Automatic commit. Thu Sep 27 12:00:14 WST 2012
[matches/honours.git] / research / ellipsometry / WVASE32 / Mat / Semicond / Polysi_c.mat
diff --git a/research/ellipsometry/WVASE32/Mat/Semicond/Polysi_c.mat b/research/ellipsometry/WVASE32/Mat/Semicond/Polysi_c.mat
new file mode 100644 (file)
index 0000000..c5399f5
--- /dev/null
@@ -0,0 +1,629 @@
+Poly-silicon interpolation file, from LPCVD x=(0.1 is 545°, 0.9 is 655°)\r
+ALLOY\r
+nm\r
+NK\r
+9\r
+0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.7 0.8 1.0\r
+0\r
+\r
+250    1.7239  2.7774\r
+255    1.8067  2.8211\r
+260    1.8928  2.8619\r
+265    1.9873  2.8974\r
+270    2.0796  2.9323\r
+275    2.1746  2.956\r
+280    2.2672  2.9808\r
+285    2.3635  3.0011\r
+290    2.461   3.0196\r
+295    2.5562  3.0392\r
+300    2.6625  3.0448\r
+305    2.7673  3.0515\r
+310    2.87    3.06\r
+315    2.9755  3.0389\r
+320    3.08    3.0202\r
+325    3.1833  3.0039\r
+330    3.2799  2.9731\r
+340    3.4679  2.9066\r
+350    3.6518  2.828\r
+360    3.8228  2.7176\r
+370    3.9611  2.5926\r
+380    4.0793  2.4692\r
+390    4.189   2.3443\r
+400    4.268   2.2031\r
+410    4.3515  2.0649\r
+420    4.3977  1.9336\r
+430    4.427   1.8046\r
+440    4.4601  1.6759\r
+450    4.472   1.5645\r
+460    4.4767  1.4591\r
+470    4.4838  1.3532\r
+480    4.4864  1.2542\r
+490    4.4758  1.1706\r
+500    4.4677  1.0908\r
+510    4.4627  1.0176\r
+520    4.4524  0.94932\r
+530    4.4302  0.89099\r
+540    4.4086  0.83197\r
+550    4.3876  0.77227\r
+560    4.3672  0.7119\r
+570    4.3449  0.6647\r
+580    4.3215  0.62481\r
+590    4.2983  0.58445\r
+600    4.2752  0.54363\r
+610    4.2524  0.50234\r
+620    4.2298  0.4607\r
+630    4.2113  0.43104\r
+640    4.193   0.40111\r
+650    4.1747  0.3709\r
+660    4.1536  0.34448\r
+670    4.1315  0.31923\r
+680    4.1094  0.2937\r
+690    4.0876  0.26891\r
+700    4.0679  0.25137\r
+710    4.0482  0.23366\r
+720    4.0284  0.21578\r
+730    4.0088  0.19805\r
+740    3.9913  0.18444\r
+750    3.9738  0.17071\r
+760    3.9562  0.15686\r
+770    3.9386  0.14289\r
+780    3.9231  0.13068\r
+790    3.9096  0.1202\r
+800    3.8961  0.10964\r
+810    3.8825  0.099009\r
+820    3.869   0.088305\r
+830    3.8549  0.078883\r
+840    3.8397  0.072032\r
+\r
+250    1.8883  3.5543\r
+255    2.012   3.6139\r
+260    2.1405  3.6685\r
+265    2.274   3.717\r
+270    2.412   3.7587\r
+275    2.5539  3.7927\r
+280    2.6992  3.8184\r
+285    2.8472  3.8353\r
+290    2.997   3.8431\r
+295    3.1477  3.8414\r
+300    3.2986  3.8301\r
+305    3.4486  3.8091\r
+310    3.597   3.7784\r
+315    3.7428  3.7382\r
+320    3.8853  3.6886\r
+325    4.0234  3.6298\r
+330    4.1563  3.5623\r
+340    4.403   3.403\r
+350    4.6187  3.2159\r
