research/ellipsometry/WVASE32/DAT/060709 si wafer rt.dat

   1 \r
   2 RTmethod[PolRT=0.00, RevsRT=100, SlitRT=2000, AutoSlitMin=100, Interleave=Off, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Mon Jul 06 17:37:37 2009]\r
   3 Original[060709 si wafer rt.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 pT      3000.000000     0.000000        0.00199384      0.00501994\r
   6 pT      3100.000000     0.000000        0.000315331     0.00500315\r
   7 pT      3200.000000     0.000000        0.000623137     0.00500623\r
   8 pT      3300.000000     0.000000        0.000502382     0.00500502\r
   9 pT      3400.000000     0.000000        0.000313495     0.00500314\r
  10 pT      3500.000000     0.000000        0.00031361      0.00500314\r
  11 pT      3600.000000     0.000000        0.000197183     0.00500197\r
  12 pT      3700.000000     0.000000        9.09835e-005    0.00500091\r
  13 pT      3800.000000     0.000000        2.19726e-005    0.00500022\r
  14 pT      3900.000000     0.000000        2.25318e-005    0.00500023\r
  15 pT      4000.000000     0.000000        2.05016e-005    0.00500021\r
  16 pT      4100.000000     0.000000        3.08301e-005    0.00500031\r
  17 pT      4200.000000     0.000000        1.22567e-005    0.00500012\r
  18 pT      4300.000000     0.000000        2.57207e-005    0.00500026\r
  19 pT      4400.000000     0.000000        1.05182e-005    0.00500011\r
  20 pT      4500.000000     0.000000        1.28159e-005    0.00500013\r
  21 pT      4600.000000     0.000000        9.16099e-006    0.00500009\r
  22 pT      4700.000000     0.000000        4.1392e-006     0.00500004\r
  23 pT      4800.000000     0.000000        1.586e-006      0.00500002\r
  24 pT      4900.000000     0.000000        4.28017e-006    0.00500004\r
  25 pT      5000.000000     0.000000        4.57963e-007    0.005\r
  26 pT      5100.000000     0.000000        4.84312e-006    0.00500005\r
  27 pT      5200.000000     0.000000        3.23345e-006    0.00500003\r
  28 pT      5300.000000     0.000000        5.69689e-007    0.00500001\r
  29 pT      5400.000000     0.000000        6.09955e-006    0.00500006\r
  30 pT      5500.000000     0.000000        5.96093e-006    0.00500006\r
  31 pT      5600.000000     0.000000        6.02366e-006    0.00500006\r
  32 pT      5700.000000     0.000000        4.89252e-006    0.00500005\r
  33 pT      5800.000000     0.000000        3.29733e-006    0.00500003\r
  34 pT      5900.000000     0.000000        2.87214e-006    0.00500003\r
  35 pT      6000.000000     0.000000        5.63801e-006    0.00500006\r
  36 pT      6100.000000     0.000000        7.25916e-006    0.00500007\r
  37 pT      6200.000000     0.000000        3.1092e-006     0.00500003\r
  38 pT      6300.000000     0.000000        4.76853e-006    0.00500005\r
  39 pT      6400.000000     0.000000        1.27738e-006    0.00500001\r
  40 pT      6500.000000     0.000000        1.97912e-006    0.00500002\r
  41 pT      6600.000000     0.000000        9.92083e-006    0.0050001\r
  42 pT      6700.000000     0.000000        2.78049e-006    0.00500003\r
  43 pT      6800.000000     0.000000        5.03617e-006    0.00500005\r
  44 pT      6900.000000     0.000000        6.29429e-006    0.00500006\r
  45 pT      7000.000000     0.000000        8.76142e-006    0.00500009\r
  46 pT      7100.000000     0.000000        3.45525e-007    0.005\r
  47 pT      7200.000000     0.000000        5.88164e-006    0.00500006\r
  48 pT      7300.000000     0.000000        5.83234e-006    0.00500006\r
  49 pT      7400.000000     0.000000        7.07024e-006    0.00500007\r
  50 pT      7500.000000     0.000000        5.93852e-006    0.00500006\r
  51 pT      7600.000000     0.000000        9.35692e-006    0.00500009\r
  52 pT      7700.000000     0.000000        6.18475e-006    0.00500006\r
  53 pT      7800.000000     0.000000        8.81219e-006    0.00500009\r
  54 pT      7900.000000     0.000000        1.35274e-005    0.00500014\r
  55 pT      8000.000000     0.000000        9.668e-006      0.0050001\r
  56 pT      8100.000000     0.000000        2.54044e-005    0.00500025\r
  57 pT      8200.000000     0.000000        5.49895e-006    0.00500005\r
  58 pT      8300.000000     0.000000        6.86439e-006    0.00500007\r
  59 pT      8400.000000     0.000000        1.45772e-005    0.00500015\r
  60 pT      8500.000000     0.000000        3.90832e-005    0.00500039\r
  61 pT      8600.000000     0.000000        1.05401e-005    0.00500011\r
  62 pT      8700.000000     0.000000        7.59395e-006    0.00500008\r
  63 pT      8800.000000     0.000000        5.31146e-006    0.00500005\r
  64 pT      8900.000000     0.000000        4.70143e-006    0.00500005\r
  65 pT      9000.000000     0.000000        1.97474e-006    0.00500002\r
  66 pT      9100.000000     0.000000        4.1037e-006     0.00500004\r
  67 pT      9200.000000     0.000000        6.22889e-007    0.00500001\r
  68 pT      9300.000000     0.000000        2.75432e-006    0.00500003\r
  69 pT      9400.000000     0.000000        4.72998e-006    0.00500005\r
  70 pT      9500.000000     0.000000        7.18576e-006    0.00500007\r
  71 pT      9600.000000     0.000000        1.04057e-005    0.0050001\r
  72 pT      9700.000000     0.000000        1.8564e-005     0.00500019\r
  73 pT      9800.000000     0.000000        2.69616e-005    0.00500027\r
  74 pT      9900.000000     0.000000        4.84696e-005    0.00500048\r
  75 pT      10000.000000    0.000000        8.77441e-005    0.00500088