VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=1000, MaxRevs=1000, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Thu Feb 04 16:55:14 2010]
Original[040210 500z30cu0.05 align out with tape zone on 1000 revs meas.dat]
Angstroms
3200.000000	55.000000	14.789055	111.63007	0.255255	1.40344
3300.000000	55.000000	14.938137	110.41764	0.157262	0.818268
3400.000000	55.000000	14.989319	111.43969	0.135349	0.712432
3500.000000	55.000000	15.334233	112.11594	0.0885461	0.456515
3600.000000	55.000000	16.155491	114.83531	0.0802047	0.399041
3700.000000	55.000000	17.317322	124.1497	0.0640759	0.313437
3800.000000	55.000000	16.02792	148.45546	0.0388745	0.28294
3900.000000	55.000000	15.350544	135.20888	0.0444846	0.410948
4000.000000	55.000000	16.605234	116.24303	0.0511759	0.358704
4100.000000	55.000000	17.963907	111.32555	0.0557996	0.308995
4200.000000	55.000000	18.87701	112.36047	0.0493581	0.243231
4300.000000	55.000000	19.429382	115.02429	0.048977	0.228096
4400.000000	55.000000	19.718946	118.13935	0.0450132	0.207322
4500.000000	55.000000	19.841347	121.18398	0.043294	0.201279
4600.000000	55.000000	19.861324	124.11175	0.0451694	0.207969
4700.000000	55.000000	19.806522	126.86617	0.0401439	0.188611
4800.000000	55.000000	19.708261	129.40674	0.0383918	0.184438
4900.000000	55.000000	19.583975	131.72667	0.0353781	0.174747
5000.000000	55.000000	19.465181	133.87177	0.0354824	0.180334
5100.000000	55.000000	19.322302	135.95242	0.0355934	0.176709
5200.000000	55.000000	19.177876	137.90126	0.0326697	0.166466
5300.000000	55.000000	19.034502	139.70743	0.032712	0.171117
5400.000000	55.000000	18.895332	141.41953	0.0307873	0.165406
5500.000000	55.000000	18.753038	143.04027	0.031062	0.171448
5600.000000	55.000000	18.620438	144.59361	0.0305832	0.173444
5700.000000	55.000000	18.488392	146.1292	0.0335514	0.182684
5800.000000	55.000000	18.352182	147.56097	0.0305109	0.170153
5900.000000	55.000000	18.222057	148.9373	0.0311362	0.178272
6000.000000	55.000000	18.09816	150.24948	0.0318282	0.186663
6100.000000	55.000000	17.972778	151.50537	0.031833	0.191194
6200.000000	55.000000	17.855345	152.77866	0.0324066	0.185781
6300.000000	55.000000	17.73477	153.98026	0.0322325	0.188819
6400.000000	55.000000	17.620272	155.12248	0.0329396	0.197134
6500.000000	55.000000	17.506069	156.24202	0.0327693	0.20036
6600.000000	55.000000	17.394812	157.32236	0.0328447	0.205069
6700.000000	55.000000	17.282354	158.39177	0.0329922	0.210438
6800.000000	55.000000	17.173687	159.41115	0.0324253	0.196897
6900.000000	55.000000	17.06497	160.42398	0.0332163	0.205738
7000.000000	55.000000	16.96088	161.39468	0.0326611	0.20628
7100.000000	55.000000	16.860746	162.30101	0.0329797	0.212261
7200.000000	55.000000	16.753927	163.20117	0.0336053	0.22058
7300.000000	55.000000	16.652691	164.13869	0.0333012	0.222737
7400.000000	55.000000	16.562967	164.97804	0.0351511	0.222729
7500.000000	55.000000	16.471174	165.80138	0.0345758	0.222959
7600.000000	55.000000	16.371601	166.65506	0.0324879	0.213208
7700.000000	55.000000	16.274321	167.42914	0.0339999	0.22693
7800.000000	55.000000	16.179794	168.25954	0.0323134	0.219628
7900.000000	55.000000	16.086533	169.03084	0.0329547	0.22821
8000.000000	55.000000	15.992573	169.74515	0.0384097	0.270694
8100.000000	55.000000	15.901982	170.46338	0.0322262	0.214731
