VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Mar 27 15:14:17 2009]
Original[270309 513888-24 pg align in.dat]
nm
300.000000	65.000000	17.830555	24.418331	1.22522	7.40671
310.000000	65.000000	19.751591	30.298782	1.40355	8.78635
320.000000	65.000000	18.312466	18.635632	2.02028	11.9777
330.000000	65.000000	20.144348	34.53437	2.77152	14.9493
340.000000	65.000000	20.955252	31.260534	2.56816	14.949
350.000000	65.000000	19.145342	16.535887	3.41434	28.4189
360.000000	65.000000	30.530319	-5.7418809	9.33766	24.8533
370.000000	65.000000	20.303061	20.073656	2.23287	11.0044
380.000000	65.000000	19.458256	11.124934	0.311499	1.7748
390.000000	65.000000	19.875351	10.493825	0.341794	1.89519
400.000000	65.000000	20.105064	11.33007	0.161244	0.916896
410.000000	65.000000	21.044178	10.360271	0.129514	0.664011
420.000000	65.000000	21.358065	9.2786226	0.13891	0.720711
430.000000	65.000000	19.795937	13.312983	0.0799916	0.439518
440.000000	65.000000	24.672956	14.287015	0.0828503	0.383657
450.000000	65.000000	17.983868	4.3763223	0.113717	0.750721
460.000000	65.000000	25.804617	22.438988	0.100493	0.430332
470.000000	65.000000	14.915376	-2.3925934	0.205271	1.73069
480.000000	65.000000	31.979322	23.434809	0.0842163	0.323513
490.000000	65.000000	18.427658	47.156712	0.117674	0.619986
500.000000	65.000000	36.790272	-23.605371	0.188288	0.907253
510.000000	65.000000	31.043726	39.030563	0.0671013	0.234217
520.000000	65.000000	16.988976	66.485397	0.128429	0.65241
530.000000	65.000000	37.183556	-64.906303	0.238708	1.19955
540.000000	65.000000	36.385162	36.353218	0.0750134	0.257064
550.000000	65.000000	24.899645	57.723148	0.0731137	0.272349
560.000000	65.000000	12.623479	115.54136	0.216106	2.06516
570.000000	65.000000	55.229843	-39.339672	0.274664	2.77828
580.000000	65.000000	38.707577	45.198994	0.0731441	0.227393
590.000000	65.000000	28.353067	59.963142	0.0742113	0.245272
600.000000	65.000000	17.695086	88.936378	0.106613	0.474385
610.000000	65.000000	20.015903	199.30127	0.257409	1.9954
620.000000	65.000000	61.341518	30.118961	0.162265	1.44573
630.000000	65.000000	39.952587	51.190254	0.0842404	0.248279
640.000000	65.000000	30.652082	61.680637	0.0753647	0.233165
650.000000	65.000000	22.728075	81.210556	0.0902384	0.317766
660.000000	65.000000	14.573617	125.29436	0.143213	0.950231
670.000000	65.000000	25.013144	214.49933	0.248424	1.31809
680.000000	65.000000	63.286846	-31.889393	0.231451	5.59147
690.000000	65.000000	45.969322	51.299679	0.0940895	0.276841
700.000000	65.000000	34.625523	58.041489	0.0736389	0.217647
710.000000	65.000000	28.177607	69.243668	0.0709146	0.22035
720.000000	65.000000	21.476931	87.890686	0.0917821	0.331285
730.000000	65.000000	14.792801	125.97836	0.125693	0.793812
740.000000	65.000000	17.928097	196.43787	0.184542	1.19798
750.000000	65.000000	40.080746	227.07071	0.283388	0.981787
760.000000	65.000000	68.174309	76.986656	0.225859	2.85496
770.000000	65.000000	49.34729	60.200603	0.0839663	0.236403
780.000000	65.000000	37.708233	61.712791	0.051956	0.143644
790.000000	65.000000	31.664608	67.854546	0.0900967	0.260459
800.000000	65.000000	26.824984	78.396889	0.0700956	0.20981
810.000000	65.000000	21.539536	93.81736	0.0889144	0.326197
820.000000	65.000000	16.307981	119.90382	0.0938409	0.48835
830.000000	65.000000	14.060402	165.53024	0.104797	0.851676
840.000000	65.000000	20.475527	212.349	0.157537	0.846782
850.000000	65.000000	35.814812	231.26768	0.26719	0.884891
860.000000	65.000000	61.261761	234.20694	0.279778	1.48935
870.000000	65.000000	64.310783	68.885742	0.110128	0.485936
880.000000	65.000000	47.621693	64.810112	0.0640997	0.176887
890.000000	65.000000	39.720715	65.487953	0.0650536	0.17696
900.000000	65.000000	34.20557	68.824814	0.0601584	0.169089
910.000000	65.000000	29.991152	75.013741	0.0472883	0.135873
920.000000	65.000000	26.244358	83.64727	0.0591157	0.17982
930.000000	65.000000	22.036751	96.553017	0.0464568	0.160226
940.000000	65.000000	17.977354	114.16132	0.0711076	0.320986
950.000000	65.000000	14.734414	139.68893	0.0588494	0.377908
960.000000	65.000000	14.102624	174.2455	0.122836	0.992395
970.000000	65.000000	17.617981	208.89859	0.125619	0.751169
980.000000	65.000000	25.355669	229.76347	0.166155	0.667795
990.000000	65.000000	37.855015	240.4402	0.17758	0.536711
1000.000000	65.000000	52.842335	244.58212	0.212007	0.677739
300.000000	70.000000	17.989868	68.951698	6.94222	25.6539
310.000000	70.000000	29.688231	17.6682	5.6677	28.172
320.000000	70.000000	24.474495	0.43465903	4.62565	31.5398
330.000000	70.000000	24.753994	13.932012	1.10197	5.10299
340.000000	70.000000	23.645187	16.393299	1.52744	7.59181