+360    4.7979  3.0089\r
+370    4.9382  2.7917\r
+380    5.0405  2.574\r
+390    5.1093  2.3645\r
+400    5.1514  2.1686\r
+410    5.1739  1.9888\r
+420    5.183   1.8241\r
+430    5.1825  1.673\r
+440    5.1747  1.5329\r
+450    5.1605  1.4025\r
+460    5.1402  1.2809\r
+470    5.1143  1.1677\r
+480    5.0837  1.0635\r
+490    5.0494  0.96799\r
+500    5.0125  0.88114\r
+510    4.9743  0.80235\r
+520    4.9358  0.73102\r
+530    4.897   0.66573\r
+540    4.8591  0.60631\r
+550    4.822   0.5517\r
+560    4.7854  0.50121\r
+570    4.7494  0.45442\r
+580    4.714   0.41101\r
+590    4.6792  0.37079\r
+600    4.6448  0.33356\r
+610    4.6108  0.29918\r
+620    4.5772  0.26751\r
+630    4.5442  0.23853\r
+640    4.5118  0.2121\r
+650    4.48    0.1881\r
+660    4.4491  0.16641\r
+670    4.419   0.14689\r
+680    4.3899  0.12942\r
+690    4.3616  0.1138\r
+700    4.3344  0.099916\r
+710    4.3083  0.087613\r
+720    4.2833  0.076731\r
+730    4.2593  0.067136\r
+740    4.2365  0.0587\r
+750    4.2147  0.051292\r
+760    4.1939  0.044795\r
+770    4.1741  0.039112\r
+780    4.1553  0.034147\r
+790    4.1374  0.029812\r
+800    4.1204  0.02603\r
+810    4.1043  0.022733\r
+820    4.0891  0.019862\r
+830    4.0745  0.017361\r
+840    4.0606  0.015181\r
+\r
+250    2.0851  3.6199\r
+255    2.2337  3.6582\r
+260    2.3823  3.6858\r
+265    2.5307  3.7036\r
+270    2.6786  3.7124\r
+275    2.8256  3.7127\r
+280    2.9713  3.7048\r
+285    3.1154  3.6891\r
+290    3.2575  3.6659\r
+295    3.3975  3.6357\r
+300    3.5351  3.5987\r
+305    3.6702  3.5555\r
+310    3.8032  3.5064\r
+315    3.9347  3.4514\r
+320    4.066   3.3896\r
+325    4.1975  3.3189\r
+330    4.3278  3.2359\r
+340    4.5685  3.0256\r
+350    4.7492  2.7694\r
+360    4.8565  2.5087\r
+370    4.9112  2.2743\r
+380    4.9396  2.0707\r
+390    4.9558  1.8898\r
+400    4.9637  1.724\r
+410    4.9644  1.5694\r
+420    4.9579  1.4236\r
+430    4.9439  1.2851\r
+440    4.9213  1.1534\r
+450    4.889   1.0298\r
+460    4.8472  0.91702\r
+470    4.7985  0.81752\r
+480    4.7469  0.73245\r
+490    4.6967  0.66032\r
+500    4.6506  0.59815\r
+510    4.6093  0.54223\r
+520    4.572   0.48965\r
+530    4.5369  0.43881\r
+540    4.5022  0.38925\r
+550    4.4668  0.34141\r
+560    4.4299  0.29602\r
+570    4.3917  0.25381\r
+580    4.3523  0.21538\r
+590    4.3123  0.18103\r
+600    4.2723  0.15087\r
+610    4.2327  0.12476\r
+620    4.1942  0.10248\r
+630    4.157   0.083669\r
+640    4.1215  0.067955\r
+650    4.0877  0.05494\r
+660    4.0558  0.044243\r
+670    4.0258  0.035511\r
+680    3.9977  0.028423\r
+690    3.9715  0.022696\r
+700    3.9469  0.018091\r
+710    3.9241  0.014399\r
+720    3.9027  0.011448\r
+730    3.8828  0.0090958\r
