research/ellipsometry/WVASE32/DAT/060709 si wafer.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Mon Jul 06 16:49:56 2009]\r
   3 Original[060709 si wafer.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 3000.000000     65.000000       32.775818       150.62402       0.215864        0.783458\r
   6 3100.000000     65.000000       31.332031       151.17831       0.184336        0.710817\r
   7 3200.000000     65.000000       30.591825       151.94846       0.145459        0.58609\r
   8 3300.000000     65.000000       30.180307       153.11659       0.176924        0.66669\r
   9 3400.000000     65.000000       29.92642        154.29079       0.153014        0.597742\r
  10 3500.000000     65.000000       30.073675       155.72723       0.174391        0.699512\r
  11 3600.000000     65.000000       30.749475       158.76254       0.131113        0.542324\r
  12 3700.000000     65.000000       30.598108       164.85588       0.120616        0.471805\r
  13 3800.000000     65.000000       28.812378       169.26054       0.101405        0.427226\r
  14 3900.000000     65.000000       27.065746       171.06822       0.0944385       0.42564\r
  15 4000.000000     65.000000       25.765156       171.91505       0.0833722       0.399358\r
  16 4100.000000     65.000000       24.729595       172.4563        0.0882658       0.402702\r
  17 4200.000000     65.000000       23.899942       172.83981       0.0783655       0.374901\r
  18 4300.000000     65.000000       23.202583       173.14473       0.0744069       0.371049\r
  19 4400.000000     65.000000       22.610647       173.38907       0.0681475       0.354809\r
  20 4500.000000     65.000000       22.074343       173.61263       0.0624741       0.337903\r
  21 4600.000000     65.000000       21.607214       173.81522       0.0611374       0.311922\r
  22 4700.000000     65.000000       21.184874       173.96078       0.0592738       0.312683\r
  23 4800.000000     65.000000       20.799944       174.16858       0.0540621       0.294489\r
  24 4900.000000     65.000000       20.4694 174.27502       0.0513908       0.289484\r
  25 5000.000000     65.000000       20.156761       174.4023        0.0462797       0.268738\r
  26 5100.000000     65.000000       19.873972       174.5367        0.0526731       0.287242\r
  27 5200.000000     65.000000       19.605835       174.6805        0.0498629       0.279431\r
  28 5300.000000     65.000000       19.366325       174.78651       0.0479952       0.276885\r
  29 5400.000000     65.000000       19.141439       174.87378       0.0438312       0.259438\r
  30 5500.000000     65.000000       18.939945       174.97128       0.0417574       0.253409\r
  31 5600.000000     65.000000       18.747705       175.06696       0.0387446       0.240904\r
  32 5700.000000     65.000000       18.563242       175.14946       0.0415044       0.24212\r
  33 5800.000000     65.000000       18.386265       175.22482       0.0380025       0.227308\r
  34 5900.000000     65.000000       18.232706       175.33362       0.0372628       0.227854\r
  35 6000.000000     65.000000       18.087523       175.43756       0.0357698       0.223459\r
  36 6100.000000     65.000000       17.944725       175.47408       0.0335012       0.213712\r
  37 6200.000000     65.000000       17.822262       175.55272       0.0338124       0.202593\r
  38 6300.000000     65.000000       17.695461       175.64198       0.0324488       0.198276\r
  39 6400.000000     65.000000       17.574375       175.70479       0.0314216       0.195681\r
  40 6500.000000     65.000000       17.468801       175.75769       0.0296268       0.187919\r
  41 6600.000000     65.000000       17.37302        175.84216       0.0294377       0.190622\r
  42 6700.000000     65.000000       17.278522       175.90419       0.0271454       0.178852\r
  43 6800.000000     65.000000       17.18264        175.95302       0.0288974       0.179189\r
  44 6900.000000     65.000000       17.099316       175.98914       0.026909        0.169628\r
  45 7000.000000     65.000000       17.01512        176.04895       0.0242619       0.155559\r
  46 7100.000000     65.000000       16.935682       176.11346       0.0224034       0.146008\r
  47 7200.000000     65.000000       16.861923       176.14276       0.0222038       0.146955\r
  48 7300.000000     65.000000       16.789351       176.25394       0.0230424       0.154884\r
  49 7400.000000     65.000000       16.723959       176.28825       0.0237085       0.15007\r
  50 7500.000000     65.000000       16.659943       176.3477        0.0246048       0.158107\r
  51 7600.000000     65.000000       16.605663       176.39281       0.021468        0.139917\r
  52 7700.000000     65.000000       16.537495       176.43295       0.0201695       0.133396\r
  53 7800.000000     65.000000       16.486586       176.50485       0.0208539       0.139709\r
  54 7900.000000     65.000000       16.427326       176.54341       0.0180877       0.12296\r
  55 8000.000000     65.000000       16.371515       176.54866       0.0168133       0.116148\r
  56 8100.000000     65.000000       16.323824       176.70773       0.0245799       0.1601\r
  57 8200.000000     65.000000       16.278458       176.7122        0.0212152       0.140058\r
  58 8300.000000     65.000000       16.2304 176.77431       0.021373        0.143026\r
  59 8400.000000     65.000000       16.184181       176.80658       0.0212132       0.143671\r
