2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=1000, MaxRevs=1000, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Thu Feb 04 16:55:14 2010]
\r
3 Original[040210 500z30cu0.05 align out with tape zone on 1000 revs meas.dat]
\r
5 3200.000000 55.000000 14.789055 111.63007 0.255255 1.40344
\r
6 3300.000000 55.000000 14.938137 110.41764 0.157262 0.818268
\r
7 3400.000000 55.000000 14.989319 111.43969 0.135349 0.712432
\r
8 3500.000000 55.000000 15.334233 112.11594 0.0885461 0.456515
\r
9 3600.000000 55.000000 16.155491 114.83531 0.0802047 0.399041
\r
10 3700.000000 55.000000 17.317322 124.1497 0.0640759 0.313437
\r
11 3800.000000 55.000000 16.02792 148.45546 0.0388745 0.28294
\r
12 3900.000000 55.000000 15.350544 135.20888 0.0444846 0.410948
\r
13 4000.000000 55.000000 16.605234 116.24303 0.0511759 0.358704
\r
14 4100.000000 55.000000 17.963907 111.32555 0.0557996 0.308995
\r
15 4200.000000 55.000000 18.87701 112.36047 0.0493581 0.243231
\r
16 4300.000000 55.000000 19.429382 115.02429 0.048977 0.228096
\r
17 4400.000000 55.000000 19.718946 118.13935 0.0450132 0.207322
\r
18 4500.000000 55.000000 19.841347 121.18398 0.043294 0.201279
\r
19 4600.000000 55.000000 19.861324 124.11175 0.0451694 0.207969
\r
20 4700.000000 55.000000 19.806522 126.86617 0.0401439 0.188611
\r
21 4800.000000 55.000000 19.708261 129.40674 0.0383918 0.184438
\r
22 4900.000000 55.000000 19.583975 131.72667 0.0353781 0.174747
\r
23 5000.000000 55.000000 19.465181 133.87177 0.0354824 0.180334
\r
24 5100.000000 55.000000 19.322302 135.95242 0.0355934 0.176709
\r
25 5200.000000 55.000000 19.177876 137.90126 0.0326697 0.166466
\r
26 5300.000000 55.000000 19.034502 139.70743 0.032712 0.171117
\r
27 5400.000000 55.000000 18.895332 141.41953 0.0307873 0.165406
\r
28 5500.000000 55.000000 18.753038 143.04027 0.031062 0.171448
\r
29 5600.000000 55.000000 18.620438 144.59361 0.0305832 0.173444
\r
30 5700.000000 55.000000 18.488392 146.1292 0.0335514 0.182684
\r
31 5800.000000 55.000000 18.352182 147.56097 0.0305109 0.170153
\r
32 5900.000000 55.000000 18.222057 148.9373 0.0311362 0.178272
\r
33 6000.000000 55.000000 18.09816 150.24948 0.0318282 0.186663
\r
34 6100.000000 55.000000 17.972778 151.50537 0.031833 0.191194
\r
35 6200.000000 55.000000 17.855345 152.77866 0.0324066 0.185781
\r
36 6300.000000 55.000000 17.73477 153.98026 0.0322325 0.188819
\r
37 6400.000000 55.000000 17.620272 155.12248 0.0329396 0.197134
\r
38 6500.000000 55.000000 17.506069 156.24202 0.0327693 0.20036
\r
39 6600.000000 55.000000 17.394812 157.32236 0.0328447 0.205069
\r
40 6700.000000 55.000000 17.282354 158.39177 0.0329922 0.210438
\r
41 6800.000000 55.000000 17.173687 159.41115 0.0324253 0.196897
\r
42 6900.000000 55.000000 17.06497 160.42398 0.0332163 0.205738
\r
43 7000.000000 55.000000 16.96088 161.39468 0.0326611 0.20628
\r
44 7100.000000 55.000000 16.860746 162.30101 0.0329797 0.212261
\r