+740    3.8642  0.0072237\r
+750    3.8468  0.0057363\r
+760    3.8305  0.0045557\r
+770    3.8152  0.0036193\r
+780    3.8009  0.002877\r
+790    3.7874  0.0022886\r
+800    3.7747  0.0018222\r
+810    3.7627  0.0014523\r
+820    3.7514  0.001159\r
+830    3.7407  0.00092604\r
+840    3.7305  0.00074093\r
+\r
+250    1.9749  2.955\r
+255     2.037   3.0172\r
+260    2.1129  3.0896\r
+265    2.2089  3.1667\r
+270    2.3278  3.2399\r
+275    2.4682  3.3004\r
+280    2.6245  3.3405\r
+285    2.7889  3.3562\r
+290    2.9528  3.3467\r
+295    3.1086  3.3147\r
+300    3.2505  3.2653\r
+305    3.3752  3.205\r
+310    3.4823  3.1409\r
+315    3.5738  3.0795\r
+320    3.6544  3.0258\r
+325    3.7303  2.9826\r
+330    3.8084  2.9495\r
+340    3.9933  2.8975\r
+350    4.2268  2.8214\r
+360    4.4825  2.6779\r
+370    4.7136  2.4574\r
+380    4.8826  2.181\r
+390    4.974   1.883\r
+400    4.9915  1.5957\r
+410    4.9513  1.3419\r
+420    4.8745  1.1329\r
+430    4.7815  0.96924\r
+440    4.6871  0.84409\r
+450    4.6001  0.74778\r
+460    4.5233  0.67089\r
+470    4.456   0.60629\r
+480    4.396   0.54952\r
+490    4.3407  0.49849\r
+500    4.2883  0.45267\r
+510    4.2378  0.41237\r
+520    4.1893  0.37809\r
+530    4.1435  0.34998\r
+540    4.1017  0.32756\r
+550    4.0647  0.30962\r
+560    4.0331  0.2945\r
+570    4.0067  0.28037\r
+580    3.9844  0.26572\r
+590    3.9649  0.24962\r
+600    3.9466  0.23183\r
+610    3.9283  0.21269\r
+620    3.909   0.19298\r
+630    3.8884  0.17356\r
+640    3.8666  0.15527\r
+650    3.8438  0.13874\r
+660    3.8205  0.12434\r
+670    3.7972  0.11222\r
+680    3.7745  0.1023\r
+690    3.7526  0.094369\r
+700    3.7318  0.088163\r
+710    3.7124  0.083375\r
+720    3.6943  0.079708\r
+730    3.6775  0.076906\r
+740    3.6619  0.074751\r
+750    3.6476  0.073069\r
+760    3.6343  0.071724\r
+770    3.6219  0.07062\r
+780    3.6105  0.069681\r
+790    3.5998  0.068856\r
+800    3.5898  0.068109\r
+810    3.5804  0.067418\r
+820    3.5716  0.066764\r
+830    3.5633  0.066135\r
+840    3.5555  0.065526\r
+\r
+250    2.0475  2.7494\r
+255    2.115   2.7552\r
+260    2.1797  2.7836\r
+265    2.259   2.8324\r
+270    2.366   2.8884\r
+275    2.5025  2.9333\r
+280    2.6594  2.9518\r
+285    2.8221  2.9373\r
+290    2.9763  2.8915\r
+295    3.1115  2.8216\r
+300    3.2224  2.7374\r
+305    3.308   2.6484\r
+310    3.3703  2.5626\r
+315    3.4127  2.4865\r
+320    3.4402  2.4255\r
+325    3.4592  2.3839\r
+330    3.4777  2.3639\r
+340    3.5513  2.3824\r
+350    3.7226  2.4262\r
+360    3.9892  2.4057\r
+370    4.2825  2.2655\r
+380    4.5247  2.0153\r
+390    4.6711  1.7035\r
+400    4.7149  1.384\r
+410    4.674   1.0976\r
+420    4.5783  0.86736\r
+430    4.4592  0.69779\r