350.000000	70.000000	24.248184	12.507751	0.751106	3.7522
360.000000	70.000000	25.089087	12.737211	0.629091	3.16359
370.000000	70.000000	25.272779	7.1191854	0.29913	1.35221
380.000000	70.000000	25.667349	8.7955666	0.411308	1.88378
390.000000	70.000000	26.055435	8.2540493	0.280954	1.30699
400.000000	70.000000	26.259968	7.7226405	0.208238	0.98611
410.000000	70.000000	26.842215	7.6110358	0.127942	0.543767
420.000000	70.000000	27.662804	8.5463619	0.101256	0.431617
430.000000	70.000000	26.997978	5.3420691	0.0919171	0.408469
440.000000	70.000000	27.269217	12.873453	0.0539014	0.240583
450.000000	70.000000	29.654625	3.3558774	0.0668072	0.290957
460.000000	70.000000	25.706938	17.134842	0.0692589	0.297242
470.000000	70.000000	33.480896	-1.4032617	0.0756585	0.297001
480.000000	70.000000	29.08831	25.172768	0.0428813	0.169972
490.000000	70.000000	21.558594	-9.9211283	0.13919	0.830616
500.000000	70.000000	36.836361	19.32991	0.0693404	0.263121
510.000000	70.000000	25.899845	35.418198	0.0519406	0.209533
520.000000	70.000000	20.596638	-32.683006	0.187819	1.28131
530.000000	70.000000	40.661278	19.372585	0.0547815	0.196243
540.000000	70.000000	30.05509	36.416691	0.057552	0.216974
550.000000	70.000000	15.392239	41.058609	0.117337	0.850278
560.000000	70.000000	42.573586	-50.551502	0.196559	0.879437
570.000000	70.000000	41.489788	30.837069	0.0649934	0.214595
580.000000	70.000000	31.374447	41.942116	0.0534615	0.186624
590.000000	70.000000	19.456539	54.481117	0.108649	0.516976
600.000000	70.000000	16.273121	269.09586	0.166193	1.48152
610.000000	70.000000	57.021477	1.3609971	0.142759	0.828982
620.000000	70.000000	40.509331	37.996506	0.0581334	0.184079
630.000000	70.000000	32.060558	46.215633	0.0608179	0.202678
640.000000	70.000000	23.042822	58.833027	0.0689537	0.268606
650.000000	70.000000	10.397451	78.768158	0.123503	1.43687
660.000000	70.000000	27.567596	260.88986	0.185965	0.73617
670.000000	70.000000	59.638111	6.2150407	0.159443	0.964554
680.000000	70.000000	43.118195	39.335281	0.0646847	0.201338
690.000000	70.000000	34.711807	45.195202	0.0452306	0.145283
700.000000	70.000000	28.183527	54.210949	0.0541699	0.185487
710.000000	70.000000	19.532961	66.910011	0.0771366	0.33022
720.000000	70.000000	9.0490828	99.118759	0.129166	1.74683
730.000000	70.000000	20.280109	249.65388	0.169725	0.823049
740.000000	70.000000	53.617256	-87.25209	0.191763	0.689117
750.000000	70.000000	59.563362	36.946743	0.101792	0.417021
760.000000	70.000000	43.728893	45.799732	0.0882242	0.265098
770.000000	70.000000	36.312721	48.729744	0.048233	0.148387
780.000000	70.000000	31.00629	54.750134	0.069176	0.219848
790.000000	70.000000	25.262245	63.473267	0.0536693	0.186081
800.000000	70.000000	17.819124	75.841713	0.0794809	0.348105
810.000000	70.000000	9.2706566	111.95288	0.188079	2.30069
820.000000	70.000000	14.830529	242.60512	0.156368	0.965648
830.000000	70.000000	26.635807	256.29068	0.174539	0.606786
840.000000	70.000000	52.800156	-88.666435	0.24327	0.776455
850.000000	70.000000	66.83017	21.405588	0.155147	1.18003
860.000000	70.000000	51.901558	48.004295	0.0695584	0.219843
870.000000	70.000000	41.793602	50.319218	0.0933134	0.268925
880.000000	70.000000	35.958858	52.660915	0.0496776	0.151183
890.000000	70.000000	32.401714	56.206131	0.0551997	0.171036
900.000000	70.000000	28.342203	61.937283	0.0550009	0.17773
910.000000	70.000000	23.519394	69.862572	0.0502587	0.175339
920.000000	70.000000	17.807549	80.126389	0.0480942	0.208575
930.000000	70.000000	10.949968	99.435822	0.0639469	0.474225
940.000000	70.000000	7.3568964	176.39824	0.0939666	2.06998
950.000000	70.000000	13.218532	242.91322	0.116535	0.798692
960.000000	70.000000	23.196072	257.76877	0.164828	0.609476
970.000000	70.000000	37.303368	266.0224	0.158152	0.428973
980.000000	70.000000	56.168083	-82.436768	0.160627	0.509971
990.000000	70.000000	69.337891	-8.1713886	0.119007	1.16643
1000.000000	70.000000	62.059689	42.483093	0.0815301	0.353913
300.000000	75.000000	25.178854	7.8518014	6.94109	37.6023
310.000000	75.000000	27.420553	19.334549	3.48637	13.901
320.000000	75.000000	31.237663	10.912398	2.04325	8.17475
330.000000	75.000000	30.505106	8.2317495	0.88621	3.59861
340.000000	75.000000	30.177485	11.615993	0.686872	2.90684
350.000000	75.000000	30.558531	8.066968	0.46233	1.95512
360.000000	75.000000	30.269344	7.580946	0.367079	1.58972
370.000000	75.000000	30.79487	5.7680087	0.326879	1.28964
380.000000	75.000000	31.243116	5.2223277	0.192337	0.781626
390.000000	75.000000	31.46715	6.2212453	0.104353	0.427549
400.000000	75.000000	31.804102	5.3501596	0.0862147	0.361202
410.000000	75.000000	32.147728	5.721312	0.0589613	0.225781
