VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=10, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Sep 02 15:26:00 2011]
Original[020911-e1.dat]
Angstroms
4000.000000	40.000000	39.240799	160.8985	0.0715961	0.265968
4100.000000	40.000000	39.377655	161.17303	0.0584078	0.201596
4200.000000	40.000000	39.50671	161.52043	0.0666673	0.23485
4300.000000	40.000000	39.621101	161.785	0.070903	0.254741
4400.000000	40.000000	39.737095	162.15845	0.0705343	0.258813
4500.000000	40.000000	39.858982	162.42157	0.0525806	0.196785
4600.000000	40.000000	39.944069	162.72623	0.067152	0.23353
4700.000000	40.000000	40.023685	162.99434	0.0619899	0.219459
4800.000000	40.000000	40.123024	163.22905	0.0662502	0.238493
4900.000000	40.000000	40.182251	163.57506	0.0582561	0.213648
5000.000000	40.000000	40.254139	163.72894	0.0617982	0.23059
5100.000000	40.000000	40.340401	163.97691	0.0627853	0.218291
5200.000000	40.000000	40.401848	164.24574	0.0667411	0.235791
5300.000000	40.000000	40.460381	164.50041	0.0644148	0.230931
5400.000000	40.000000	40.511616	164.72774	0.0465342	0.169778
5500.000000	40.000000	40.575485	164.87979	0.0638471	0.236442
5600.000000	40.000000	40.610802	165.07828	0.0579304	0.218056
5700.000000	40.000000	40.686108	165.29179	0.0582499	0.204429
5800.000000	40.000000	40.724514	165.46672	0.0628177	0.223864
5900.000000	40.000000	40.777847	165.66183	0.069268	0.250566
6000.000000	40.000000	40.82996	165.87372	0.0581308	0.213343
6100.000000	40.000000	40.869896	165.99496	0.0489768	0.182345
6200.000000	40.000000	40.918987	166.18398	0.0602384	0.210006
6300.000000	40.000000	40.946045	166.32097	0.0708108	0.250069
6400.000000	40.000000	40.990704	166.44113	0.0621148	0.222345
6500.000000	40.000000	41.020397	166.60123	0.0591584	0.214592
6600.000000	40.000000	41.051754	166.73259	0.0591444	0.217265
6700.000000	40.000000	41.096539	166.89848	0.0540628	0.2012
6800.000000	40.000000	41.143398	167.06097	0.0757451	0.26453
6900.000000	40.000000	41.176762	167.16122	0.0668415	0.236281
7000.000000	40.000000	41.208469	167.32352	0.0637896	0.22809
7100.000000	40.000000	41.235062	167.4557	0.0551362	0.199636
7200.000000	40.000000	41.2644	167.53674	0.0646045	0.236755
7300.000000	40.000000	41.308796	167.62335	0.0604526	0.224103
7400.000000	40.000000	41.348522	167.76851	0.0635845	0.221633
7500.000000	40.000000	41.354828	167.90196	0.0740313	0.261007
7600.000000	40.000000	41.379868	168.04614	0.0765635	0.272896
7700.000000	40.000000	41.408909	168.1599	0.0569162	0.205196
7800.000000	40.000000	41.436062	168.18268	0.0672767	0.245062
7900.000000	40.000000	41.475845	168.32243	0.0596345	0.219598
8000.000000	40.000000	41.488735	168.41592	0.0557133	0.207484
4000.000000	45.000000	37.693375	154.87619	0.0573553	0.209204
4100.000000	45.000000	37.852283	155.2654	0.0704017	0.240941
4200.000000	45.000000	38.017445	155.66597	0.0743987	0.259955
4300.000000	45.000000	38.167065	156.03732	0.0735219	0.261671
4400.000000	45.000000	38.296844	156.39348	0.0486788	0.176634
4500.000000	45.000000	38.434917	156.83759	0.0565893	0.209425
