research/ellipsometry/9-1-12/data_files/au_si_test1_spectr.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=0, Isotropic, AutoRetarder=0, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=10, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Mon Jan 09 13:43:32 2012]\r
   3 Original[au_si_test1_spectr.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 3000.000000     35.000000       12.181169       3.3916368       25.5613 2097.88\r
   6 3100.000000     35.000000       85.309029       173.43027       25.8331 2760.5\r
   7 3200.000000     35.000000       76.269226       166.40422       32.1824 592.32\r
   8 3300.000000     35.000000       81.663841       174.52458       11.1847 816.247\r
   9 3400.000000     35.000000       89.99839        168.52834       72.2247 6.24954e+006\r
  10 3500.000000     35.000000       83.673203       0       27.5519 2.90717e+006\r
  11 3600.000000     35.000000       89.489792       0       95.9324 1.22447e+008\r
  12 3700.000000     35.000000       82.289413       156.14304       14.6519 270.917\r
  13 3800.000000     35.000000       89.997292       124.33974       64965.6 9.3991e+008\r
  14 3900.000000     35.000000       76.297928       0       45.7983 2.27902e+006\r
  15 4000.000000     35.000000       75.529617       98.843567       13.2541 55.3492\r
  16 4100.000000     35.000000       61.562878       90.736061       22.921  53.6677\r
  17 4200.000000     35.000000       20.83967        52.4007 19.4409 73.5612\r
  18 4300.000000     35.000000       7.886477        87.869492       9.08959 65.0251\r
  19 4400.000000     35.000000       16.642672       63.144726       15.0282 58.6465\r
  20 4500.000000     35.000000       11.752634       179.63908       10.5388 8507.26\r
  21 4600.000000     35.000000       53.244728       75.354424       43.9482 60.2532\r
  22 4700.000000     35.000000       20.586094       118.43565       15.9649 45.625\r
  23 4800.000000     35.000000       17.228552       107.51789       8.27171 30.1571\r
  24 4900.000000     35.000000       20.354353       82.910255       10.0084 30.4436\r
  25 5000.000000     35.000000       35.481819       105.33198       7.27826 15.7886\r
  26 5100.000000     35.000000       31.001244       150.65503       10.6934 49.2468\r
  27 5200.000000     35.000000       37.808239       169.98936       8.49362 100.784\r
  28 5300.000000     35.000000       29.3916 149.57455       9.28109 42.7988\r
  29 5400.000000     35.000000       32.418396       177.76404       9.86713 557.59\r
  30 5500.000000     35.000000       17.679382       179.24435       7.23169 1882.64\r
  31 5600.000000     35.000000       24.013227       179.74324       5.75902 3391.28\r
  32 5700.000000     35.000000       34.507767       139.23438       6.91649 22.6558\r
  33 5800.000000     35.000000       24.559299       134.98351       6.7982  24.3599\r
  34 5900.000000     35.000000       30.798033       132.92444       6.1146  18.9507\r
  35 6000.000000     35.000000       28.523193       123.23363       7.38218 20.9719\r
  36 6100.000000     35.000000       30.916599       155.56216       7.19128 39.3956\r
  37 6200.000000     35.000000       19.750006       104.61605       6.05981 19.6503\r
  38 6300.000000     35.000000       32.209198       178.03683       7.03518 454.208\r
  39 6400.000000     35.000000       27.600641       156.99254       7.76828 47.7035\r
  40 6500.000000     35.000000       25.170177       179.57503       31.7294 11245.2\r
  41 6600.000000     35.000000       21.942074       179.33537       7.70968 1932.07\r
  42 6700.000000     35.000000       27.663593       176.19913       13.7429 504.731\r
  43 6800.000000     35.000000       30.560337       132.02347       8.06863 24.7095\r
  44 6900.000000     35.000000       33.906979       131.91748       7.3777  21.3146\r
  45 7000.000000     35.000000       37.565067       121.78306       9.55048 23.0965\r
  46 7100.000000     35.000000       33.769711       118.16645       7.68242 18.7163\r
  47 7200.000000     35.000000       38.722622       138.06737       8.84305 26.9155\r
  48 7300.000000     35.000000       36.840008       124.90128       9.22889 23.2738\r
  49 7400.000000     35.000000       21.239746       126.61326       11.2421 39.0926\r
  50 7500.000000     35.000000       21.227545       109.07391       7.99251 25.0555\r
  51 7600.000000     35.000000       47.452599       120.02915       14.7816 34.1286\r
  52 7700.000000     35.000000       38.246407       177.79442       41.9475 2246.72\r
