research/ellipsometry/WVASE32/DAT/040409513888-23pg si edge align in rt.dat

   1 \r
   2 RTmethod[PolRT=0.00, RevsRT=100, MaxRevs=100, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, SlitRT=2000, AutoSlitMin=100, Interleave=Off, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Sat Apr 04 16:19:55 2009]\r
   3 Original[040409513888-23pg si edge align in rt.dat]\r
   4 nm\r
   5 pT      300.000000      0.000000        0.0310995       0.005311\r
   6 pT      310.000000      0.000000        0.00977405      0.00509774\r
   7 pT      320.000000      0.000000        0.0161743       0.00516174\r
   8 pT      330.000000      0.000000        0.0045647       0.00504565\r
   9 pT      340.000000      0.000000        0.00656223      0.00506562\r
  10 pT      350.000000      0.000000        0.00138853      0.00501389\r
  11 pT      360.000000      0.000000        0.000913491     0.00500913\r
  12 pT      370.000000      0.000000        0.00146255      0.00501463\r
  13 pT      380.000000      0.000000        0.000713894     0.00500714\r
  14 pT      390.000000      0.000000        0.000488707     0.00500489\r
  15 pT      400.000000      0.000000        0.000635431     0.00500635\r
  16 pT      410.000000      0.000000        0.000134606     0.00500135\r
  17 pT      420.000000      0.000000        0.000539475     0.00500539\r
  18 pT      430.000000      0.000000        0.000263027     0.00500263\r
  19 pT      440.000000      0.000000        9.53623e-005    0.00500095\r
  20 pT      450.000000      0.000000        0.000175095     0.00500175\r
  21 pT      460.000000      0.000000        0.000167245     0.00500167\r
  22 pT      470.000000      0.000000        2.09292e-005    0.00500021\r
  23 pT      480.000000      0.000000        0.000138444     0.00500138\r
  24 pT      490.000000      0.000000        5.20955e-005    0.00500052\r
  25 pT      500.000000      0.000000        6.78399e-005    0.00500068\r
  26 pT      510.000000      0.000000        5.47159e-005    0.00500055\r
  27 pT      520.000000      0.000000        5.704e-005      0.00500057\r
  28 pT      530.000000      0.000000        4.68967e-005    0.00500047\r
  29 pT      540.000000      0.000000        4.13374e-005    0.00500041\r
  30 pT      550.000000      0.000000        4.48513e-005    0.00500045\r
  31 pT      560.000000      0.000000        7.48441e-005    0.00500075\r
  32 pT      570.000000      0.000000        4.02461e-005    0.0050004\r
  33 pT      580.000000      0.000000        0.000113175     0.00500113\r
  34 pT      590.000000      0.000000        0.000115946     0.00500116\r
  35 pT      600.000000      0.000000        9.64878e-005    0.00500096\r
  36 pT      610.000000      0.000000        5.1707e-005     0.00500052\r
  37 pT      620.000000      0.000000        2.98013e-005    0.0050003\r
  38 pT      630.000000      0.000000        4.05643e-005    0.00500041\r
  39 pT      640.000000      0.000000        6.08806e-005    0.00500061\r
  40 pT      650.000000      0.000000        0.000133867     0.00500134\r
  41 pT      660.000000      0.000000        9.07306e-005    0.00500091\r
  42 pT      670.000000      0.000000        0.000131232     0.00500131\r
  43 pT      680.000000      0.000000        0.000128998     0.00500129\r
  44 pT      690.000000      0.000000        8.7685e-005     0.00500088\r
  45 pT      700.000000      0.000000        4.53143e-005    0.00500045\r
  46 pT      710.000000      0.000000        6.72762e-005    0.00500067\r
  47 pT      720.000000      0.000000        2.62946e-005    0.00500026\r
  48 pT      730.000000      0.000000        4.48629e-005    0.00500045\r
  49 pT      740.000000      0.000000        3.4758e-005     0.00500035\r
  50 pT      750.000000      0.000000        6.88784e-005    0.00500069\r
  51 pT      760.000000      0.000000        0.000181869     0.00500182\r
  52 pT      770.000000      0.000000        0.000134594     0.00500135\r
  53 pT      780.000000      0.000000        0.00012228      0.00500122\r
  54 pT      790.000000      0.000000        0.000173025     0.00500173\r
  55 pT      800.000000      0.000000        5.98715e-005    0.0050006\r
  56 pT      810.000000      0.000000        0.000878842     0.00500879\r
  57 pT      820.000000      0.000000        0.00017874      0.00500179\r
  58 pT      830.000000      0.000000        4.52892e-005    0.00500045\r
  59 pT      840.000000      0.000000        0.000199166     0.00500199\r
  60 pT      850.000000      0.000000        0.000277981     0.00500278\r
  61 pT      860.000000      0.000000        0.000207685     0.00500208\r
  62 pT      870.000000      0.000000        0.000211275     0.00500211\r