+440    4.341   0.57975\r
+450    4.2369  0.49774\r
+460    4.1502  0.4368\r
+470    4.0779  0.38631\r
+480    4.0148  0.34069\r
+490    3.9563  0.29835\r
+500    3.8991  0.26021\r
+510    3.842   0.22836\r
+520    3.7859  0.20488\r
+530    3.7334  0.1908\r
+540    3.6877  0.18531\r
+550    3.6516  0.18547\r
+560    3.626   0.18698\r
+570    3.6093  0.18555\r
+580    3.598   0.17845\r
+590    3.588   0.16519\r
+600    3.5762  0.14722\r
+610    3.5607  0.12702\r
+620    3.5413  0.10717\r
+630    3.5188  0.089584\r
+640    3.4946  0.075298\r
+650    3.4702  0.064539\r
+660    3.4465  0.056964\r
+670    3.4244  0.051957\r
+680    3.4041  0.048844\r
+690    3.3856  0.047028\r
+700    3.3689  0.046045\r
+710    3.3538  0.045564\r
+720    3.3401  0.045364\r
+730    3.3276  0.045315\r
+740    3.316   0.045334\r
+750    3.3054  0.045374\r
+760    3.2955  0.045416\r
+770    3.2863  0.045446\r
+780    3.2776  0.045457\r
+790    3.2695  0.04545\r
+800    3.2619  0.045424\r
+810    3.2548  0.045381\r
+820    3.248   0.045319\r
+830    3.2416  0.045243\r
+840    3.2355  0.045153\r
+\r
+250    2.2097  1.9166\r
+255    2.2713  1.9154\r
+260    2.3308  1.9106\r
+265    2.388   1.9025\r
+270    2.4427  1.8919\r
+275    2.4948  1.8793\r
+280    2.544   1.8658\r
+285    2.5905  1.8524\r
+290    2.6353  1.8406\r
+295    2.6807  1.8316\r
+300    2.7306  1.8244\r
+305    2.7878  1.8131\r
+310    2.847   1.7902\r
+315    2.8967  1.7589\r
+320    2.9369  1.7318\r
+325    2.9803  1.7116\r
+330    3.0313  1.687\r
+340    3.1236  1.6115\r
+350    3.1893  1.532\r
+360    3.2444  1.4565\r
+370    3.2883  1.3813\r
+380    3.3192  1.3158\r
+390    3.352   1.2652\r
+400    3.3998  1.2162\r
+410    3.4531  1.1516\r
+420    3.4981  1.0725\r
+430    3.5275  0.98654\r
+440    3.5421  0.90115\r
+450    3.5453  0.82055\r
+460    3.5399  0.74648\r
+470    3.5285  0.67938\r
+480    3.5132  0.61898\r
+490    3.4954  0.5647\r
+500    3.4761  0.5159\r
+510    3.4557  0.47197\r
+520    3.435   0.43232\r
+530    3.4142  0.39646\r
+540    3.3936  0.36393\r
+550    3.3733  0.33439\r
+560    3.3533  0.30751\r
+570    3.3339  0.283\r
+580    3.315   0.26063\r
+590    3.2965  0.24018\r
+600    3.2786  0.22147\r
+610    3.2615  0.2043\r
+620    3.2448  0.18856\r
+630    3.2286  0.1741\r
+640    3.2132  0.16081\r
+650    3.1983  0.14857\r
+660    3.1838  0.1373\r
+670    3.17    0.12691\r
+680    3.1566  0.11733\r
+690    3.1438  0.10848\r
+700    3.1315  0.1003\r
+710    3.1196  0.092748\r
+720    3.1082  0.085758\r
+730    3.0971  0.07929\r
+740    3.0865  0.073297\r
+750    3.0764  0.067744\r
+760    3.0665  0.062599\r
+770    3.0572  0.057824\r
+780    3.0481  0.053394\r
+790    3.0393  0.049283\r
+800    3.0309  0.045465\r
