Poly-silicon interpolation file, from LPCVD x=(0.1 is 545°, 0.9 is 655°) ALLOY nm NK 9 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.7 0.8 1.0 0 250 1.7239 2.7774 255 1.8067 2.8211 260 1.8928 2.8619 265 1.9873 2.8974 270 2.0796 2.9323 275 2.1746 2.956 280 2.2672 2.9808 285 2.3635 3.0011 290 2.461 3.0196 295 2.5562 3.0392 300 2.6625 3.0448 305 2.7673 3.0515 310 2.87 3.06 315 2.9755 3.0389 320 3.08 3.0202 325 3.1833 3.0039 330 3.2799 2.9731 340 3.4679 2.9066 350 3.6518 2.828 360 3.8228 2.7176 370 3.9611 2.5926 380 4.0793 2.4692 390 4.189 2.3443 400 4.268 2.2031 410 4.3515 2.0649 420 4.3977 1.9336 430 4.427 1.8046 440 4.4601 1.6759 450 4.472 1.5645 460 4.4767 1.4591 470 4.4838 1.3532 480 4.4864 1.2542 490 4.4758 1.1706 500 4.4677 1.0908 510 4.4627 1.0176 520 4.4524 0.94932 530 4.4302 0.89099 540 4.4086 0.83197 550 4.3876 0.77227 560 4.3672 0.7119 570 4.3449 0.6647 580 4.3215 0.62481 590 4.2983 0.58445 600 4.2752 0.54363 610 4.2524 0.50234 620 4.2298 0.4607 630 4.2113 0.43104 640 4.193 0.40111 650 4.1747 0.3709 660 4.1536 0.34448 670 4.1315 0.31923 680 4.1094 0.2937 690 4.0876 0.26891 700 4.0679 0.25137 710 4.0482 0.23366 720 4.0284 0.21578 730 4.0088 0.19805 740 3.9913 0.18444 750 3.9738 0.17071 760 3.9562 0.15686 770 3.9386 0.14289 780 3.9231 0.13068 790 3.9096 0.1202 800 3.8961 0.10964 810 3.8825 0.099009 820 3.869 0.088305 830 3.8549 0.078883 840 3.8397 0.072032 250 1.8883 3.5543 255 2.012 3.6139 260 2.1405 3.6685 265 2.274 3.717 270 2.412 3.7587 275 2.5539 3.7927 280 2.6992 3.8184 285 2.8472 3.8353 290 2.997 3.8431 295 3.1477 3.8414 300 3.2986 3.8301 305 3.4486 3.8091 310 3.597 3.7784 315 3.7428 3.7382 320 3.8853 3.6886 325 4.0234 3.6298 330 4.1563 3.5623 340 4.403 3.403 350 4.6187 3.2159 360 4.7979 3.0089 370 4.9382 2.7917 380 5.0405 2.574 390 5.1093 2.3645 400 5.1514 2.1686 410 5.1739 1.9888 420 5.183 1.8241 430 5.1825 1.673 440 5.1747 1.5329 450 5.1605 1.4025 460 5.1402 1.2809 470 5.1143 1.1677 480 5.0837 1.0635 490 5.0494 0.96799 500 5.0125 0.88114 510 4.9743 0.80235 520 4.9358 0.73102 530 4.897 0.66573 540 4.8591 0.60631 550 4.822 0.5517 560 4.7854 0.50121 570 4.7494 0.45442 580 4.714 0.41101 590 4.6792 0.37079 600 4.6448 0.33356 610 4.6108 0.29918 620 4.5772 0.26751 630 4.5442 0.23853 640 4.5118 0.2121 650 4.48 0.1881 660 4.4491 0.16641 670 4.419 0.14689 680 4.3899 0.12942 690 4.3616 0.1138 700 4.3344 0.099916 710 4.3083 0.087613 720 4.2833 0.076731 730 4.2593 0.067136 740 4.2365 0.0587 750 4.2147 0.051292 760 4.1939 0.044795 770 4.1741 0.039112 780 4.1553 0.034147 790 4.1374 0.029812 800 4.1204 0.02603 810 4.1043 0.022733 820 4.0891 0.019862 830 4.0745 0.017361 840 4.0606 0.015181 250 2.0851 3.6199 255 2.2337 3.6582 260 2.3823 3.6858 265 2.5307 3.7036 270 2.6786 3.7124 275 2.8256 3.7127 280 2.9713 3.7048 285 3.1154 3.6891 290 3.2575 3.6659 295 3.3975 3.6357 300 3.5351 3.5987 305 3.6702 3.5555 310 3.8032 3.5064 315 3.9347 3.4514 