  63 pT      880.000000      0.000000        3.19924e-005    0.00500032\r
  64 pT      890.000000      0.000000        4.88652e-005    0.00500049\r
  65 pT      900.000000      0.000000        5.14201e-005    0.00500051\r
  66 pT      910.000000      0.000000        0.000157163     0.00500157\r
  67 pT      920.000000      0.000000        0.000332648     0.00500333\r
  68 pT      930.000000      0.000000        0.000913394     0.00500913\r
  69 pT      940.000000      0.000000        0.00199599      0.00501996\r
  70 pT      950.000000      0.000000        0.00414144      0.00504141\r
  71 pT      960.000000      0.000000        0.00766128      0.00507661\r
  72 pT      970.000000      0.000000        0.0143148       0.00514315\r
  73 pT      980.000000      0.000000        0.0242265       0.00524227\r
  74 pT      990.000000      0.000000        0.0404967       0.00540497\r
  75 pT      1000.000000     0.000000        0.0561695       0.00556169\r
  76 pT      1010.000000     0.000000        0.0848702       0.0058487\r
  77 pT      1020.000000     0.000000        0.117223        0.00617223\r
  78 pT      1030.000000     0.000000        0.159928        0.00659928\r
  79 pT      1040.000000     0.000000        0.204408        0.00704408\r
  80 pT      1050.000000     0.000000        0.245544        0.00745544\r
  81 pT      1060.000000     0.000000        0.248601        0.00748601\r
  82 pT      1070.000000     0.000000        0.274629        0.00774629\r
  83 pT      1080.000000     0.000000        0.291488        0.00791488\r
  84 pT      1090.000000     0.000000        0.307648        0.00807648\r
  85 pT      1100.000000     0.000000        0.315831        0.00815831\r
  86 pT      1110.000000     0.000000        0.326004        0.00826004\r
  87 pT      1120.000000     0.000000        0.332819        0.00832819\r
  88 pT      1130.000000     0.000000        0.340025        0.00840025\r
  89 pT      1140.000000     0.000000        0.3445  0.008445\r
  90 pT      1150.000000     0.000000        0.349915        0.00849915\r
  91 pT      1160.000000     0.000000        0.354631        0.00854631\r
  92 pT      1170.000000     0.000000        0.358996        0.00858996\r
  93 pT      1180.000000     0.000000        0.356864        0.00856864\r
  94 pT      1190.000000     0.000000        0.360223        0.00860223\r
  95 pT      1200.000000     0.000000        0.362372        0.00862372\r
  96 pT      1210.000000     0.000000        0.359544        0.00859544\r
  97 pT      1220.000000     0.000000        0.354549        0.00854549\r
  98 pT      1230.000000     0.000000        0.357089        0.00857089\r
  99 pT      1240.000000     0.000000        0.358434        0.00858434\r
 100 pT      1250.000000     0.000000        0.358611        0.00858611\r
 101 pT      1260.000000     0.000000        0.357656        0.00857656\r
 102 pT      1270.000000     0.000000        0.356868        0.00856868\r
 103 pT      1280.000000     0.000000        0.354177        0.00854177\r
 104 pT      1290.000000     0.000000        0.354369        0.00854369\r
 105 pT      1300.000000     0.000000        0.360707        0.00860707\r
 106 pT      1310.000000     0.000000        0.360017        0.00860017\r
 107 pT      1320.000000     0.000000        0.360055        0.00860055\r
 108 pT      1330.000000     0.000000        0.359228        0.00859228\r
 109 pT      1340.000000     0.000000        0.357235        0.00857235\r
 110 pT      1350.000000     0.000000        0.35521 0.0085521\r
 111 pT      1360.000000     0.000000        0.354755        0.00854755\r
 112 pT      1370.000000     0.000000        0.360991        0.00860991\r
 113 pT      1380.000000     0.000000        0.355863        0.00855863\r
 114 pT      1390.000000     0.000000        0.351679        0.00851679\r
 115 pT      1400.000000     0.000000        0.354227        0.00854227\r
 116 pT      1410.000000     0.000000        0.359102        0.00859102\r
 117 pT      1420.000000     0.000000        0.362546        0.00862546\r
 118 pT      1430.000000     0.000000        0.357985        0.00857985\r
 119 pT      1440.000000     0.000000        0.35595 0.0085595\r
 120 pT      1450.000000     0.000000        0.358667        0.00858667\r
 121 pT      1460.000000     0.000000        0.353495        0.00853495\r
 122 pT      1470.000000     0.000000        0.356501        0.00856501\r
 123 pT      1480.000000     0.000000        0.358155        0.00858155\r
 124 pT      1490.000000     0.000000        0.357072        0.00857072\r
 125 pT      1500.000000     0.000000        0.356417        0.00856417