45 7200.000000 55.000000 16.753927 163.20117 0.0336053 0.22058
\r
46 7300.000000 55.000000 16.652691 164.13869 0.0333012 0.222737
\r
47 7400.000000 55.000000 16.562967 164.97804 0.0351511 0.222729
\r
48 7500.000000 55.000000 16.471174 165.80138 0.0345758 0.222959
\r
49 7600.000000 55.000000 16.371601 166.65506 0.0324879 0.213208
\r
50 7700.000000 55.000000 16.274321 167.42914 0.0339999 0.22693
\r
51 7800.000000 55.000000 16.179794 168.25954 0.0323134 0.219628
\r
52 7900.000000 55.000000 16.086533 169.03084 0.0329547 0.22821
\r
53 8000.000000 55.000000 15.992573 169.74515 0.0384097 0.270694
\r
54 8100.000000 55.000000 15.901982 170.46338 0.0322262 0.214731
\r
55 8200.000000 55.000000 15.823984 171.1651 0.0351065 0.238031
\r
56 8300.000000 55.000000 15.74181 171.87279 0.0340796 0.235177
\r
57 8400.000000 55.000000 15.652051 172.58238 0.0334049 0.233805
\r
58 8500.000000 55.000000 15.575362 173.28441 0.036046 0.255787
\r
59 8600.000000 55.000000 15.494869 173.91776 0.0363632 0.26213
\r
60 8700.000000 55.000000 15.407184 174.6076 0.0365148 0.24993
\r
61 8800.000000 55.000000 15.315944 175.30635 0.0374078 0.260185
\r
62 8900.000000 55.000000 15.249921 175.7892 0.0367803 0.259471
\r
63 9000.000000 55.000000 15.171677 176.3638 0.0373492 0.268067
\r
64 9100.000000 55.000000 15.093166 176.9837 0.0356869 0.259837
\r
65 9200.000000 55.000000 15.016258 177.5428 0.0362567 0.26781
\r
66 9300.000000 55.000000 14.93239 178.16473 0.0362412 0.271533
\r
67 9400.000000 55.000000 14.856772 178.74484 0.0371705 0.264181
\r
68 9500.000000 55.000000 14.782167 179.27525 0.0377196 0.27175
\r
69 9600.000000 55.000000 14.715693 179.78288 0.0369313 0.269598
\r
70 9700.000000 55.000000 14.638401 180.31908 0.0365767 0.270564
\r
71 9800.000000 55.000000 14.568311 180.84111 0.0369886 0.277124
\r
72 9900.000000 55.000000 14.49775 181.35704 0.0355686 0.26994
\r
73 10000.000000 55.000000 14.440485 181.76227 0.0360051 0.276688
\r
74 10100.000000 55.000000 14.370083 182.26596 0.0370059 0.270219
\r
75 10200.000000 55.000000 14.308564 182.74464 0.0344057 0.254254
\r
76 10300.000000 55.000000 14.243899 183.25722 0.034018 0.25426
\r
77 10400.000000 55.000000 14.174746 183.69167 0.0318425 0.241477
\r
78 10500.000000 55.000000 14.112669 184.27098 0.0349287 0.267673
\r
79 10600.000000 55.000000 14.271429 183.82219 0.0256814 0.195773
\r
80 10700.000000 55.000000 14.209901 184.28729 0.0266389 0.205587
\r
81 10800.000000 55.000000 14.141742 184.77602 0.0258497 0.202349
\r
82 10900.000000 55.000000 14.07475 185.207 0.0276669 0.206283
\r
83 11000.000000 55.000000 14.008145 185.64934 0.0299815 0.225704
\r
84 11100.000000 55.000000 13.950239 186.04947 0.0291417 0.22218
\r
85 11200.000000 55.000000 13.887948 186.46027 0.0281784 0.217262
\r
86 11300.000000 55.000000 13.824639 186.8622 0.0283854 0.220861
\r
87 11400.000000 55.000000 13.769003 187.3004 0.0279009 0.219312
\r
88 11500.000000 55.000000 13.699853 187.65312 0.0292897 0.232927