4600.000000	45.000000	38.54937	157.20169	0.0671521	0.231806
4700.000000	45.000000	38.667961	157.62741	0.0635095	0.223156
4800.000000	45.000000	38.771641	157.97536	0.0568956	0.2032
4900.000000	45.000000	38.867699	158.31754	0.0519015	0.188815
5000.000000	45.000000	38.954659	158.60562	0.0503862	0.186411
5100.000000	45.000000	39.047287	158.84291	0.0557278	0.192734
5200.000000	45.000000	39.130215	159.24023	0.0725063	0.254622
5300.000000	45.000000	39.19347	159.50092	0.0495092	0.176742
5400.000000	45.000000	39.274628	159.84482	0.0602314	0.218078
5500.000000	45.000000	39.324783	160.13817	0.0588134	0.21636
5600.000000	45.000000	39.399181	160.30562	0.0480843	0.179608
5700.000000	45.000000	39.470242	160.63199	0.0614287	0.214729
5800.000000	45.000000	39.536499	160.86685	0.0617847	0.219003
5900.000000	45.000000	39.589073	161.13506	0.0608276	0.218699
6000.000000	45.000000	39.643238	161.30431	0.0511269	0.186453
6100.000000	45.000000	39.690208	161.54799	0.046606	0.172411
6200.000000	45.000000	39.750275	161.75668	0.0680388	0.236126
6300.000000	45.000000	39.801132	161.98396	0.0556718	0.195836
6400.000000	45.000000	39.848969	162.16847	0.0650877	0.231923
6500.000000	45.000000	39.908794	162.36494	0.0612451	0.221174
6600.000000	45.000000	39.945667	162.57436	0.0543801	0.19893
6700.000000	45.000000	40.002148	162.75537	0.0530365	0.196508
6800.000000	45.000000	40.053703	162.84584	0.0585876	0.203832
6900.000000	45.000000	40.092419	163.09637	0.0703947	0.247933
7000.000000	45.000000	40.133282	163.26649	0.0569586	0.203032
7100.000000	45.000000	40.167515	163.42535	0.0653028	0.235533
7200.000000	45.000000	40.204533	163.58813	0.0463263	0.169094
7300.000000	45.000000	40.236397	163.722	0.0571596	0.210959
7400.000000	45.000000	40.280788	163.90125	0.0694332	0.2415
7500.000000	45.000000	40.319828	164.06705	0.0552857	0.194285
7600.000000	45.000000	40.325542	164.25826	0.0632124	0.22454
7700.000000	45.000000	40.39307	164.30789	0.0552818	0.198727
7800.000000	45.000000	40.421593	164.52174	0.0694193	0.251957
7900.000000	45.000000	40.445492	164.67444	0.0551579	0.202447
8000.000000	45.000000	40.480373	164.75325	0.0587451	0.217841
4000.000000	50.000000	36.005596	147.26894	0.0653303	0.231697
4100.000000	50.000000	36.186382	147.77916	0.0703695	0.237203
4200.000000	50.000000	36.389828	148.39322	0.0625378	0.214864
4300.000000	50.000000	36.564571	148.91946	0.0536117	0.187687
4400.000000	50.000000	36.720356	149.3587	0.0834551	0.297492
4500.000000	50.000000	36.856812	149.94504	0.0481531	0.174892
4600.000000	50.000000	37.013973	150.43257	0.0569438	0.19411
4700.000000	50.000000	37.141735	150.93381	0.0557918	0.193541
4800.000000	50.000000	37.25288	151.36778	0.0496708	0.174991
4900.000000	50.000000	37.366844	151.80801	0.0535337	0.191709
5000.000000	50.000000	37.465	152.1873	0.0541016	0.1971
5100.000000	50.000000	37.569679	152.59441	0.0555524	0.190127
5200.000000	50.000000	37.661438	153.03957	0.0583285	0.202541
5300.000000	50.000000	37.75666	153.4174	0.0507969	0.179121
5400.000000	50.000000	37.835381	153.79013	0.0433225	0.155073