  53 7800.000000     35.000000       36.79528        173.36026       30.4544 549.54\r
  54 7900.000000     35.000000       39.029648       93.638466       30.0612 38.5336\r
  55 8000.000000     35.000000       45.808533       116.80827       12.2637 27.4699\r
  56 3000.000000     45.000000       67.789009       50.181942       14.0353 51.2715\r
  57 3100.000000     45.000000       67.577614       0       119.916 3.87922e+006\r
  58 3200.000000     45.000000       67.57032        179.02461       52.2603 8660.46\r
  59 3300.000000     45.000000       72.123421       16.740934       17.4738 207.242\r
  60 3400.000000     45.000000       73.886757       128.92015       17.5378 84.225\r
  61 3500.000000     45.000000       44.251114       151.6714        123.599 518.869\r
  62 3600.000000     45.000000       48.582699       170.80441       86.4266 1088.34\r
  63 3700.000000     45.000000       88.536659       0       174.043 7.76584e+007\r
  64 3800.000000     45.000000       86.527908       0       11.0902 2.10091e+006\r
  65 3900.000000     45.000000       86.753746       32.594803       8.19368 241.926\r
  66 4000.000000     45.000000       81.034531       49.00029        6.28961 53.9508\r
  67 4100.000000     45.000000       60.599804       124.37592       16.7518 45.5899\r
  68 4200.000000     45.000000       1.7575697       0       61.7224 2.30781e+007\r
  69 4300.000000     45.000000       39.66993        179.67529       20.4422 7455.25\r
  70 4400.000000     45.000000       43.458176       94.943481       52.7124 80.1186\r
  71 4500.000000     45.000000       21.471081       122.61913       25.559  60.7182\r
  72 4600.000000     45.000000       14.72009        98.975471       10.9727 36.9885\r
  73 4700.000000     45.000000       13.80634        68.128448       8.08623 37.5274\r
  74 4800.000000     45.000000       15.619807       103.05718       8.9341  35.3012\r
  75 4900.000000     45.000000       11.155248       84.800781       4.71679 23.9682\r
  76 5000.000000     45.000000       54.595879       1.5791212       35.3325 2723.08\r
  77 5100.000000     45.000000       23.579584       121.30782       9.06661 25.014\r
  78 5200.000000     45.000000       19.693014       164.86484       55.8317 668.423\r
  79 5300.000000     45.000000       24.209911       179.71558       10.4205 5712.81\r
  80 5400.000000     45.000000       72.97525        0       116.478 4.76428e+006\r
  81 5500.000000     45.000000       19.454546       125.3427        6.6752  24.6253\r
  82 5600.000000     45.000000       23.733093       145.85934       7.74113 35.1459\r
  83 5700.000000     45.000000       22.260824       127.57607       6.82766 24.5312\r
  84 5800.000000     45.000000       23.683819       105.80202       5.44198 15.3401\r
  85 5900.000000     45.000000       23.089899       104.79211       7.33817 21.0294\r
  86 6000.000000     45.000000       26.154993       175.6963        11.2335 377.802\r
  87 6100.000000     45.000000       27.841089       145.85486       13.7165 56.3582\r
  88 6200.000000     45.000000       31.014782       87.911873       24.2279 36.6856\r
  89 6300.000000     45.000000       35.175613       88.861252       8.0072  16.7951\r
  90 6400.000000     45.000000       38.469097       110.32344       22.9792 37.5492\r
  91 6500.000000     45.000000       14.618432       115.10352       5.51786 24.0937\r
  92 6600.000000     45.000000       49.451668       179.8725        25.7804 22568\r
  93 6700.000000     45.000000       38.850845       98.913612       9.23757 17.4672\r
  94 6800.000000     45.000000       27.52063        179.66493       32.804  13486.8\r
  95 6900.000000     45.000000       31.690973       108.4785        7.94512 18.4995\r
  96 7000.000000     45.000000       35.630512       103.00717       6.21671 12.8532\r
  97 7100.000000     45.000000       14.161415       77.085793       9.71282 35.152\r
  98 7200.000000     45.000000       29.751993       157.0746        13.0941 77.561\r
  99 7300.000000     45.000000       20.884569       87.705925       12.0851 35.6502\r
 100 7400.000000     45.000000       32.711502       118.25096       9.8027  24.186\r
 101 7500.000000     45.000000       12.056933       166.3204        32.0862 663.244\r
 102 7600.000000     45.000000       22.005743       104.32276       20.7772 61.2226\r
 103 7700.000000     45.000000       20.307926       104.34969       8.37432 26.4596\r
 104 7800.000000     45.000000       24.857803       96.783798       15.8534 37.8772\r
 105 7900.000000     45.000000       7.8808546       101.85588       4.23119 30.9604\r