\r
89 11600.000000 55.000000 13.643559 188.11006 0.0340973 0.258436
\r
90 11700.000000 55.000000 13.58687 188.44206 0.0312701 0.239772
\r
91 11800.000000 55.000000 13.530359 188.79543 0.0316076 0.245324
\r
92 11900.000000 55.000000 13.475995 189.18015 0.0280926 0.219968
\r
93 12000.000000 55.000000 13.42557 189.53107 0.0295614 0.233572
\r
94 12100.000000 55.000000 13.36215 189.86511 0.0278176 0.221659
\r
95 12200.000000 55.000000 13.313139 190.2171 0.0310368 0.249739
\r
96 12300.000000 55.000000 13.262568 190.5406 0.0299892 0.243832
\r
97 12400.000000 55.000000 13.212087 190.88814 0.0311189 0.241061
\r
98 12500.000000 55.000000 13.160395 191.24323 0.0353875 0.277736
\r
99 12600.000000 55.000000 13.101373 191.70435 0.0329261 0.261231
\r
100 12700.000000 55.000000 13.058025 191.9594 0.0304852 0.2449
\r
101 12800.000000 55.000000 13.011806 192.23457 0.0312373 0.252268
\r
102 12900.000000 55.000000 12.962995 192.62732 0.0317904 0.258544
\r
103 13000.000000 55.000000 12.910803 192.96579 0.0319159 0.262174
\r
104 13100.000000 55.000000 12.865429 193.22777 0.0323286 0.268055
\r
105 13200.000000 55.000000 12.816598 193.53908 0.034544 0.273672
\r
106 13300.000000 55.000000 12.764421 193.8517 0.0306117 0.244841
\r
107 13400.000000 55.000000 12.711694 194.20955 0.0332827 0.268433
\r
108 13500.000000 55.000000 12.660542 194.51776 0.0343741 0.279868
\r
109 13600.000000 55.000000 12.601065 194.82063 0.0305109 0.25063
\r
110 13700.000000 55.000000 12.56486 195.15652 0.0323639 0.269296
\r
111 13800.000000 55.000000 12.514452 195.39621 0.0300938 0.251958
\r
112 13900.000000 55.000000 12.459803 195.75003 0.0304629 0.256543
\r
113 14000.000000 55.000000 12.412374 195.97984 0.0281586 0.239625
\r
114 14100.000000 55.000000 12.360108 196.2278 0.0345431 0.281265
\r
115 14200.000000 55.000000 12.32424 196.61794 0.0338928 0.27902
\r
116 14300.000000 55.000000 12.279752 196.89749 0.0343734 0.285209
\r
117 14400.000000 55.000000 12.22802 197.16873 0.0351016 0.2934
\r
118 14500.000000 55.000000 12.175973 197.41241 0.0343084 0.288786
\r
119 14600.000000 55.000000 12.139077 197.67897 0.0321042 0.272243
\r
120 14700.000000 55.000000 12.081741 197.96205 0.0315954 0.271045
\r
121 14800.000000 55.000000 12.039886 198.15196 0.0302499 0.263753
\r
122 14900.000000 55.000000 11.995936 198.52702 0.0314433 0.261241
\r
123 15000.000000 55.000000 11.941871 198.76999 0.03237 0.270374
\r
124 dpolE 3200.000000 55.000000 2.84108 1.56341
\r
125 dpolE 3300.000000 55.000000 1.12511 0.941732
\r
126 dpolE 3400.000000 55.000000 1.56666 0.819141
\r
127 dpolE 3500.000000 55.000000 1.5728 0.561449
\r
128 dpolE 3600.000000 55.000000 1.33554 0.542657
\r
129 dpolE 3700.000000 55.000000 1.52502 0.412345
\r
130 dpolE 3800.000000 55.000000 8.14745 0.178995
\r
131 dpolE 3900.000000 55.000000 15.0415 0.182435
\r
132 dpolE 4000.000000 55.000000 15.6049 0.257243
\r