5500.000000	50.000000	37.907654	154.07613	0.041929	0.152259
5600.000000	50.000000	37.995701	154.50563	0.0393587	0.145174
5700.000000	50.000000	38.076542	154.86101	0.0552379	0.191367
5800.000000	50.000000	38.158909	155.13452	0.0469179	0.164864
5900.000000	50.000000	38.197788	155.48024	0.0474294	0.168967
6000.000000	50.000000	38.295177	155.81766	0.0482661	0.174329
6100.000000	50.000000	38.345917	156.10379	0.063103	0.230992
6200.000000	50.000000	38.417065	156.29541	0.0616397	0.212271
6300.000000	50.000000	38.478794	156.62254	0.0497664	0.173784
6400.000000	50.000000	38.551342	156.83449	0.0596618	0.210609
6500.000000	50.000000	38.568771	157.21208	0.0503685	0.180422
6600.000000	50.000000	38.651279	157.41748	0.0549918	0.199328
6700.000000	50.000000	38.70105	157.6284	0.058904	0.216212
6800.000000	50.000000	38.749599	157.86156	0.0530388	0.183427
6900.000000	50.000000	38.805073	158.06361	0.0565494	0.197815
7000.000000	50.000000	38.843559	158.28029	0.0557374	0.197368
7100.000000	50.000000	38.897148	158.5202	0.0425835	0.152414
7200.000000	50.000000	38.946823	158.74809	0.050473	0.182908
7300.000000	50.000000	38.99509	158.89883	0.053633	0.196511
7400.000000	50.000000	39.031654	159.16357	0.0635794	0.219925
7500.000000	50.000000	39.092777	159.37061	0.0689591	0.24102
7600.000000	50.000000	39.145409	159.59404	0.0606165	0.214296
7700.000000	50.000000	39.17226	159.70949	0.052327	0.186923
7800.000000	50.000000	39.216141	159.94969	0.0717655	0.25923
7900.000000	50.000000	39.266155	160.03502	0.0562953	0.205267
8000.000000	50.000000	39.296261	160.27301	0.0475102	0.175062
4000.000000	55.000000	34.204361	138.00478	0.0676743	0.229304
4100.000000	55.000000	34.419373	138.73811	0.0829005	0.272381
4200.000000	55.000000	34.623791	139.20685	0.063926	0.213067
4300.000000	55.000000	34.809784	140.00015	0.0614677	0.208551
4400.000000	55.000000	34.986435	140.67175	0.0572234	0.197416
4500.000000	55.000000	35.144985	141.27177	0.0467535	0.164257
4600.000000	55.000000	35.312778	141.9642	0.0758701	0.252949
4700.000000	55.000000	35.468563	142.54388	0.047312	0.160302
4800.000000	55.000000	35.587456	143.17026	0.0624915	0.21487
4900.000000	55.000000	35.712704	143.70264	0.0499364	0.174255
5000.000000	55.000000	35.830761	144.32117	0.0629019	0.223133
5100.000000	55.000000	35.943893	144.78885	0.0522324	0.175549
5200.000000	55.000000	36.051098	145.25836	0.0523768	0.178378
5300.000000	55.000000	36.143776	145.83171	0.0727722	0.251278
5400.000000	55.000000	36.242035	146.28502	0.0459224	0.160953
5500.000000	55.000000	36.319916	146.65215	0.0494442	0.175516
5600.000000	55.000000	36.427052	147.03001	0.0438667	0.158096
5700.000000	55.000000	36.494152	147.47908	0.0536985	0.18325
5800.000000	55.000000	36.569275	148.01933	0.068437	0.236619
5900.000000	55.000000	36.669346	148.31046	0.0607004	0.212331
6000.000000	55.000000	36.740391	148.68716	0.0390839	0.138521
6100.000000	55.000000	36.804245	149.15698	0.0425667	0.152968
6200.000000	55.000000	36.891239	149.40262	0.0567287	0.192993