320 4.066 3.3896 325 4.1975 3.3189 330 4.3278 3.2359 340 4.5685 3.0256 350 4.7492 2.7694 360 4.8565 2.5087 370 4.9112 2.2743 380 4.9396 2.0707 390 4.9558 1.8898 400 4.9637 1.724 410 4.9644 1.5694 420 4.9579 1.4236 430 4.9439 1.2851 440 4.9213 1.1534 450 4.889 1.0298 460 4.8472 0.91702 470 4.7985 0.81752 480 4.7469 0.73245 490 4.6967 0.66032 500 4.6506 0.59815 510 4.6093 0.54223 520 4.572 0.48965 530 4.5369 0.43881 540 4.5022 0.38925 550 4.4668 0.34141 560 4.4299 0.29602 570 4.3917 0.25381 580 4.3523 0.21538 590 4.3123 0.18103 600 4.2723 0.15087 610 4.2327 0.12476 620 4.1942 0.10248 630 4.157 0.083669 640 4.1215 0.067955 650 4.0877 0.05494 660 4.0558 0.044243 670 4.0258 0.035511 680 3.9977 0.028423 690 3.9715 0.022696 700 3.9469 0.018091 710 3.9241 0.014399 720 3.9027 0.011448 730 3.8828 0.0090958 740 3.8642 0.0072237 750 3.8468 0.0057363 760 3.8305 0.0045557 770 3.8152 0.0036193 780 3.8009 0.002877 790 3.7874 0.0022886 800 3.7747 0.0018222 810 3.7627 0.0014523 820 3.7514 0.001159 830 3.7407 0.00092604 840 3.7305 0.00074093 250 1.9749 2.955 255 2.037 3.0172 260 2.1129 3.0896 265 2.2089 3.1667 270 2.3278 3.2399 275 2.4682 3.3004 280 2.6245 3.3405 285 2.7889 3.3562 290 2.9528 3.3467 295 3.1086 3.3147 300 3.2505 3.2653 305 3.3752 3.205 310 3.4823 3.1409 315 3.5738 3.0795 320 3.6544 3.0258 325 3.7303 2.9826 330 3.8084 2.9495 340 3.9933 2.8975 350 4.2268 2.8214 360 4.4825 2.6779 370 4.7136 2.4574 380 4.8826 2.181 390 4.974 1.883 400 4.9915 1.5957 410 4.9513 1.3419 420 4.8745 1.1329 430 4.7815 0.96924 440 4.6871 0.84409 450 4.6001 0.74778 460 4.5233 0.67089 470 4.456 0.60629 480 4.396 0.54952 490 4.3407 0.49849 500 4.2883 0.45267 510 4.2378 0.41237 520 4.1893 0.37809 530 4.1435 0.34998 540 4.1017 0.32756 550 4.0647 0.30962 560 4.0331 0.2945 570 4.0067 0.28037 580 3.9844 0.26572 590 3.9649 0.24962 600 3.9466 0.23183 610 3.9283 0.21269 620 3.909 0.19298 630 3.8884 0.17356 640 3.8666 0.15527 650 3.8438 0.13874 660 3.8205 0.12434 670 3.7972 0.11222 680 3.7745 0.1023 690 3.7526 0.094369 700 3.7318 0.088163 710 3.7124 0.083375 720 3.6943 0.079708 730 3.6775 0.076906 740 3.6619 0.074751 750 3.6476 0.073069 760 3.6343 0.071724 770 3.6219 0.07062 780 3.6105 0.069681 790 3.5998 0.068856 800 3.5898 0.068109 810 3.5804 0.067418 820 3.5716 0.066764 830 3.5633 0.066135 840 3.5555 0.065526 250 2.0475 2.7494 255 2.115 2.7552 260 2.1797 2.7836 265 2.259 2.8324 270 2.366 2.8884 275 2.5025 2.9333 280 2.6594 2.9518 285 2.8221 2.9373 290 2.9763 2.8915 295 3.1115 2.8216 300 3.2224 2.7374 305 3.308 2.6484 310 3.3703 2.5626 315 3.4127 2.4865 320 3.4402 2.4255 325 3.4592 2.3839 330 3.4777 2.3639 340 3.5513 2.3824 350 3.7226 2.4262 360 3.9892 2.4057 370 4.2825 2.2655 380 4.5247 2.0153 390 4.6711 1.7035 400 4.7149 1.384 410 4.674 1.0976 420 4.5783 0.86736 430 4.4592 0.69779 440 4.341 0.57975 450 4.2369 0.49774 460 4.1502 0.4368 470 4.0779 0.38631 480 4.0148 0.34069 490 3.9563 