420.000000	75.000000	32.397636	6.346869	0.0687504	0.267543
430.000000	75.000000	33.067554	5.0576048	0.0677799	0.266666
440.000000	75.000000	31.404552	6.6914916	0.0730417	0.301202
450.000000	75.000000	34.205151	7.1289573	0.0453645	0.182011
460.000000	75.000000	30.165716	4.3210421	0.0567844	0.225088
470.000000	75.000000	36.506062	8.8907318	0.0612602	0.226525
480.000000	75.000000	29.37569	13.535207	0.0578894	0.242016
490.000000	75.000000	37.877979	-1.9335481	0.0629976	0.242694
500.000000	75.000000	35.031849	18.857109	0.0470872	0.181209
510.000000	75.000000	24.648659	13.038855	0.0715586	0.333501
520.000000	75.000000	41.631226	-4.1922059	0.0936224	0.346333
530.000000	75.000000	36.67461	20.490747	0.0496015	0.177885
540.000000	75.000000	27.047279	24.929037	0.0585069	0.253669
550.000000	75.000000	26.862488	-28.138048	0.113852	0.563782
560.000000	75.000000	45.908997	13.25528	0.0388669	0.148546
570.000000	75.000000	36.684605	26.280609	0.043092	0.150133
580.000000	75.000000	27.713171	31.703773	0.039168	0.158112
590.000000	75.000000	17.757053	-7.3407588	0.12312	0.929129
600.000000	75.000000	48.803387	-22.143366	0.0972637	0.409253
610.000000	75.000000	43.480526	24.425207	0.0371225	0.132607
620.000000	75.000000	35.967945	30.771273	0.0487066	0.166247
630.000000	75.000000	28.281635	36.854565	0.0509166	0.194829
640.000000	75.000000	16.341312	25.378286	0.0915111	0.644917
650.000000	75.000000	26.402451	-54.705235	0.132949	0.571175
660.000000	75.000000	54.386757	-7.5781193	0.082422	0.374434
670.000000	75.000000	44.353004	26.961048	0.0573814	0.202088
680.000000	75.000000	37.219658	31.868818	0.0414999	0.139097
690.000000	75.000000	31.53089	37.159431	0.0432925	0.153981
700.000000	75.000000	23.007811	40.91526	0.0583461	0.256353
710.000000	75.000000	12.877213	14.911269	0.0824959	0.83693
720.000000	75.000000	23.212389	-62.328087	0.113903	0.490152
730.000000	75.000000	52.70314	-46.149269	0.118945	0.460643
740.000000	75.000000	54.368111	22.465496	0.0486163	0.180674
750.000000	75.000000	43.426846	32.709309	0.0475582	0.153509
760.000000	75.000000	37.678627	35.276958	0.0681648	0.225552
770.000000	75.000000	33.184032	39.180763	0.0458192	0.155182
780.000000	75.000000	27.275461	43.749828	0.0705559	0.265779
790.000000	75.000000	19.088528	45.050694	0.0672605	0.342365
800.000000	75.000000	10.859882	15.816226	0.0763748	0.95566
810.000000	75.000000	18.669905	-60.843601	0.232806	1.16329
820.000000	75.000000	40.287163	-64.230339	0.158991	0.474349
830.000000	75.000000	55.922752	-44.364887	0.104676	0.410577
840.000000	75.000000	57.639893	20.533209	0.086556	0.361972
850.000000	75.000000	47.374859	34.152397	0.094842	0.312466
860.000000	75.000000	40.942425	36.463787	0.0585468	0.190764
870.000000	75.000000	36.73156	38.669651	0.0318415	0.101148
880.000000	75.000000	32.861874	41.917774	0.0520164	0.174782
890.000000	75.000000	29.290171	45.129517	0.0557202	0.197569
900.000000	75.000000	24.124504	48.61602	0.0515568	0.208215
910.000000	75.000000	17.328739	48.733864	0.0492151	0.266981
920.000000	75.000000	10.577076	31.617903	0.045921	0.507876
930.000000	75.000000	11.045343	-44.625942	0.0914293	0.934196
940.000000	75.000000	20.529726	-65.526962	0.0898498	0.389801
950.000000	75.000000	32.710415	-66.935989	0.112433	0.344651
960.000000	75.000000	46.955673	-60.465313	0.110936	0.331831
970.000000	75.000000	61.038116	-30.556061	0.0885741	0.414022
980.000000	75.000000	60.35437	18.193241	0.0502561	0.227162
990.000000	75.000000	51.517448	34.136562	0.0510068	0.178157
1000.000000	75.000000	45.641453	37.585133	0.0556816	0.183468
300.000000	80.000000	49.368011	40.211182	3.92059	12.1449
310.000000	80.000000	36.116962	6.1036119	2.34411	10.6619
320.000000	80.000000	36.209026	1.875291	1.29861	5.32755
330.000000	80.000000	36.01548	6.607511	0.750904	2.70571
340.000000	80.000000	35.882393	8.147378	0.324884	1.23026
350.000000	80.000000	35.543457	5.96594	0.186728	0.7406
360.000000	80.000000	35.713631	4.7798848	0.272014	1.08233
370.000000	80.000000	35.997597	4.4783578	0.169967	0.6269
380.000000	80.000000	36.288864	4.1582828	0.0934506	0.351342
390.000000	80.000000	36.384617	3.7581403	0.102701	0.392613
400.000000	80.000000	36.601566	3.7629941	0.0745957	0.292524
410.000000	80.000000	36.79034	3.7441616	0.0446482	0.160591
420.000000	80.000000	36.914368	4.0790339	0.0885214	0.325525
430.000000	80.000000	37.367264	3.8293564	0.0812895	0.303606
440.000000	80.000000	36.65065	3.4914129	0.127562	0.491749
450.000000	80.000000	37.723122	5.2323799	0.0439714	0.170767
460.000000	80.000000	36.522423	1.6985728	0.0613928	0.22408
470.000000	80.000000	38.759346	7.1237311	0.0448767	0.162892
480.000000	80.000000	34.764473	4.4437175	0.0415021	0.159091
