.0416202 0.0901722
\r
340 dpolE 8100.000000 70.000000 -0.00239892 0.112941
\r
341 dpolE 8200.000000 70.000000 0.0693801 0.12256
\r
342 dpolE 8300.000000 70.000000 -0.00920042 0.112964
\r
343 dpolE 8400.000000 70.000000 -0.0137171 0.132379
\r
344 dpolE 8500.000000 70.000000 0.00828678 0.132549
\r
345 dpolE 8600.000000 70.000000 0.0669751 0.10742
\r
346 dpolE 8700.000000 70.000000 -0.0058812 0.0945132
\r
347 dpolE 8800.000000 70.000000 0.00881958 0.0884584
\r
348 dpolE 8900.000000 70.000000 -0.00162058 0.0798094
\r
349 dpolE 9000.000000 70.000000 -0.00305506 0.0726263
\r
350 dpolE 9100.000000 70.000000 -0.00679922 0.0619275
\r
351 dpolE 9200.000000 70.000000 -0.0165118 0.0728236
\r
352 dpolE 9300.000000 70.000000 -0.0152953 0.0752064
\r
353 dpolE 9400.000000 70.000000 -0.0176024 0.0732289
\r
354 dpolE 9500.000000 70.000000 -0.00919154 0.0725182
\r
355 dpolE 9600.000000 70.000000 -0.00158585 0.06852
\r
356 dpolE 9700.000000 70.000000 0.0139808 0.0630356
\r
357 dpolE 9800.000000 70.000000 -0.000159432 0.0684123
\r
358 dpolE 9900.000000 70.000000 0.0108108 0.0661236
\r
359 dpolE 10000.000000 70.000000 -0.0242606 0.0566428
\r
360 dpolE 3000.000000 75.000000 0.789816 5.14328
\r
361 dpolE 3100.000000 75.000000 0.528562 2.47576
\r
362 dpolE 3200.000000 75.000000 0.48593 1.99316
\r
363 dpolE 3300.000000 75.000000 0.510591 1.82982
\r
364 dpolE 3400.000000 75.000000 0.714773 1.77095
\r
365 dpolE 3500.000000 75.000000 0.711263 2.02984
\r
366 dpolE 3600.000000 75.000000 0.486928 1.54962
\r
367 dpolE 3700.000000 75.000000 0.409248 1.1872
\r
368 dpolE 3800.000000 75.000000 0.632926 1.01846
\r
369 dpolE 3900.000000 75.000000 0.395287 0.956139
\r
370 dpolE 4000.000000 75.000000 0.276802 0.877813
\r
371 dpolE 4100.000000 75.000000 0.292569 0.767489
\r
372 dpolE 4200.000000 75.000000 0.309923 0.650812
\r
373 dpolE 4300.000000 75.000000 0.271148 0.673134
\r
374 dpolE 4400.000000 75.000000 0.260307 0.61161
\r
375 dpolE 4500.000000 75.000000 0.159002 0.616192
\r
376 dpolE 4600.000000 75.000000 0.170665 0.467679
\r
377 dpolE 4700.000000 75.000000 0.150721 0.442486
\r
378 dpolE 4800.000000 75.000000 0.249501 0.4475
\r
379 dpolE 4900.000000 75.000000 0.148108 0.407655
\r
380 dpolE 5000.000000 75.000000 0.117464 0.367947
\r
381 dpolE 5100.000000 75.000000 0.0801695 0.304582
\r
382 dpolE 5200.000000 75.000000 0.0972168 0.282975
\r
383 dpolE 5300.000000 75.000000 0.10964 0.259827
\r
384 dpolE 5400.000000 75.000000 0.0722268 0.266656
\r
385 dpolE 5500.000000 75.000000 0.0365118 0.244872
\r
386 dpolE 5600.000000 75.000000 0.0607605 0.214305
\r
387 dpolE 5700.000000 75.000000 0.0541972 0.224571
\r
388 dpolE 5800.000000 75.000000 0.0350277 0.186091
\r
389 dpolE 5900.000000 75.000000 0.0384696 0.192856
\r
390 dpolE 6000.000000 75.000000 -0.0138215 0.17068
\r
391 dpolE 6100.000000 75.000000 -0.0187004 0.161188
\r
392 dpolE 6200.000000 75.000000 0.0106867 0.131643
\r
393 dpolE 6300.000000 75.000000 0.0363437 0.158616
\r
394 dpolE 6400.000000 75.000000 0.0364772 0.147846
\r
395 dpolE 6500.000000 75.000000 -0.00966218 0.141803
\r
396 dpolE 6600.000000 75.000000 0.0216687 0.125888
\r
397 dpolE 6700.000000 75.000000 -0.0150307 0.100383
\r
398 dpolE 6800.000000 75.000000 0.000518199 0.119635
\r
399 dpolE 6900.000000 75.000000 -0.00237482 0.112277
\r
400 dpolE 7000.000000 75.000000 -0.0208956 0.0945145
\r
401 dpolE 7100.000000 75.000000 -0.0405233 0.103252
\r
402 dpolE 7200.000000 75.000000 -0.00616365 0.0854381
\r
403 dpolE 7300.000000 75.000000 -0.0190286 0.0920096
\r
404 dpolE 7400.000000 75.000000 -0.0362139 0.0970514
\r
405 dpolE 7500.000000 75.000000 -0.016951 0.0778627
\r
406 dpolE 7600.000000 75.000000 -0.0433767 0.0952642
\r
407 dpolE 7700.000000 75.000000 -0.0263037 0.0738186
\r
408 dpolE 7800.000000 75.000000 -0.0231853 0.0717349
\r
409 dpolE 7900.000000 75.000000 -0.0348382 0.065769
\r
410 dpolE 8000.000000 75.000000 -0.0294563 0.0610636
\r
411 dpolE 8100.000000 75.000000 0.0140791 0.0828947
\r
412 dpolE 8200.000000 75.000000 0.038737 0.0687601
\r
413 dpolE 8300.000000 75.000000 -0.0380954 0.0695364
\r
414 dpolE 8400.000000 75.000000 -0.0130261 0.0673782
\r
415 dpolE 8500.000000 75.000000 -0.0433014 0.0868714
\r
416 dpolE 8600.000000 75.000000 -0.0125382 0.0945659
\r
417 dpolE 8700.000000 75.000000 -0.0393688 0.0816704
\r
418 dpolE 8800.000000 75.000000 -0.0476614 0.062456
\r
419 dpolE 8900.000000 75.000000 -0.0626994 0.0621736
\r
420 dpolE 9000.000000 75.000000 -0.079934 0.065981
\r
421 dpolE 9100.000000 75.000000 -0.0682644 0.0581972
\r
422 dpolE 9200.000000 75.000000 -0.065251 0.0548747
\r
423 dpolE 9300.000000 75.000000 -0.0549496 0.0570029
\r
424 dpolE 9400.000000 75.000000 -0.057195 0.063249
\r
425 dpolE 9500.000000 75.000000 -0.0728675 0.0618259
\r
426 dpolE 9600.000000 75.000000 -0.0476719 0.0554386
\r
427 dpolE 9700.000000 75.000000 -0.0390049 0.053338
\r
428 dpolE 9800.000000 75.000000 -0.0404725 0.0537981
\r
429 dpolE 9900.000000 75.000000 -0.0329047 0.0483149
\r
430 dpolE 10000.000000 75.000000 -0.0560879 0.0504004