133 dpolE 4100.000000 55.000000 13.0067 0.310305
\r
134 dpolE 4200.000000 55.000000 10.002 0.314812
\r
135 dpolE 4300.000000 55.000000 7.63799 0.335589
\r
136 dpolE 4400.000000 55.000000 5.79925 0.3231
\r
137 dpolE 4500.000000 55.000000 4.54753 0.317216
\r
138 dpolE 4600.000000 55.000000 3.64385 0.310374
\r
139 dpolE 4700.000000 55.000000 2.98911 0.276531
\r
140 dpolE 4800.000000 55.000000 2.49271 0.264577
\r
141 dpolE 4900.000000 55.000000 2.14549 0.2426
\r
142 dpolE 5000.000000 55.000000 1.87213 0.24182
\r
143 dpolE 5100.000000 55.000000 1.64972 0.228555
\r
144 dpolE 5200.000000 55.000000 1.49253 0.207841
\r
145 dpolE 5300.000000 55.000000 1.35269 0.206082
\r
146 dpolE 5400.000000 55.000000 1.24578 0.191902
\r
147 dpolE 5500.000000 55.000000 1.14595 0.191402
\r
148 dpolE 5600.000000 55.000000 1.08737 0.186185
\r
149 dpolE 5700.000000 55.000000 1.00279 0.196194
\r
150 dpolE 5800.000000 55.000000 0.943007 0.17624
\r
151 dpolE 5900.000000 55.000000 0.891762 0.177766
\r
152 dpolE 6000.000000 55.000000 0.8569 0.179481
\r
153 dpolE 6100.000000 55.000000 0.799493 0.177252
\r
154 dpolE 6200.000000 55.000000 0.760013 0.176426
\r
155 dpolE 6300.000000 55.000000 0.72594 0.173266
\r
156 dpolE 6400.000000 55.000000 0.708414 0.174836
\r
157 dpolE 6500.000000 55.000000 0.684261 0.171684
\r
158 dpolE 6600.000000 55.000000 0.653617 0.169886
\r
159 dpolE 6700.000000 55.000000 0.641146 0.168329
\r
160 dpolE 6800.000000 55.000000 0.598422 0.164484
\r
161 dpolE 6900.000000 55.000000 0.570975 0.166325
\r
162 dpolE 7000.000000 55.000000 0.5751 0.161499
\r
163 dpolE 7100.000000 55.000000 0.550004 0.161099
\r
164 dpolE 7200.000000 55.000000 0.551696 0.162008
\r
165 dpolE 7300.000000 55.000000 0.523049 0.158507
\r
166 dpolE 7400.000000 55.000000 0.501464 0.16833
\r
167 dpolE 7500.000000 55.000000 0.513245 0.163581
\r
168 dpolE 7600.000000 55.000000 0.507513 0.151811
\r
169 dpolE 7700.000000 55.000000 0.48009 0.157034
\r
170 dpolE 7800.000000 55.000000 0.458025 0.147748
\r
171 dpolE 7900.000000 55.000000 0.461683 0.14872
\r
172 dpolE 8000.000000 55.000000 0.489042 0.171285
\r
173 dpolE 8100.000000 55.000000 0.445058 0.145895
\r
174 dpolE 8200.000000 55.000000 0.422822 0.156956
\r
175 dpolE 8300.000000 55.000000 0.43747 0.150462
\r
176 dpolE 8400.000000 55.000000 0.431939 0.146045
\r
177 dpolE 8500.000000 55.000000 0.415827 0.156131
\r
178 dpolE 8600.000000 55.000000 0.399428 0.155833
\r
179 dpolE 8700.000000 55.000000 0.384367 0.159174
\r
180 dpolE 8800.000000 55.000000 0.367638 0.161191
\r
181 dpolE 8900.000000 55.000000 0.399045 0.156962
\r
182 dpolE 9000.000000 55.000000 0.398556 0.157896
\r
183 dpolE 9100.000000 55.000000 0.390339 0.149439
\r
184 dpolE 9200.000000 55.000000 0.392217 0.150403
\r
185 dpolE 9300.000000 55.000000 0.377586 0.148944
\r
186 dpolE 9400.000000 55.000000 0.339391 0.156044
\r
187 dpolE 9500.000000 55.000000 0.342447 0.15689
\r
188 dpolE 9600.000000 55.000000 0.357029 0.152272