6300.000000	55.000000	36.949379	149.84769	0.0645188	0.222099
6400.000000	55.000000	37.020649	150.1059	0.0593272	0.206567
6500.000000	55.000000	37.086609	150.54112	0.042013	0.14817
6600.000000	55.000000	37.138569	150.77879	0.0358296	0.127756
6700.000000	55.000000	37.205513	151.0818	0.0313276	0.113096
6800.000000	55.000000	37.275719	151.4357	0.0507165	0.173544
6900.000000	55.000000	37.331997	151.71169	0.0527614	0.18236
7000.000000	55.000000	37.412529	152.05724	0.0503984	0.176214
7100.000000	55.000000	37.45829	152.36734	0.0564463	0.199761
7200.000000	55.000000	37.500023	152.56561	0.0456603	0.163333
7300.000000	55.000000	37.547516	152.8268	0.0477746	0.172703
7400.000000	55.000000	37.622295	153.07091	0.0503751	0.17262
7500.000000	55.000000	37.675301	153.35005	0.0512958	0.177645
7600.000000	55.000000	37.716599	153.65491	0.0705815	0.246945
7700.000000	55.000000	37.768387	153.88684	0.0538902	0.190381
7800.000000	55.000000	37.799843	154.16658	0.0816002	0.291297
7900.000000	55.000000	37.860157	154.37491	0.0564582	0.203683
8000.000000	55.000000	37.909721	154.56415	0.054035	0.196841
4000.000000	60.000000	32.490643	126.18353	0.0584161	0.184752
4100.000000	60.000000	32.670025	127.02648	0.0662729	0.208117
4200.000000	60.000000	32.887321	127.83937	0.059496	0.189115
4300.000000	60.000000	33.089512	128.74286	0.0531524	0.17104
4400.000000	60.000000	33.240482	129.52357	0.0542512	0.177347
4500.000000	60.000000	33.410694	130.35234	0.0409944	0.135994
4600.000000	60.000000	33.560673	131.38431	0.0753288	0.242427
4700.000000	60.000000	33.722912	132.03732	0.0622878	0.202882
4800.000000	60.000000	33.830078	132.72707	0.0549679	0.180904
4900.000000	60.000000	33.952892	133.5058	0.0621322	0.207374
5000.000000	60.000000	34.071945	134.07932	0.0475949	0.160907
5100.000000	60.000000	34.18544	134.73137	0.0527498	0.17161
5200.000000	60.000000	34.29414	135.45218	0.0473557	0.156147
5300.000000	60.000000	34.380772	136.07401	0.0581329	0.193732
5400.000000	60.000000	34.473148	136.64212	0.0446649	0.150593
5500.000000	60.000000	34.582684	137.16534	0.0407811	0.1392
5600.000000	60.000000	34.677631	137.71965	0.0445405	0.154199
5700.000000	60.000000	34.759693	138.2937	0.0498875	0.165435
5800.000000	60.000000	34.850529	138.8161	0.0518828	0.17394
5900.000000	60.000000	34.935234	139.32632	0.045123	0.153032
6000.000000	60.000000	34.993366	139.7565	0.0405306	0.139003
6100.000000	60.000000	35.076904	140.24902	0.0431147	0.149762
6200.000000	60.000000	35.173359	140.66328	0.0529818	0.175958
6300.000000	60.000000	35.252338	141.28433	0.0617199	0.207405
6400.000000	60.000000	35.312668	141.63461	0.035834	0.121668
6500.000000	60.000000	35.375641	141.98048	0.0408196	0.139994
6600.000000	60.000000	35.451267	142.43712	0.037145	0.128781
6700.000000	60.000000	35.52636	142.86876	0.049052	0.172255
6800.000000	60.000000	35.592381	143.23807	0.0448698	0.150468
6900.000000	60.000000	35.655994	143.54839	0.0340035	0.11517
7000.000000	60.000000	35.70348	143.99809	0.0451549	0.154634
7100.000000	60.000000	35.787598	144.29561	0.0498067	0.172029