490.000000	80.000000	40.492916	3.7100196	0.0567018	0.21241
500.000000	80.000000	37.0275	12.221854	0.0383443	0.146978
510.000000	80.000000	32.732277	-0.28321308	0.0623711	0.240264
520.000000	80.000000	42.099503	4.1639757	0.046804	0.16784
530.000000	80.000000	37.937508	13.878484	0.0437351	0.15874
540.000000	80.000000	30.969767	8.1032639	0.041985	0.176622
550.000000	80.000000	40.64212	-11.441823	0.0523513	0.205082
560.000000	80.000000	43.018246	12.277959	0.0366329	0.137589
570.000000	80.000000	37.560699	17.766327	0.0362154	0.129078
580.000000	80.000000	30.121786	14.169882	0.0381929	0.157852
590.000000	80.000000	33.263229	-17.139917	0.0946348	0.392457
600.000000	80.000000	47.029129	3.6335995	0.0391842	0.149929
610.000000	80.000000	41.595589	17.248262	0.0476117	0.174996
620.000000	80.000000	36.796658	20.870586	0.0457495	0.159194
630.000000	80.000000	29.709415	19.620724	0.03907	0.15821
640.000000	80.000000	25.792849	-9.162178	0.056449	0.27329
650.000000	80.000000	42.727299	-23.374231	0.0708865	0.269903
660.000000	80.000000	48.122353	9.6144333	0.0325577	0.123232
670.000000	80.000000	41.959225	19.060265	0.0318764	0.11618
680.000000	80.000000	37.721043	21.947937	0.0345633	0.119055
690.000000	80.000000	32.561237	23.755718	0.0319653	0.119791
700.000000	80.000000	25.304008	15.468899	0.0344744	0.161759
710.000000	80.000000	24.879358	-18.839035	0.0715055	0.355945
720.000000	80.000000	40.53582	-33.663353	0.0828234	0.302745
730.000000	80.000000	52.348423	-1.2689602	0.0998191	0.412415
740.000000	80.000000	46.666504	18.802135	0.0613426	0.210436
750.000000	80.000000	41.543488	22.262403	0.0366561	0.125065
760.000000	80.000000	38.057049	24.181515	0.0481094	0.166821
770.000000	80.000000	34.224884	26.191162	0.0342775	0.124183
780.000000	80.000000	28.571589	25.288868	0.0734083	0.303194
790.000000	80.000000	22.531605	12.110811	0.031698	0.169733
800.000000	80.000000	23.009426	-19.474537	0.0714243	0.381508
810.000000	80.000000	35.322216	-37.509014	0.0571463	0.198724
820.000000	80.000000	51.005753	-22.119432	0.0679804	0.258184
830.000000	80.000000	53.773926	1.0242779	0.0364933	0.145616
840.000000	80.000000	48.132339	19.362886	0.0708822	0.252949
850.000000	80.000000	43.277657	23.239391	0.0939254	0.325591
860.000000	80.000000	40.00499	24.516466	0.0724451	0.25369
870.000000	80.000000	37.257229	26.124311	0.0354552	0.12076
880.000000	80.000000	33.937817	28.001211	0.0499551	0.178135
890.000000	80.000000	30.509708	28.566359	0.0457658	0.174149
900.000000	80.000000	25.687767	25.735548	0.0445945	0.193502
910.000000	80.000000	20.961973	12.896598	0.0347481	0.188899
920.000000	80.000000	20.242466	-12.108986	0.0434693	0.257018
930.000000	80.000000	26.031717	-33.636189	0.0604634	0.267292
940.000000	80.000000	35.219097	-40.376499	0.0600198	0.205442
950.000000	80.000000	45.697567	-36.651386	0.0618736	0.207525
960.000000	80.000000	54.261234	-19.593657	0.0422173	0.164942
970.000000	80.000000	55.275578	6.9057293	0.0351222	0.140706
980.000000	80.000000	50.189831	20.694527	0.0474934	0.169733
990.000000	80.000000	45.390011	24.706594	0.0526951	0.181191
1000.000000	80.000000	42.515747	25.823378	0.062337	0.217
300.000000	85.000000	41.524353	-6.2636914	2.80952	10.9749
310.000000	85.000000	40.193684	2.4192007	1.00112	4.02597
320.000000	85.000000	41.171898	6.760324	0.502655	2.05854
330.000000	85.000000	40.480389	3.8155773	0.383345	1.40657
340.000000	85.000000	40.287457	3.4314599	0.31169	1.141
350.000000	85.000000	40.457153	2.8808813	0.232191	0.881914
360.000000	85.000000	40.371868	2.6941066	0.123331	0.476829
370.000000	85.000000	40.630951	2.1755226	0.117112	0.412515
380.000000	85.000000	40.772972	2.1775799	0.102396	0.370918
390.000000	85.000000	40.899082	1.8422881	0.0528954	0.196552
400.000000	85.000000	40.985817	1.6781156	0.0516858	0.195755
410.000000	85.000000	41.017651	1.846626	0.077453	0.27117
420.000000	85.000000	41.143162	1.8914063	0.0597176	0.21329
430.000000	85.000000	41.330669	1.7998224	0.0526667	0.192194
440.000000	85.000000	41.052734	1.8492719	0.0451378	0.168542
450.000000	85.000000	41.504295	2.5021381	0.0446814	0.169791
460.000000	85.000000	40.979702	1.2346056	0.062967	0.222333
470.000000	85.000000	41.948101	3.1989963	0.0457585	0.16365
480.000000	85.000000	40.360672	2.0853987	0.0391802	0.143746
490.000000	85.000000	42.663219	1.8874464	0.0434958	0.160796
500.000000	85.000000	41.072918	5.4884539	0.0298344	0.112875
510.000000	85.000000	39.352608	0.25283861	0.0506664	0.180726
520.000000	85.000000	43.438602	1.4348218	0.0522767	0.184426
530.000000	85.000000	41.477665	6.3570852	0.0409456	0.148202
540.000000	85.000000	38.518295	2.8103139	0.0417846	0.157073
