Model for POLY-SI.DAT 6 0 SI 20000000.000000 1.000000 0 SIO2 85.560928 1.000000 1 EMA 2630.521973 1.000000 3 0 0.333000 (SI) 0.000000 VOID 4.765779 ASI 2.360211 0 SIO2 170.421310 1.000000 0 SI3N4 105.402199 1.000000 0 SIO2 133.251801 1.000000 0 1 1 1.000000