+810    3.0228  0.041918\r
+820    3.015   0.038621\r
+830    3.0075  0.035557\r
+840    3.0003  0.032708\r
+\r
+250    1.586   2.4978\r
+255    1.6074  2.5443\r
+260    1.6358  2.6172\r
+265    1.6821  2.7126\r
+270    1.7555  2.8232\r
+275    1.8634  2.9378\r
+280    2.008   3.0406\r
+285    2.1823  3.1145\r
+290    2.3694  3.1485\r
+295    2.5494  3.1438\r
+300    2.7082  3.1126\r
+305    2.8421  3.0699\r
+310    2.955   3.0277\r
+315    3.0543  2.9926\r
+320    3.1476  2.9666\r
+325    3.2405  2.9481\r
+330    3.3355  2.9346\r
+340    3.5344  2.9251\r
+350    3.7873  2.9584\r
+360    4.2001  2.9593\r
+370    4.7181  2.7204\r
+380    5.085   2.2091\r
+390    5.1588  1.6323\r
+400    5.0219  1.1821\r
+410    4.8219  0.89486\r
+420    4.6391  0.7167\r
+430    4.4881  0.59585\r
+440    4.362   0.50644\r
+450    4.2542  0.4375\r
+460    4.161   0.38328\r
+470    4.08    0.33992\r
+480    4.0093  0.3045\r
+490    3.9473  0.27484\r
+500    3.8927  0.24931\r
+510    3.8441  0.22675\r
+520    3.8004  0.20637\r
+530    3.7607  0.18764\r
+540    3.7241  0.17025\r
+550    3.6901  0.15404\r
+560    3.658   0.13898\r
+570    3.6274  0.12512\r
+580    3.5982  0.11256\r
+590    3.5701  0.10144\r
+600    3.5432  0.091829\r
+610    3.5175  0.083754\r
+620    3.4932  0.077164\r
+630    3.4703  0.071937\r
+640    3.4488  0.067891\r
+650    3.429   0.064825\r
+660    3.4106  0.062531\r
+670    3.3936  0.060817\r
+680    3.378   0.059524\r
+690    3.3635  0.058524\r
+700    3.3502  0.057719\r
+710    3.3379  0.057044\r
+720    3.3264  0.056449\r
+730    3.3157  0.055905\r
+740    3.3057  0.05539\r
+750    3.2963  0.054895\r
+760    3.2875  0.054411\r
+770    3.2792  0.053934\r
+780    3.2714  0.053463\r
+790    3.264   0.052996\r
+800    3.257   0.052533\r
+810    3.2503  0.052074\r
+820    3.244   0.051619\r
+830    3.238   0.051169\r
+840    3.2323  0.050722\r
+\r
+250    1.7424  3.7535\r
+255    1.8324  3.8807\r
+260    1.9493  4.041\r
+265    2.1179  4.2233\r
+270    2.3494  4.3953\r
+275    2.6384  4.5364\r
+280    2.969   4.6246\r
+285    3.3205  4.6508\r
+290    3.6696  4.5989\r
+295    4       4.4971\r
+300    4.2953  4.3441\r
+305    4.5428  4.1493\r
+310    4.7395  3.9399\r
+315    4.8842  3.7267\r
+320    4.9863  3.5277\r
+325    5.067   3.3656\r
+330    5.1397  3.2253\r
+340    5.3318  2.9876\r
+350    5.5702  2.6852\r
+360    5.748   2.2759\r
+370    5.7911  1.8356\r
+380    5.6993  1.44\r
+390    5.5466  1.1432\r
+400    5.3849  0.93404\r
+410    5.2351  0.78155\r
+420    5.1077  0.66663\r
+430    4.9908  0.57113\r
+440    4.8901  0.49318\r
+450    4.7991  0.42732\r
+460    4.7103  0.36949\r
+470    4.6378  0.32322\r
+480    4.5627  0.28155\r
+490    4.4961  0.24679\r
+500    4.4356  0.21745\r