550.000000	85.000000	42.578945	-4.3116412	0.0470366	0.175805
560.000000	85.000000	43.971878	5.6418409	0.0395366	0.149643
570.000000	85.000000	41.181446	8.2790499	0.048414	0.170702
580.000000	85.000000	37.755978	5.1370602	0.0478868	0.176407
590.000000	85.000000	39.825352	-6.3707519	0.0407653	0.152095
600.000000	85.000000	45.63728	1.1600236	0.0406423	0.151134
610.000000	85.000000	43.244289	8.2330418	0.0450986	0.167623
620.000000	85.000000	40.696262	9.7563419	0.0437188	0.153011
630.000000	85.000000	37.175095	7.524878	0.0343084	0.125377
640.000000	85.000000	36.397621	-4.7751002	0.0448427	0.171049
650.000000	85.000000	43.969944	-8.7130203	0.0411807	0.151912
660.000000	85.000000	46.264542	4.4514809	0.0341396	0.1263
670.000000	85.000000	43.311356	9.2807093	0.0383965	0.141996
680.000000	85.000000	41.099583	10.532232	0.0414201	0.144719
690.000000	85.000000	38.305908	10.547544	0.0388229	0.139782
700.000000	85.000000	34.977119	4.6283584	0.0409032	0.156071
710.000000	85.000000	35.812389	-8.9011536	0.0457602	0.177118
720.000000	85.000000	43.311115	-13.439681	0.0347207	0.128692
730.000000	85.000000	48.327084	-0.50789207	0.0431666	0.164041
740.000000	85.000000	45.788155	9.1724844	0.0492852	0.171046
750.000000	85.000000	43.153553	11.020049	0.0450707	0.157381
760.000000	85.000000	41.305527	11.86474	0.0524781	0.186121
770.000000	85.000000	39.210953	12.243961	0.0379875	0.13797
780.000000	85.000000	36.251213	10.467509	0.0557389	0.21079
790.000000	85.000000	33.690273	2.8234861	0.0445025	0.178781
800.000000	85.000000	34.7617	-9.0075283	0.0404282	0.161984
810.000000	85.000000	41.129562	-15.651991	0.0618777	0.216254
820.000000	85.000000	47.875198	-7.8308721	0.0378933	0.136836
830.000000	85.000000	48.795353	1.3777323	0.0457781	0.16759
840.000000	85.000000	46.224007	9.4768782	0.0520314	0.187504
850.000000	85.000000	43.86919	11.454045	0.0522226	0.1876
860.000000	85.000000	42.169834	12.049222	0.0385808	0.140736
870.000000	85.000000	40.8046	12.767825	0.0538477	0.187013
880.000000	85.000000	38.936569	13.194306	0.0561472	0.199495
890.000000	85.000000	37.034431	12.738929	0.0423718	0.15497
900.000000	85.000000	34.557812	9.9743862	0.039558	0.151304
910.000000	85.000000	32.590088	3.0549517	0.0324469	0.130599
920.000000	85.000000	32.851704	-6.6408715	0.0359331	0.145765
930.000000	85.000000	36.140755	-15.166677	0.0443026	0.169123
940.000000	85.000000	41.021618	-18.108458	0.0332482	0.114278
950.000000	85.000000	46.115715	-15.144786	0.0399631	0.140783
960.000000	85.000000	49.509758	-6.7032003	0.0420109	0.152242
970.000000	85.000000	49.553997	4.0154233	0.042815	0.157019
980.000000	85.000000	47.195007	10.167031	0.0469213	0.168876
990.000000	85.000000	44.876129	12.199074	0.0492852	0.177331
1000.000000	85.000000	43.474838	12.755412	0.0490658	0.178348
dpolE	300.000000	65.000000	5.944	5.96994
dpolE	310.000000	65.000000	13.3832	7.59047
dpolE	320.000000	65.000000	4.48728	10.0915
dpolE	330.000000	65.000000	5.45406	16.436
dpolE	340.000000	65.000000	10.6535	14.7028
dpolE	350.000000	65.000000	18.8734	11.6596
dpolE	360.000000	65.000000	-10	69.6947
dpolE	370.000000	65.000000	-2.02944	14.2716
dpolE	380.000000	65.000000	1.21656	1.64132
dpolE	390.000000	65.000000	-1.79677	1.92946
dpolE	400.000000	65.000000	-0.458983	0.903972
dpolE	410.000000	65.000000	0.125064	0.759618
dpolE	420.000000	65.000000	-0.161895	0.814204
dpolE	430.000000	65.000000	-0.658836	0.45049
dpolE	440.000000	65.000000	0.236389	0.545768
dpolE	450.000000	65.000000	2.06052	0.538551
dpolE	460.000000	65.000000	1.40791	0.730899
dpolE	470.000000	65.000000	6.99726	0.754582
dpolE	480.000000	65.000000	2.1366	0.707493
dpolE	490.000000	65.000000	3.67957	0.757898
dpolE	500.000000	65.000000	37.6078	1.29843
dpolE	510.000000	65.000000	2.16617	0.612828
dpolE	520.000000	65.000000	4.93651	0.795756
dpolE	530.000000	65.000000	64.8621	1.54887
dpolE	540.000000	65.000000	3.8269	0.732313
dpolE	550.000000	65.000000	3.12915	0.658098
dpolE	560.000000	65.000000	10.7108	0.826556
dpolE	570.000000	65.000000	78.0113	1.03223
dpolE	580.000000	65.000000	3.49125	0.768825
dpolE	590.000000	65.000000	2.48519	0.728391
dpolE	600.000000	65.000000	4.93699	0.742946
dpolE	610.000000	65.000000	20.0803	1.11129
dpolE	620.000000	65.000000	57.8253	0.717097
dpolE	630.000000	65.000000	3.78712	0.917586
dpolE	640.000000	65.000000	2.25701	0.777078
dpolE	650.000000	65.000000	3.49036	0.790913
dpolE	660.000000	65.000000	6.14828	0.727917
dpolE	670.000000	65.000000	19.8402	1.61853
dpolE	680.000000	65.000000	62.6591	0.819835
dpolE	690.000000	65.000000	8.00604	1.02653
dpolE	700.000000	65.000000	2.31456	0.800102
dpolE	710.000000	65.000000	2.13389	0.720523