\r
189 dpolE 9700.000000 55.000000 0.344155 0.149498
\r
190 dpolE 9800.000000 55.000000 0.331181 0.149962
\r
191 dpolE 9900.000000 55.000000 0.332084 0.143033
\r
192 dpolE 10000.000000 55.000000 0.3557 0.143692
\r
193 dpolE 10100.000000 55.000000 0.34651 0.150783
\r
194 dpolE 10200.000000 55.000000 0.354363 0.139095
\r
195 dpolE 10300.000000 55.000000 0.351994 0.136523
\r
196 dpolE 10400.000000 55.000000 0.338351 0.126941
\r
197 dpolE 10500.000000 55.000000 0.287184 0.138466
\r
198 dpolE 10600.000000 55.000000 0.262546 0.102641
\r
199 dpolE 10700.000000 55.000000 0.264899 0.105747
\r
200 dpolE 10800.000000 55.000000 0.294471 0.101765
\r
201 dpolE 10900.000000 55.000000 0.285504 0.11103
\r
202 dpolE 11000.000000 55.000000 0.282729 0.119618
\r
203 dpolE 11100.000000 55.000000 0.267741 0.115409
\r
204 dpolE 11200.000000 55.000000 0.269387 0.110874
\r
205 dpolE 11300.000000 55.000000 0.260914 0.111158
\r
206 dpolE 11400.000000 55.000000 0.242704 0.108722
\r
207 dpolE 11500.000000 55.000000 0.25928 0.113367
\r
208 dpolE 11600.000000 55.000000 0.261533 0.134418
\r
209 dpolE 11700.000000 55.000000 0.257514 0.1224
\r
210 dpolE 11800.000000 55.000000 0.234856 0.1228
\r
211 dpolE 11900.000000 55.000000 0.23429 0.10866
\r
212 dpolE 12000.000000 55.000000 0.27971 0.11384
\r
213 dpolE 12100.000000 55.000000 0.235951 0.106721
\r
214 dpolE 12200.000000 55.000000 0.232836 0.118519
\r
215 dpolE 12300.000000 55.000000 0.24505 0.113901
\r
216 dpolE 12400.000000 55.000000 0.231237 0.120258
\r
217 dpolE 12500.000000 55.000000 0.264212 0.13619
\r
218 dpolE 12600.000000 55.000000 0.225794 0.126021
\r
219 dpolE 12700.000000 55.000000 0.236985 0.115723
\r
220 dpolE 12800.000000 55.000000 0.259583 0.11858
\r
221 dpolE 12900.000000 55.000000 0.218001 0.120522
\r
222 dpolE 13000.000000 55.000000 0.234415 0.120522
\r
223 dpolE 13100.000000 55.000000 0.247732 0.121522
\r
224 dpolE 13200.000000 55.000000 0.209523 0.131643
\r
225 dpolE 13300.000000 55.000000 0.223354 0.116072
\r
226 dpolE 13400.000000 55.000000 0.199301 0.125777
\r
227 dpolE 13500.000000 55.000000 0.234195 0.129313
\r
228 dpolE 13600.000000 55.000000 0.214652 0.114358
\r
229 dpolE 13700.000000 55.000000 0.203244 0.120163
\r
230 dpolE 13800.000000 55.000000 0.246666 0.111756
\r
231 dpolE 13900.000000 55.000000 0.230777 0.113161
\r
232 dpolE 14000.000000 55.000000 0.222225 0.103963
\r
233 dpolE 14100.000000 55.000000 0.229914 0.12891
\r
234 dpolE 14200.000000 55.000000 0.220088 0.125534
\r
235 dpolE 14300.000000 55.000000 0.238398 0.126955
\r
236 dpolE 14400.000000 55.000000 0.237203 0.129431
\r
237 dpolE 14500.000000 55.000000 0.235748 0.126292
\r
238 dpolE 14600.000000 55.000000 0.207545 0.118567
\r
239 dpolE 14700.000000 55.000000 0.210949 0.115954
\r
240 dpolE 14800.000000 55.000000 0.212585 0.109407
\r
241 dpolE 14900.000000 55.000000 0.218667 0.115685
\r
242 dpolE 15000.000000 55.000000 0.184741 0.119192