 106 8000.000000     45.000000       37.707569       143.31033       13.6445 47.0269\r
 107 3000.000000     55.000000       7.7715659       172.91515       79.7456 4826.64\r
 108 3100.000000     55.000000       8.9646759       0.89322734      10.491  4396.64\r
 109 3200.000000     55.000000       9.2177448       80.366608       5.94088 37.9826\r
 110 3300.000000     55.000000       14.580359       69.100342       43.4137 178.962\r
 111 3400.000000     55.000000       50.974819       0       724.325 1.6962e+007\r
 112 3500.000000     55.000000       85.973816       2.9430671       14.5404 4047.47\r
 113 3600.000000     55.000000       87.64238        15.819463       25.2509 2185.9\r
 114 3700.000000     55.000000       82.873596       62.032188       9.56143 84.1033\r
 115 3800.000000     55.000000       78.595947       5.6987371       83.3133 4332.09\r
 116 3900.000000     55.000000       24.592094       0       129.632 3.92674e+006\r
 117 4000.000000     55.000000       6.2205305       0       18.2817 1.94538e+006\r
 118 4100.000000     55.000000       7.8050776       0       25.8024 2.19684e+006\r
 119 4200.000000     55.000000       5.3160052       89.45237        6.17118 55.2328\r
 120 4300.000000     55.000000       1.8623071       0       28.0697 9.88598e+006\r
 121 4400.000000     55.000000       13.799349       0       72.0729 3.54181e+006\r
 122 4500.000000     55.000000       51.339382       71.788071       25.0002 43.102\r
 123 4600.000000     55.000000       19.980286       23.062119       11.4502 88.3188\r
 124 4700.000000     55.000000       16.716139       179.59552       11.7299 6107.02\r
 125 4800.000000     55.000000       13.289283       179.92691       7.57408 24841.1\r
 126 4900.000000     55.000000       16.49501        104.51453       12.194  45.1796\r
 127 5000.000000     55.000000       10.358217       0.49901265      7.52381 4933.35\r
 128 5100.000000     55.000000       35.728729       64.469513       6.16707 14.1828\r
 129 5200.000000     55.000000       26.870958       73.676102       10.6909 26.502\r
 130 5300.000000     55.000000       25.109209       90.461128       5.89747 15.302\r
 131 5400.000000     55.000000       24.594707       76.54818        6.31857 17.1631\r
 132 5500.000000     55.000000       22.065351       77.377213       4.41114 12.8553\r
 133 5600.000000     55.000000       21.678381       71.425301       5.47293 16.8171\r
 134 5700.000000     55.000000       23.08882        85.045387       4.37701 12.1632\r
 135 5800.000000     55.000000       27.718151       66.021553       6.12424 15.9879\r
 136 5900.000000     55.000000       23.373917       97.813843       5.18759 14.1131\r
 137 6000.000000     55.000000       21.383585       88.979149       4.36466 12.7953\r
 138 6100.000000     55.000000       23.729717       87.893867       4.52396 12.2065\r
 139 6200.000000     55.000000       27.130808       88.236717       5.68992 13.8632\r
 140 6300.000000     55.000000       24.629913       87.573135       4.4352  11.6459\r
 141 6400.000000     55.000000       27.001526       72.301178       8.05545 19.5416\r
 142 6500.000000     55.000000       22.239677       89.649422       5.02064 13.991\r
 143 6600.000000     55.000000       26.16963        100.62424       6.81836 17.2436\r
 144 6700.000000     55.000000       28.35515        89.207916       6.16057 14.6765\r
 145 6800.000000     55.000000       39.358437       54.525875       13.8565 29.3061\r
 146 6900.000000     55.000000       26.141853       101.70013       6.94369 17.7381\r
 147 7000.000000     55.000000       25.454092       93.169159       5.00881 12.9205\r
 148 7100.000000     55.000000       39.076836       173.95883       135.676 2620.12\r
 149 7200.000000     55.000000       30.282181       73.713219       8.72137 19.7276\r
 150 7300.000000     55.000000       27.218521       75.725739       12.2181 28.5012\r
 151 7400.000000     55.000000       11.628233       110.65897       5.7128  29.4562\r
 152 7500.000000     55.000000       14.784952       133.42186       8.73024 47.9388\r
 153 7600.000000     55.000000       14.521852       150.72531       8.41595 70.886\r
 154 7700.000000     55.000000       20.70046        94.361221       8.33338 21.4245\r
 155 7800.000000     55.000000       5.4291406       109.43657       24.1248 112.782\r
 156 7900.000000     55.000000       19.151752       134.91096       17.6339 76.3451\r
 157 8000.000000     55.000000       0.12631567      159.72308       4866.91 5.97673e+006