dpolE	720.000000	65.000000	2.88327	0.784475
dpolE	730.000000	65.000000	4.64386	0.674292
dpolE	740.000000	65.000000	8.08028	0.8291
dpolE	750.000000	65.000000	26.7654	2.63045
dpolE	760.000000	65.000000	43.8423	0.901623
dpolE	770.000000	65.000000	8.6543	0.957581
dpolE	780.000000	65.000000	2.2111	0.608071
dpolE	790.000000	65.000000	1.77301	1.00125
dpolE	800.000000	65.000000	2.01662	0.714378
dpolE	810.000000	65.000000	2.86735	0.729236
dpolE	820.000000	65.000000	3.08464	0.571674
dpolE	830.000000	65.000000	4.14965	0.403081
dpolE	840.000000	65.000000	6.42943	0.963393
dpolE	850.000000	65.000000	15.464	2.68252
dpolE	860.000000	65.000000	42.7569	1.83476
dpolE	870.000000	65.000000	28.2	0.780225
dpolE	880.000000	65.000000	7.27669	0.723408
dpolE	890.000000	65.000000	2.92289	0.749766
dpolE	900.000000	65.000000	1.8549	0.671083
dpolE	910.000000	65.000000	1.59647	0.500264
dpolE	920.000000	65.000000	1.73506	0.584931
dpolE	930.000000	65.000000	1.9931	0.403809
dpolE	940.000000	65.000000	2.41636	0.468669
dpolE	950.000000	65.000000	2.63687	0.287198
dpolE	960.000000	65.000000	3.34341	0.463099
dpolE	970.000000	65.000000	3.96963	0.654346
dpolE	980.000000	65.000000	5.87733	1.36066
dpolE	990.000000	65.000000	12.222	1.91105
dpolE	1000.000000	65.000000	24.6577	2.14852
dpolE	300.000000	70.000000	-10	58.5036
dpolE	310.000000	70.000000	23.0083	35.905
dpolE	320.000000	70.000000	21.9707	21.7865
dpolE	330.000000	70.000000	5.87755	6.96669
dpolE	340.000000	70.000000	4.12626	9.47697
dpolE	350.000000	70.000000	2.12213	4.76955
dpolE	360.000000	70.000000	4.10679	4.03967
dpolE	370.000000	70.000000	0.63278	1.96804
dpolE	380.000000	70.000000	0.646205	2.73983
dpolE	390.000000	70.000000	0.253752	1.87783
dpolE	400.000000	70.000000	1.00864	1.3789
dpolE	410.000000	70.000000	-0.597072	0.899328
dpolE	420.000000	70.000000	-0.230526	0.719901
dpolE	430.000000	70.000000	-0.254844	0.630813
dpolE	440.000000	70.000000	0.413813	0.380352
dpolE	450.000000	70.000000	0.447993	0.473852
dpolE	460.000000	70.000000	0.537777	0.484416
dpolE	470.000000	70.000000	3.01096	0.579225
dpolE	480.000000	70.000000	1.06565	0.341605
dpolE	490.000000	70.000000	9.51628	0.735285
dpolE	500.000000	70.000000	2.04915	0.597781
dpolE	510.000000	70.000000	1.97869	0.408956
dpolE	520.000000	70.000000	21.3268	0.943329
dpolE	530.000000	70.000000	4.17822	0.483186
dpolE	540.000000	70.000000	1.64799	0.510625
dpolE	550.000000	70.000000	7.00166	0.563411
dpolE	560.000000	70.000000	54.7529	1.52667
dpolE	570.000000	70.000000	3.13319	0.624814
dpolE	580.000000	70.000000	1.51584	0.50016
dpolE	590.000000	70.000000	4.42909	0.75147
dpolE	600.000000	70.000000	22.0329	0.698714
dpolE	610.000000	70.000000	42.0006	0.780892
dpolE	620.000000	70.000000	2.40985	0.583437
dpolE	630.000000	70.000000	1.49326	0.588827
dpolE	640.000000	70.000000	3.00605	0.569246
dpolE	650.000000	70.000000	8.06851	0.377274
dpolE	660.000000	70.000000	30.1127	1.4863
dpolE	670.000000	70.000000	38.4489	0.856151
dpolE	680.000000	70.000000	3.54943	0.662445
dpolE	690.000000	70.000000	1.35004	0.454342
dpolE	700.000000	70.000000	1.90715	0.512533
dpolE	710.000000	70.000000	3.35467	0.573644
dpolE	720.000000	70.000000	6.5064	0.34712
dpolE	730.000000	70.000000	14.7107	1.14765
dpolE	740.000000	70.000000	45.1431	1.60658
dpolE	750.000000	70.000000	19.7907	0.805488
dpolE	760.000000	70.000000	3.81345	0.957117
dpolE	770.000000	70.000000	1.38807	0.515675
dpolE	780.000000	70.000000	0.930255	0.717152
dpolE	790.000000	70.000000	2.01229	0.504115
dpolE	800.000000	70.000000	2.67865	0.576795
dpolE	810.000000	70.000000	5.78376	0.528297
dpolE	820.000000	70.000000	8.39874	0.684952
dpolE	830.000000	70.000000	13.7252	1.55029
dpolE	840.000000	70.000000	36.3897	2.32951
dpolE	850.000000	70.000000	31.542	0.736305
dpolE	860.000000	70.000000	8.49369	0.744408
dpolE	870.000000	70.000000	2.2435	1.02464
dpolE	880.000000	70.000000	1.27006	0.520273
dpolE	890.000000	70.000000	1.12028	0.562243
dpolE	900.000000	70.000000	1.47236	0.5321
dpolE	910.000000	70.000000	1.9465	0.437505
dpolE	920.000000	70.000000	2.39402	0.343453
dpolE	930.000000	70.000000	3.40532	0.271358
dpolE	940.000000	70.000000	4.30963	0.166873
dpolE	950.000000	70.000000	5.29143	0.515049
dpolE	960.000000	70.000000	7.9585	1.36266
dpolE	970.000000	70.000000	13.7617	1.76777
dpolE	980.000000	70.000000	27.0768	1.54987
dpolE	990.000000	70.000000	29.8602	0.466807
dpolE	1000.000000	70.000000	16.7733	0.635126
dpolE	300.000000	75.000000	10.3642	46.2985
dpolE	310.000000	75.000000	-10	29.934
dpolE	320.000000	75.000000	-10	16.6245
dpolE	330.000000	75.000000	1.4652	6.59327
dpolE	340.000000	75.000000	5.39401	5.06046
dpolE	350.000000	75.000000	1.16166	3.40012