8200.000000	55.000000	15.823984	171.1651	0.0351065	0.238031
8300.000000	55.000000	15.74181	171.87279	0.0340796	0.235177
8400.000000	55.000000	15.652051	172.58238	0.0334049	0.233805
8500.000000	55.000000	15.575362	173.28441	0.036046	0.255787
8600.000000	55.000000	15.494869	173.91776	0.0363632	0.26213
8700.000000	55.000000	15.407184	174.6076	0.0365148	0.24993
8800.000000	55.000000	15.315944	175.30635	0.0374078	0.260185
8900.000000	55.000000	15.249921	175.7892	0.0367803	0.259471
9000.000000	55.000000	15.171677	176.3638	0.0373492	0.268067
9100.000000	55.000000	15.093166	176.9837	0.0356869	0.259837
9200.000000	55.000000	15.016258	177.5428	0.0362567	0.26781
9300.000000	55.000000	14.93239	178.16473	0.0362412	0.271533
9400.000000	55.000000	14.856772	178.74484	0.0371705	0.264181
9500.000000	55.000000	14.782167	179.27525	0.0377196	0.27175
9600.000000	55.000000	14.715693	179.78288	0.0369313	0.269598
9700.000000	55.000000	14.638401	180.31908	0.0365767	0.270564
9800.000000	55.000000	14.568311	180.84111	0.0369886	0.277124
9900.000000	55.000000	14.49775	181.35704	0.0355686	0.26994
10000.000000	55.000000	14.440485	181.76227	0.0360051	0.276688
10100.000000	55.000000	14.370083	182.26596	0.0370059	0.270219
10200.000000	55.000000	14.308564	182.74464	0.0344057	0.254254
10300.000000	55.000000	14.243899	183.25722	0.034018	0.25426
10400.000000	55.000000	14.174746	183.69167	0.0318425	0.241477
10500.000000	55.000000	14.112669	184.27098	0.0349287	0.267673
10600.000000	55.000000	14.271429	183.82219	0.0256814	0.195773
10700.000000	55.000000	14.209901	184.28729	0.0266389	0.205587
10800.000000	55.000000	14.141742	184.77602	0.0258497	0.202349
10900.000000	55.000000	14.07475	185.207	0.0276669	0.206283
11000.000000	55.000000	14.008145	185.64934	0.0299815	0.225704
11100.000000	55.000000	13.950239	186.04947	0.0291417	0.22218
11200.000000	55.000000	13.887948	186.46027	0.0281784	0.217262
11300.000000	55.000000	13.824639	186.8622	0.0283854	0.220861
11400.000000	55.000000	13.769003	187.3004	0.0279009	0.219312
11500.000000	55.000000	13.699853	187.65312	0.0292897	0.232927
11600.000000	55.000000	13.643559	188.11006	0.0340973	0.258436
11700.000000	55.000000	13.58687	188.44206	0.0312701	0.239772
11800.000000	55.000000	13.530359	188.79543	0.0316076	0.245324
11900.000000	55.000000	13.475995	189.18015	0.0280926	0.219968
12000.000000	55.000000	13.42557	189.53107	0.0295614	0.233572
12100.000000	55.000000	13.36215	189.86511	0.0278176	0.221659
12200.000000	55.000000	13.313139	190.2171	0.0310368	0.249739
12300.000000	55.000000	13.262568	190.5406	0.0299892	0.243832
12400.000000	55.000000	13.212087	190.88814	0.0311189	0.241061
12500.000000	55.000000	13.160395	191.24323	0.0353875	0.277736
12600.000000	55.000000	13.101373	191.70435	0.0329261	0.261231
12700.000000	55.000000	13.058025	191.9594	0.0304852	0.2449
12800.000000	55.000000	13.011806	192.23457	0.0312373	0.252268
12900.000000	55.000000	12.962995	192.62732	0.0317904	0.258544
13000.000000	55.000000	12.910803	192.96579	0.0319159	0.262174
13100.000000	55.000000	12.865429	193.22777	0.0323286	0.268055
13200.000000	55.000000	12.816598	193.53908	0.034544	0.273672
13300.000000	55.000000	12.764421	193.8517	0.0306117	0.244841
13400.000000	55.000000	12.711694	194.20955	0.0332827	0.268433