0.29835 500 3.8991 0.26021 510 3.842 0.22836 520 3.7859 0.20488 530 3.7334 0.1908 540 3.6877 0.18531 550 3.6516 0.18547 560 3.626 0.18698 570 3.6093 0.18555 580 3.598 0.17845 590 3.588 0.16519 600 3.5762 0.14722 610 3.5607 0.12702 620 3.5413 0.10717 630 3.5188 0.089584 640 3.4946 0.075298 650 3.4702 0.064539 660 3.4465 0.056964 670 3.4244 0.051957 680 3.4041 0.048844 690 3.3856 0.047028 700 3.3689 0.046045 710 3.3538 0.045564 720 3.3401 0.045364 730 3.3276 0.045315 740 3.316 0.045334 750 3.3054 0.045374 760 3.2955 0.045416 770 3.2863 0.045446 780 3.2776 0.045457 790 3.2695 0.04545 800 3.2619 0.045424 810 3.2548 0.045381 820 3.248 0.045319 830 3.2416 0.045243 840 3.2355 0.045153 250 2.2097 1.9166 255 2.2713 1.9154 260 2.3308 1.9106 265 2.388 1.9025 270 2.4427 1.8919 275 2.4948 1.8793 280 2.544 1.8658 285 2.5905 1.8524 290 2.6353 1.8406 295 2.6807 1.8316 300 2.7306 1.8244 305 2.7878 1.8131 310 2.847 1.7902 315 2.8967 1.7589 320 2.9369 1.7318 325 2.9803 1.7116 330 3.0313 1.687 340 3.1236 1.6115 350 3.1893 1.532 360 3.2444 1.4565 370 3.2883 1.3813 380 3.3192 1.3158 390 3.352 1.2652 400 3.3998 1.2162 410 3.4531 1.1516 420 3.4981 1.0725 430 3.5275 0.98654 440 3.5421 0.90115 450 3.5453 0.82055 460 3.5399 0.74648 470 3.5285 0.67938 480 3.5132 0.61898 490 3.4954 0.5647 500 3.4761 0.5159 510 3.4557 0.47197 520 3.435 0.43232 530 3.4142 0.39646 540 3.3936 0.36393 550 3.3733 0.33439 560 3.3533 0.30751 570 3.3339 0.283 580 3.315 0.26063 590 3.2965 0.24018 600 3.2786 0.22147 610 3.2615 0.2043 620 3.2448 0.18856 630 3.2286 0.1741 640 3.2132 0.16081 650 3.1983 0.14857 660 3.1838 0.1373 670 3.17 0.12691 680 3.1566 0.11733 690 3.1438 0.10848 700 3.1315 0.1003 710 3.1196 0.092748 720 3.1082 0.085758 730 3.0971 0.07929 740 3.0865 0.073297 750 3.0764 0.067744 760 3.0665 0.062599 770 3.0572 0.057824 780 3.0481 0.053394 790 3.0393 0.049283 800 3.0309 0.045465 810 3.0228 0.041918 820 3.015 0.038621 830 3.0075 0.035557 840 3.0003 0.032708 250 1.586 2.4978 255 1.6074 2.5443 260 1.6358 2.6172 265 1.6821 2.7126 270 1.7555 2.8232 275 1.8634 2.9378 280 2.008 3.0406 285 2.1823 3.1145 290 2.3694 3.1485 295 2.5494 3.1438 300 2.7082 3.1126 305 2.8421 3.0699 310 2.955 3.0277 315 3.0543 2.9926 320 3.1476 2.9666 325 3.2405 2.9481 330 3.3355 2.9346 340 3.5344 2.9251 350 3.7873 2.9584 360 4.2001 2.9593 370 4.7181 2.7204 380 5.085 2.2091 390 5.1588 1.6323 400 5.0219 1.1821 410 4.8219 0.89486 420 4.6391 0.7167 430 4.4881 0.59585 440 4.362 0.50644 450 4.2542 0.4375 460 4.161 0.38328 470 4.08 0.33992 480 4.0093 0.3045 490 3.9473 0.27484 500 3.8927 0.24931 510 3.8441 0.22675 520 3.8004 0.20637 530 3.7607 0.18764 540 3.7241 0.17025 550 3.6901 0.15404 560 3.658 0.13898 570 3.6274 0.12512 580 3.5982 0.11256 590 3.5701 0.10144 600 3.5432 0.091829 610 3.5175 0.083754 620 3.4932 0.077164 630 3.4703 0.071937 640 3.4488 0.067891 650 3.429 0.064825 660 3.4106 0.062531 670 3.3936 0.060817 680 