dpolE	360.000000	75.000000	-0.519011	2.68409
dpolE	370.000000	75.000000	-0.507877	2.47977
dpolE	380.000000	75.000000	1.17561	1.43532
dpolE	390.000000	75.000000	-0.240728	0.785684
dpolE	400.000000	75.000000	0.25244	0.64291
dpolE	410.000000	75.000000	-0.0374163	0.458598
dpolE	420.000000	75.000000	-0.0125123	0.532486
dpolE	430.000000	75.000000	-0.284852	0.524978
dpolE	440.000000	75.000000	-0.0504176	0.547333
dpolE	450.000000	75.000000	-0.31832	0.353882
dpolE	460.000000	75.000000	0.302265	0.420423
dpolE	470.000000	75.000000	0.443252	0.503005
dpolE	480.000000	75.000000	0.811227	0.430078
dpolE	490.000000	75.000000	2.58021	0.501747
dpolE	500.000000	75.000000	0.512447	0.395187
dpolE	510.000000	75.000000	3.2788	0.464357
dpolE	520.000000	75.000000	7.21534	0.760646
dpolE	530.000000	75.000000	0.64884	0.427575
dpolE	540.000000	75.000000	2.20082	0.438812
dpolE	550.000000	75.000000	17.2192	0.777601
dpolE	560.000000	75.000000	5.50637	0.326144
dpolE	570.000000	75.000000	0.57804	0.388442
dpolE	580.000000	75.000000	2.1043	0.313196
dpolE	590.000000	75.000000	10.929	0.518878
dpolE	600.000000	75.000000	28.7212	0.746916
dpolE	610.000000	75.000000	2.43096	0.343536
dpolE	620.000000	75.000000	0.588876	0.448381
dpolE	630.000000	75.000000	1.75385	0.428111
dpolE	640.000000	75.000000	6.20812	0.419237
dpolE	650.000000	75.000000	20.9271	1.02708
dpolE	660.000000	75.000000	24.7162	0.56149
dpolE	670.000000	75.000000	2.95593	0.543035
dpolE	680.000000	75.000000	0.808382	0.390503
dpolE	690.000000	75.000000	1.17908	0.391512
dpolE	700.000000	75.000000	2.78215	0.434951
dpolE	710.000000	75.000000	6.56098	0.265128
dpolE	720.000000	75.000000	14.6354	0.867572
dpolE	730.000000	75.000000	31.4535	1.0486
dpolE	740.000000	75.000000	10.6996	0.405981
dpolE	750.000000	75.000000	1.70741	0.470586
dpolE	760.000000	75.000000	1.01266	0.667564
dpolE	770.000000	75.000000	0.787132	0.435971
dpolE	780.000000	75.000000	1.61837	0.626104
dpolE	790.000000	75.000000	2.90235	0.447961
dpolE	800.000000	75.000000	5.1758	0.20678
dpolE	810.000000	75.000000	8.83889	1.47249
dpolE	820.000000	75.000000	19.847	1.67097
dpolE	830.000000	75.000000	26.7382	0.875159
dpolE	840.000000	75.000000	13.7765	0.660268
dpolE	850.000000	75.000000	3.43012	0.961436
dpolE	860.000000	75.000000	0.728458	0.607427
dpolE	870.000000	75.000000	0.639304	0.31236
dpolE	880.000000	75.000000	0.769095	0.487698
dpolE	890.000000	75.000000	1.27778	0.500881
dpolE	900.000000	75.000000	1.77388	0.41706
dpolE	910.000000	75.000000	2.89195	0.300036
dpolE	920.000000	75.000000	3.90158	0.140976
dpolE	930.000000	75.000000	5.34147	0.313022
dpolE	940.000000	75.000000	6.66108	0.640662
dpolE	950.000000	75.000000	9.7241	1.13775
dpolE	960.000000	75.000000	16.7681	1.17535
dpolE	970.000000	75.000000	21.659	0.614198
dpolE	980.000000	75.000000	13.3184	0.348226
dpolE	990.000000	75.000000	5.37569	0.480805
dpolE	1000.000000	75.000000	2.3977	0.565199
dpolE	300.000000	80.000000	56.5391	16.5747
dpolE	310.000000	80.000000	23.1312	16.2116
dpolE	320.000000	80.000000	-1.05501	10.1282
dpolE	330.000000	80.000000	-4.52701	6.29937
dpolE	340.000000	80.000000	-0.268267	2.63606
dpolE	350.000000	80.000000	3.01246	1.44636
dpolE	360.000000	80.000000	-1.83316	2.15275
dpolE	370.000000	80.000000	0.668298	1.37915
dpolE	380.000000	80.000000	0.302746	0.753568
dpolE	390.000000	80.000000	-0.634896	0.824436
dpolE	400.000000	80.000000	0.131474	0.592142
dpolE	410.000000	80.000000	-0.462291	0.36905
dpolE	420.000000	80.000000	-0.211378	0.724137
dpolE	430.000000	80.000000	-0.278289	0.661532
dpolE	440.000000	80.000000	0.203879	1.01821
dpolE	450.000000	80.000000	-0.183633	0.353967
dpolE	460.000000	80.000000	0.166305	0.500976
dpolE	470.000000	80.000000	0.0639859	0.373735
dpolE	480.000000	80.000000	0.488069	0.325429
dpolE	490.000000	80.000000	0.578664	0.466006
dpolE	500.000000	80.000000	0.227358	0.314156
dpolE	510.000000	80.000000	2.75282	0.474751
dpolE	520.000000	80.000000	1.49742	0.392756
dpolE	530.000000	80.000000	0.261891	0.367405
dpolE	540.000000	80.000000	2.66641	0.308078
dpolE	550.000000	80.000000	9.39641	0.420358
dpolE	560.000000	80.000000	1.2101	0.309667
dpolE	570.000000	80.000000	0.239455	0.312301
dpolE	580.000000	80.000000	2.86398	0.284631
dpolE	590.000000	80.000000	12.7062	0.707055
dpolE	600.000000	80.000000	6.89594	0.314839
dpolE	610.000000	80.000000	0.460782	0.4161
dpolE	620.000000	80.000000	0.53091	0.395877
dpolE	630.000000	80.000000	2.48976	0.29903
dpolE	640.000000	80.000000	8.85616	0.35351
dpolE	650.000000	80.000000	17.0957	0.59685
dpolE	660.000000	80.000000	5.68519	0.267242
dpolE	670.000000	80.000000	0.707563	0.282489
dpolE	680.000000	80.000000	0.310349	0.304705