7200.000000	60.000000	35.827915	144.68217	0.0389802	0.136199
7300.000000	60.000000	35.881744	145.02502	0.0455658	0.160795
7400.000000	60.000000	35.944031	145.36528	0.0374685	0.126327
7500.000000	60.000000	36.002449	145.77695	0.0544006	0.185137
7600.000000	60.000000	36.070919	146.08739	0.0574552	0.197326
7700.000000	60.000000	36.113892	146.34683	0.0525814	0.182267
7800.000000	60.000000	36.149521	146.66116	0.0554524	0.194046
7900.000000	60.000000	36.215576	146.88991	0.0495778	0.175088
8000.000000	60.000000	36.267673	147.12175	0.0427175	0.152219
4000.000000	65.000000	31.054277	111.40209	0.0823038	0.238049
4100.000000	65.000000	31.203585	112.52078	0.0655472	0.193988
4200.000000	65.000000	31.390049	113.59587	0.0685712	0.20385
4300.000000	65.000000	31.543463	114.52947	0.0605768	0.180884
4400.000000	65.000000	31.671665	115.55618	0.0471903	0.142122
4500.000000	65.000000	31.839788	116.54993	0.048231	0.146411
4600.000000	65.000000	31.970213	117.50717	0.0745643	0.225596
4700.000000	65.000000	32.082298	118.47457	0.0522259	0.158938
4800.000000	65.000000	32.179287	119.37984	0.0538153	0.16516
4900.000000	65.000000	32.298676	120.29259	0.075452	0.233569
5000.000000	65.000000	32.388657	120.94045	0.0667938	0.208155
5100.000000	65.000000	32.487526	121.95276	0.0613005	0.189311
5200.000000	65.000000	32.570179	122.71462	0.0563434	0.1751
5300.000000	65.000000	32.657143	123.37227	0.0567821	0.177804
5400.000000	65.000000	32.710735	124.15532	0.053306	0.168519
5500.000000	65.000000	32.801937	124.90334	0.0503014	0.160714
5600.000000	65.000000	32.885368	125.45084	0.05839	0.188081
5700.000000	65.000000	32.998726	126.1934	0.0716868	0.226212
5800.000000	65.000000	33.054951	126.93493	0.0533851	0.169713
5900.000000	65.000000	33.124741	127.48372	0.0529865	0.169791
6000.000000	65.000000	33.201611	128.16325	0.0560488	0.181983
6100.000000	65.000000	33.288853	128.60939	0.0368826	0.120557
6200.000000	65.000000	33.336727	129.29546	0.0763044	0.243478
6300.000000	65.000000	33.403934	129.75128	0.0591487	0.19011
6400.000000	65.000000	33.47752	130.39589	0.075319	0.244241
6500.000000	65.000000	33.551136	130.95834	0.0577724	0.189028
6600.000000	65.000000	33.624081	131.40343	0.0416119	0.137133
6700.000000	65.000000	33.658176	131.98013	0.0679982	0.226295
6800.000000	65.000000	33.737099	132.54501	0.062891	0.203724
6900.000000	65.000000	33.788792	133.06529	0.0573952	0.187356
7000.000000	65.000000	33.848846	133.32732	0.0492527	0.161625
7100.000000	65.000000	33.925343	133.79549	0.0600515	0.198803
7200.000000	65.000000	33.984177	134.14259	0.0404585	0.135256
7300.000000	65.000000	34.049385	134.72246	0.031589	0.10663
7400.000000	65.000000	34.091496	135.09178	0.0550824	0.179564
7500.000000	65.000000	34.173847	135.5457	0.0581842	0.191141
7600.000000	65.000000	34.207726	135.85216	0.0567668	0.187921
7700.000000	65.000000	34.262878	136.29541	0.0495943	0.165872
7800.000000	65.000000	34.273426	136.63272	0.0549209	0.184968
7900.000000	65.000000	34.360073	137.0085	0.0447147	0.151494
8000.000000	65.000000	34.378273	137.42467	0.0638659	0.218958