1 Poly-silicon interpolation file
\r
6 -0.1 0.00 .171 .318 .643 1.0
\r
133 440 4.7874 0.090355
\r
134 450 4.6667 0.076612
\r
135 460 4.5651 0.067887
\r
136 470 4.4788 0.061914
\r
138 490 4.3402 0.053663
\r
139 500 4.2831 0.050332
\r
140 510 4.2326 0.047279
\r
141 520 4.1872 0.044414
\r
142 530 4.1462 0.041707
\r
145 560 4.0438 0.034448
\r
146 570 4.0151 0.032283
\r
147 580 3.9884 0.030237
\r
148 590 3.9638 0.028308
\r
150 610 3.9197 0.024771
\r
151 620 3.8997 0.023147
\r
153 640 3.8634 0.020186
\r
154 650 3.8469 0.018834
\r
155 660 3.8314 0.017554
\r
156 670 3.8167 0.016359
\r
157 680 3.8028 0.015227
\r
158 690 3.7897 0.014163
\r
159 700 3.7772 0.013167
\r
160 710 3.7654 0.012227
\r
161 720 3.7542 0.011341
\r
163 740 3.7334 0.0097331
\r
164 750 3.7237 0.0090024
\r
165 760 3.7145 0.0083162
\r
166 770 3.7057 0.0076725
\r
167 780 3.6973 0.0070687
\r
168 790 3.6893 0.006503
\r
169 800 3.6815 0.0059735
\r
170 810 3.6742 0.005478
\r
171 820 3.6671 0.0050147
\r
172 830 3.6603 0.0045817
\r
173 840 3.6538 0.004177
\r
178 232.5 1.4188 3.5385
\r
180 237.5 1.5288 3.6114
\r
184 247.5 1.6989 3.8317
\r
231 590 4.0943 0.096635
\r
232 600 4.0671 0.088754
\r
233 610 4.0432 0.081092
\r
234 620 4.0205 0.074339
\r
235 630 4.0008 0.068589
\r
236 640 3.9815 0.062925
\r
237 650 3.9619 0.057152
\r
238 660 3.9432 0.052043
\r
239 670 3.9263 0.047734
\r
240 680 3.9114 0.043417
\r
241 690 3.8997 0.040688
\r
243 710 3.8535 0.028583
\r
244 720 3.8441 0.026821
\r
245 730 3.8351 0.024974
\r
246 740 3.8232 0.022483
\r
247 750 3.8116 0.020615
\r
248 760 3.8007 0.018583
\r
249 770 3.7897 0.016307
\r
250 780 3.7798 0.014431
\r
251 790 3.7702 0.013068
\r
252 800 3.7609 0.012064
\r
253 810 3.7521 0.010726
\r
254 820 3.742 0.0090733
\r
255 830 3.7359 0.0081832
\r
256 840 3.7264 0.0070074
\r
261 232.5 1.6926 3.2231
\r
265 242.5 1.9062 3.3387
\r
267 247.5 2.0184 3.3907
\r
318 630 4.2047 0.086836
\r
320 650 4.1391 0.056327
\r
321 660 4.1056 0.044117
\r
322 670 4.0754 0.034172
\r
324 690 4.0207 0.019865
\r
325 700 3.9967 0.015082
\r
326 710 3.9742 0.010785
\r
327 720 3.9482 0.0082732
\r
328 730 3.9281 0.0063903
\r
329 740 3.9102 0.0050931
\r
330 750 3.8917 0.0041779
\r
331 760 3.8758 0.0038197
\r
332 770 3.8605 0.0036995
\r
333 780 3.847 0.0020036
\r
334 790 3.8317 0.0015204
\r
335 800 3.8198 0.0031397
\r
336 810 3.8078 0.0029874
\r
337 820 3.7954 0.0029785
\r
338 830 3.7861 0.0029849
\r
339 840 3.7764 0.0031942
\r
342 227.5 1.2311 2.8807
\r
346 237.5 1.3569 3.0091
\r
348 242.5 1.4564 3.0739
\r
350 247.5 1.5505 3.1327
\r
407 690 4.1966 0.090792
\r
408 700 4.1689 0.077374
\r
412 740 4.0695 0.035642
\r
413 750 4.0468 0.028529
\r
415 770 4.0041 0.017209
\r
416 780 3.9858 0.012675
\r
417 790 3.9665 0.0092652
\r
418 800 3.9493 0.0053832
\r
419 810 3.932 0.0035892
\r
420 820 3.9148 0.002487
\r
425 227.5 1.3602 3.4037
\r
427 232.5 1.5047 3.3982
\r
431 242.5 1.7103 3.5167
\r
433 247.5 1.8276 3.5785
\r
491 700 4.3386 0.095698
\r
492 710 4.3095 0.082822
\r
493 720 4.2842 0.071063
\r
494 730 4.2594 0.061261
\r
496 750 4.2147 0.045432
\r
497 760 4.1925 0.038963
\r
498 770 4.1715 0.033505
\r
499 780 4.1521 0.028941
\r
501 800 4.1166 0.021961
\r
502 810 4.0993 0.019403
\r
503 820 4.0814 0.017322
\r
504 830 4.0707 0.016146
\r
505 840 4.0544 0.014866
\r