dpolE	690.000000	80.000000	1.15835	0.267053
dpolE	700.000000	80.000000	4.0014	0.22754
dpolE	710.000000	80.000000	9.01815	0.456597
dpolE	720.000000	80.000000	16.5484	0.754806
dpolE	730.000000	80.000000	12.7639	0.744745
dpolE	740.000000	80.000000	2.59932	0.547526
dpolE	750.000000	80.000000	0.455792	0.334432
dpolE	760.000000	80.000000	0.318083	0.433397
dpolE	770.000000	80.000000	0.928654	0.299494
dpolE	780.000000	80.000000	2.15509	0.576764
dpolE	790.000000	80.000000	4.24172	0.18553
dpolE	800.000000	80.000000	7.1731	0.435887
dpolE	810.000000	80.000000	11.296	0.526859
dpolE	820.000000	80.000000	15.8177	0.559212
dpolE	830.000000	80.000000	10.9769	0.275138
dpolE	840.000000	80.000000	3.3857	0.627276
dpolE	850.000000	80.000000	0.757947	0.876709
dpolE	860.000000	80.000000	0.103619	0.671657
dpolE	870.000000	80.000000	0.650067	0.32137
dpolE	880.000000	80.000000	0.698242	0.435085
dpolE	890.000000	80.000000	1.31316	0.376856
dpolE	900.000000	80.000000	2.16484	0.31787
dpolE	910.000000	80.000000	3.61995	0.192619
dpolE	920.000000	80.000000	4.79646	0.229444
dpolE	930.000000	80.000000	5.76568	0.457575
dpolE	940.000000	80.000000	7.26693	0.555568
dpolE	950.000000	80.000000	10.2608	0.587575
dpolE	960.000000	80.000000	12.2106	0.335129
dpolE	970.000000	80.000000	8.22912	0.266157
dpolE	980.000000	80.000000	3.31467	0.412179
dpolE	990.000000	80.000000	1.21184	0.48258
dpolE	1000.000000	80.000000	0.651788	0.57806
dpolE	300.000000	85.000000	11.6141	22.2214
dpolE	310.000000	85.000000	10.1725	7.72901
dpolE	320.000000	85.000000	9.6385	3.93758
dpolE	330.000000	85.000000	4.5232	3.14269
dpolE	340.000000	85.000000	-0.180603	2.59221
dpolE	350.000000	85.000000	1.62289	1.8893
dpolE	360.000000	85.000000	-0.0304338	1.00197
dpolE	370.000000	85.000000	-1.17752	0.993676
dpolE	380.000000	85.000000	-0.185206	0.855504
dpolE	390.000000	85.000000	0.210924	0.436465
dpolE	400.000000	85.000000	-0.533726	0.424165
dpolE	410.000000	85.000000	-0.103877	0.657554
dpolE	420.000000	85.000000	-0.326292	0.502494
dpolE	430.000000	85.000000	-0.154537	0.438774
dpolE	440.000000	85.000000	-0.109299	0.372085
dpolE	450.000000	85.000000	-0.256421	0.366494
dpolE	460.000000	85.000000	-0.0972689	0.531961
dpolE	470.000000	85.000000	-0.299658	0.385508
dpolE	480.000000	85.000000	-0.220011	0.324451
dpolE	490.000000	85.000000	-0.0877282	0.360439
dpolE	500.000000	85.000000	-0.13531	0.245666
dpolE	510.000000	85.000000	0.410881	0.422471
dpolE	520.000000	85.000000	0.17448	0.439788
dpolE	530.000000	85.000000	-0.186118	0.343795
dpolE	540.000000	85.000000	0.542176	0.338398
dpolE	550.000000	85.000000	1.8031	0.384845
dpolE	560.000000	85.000000	0.148256	0.32718
dpolE	570.000000	85.000000	-0.122463	0.411401
dpolE	580.000000	85.000000	0.798384	0.389949
dpolE	590.000000	85.000000	2.87182	0.332977
dpolE	600.000000	85.000000	1.38344	0.335663
dpolE	610.000000	85.000000	-0.0482636	0.377626
dpolE	620.000000	85.000000	0.0691293	0.373363
dpolE	630.000000	85.000000	0.864478	0.28048
dpolE	640.000000	85.000000	2.906	0.356277
dpolE	650.000000	85.000000	3.73507	0.343071
dpolE	660.000000	85.000000	1.28314	0.282786
dpolE	670.000000	85.000000	0.0109579	0.322765
dpolE	680.000000	85.000000	0.0318194	0.355439
dpolE	690.000000	85.000000	0.355893	0.324886
dpolE	700.000000	85.000000	1.42513	0.321611
dpolE	710.000000	85.000000	3.38391	0.362618
dpolE	720.000000	85.000000	4.6294	0.293086
dpolE	730.000000	85.000000	2.87206	0.350236
dpolE	740.000000	85.000000	0.875191	0.423691
dpolE	750.000000	85.000000	0.176782	0.388775
dpolE	760.000000	85.000000	-0.192948	0.450951
dpolE	770.000000	85.000000	0.291945	0.321162
dpolE	780.000000	85.000000	0.923698	0.452249
dpolE	790.000000	85.000000	1.75972	0.338482
dpolE	800.000000	85.000000	2.80721	0.314959
dpolE	810.000000	85.000000	3.26525	0.539982
dpolE	820.000000	85.000000	3.366	0.317042
dpolE	830.000000	85.000000	2.26509	0.377596
dpolE	840.000000	85.000000	0.732129	0.442101
dpolE	850.000000	85.000000	-0.0260609	0.449017
dpolE	860.000000	85.000000	-0.1348	0.330407
dpolE	870.000000	85.000000	-0.0141481	0.466805
dpolE	880.000000	85.000000	0.170155	0.478269
dpolE	890.000000	85.000000	0.603814	0.352451
dpolE	900.000000	85.000000	1.12234	0.314131
dpolE	910.000000	85.000000	1.64785	0.2445
dpolE	920.000000	85.000000	2.08707	0.272102
dpolE	930.000000	85.000000	2.3123	0.361405
dpolE	940.000000	85.000000	2.79319	0.288451
dpolE	950.000000	85.000000	3.26393	0.345643
dpolE	960.000000	85.000000	3.25806	0.346755
dpolE	970.000000	85.000000	1.97886	0.353226
dpolE	980.000000	85.000000	0.586233	0.398215
dpolE	990.000000	85.000000	0.186982	0.422731
dpolE	1000.000000	85.000000	0.0983614	0.420879