+510    4.3801  0.19242\r
+520    4.33    0.17122\r
+530    4.285   0.15309\r
+540    4.2377  0.1368\r
+550    4.2011  0.12344\r
+560    4.16    0.11119\r
+570    4.1274  0.10097\r
+580    4.0965  0.091894\r
+590    4.0645  0.083724\r
+600    4.0364  0.076564\r
+610    4.0104  0.070223\r
+620    3.9864  0.064559\r
+630    3.964   0.059485\r
+640    3.9441  0.05492\r
+650    3.9247  0.050757\r
+660    3.9041  0.046929\r
+670    3.8866  0.043453\r
+680    3.8723  0.040318\r
+690    3.8539  0.037376\r
+700    3.8408  0.03471\r
+710    3.8252  0.032223\r
+720    3.8138  0.029944\r
+730    3.7991  0.027811\r
+740    3.7887  0.025855\r
+750    3.7764  0.024022\r
+760    3.7647  0.02232\r
+770    3.7554  0.020744\r
+780    3.7467  0.019271\r
+790    3.7356  0.017895\r
+800    3.7261  0.016614\r
+810    3.7173  0.015423\r
+820    3.7094  0.014311\r
+830    3.7019  0.013274\r
+840    3.6947  0.012305\r
+\r
+250    1.7378  3.666\r
+255    1.7652  3.8459\r
+260    1.8444  4.0756\r
+265    1.9562  4.3515\r
+270    2.1565  4.6809\r
+275    2.5465  5.0141\r
+280    3.0723  5.2367\r
+285    3.6987  5.3138\r
+290    4.4516  5.1293\r
+295    4.9074  4.5898\r
+300    5.0553  4.0982\r
+305    5.0761  3.7662\r
+310    5.068   3.5345\r
+315    5.0723  3.3746\r
+320    5.0888  3.2508\r
+325    5.1266  3.1488\r
+330    5.1725  3.0656\r
+340    5.2875  2.9364\r
+350    5.4789  2.8841\r
+360    6.0025  2.8805\r
+370    6.8357  2.0667\r
+380    6.5408  0.8987\r
+390    5.9693  0.47323\r
+400    5.5857  0.30753\r
+410    5.3022  0.22232\r
+420    5.089   0.1722\r
+430    4.9218  0.13815\r
+440    4.7867  0.11511\r
+450    4.675   0.097097\r
+460    4.5736  0.083067\r
+470    4.4875  0.072057\r
+480    4.4134  0.063046\r
+490    4.3464  0.055047\r
+500    4.2982  0.050024\r
+510    4.2363  0.044037\r
+520    4.1903  0.040025\r
+530    4.1473  0.037013\r
+540    4.1122  0.032039\r
+550    4.0762  0.030013\r
+560    4.0422  0.028013\r
+570    4.0132  0.025027\r
+580    3.9852  0.024\r
+590    3.9592  0.022014\r
+600    3.9362  0.020014\r
+610    3.9141  0.019029\r
+620    3.8931  0.018015\r
+630    3.8752  0.016015\r
+640    3.8581  0.016015\r
+650    3.8421  0.015\r
+660    3.8251  0.014\r
+670    3.8121  0.013016\r
+680    3.7981  0.012016\r
+690    3.7851  0.011033\r
+700    3.7711  0.011\r
+710    3.7601  0.01\r
+720    3.7481  0.0099828\r
+730    3.7391  0.008035\r
+740    3.7281  0.0080177\r
+750    3.7181  0.0060359\r
+760    3.7101  0.008\r
+770    3.7011  0.0050369\r
+780    3.6941  0.0079814\r
+790    3.6841  0.0060566\r
+800    3.6781  0.0040956\r
+810    3.668   0.0069612\r
+820    3.6631  0.005\r
+830    3.6581  0.0069604\r
+840    3.6481  0.0068833\r
+\r

UCC git Repository :: git.ucc.asn.au