3.378 0.059524 690 3.3635 0.058524 700 3.3502 0.057719 710 3.3379 0.057044 720 3.3264 0.056449 730 3.3157 0.055905 740 3.3057 0.05539 750 3.2963 0.054895 760 3.2875 0.054411 770 3.2792 0.053934 780 3.2714 0.053463 790 3.264 0.052996 800 3.257 0.052533 810 3.2503 0.052074 820 3.244 0.051619 830 3.238 0.051169 840 3.2323 0.050722 250 1.7424 3.7535 255 1.8324 3.8807 260 1.9493 4.041 265 2.1179 4.2233 270 2.3494 4.3953 275 2.6384 4.5364 280 2.969 4.6246 285 3.3205 4.6508 290 3.6696 4.5989 295 4 4.4971 300 4.2953 4.3441 305 4.5428 4.1493 310 4.7395 3.9399 315 4.8842 3.7267 320 4.9863 3.5277 325 5.067 3.3656 330 5.1397 3.2253 340 5.3318 2.9876 350 5.5702 2.6852 360 5.748 2.2759 370 5.7911 1.8356 380 5.6993 1.44 390 5.5466 1.1432 400 5.3849 0.93404 410 5.2351 0.78155 420 5.1077 0.66663 430 4.9908 0.57113 440 4.8901 0.49318 450 4.7991 0.42732 460 4.7103 0.36949 470 4.6378 0.32322 480 4.5627 0.28155 490 4.4961 0.24679 500 4.4356 0.21745 510 4.3801 0.19242 520 4.33 0.17122 530 4.285 0.15309 540 4.2377 0.1368 550 4.2011 0.12344 560 4.16 0.11119 570 4.1274 0.10097 580 4.0965 0.091894 590 4.0645 0.083724 600 4.0364 0.076564 610 4.0104 0.070223 620 3.9864 0.064559 630 3.964 0.059485 640 3.9441 0.05492 650 3.9247 0.050757 660 3.9041 0.046929 670 3.8866 0.043453 680 3.8723 0.040318 690 3.8539 0.037376 700 3.8408 0.03471 710 3.8252 0.032223 720 3.8138 0.029944 730 3.7991 0.027811 740 3.7887 0.025855 750 3.7764 0.024022 760 3.7647 0.02232 770 3.7554 0.020744 780 3.7467 0.019271 790 3.7356 0.017895 800 3.7261 0.016614 810 3.7173 0.015423 820 3.7094 0.014311 830 3.7019 0.013274 840 3.6947 0.012305 250 1.7378 3.666 255 1.7652 3.8459 260 1.8444 4.0756 265 1.9562 4.3515 270 2.1565 4.6809 275 2.5465 5.0141 280 3.0723 5.2367 285 3.6987 5.3138 290 4.4516 5.1293 295 4.9074 4.5898 300 5.0553 4.0982 305 5.0761 3.7662 310 5.068 3.5345 315 5.0723 3.3746 320 5.0888 3.2508 325 5.1266 3.1488 330 5.1725 3.0656 340 5.2875 2.9364 350 5.4789 2.8841 360 6.0025 2.8805 370 6.8357 2.0667 380 6.5408 0.8987 390 5.9693 0.47323 400 5.5857 0.30753 410 5.3022 0.22232 420 5.089 0.1722 430 4.9218 0.13815 440 4.7867 0.11511 450 4.675 0.097097 460 4.5736 0.083067 470 4.4875 0.072057 480 4.4134 0.063046 490 4.3464 0.055047 500 4.2982 0.050024 510 4.2363 0.044037 520 4.1903 0.040025 530 4.1473 0.037013 540 4.1122 0.032039 550 4.0762 0.030013 560 4.0422 0.028013 570 4.0132 0.025027 580 3.9852 0.024 590 3.9592 0.022014 600 3.9362 0.020014 610 3.9141 0.019029 620 3.8931 0.018015 630 3.8752 0.016015 640 3.8581 0.016015 650 3.8421 0.015 660 3.8251 0.014 670 3.8121 0.013016 680 3.7981 0.012016 690 3.7851 0.011033 700 3.7711 0.011 710 3.7601 0.01 720 3.7481 0.0099828 730 3.7391 0.008035 740 3.7281 0.0080177 750 3.7181 0.0060359 760 3.7101 0.008 770 3.7011 0.0050369 780 3.6941 0.0079814 790 3.6841 0.0060566 800 3.6781 0.0040956 810 3.668 0.0069612 820 3.6631 0.005 830 3.6581 0.0069604 840 3.6481 0.0068833