13500.000000	55.000000	12.660542	194.51776	0.0343741	0.279868
13600.000000	55.000000	12.601065	194.82063	0.0305109	0.25063
13700.000000	55.000000	12.56486	195.15652	0.0323639	0.269296
13800.000000	55.000000	12.514452	195.39621	0.0300938	0.251958
13900.000000	55.000000	12.459803	195.75003	0.0304629	0.256543
14000.000000	55.000000	12.412374	195.97984	0.0281586	0.239625
14100.000000	55.000000	12.360108	196.2278	0.0345431	0.281265
14200.000000	55.000000	12.32424	196.61794	0.0338928	0.27902
14300.000000	55.000000	12.279752	196.89749	0.0343734	0.285209
14400.000000	55.000000	12.22802	197.16873	0.0351016	0.2934
14500.000000	55.000000	12.175973	197.41241	0.0343084	0.288786
14600.000000	55.000000	12.139077	197.67897	0.0321042	0.272243
14700.000000	55.000000	12.081741	197.96205	0.0315954	0.271045
14800.000000	55.000000	12.039886	198.15196	0.0302499	0.263753
14900.000000	55.000000	11.995936	198.52702	0.0314433	0.261241
15000.000000	55.000000	11.941871	198.76999	0.03237	0.270374
dpolE	3200.000000	55.000000	2.84108	1.56341
dpolE	3300.000000	55.000000	1.12511	0.941732
dpolE	3400.000000	55.000000	1.56666	0.819141
dpolE	3500.000000	55.000000	1.5728	0.561449
dpolE	3600.000000	55.000000	1.33554	0.542657
dpolE	3700.000000	55.000000	1.52502	0.412345
dpolE	3800.000000	55.000000	8.14745	0.178995
dpolE	3900.000000	55.000000	15.0415	0.182435
dpolE	4000.000000	55.000000	15.6049	0.257243
dpolE	4100.000000	55.000000	13.0067	0.310305
dpolE	4200.000000	55.000000	10.002	0.314812
dpolE	4300.000000	55.000000	7.63799	0.335589
dpolE	4400.000000	55.000000	5.79925	0.3231
dpolE	4500.000000	55.000000	4.54753	0.317216
dpolE	4600.000000	55.000000	3.64385	0.310374
dpolE	4700.000000	55.000000	2.98911	0.276531
dpolE	4800.000000	55.000000	2.49271	0.264577
dpolE	4900.000000	55.000000	2.14549	0.2426
dpolE	5000.000000	55.000000	1.87213	0.24182
dpolE	5100.000000	55.000000	1.64972	0.228555
dpolE	5200.000000	55.000000	1.49253	0.207841
dpolE	5300.000000	55.000000	1.35269	0.206082
dpolE	5400.000000	55.000000	1.24578	0.191902
dpolE	5500.000000	55.000000	1.14595	0.191402
dpolE	5600.000000	55.000000	1.08737	0.186185
dpolE	5700.000000	55.000000	1.00279	0.196194
dpolE	5800.000000	55.000000	0.943007	0.17624
dpolE	5900.000000	55.000000	0.891762	0.177766
dpolE	6000.000000	55.000000	0.8569	0.179481
dpolE	6100.000000	55.000000	0.799493	0.177252
dpolE	6200.000000	55.000000	0.760013	0.176426
dpolE	6300.000000	55.000000	0.72594	0.173266
dpolE	6400.000000	55.000000	0.708414	0.174836
dpolE	6500.000000	55.000000	0.684261	0.171684
dpolE	6600.000000	55.000000	0.653617	0.169886
dpolE	6700.000000	55.000000	0.641146	0.168329
dpolE	6800.000000	55.000000	0.598422	0.164484
dpolE	6900.000000	55.000000	0.570975	0.166325
dpolE	7000.000000	55.000000	0.5751	0.161499
dpolE	7100.000000	55.000000	0.550004	0.161099
dpolE	7200.000000	55.000000	0.551696	0.162008
dpolE	7300.000000	55.000000	0.523049	0.158507
dpolE	7400.000000	55.000000	0.501464	0.16833
dpolE	7500.000000	55.000000	0.513245	0.163581
dpolE	7600.000000	55.000000	0.507513	0.151811
dpolE	7700.000000	55.000000	0.48009	0.157034
dpolE	7800.000000	55.000000	0.458025	0.147748
dpolE	7900.000000	55.000000	0.461683	0.14872
dpolE	8000.000000	55.000000	0.489042	0.171285
dpolE	8100.000000	55.000000	0.445058	0.145895
dpolE	8200.000000	55.000000	0.422822	0.156956
dpolE	8300.000000	55.000000	0.43747	0.150462
dpolE	8400.000000	55.000000	0.431939	0.146045
dpolE	8500.000000	55.000000	0.415827	0.156131
dpolE	8600.000000	55.000000	0.399428	0.155833
dpolE	8700.000000	55.000000	0.384367	0.159174
dpolE	8800.000000	55.000000	0.367638	0.161191
dpolE	8900.000000	55.000000	0.399045	0.156962
dpolE	9000.000000	55.000000	0.398556	0.157896
dpolE	9100.000000	55.000000	0.390339	0.149439
dpolE	9200.000000	55.000000	0.392217	0.150403
dpolE	9300.000000	55.000000	0.377586	0.148944
dpolE	9400.000000	55.000000	0.339391	0.156044
dpolE	9500.000000	55.000000	0.342447	0.15689
dpolE	9600.000000	55.000000	0.357029	0.152272
dpolE	9700.000000	55.000000	0.344155	0.149498
dpolE	9800.000000	55.000000	0.331181	0.149962
dpolE	9900.000000	55.000000	0.332084	0.143033
dpolE	10000.000000	55.000000	0.3557	0.143692
dpolE	10100.000000	55.000000	0.34651	0.150783
dpolE	10200.000000	55.000000	0.354363	0.139095
dpolE	10300.000000	55.000000	0.351994	0.136523
dpolE	10400.000000	55.000000	0.338351	0.126941
dpolE	10500.000000	55.000000	0.287184	0.138466
dpolE	10600.000000	55.000000	0.262546	0.102641
dpolE	10700.000000	55.000000	0.264899	0.105747
dpolE	10800.000000	55.000000	0.294471	0.101765
dpolE	10900.000000	55.000000	0.285504	0.11103
dpolE	11000.000000	55.000000	0.282729	0.119618
dpolE	11100.000000	55.000000	0.267741	0.115409
dpolE	11200.000000	55.000000	0.269387	0.110874
dpolE	11300.000000	55.000000	0.260914	0.111158
dpolE	11400.000000	55.000000	0.242704	0.108722
dpolE	11500.000000	55.000000	0.25928	0.113367
dpolE	11600.000000	55.000000	0.261533	0.134418
dpolE	11700.000000	55.000000	0.257514	0.1224
dpolE	11800.000000	55.000000	0.234856	0.1228
dpolE	11900.000000	55.000000	0.23429	0.10866
dpolE	12000.000000	55.000000	0.27971	0.11384
dpolE	12100.000000	55.000000	0.235951	0.106721
dpolE	12200.000000	55.000000	0.232836	0.118519
dpolE	12300.000000	55.000000	0.24505	0.113901
dpolE	12400.000000	55.000000	0.231237	0.120258
dpolE	12500.000000	55.000000	0.264212	0.13619
dpolE	12600.000000	55.000000	0.225794	0.126021
dpolE	12700.000000	55.000000	0.236985	0.115723
dpolE	12800.000000	55.000000	0.259583	0.11858
dpolE	12900.000000	55.000000	0.218001	0.120522
dpolE	13000.000000	55.000000	0.234415	0.120522
dpolE	13100.000000	55.000000	0.247732	0.121522
dpolE	13200.000000	55.000000	0.209523	0.131643
dpolE	13300.000000	55.000000	0.223354	0.116072
dpolE	13400.000000	55.000000	0.199301	0.125777
dpolE	13500.000000	55.000000	0.234195	0.129313
dpolE	13600.000000	55.000000	0.214652	0.114358
dpolE	13700.000000	55.000000	0.203244	0.120163
dpolE	13800.000000	55.000000	0.246666	0.111756
dpolE	13900.000000	55.000000	0.230777	0.113161
dpolE	14000.000000	55.000000	0.222225	0.103963
dpolE	14100.000000	55.000000	0.229914	0.12891
dpolE	14200.000000	55.000000	0.220088	0.125534
dpolE	14300.000000	55.000000	0.238398	0.126955
dpolE	14400.000000	55.000000	0.237203	0.129431
dpolE	14500.000000	55.000000	0.235748	0.126292
dpolE	14600.000000	55.000000	0.207545	0.118567
dpolE	14700.000000	55.000000	0.210949	0.115954
dpolE	14800.000000	55.000000	0.212585	0.109407
dpolE	14900.000000	55.000000	0.218667	0.115685
dpolE	15000.000000	55.000000	0.184741	0.119192