  60 8500.000000     65.000000       16.131924       176.87735       0.0328811       0.225056\r
  61 8600.000000     65.000000       16.089031       176.90887       0.019735        0.13678\r
  62 8700.000000     65.000000       16.047873       176.89774       0.0223522       0.146615\r
  63 8800.000000     65.000000       16.001223       176.97725       0.023501        0.156313\r
  64 8900.000000     65.000000       15.970836       176.9915        0.022032        0.148245\r
  65 9000.000000     65.000000       15.928037       177.03569       0.0225896       0.153923\r
  66 9100.000000     65.000000       15.892679       177.05644       0.0205085       0.141311\r
  67 9200.000000     65.000000       15.855597       177.09082       0.0194272       0.135418\r
  68 9300.000000     65.000000       15.822295       177.09421       0.0213766       0.150603\r
  69 9400.000000     65.000000       15.785945       177.19234       0.0227459       0.151778\r
  70 9500.000000     65.000000       15.762205       177.23732       0.0218014       0.146973\r
  71 9600.000000     65.000000       15.732348       177.29379       0.0221615       0.151049\r
  72 9700.000000     65.000000       15.702115       177.27986       0.0212093       0.145998\r
  73 9800.000000     65.000000       15.669098       177.30199       0.0196206       0.136504\r
  74 9900.000000     65.000000       15.645563       177.33502       0.0222372       0.156271\r
  75 10000.000000    65.000000       15.626003       177.33394       0.021257        0.150923\r
  76 3000.000000     70.000000       29.62575        140.87277       0.233754        0.861268\r
  77 3100.000000     70.000000       28.035173       140.44882       0.253367        0.969475\r
  78 3200.000000     70.000000       27.019905       142.00273       0.193855        0.795535\r
  79 3300.000000     70.000000       26.410215       142.66057       0.218171        0.847738\r
  80 3400.000000     70.000000       26.097561       144.15701       0.168312        0.676665\r
  81 3500.000000     70.000000       26.127602       146.16371       0.155333        0.64713\r
  82 3600.000000     70.000000       26.821194       150.12396       0.141724        0.609654\r
  83 3700.000000     70.000000       26.46711        158.4705        0.139625        0.587618\r
  84 3800.000000     70.000000       24.010691       164.69389       0.10477 0.491982\r
  85 3900.000000     70.000000       21.814348       166.95801       0.093118        0.487171\r
  86 4000.000000     70.000000       20.197348       168.04709       0.0920785       0.527828\r
  87 4100.000000     70.000000       18.932299       168.61917       0.0914143       0.512559\r
  88 4200.000000     70.000000       17.913124       169.07245       0.0825949       0.496832\r
  89 4300.000000     70.000000       17.074848       169.36224       0.0776926       0.498062\r
  90 4400.000000     70.000000       16.352703       169.58557       0.0680521       0.461159\r
  91 4500.000000     70.000000       15.716121       169.84244       0.0650833       0.468363\r
  92 4600.000000     70.000000       15.156276       170.0379        0.0677715       0.466095\r
  93 4700.000000     70.000000       14.660115       170.20306       0.0630295       0.456602\r
  94 4800.000000     70.000000       14.213017       170.35992       0.0578452       0.438092\r
  95 4900.000000     70.000000       13.80714        170.4994        0.0514508       0.406599\r
  96 5000.000000     70.000000       13.44984        170.63113       0.0507219       0.419913\r
  97 5100.000000     70.000000       13.11274        170.77158       0.0534062       0.420564\r
  98 5200.000000     70.000000       12.801723       170.90193       0.0474645       0.387897\r
  99 5300.000000     70.000000       12.515085       171.0085        0.045995        0.391457\r
 100 5400.000000     70.000000       12.254183       171.08475       0.0421771       0.371835\r
 101 5500.000000     70.000000       12.011223       171.19218       0.0402315       0.366806\r
 102 5600.000000     70.000000       11.787832       171.29065       0.0371626       0.349808\r
 103 5700.000000     70.000000       11.577309       171.41159       0.0424181       0.379917\r
 104 5800.000000     70.000000       11.380417       171.49141       0.0376674       0.347862\r
 105 5900.000000     70.000000       11.202356       171.56691       0.03513 0.334026\r
 106 6000.000000     70.000000       11.031219       171.68567       0.0363449       0.355282\r
 107 6100.000000     70.000000       10.878661       171.79036       0.031673        0.318024\r
 108 6200.000000     70.000000       10.724383       171.83406       0.032072        0.304751\r
 109 6300.000000     70.000000       10.585742       171.93456       0.0327943       0.321388\r
 110 6400.000000     70.000000       10.453135       172.02119       0.0307774       0.30937\r
 111 6500.000000     70.000000       10.328361       172.08559       0.0292217       0.300808\r
 112 6600.000000     70.000000       10.212941       172.16437       0.0279758       0.294757\r
 113 6700.000000     70.000000       10.090558       172.26755       0.0236333       0.255256\r
 114 6800.000000     70.000000       9.9902716       172.30702       0.0267888       0.273254\r
 115 6900.000000     70.000000       9.8906364       172.38641       0.0236807       0.246787\r
 116 7000.000000     70.000000       9.7909956       172.48412       0.024489        0.260486\r
 117 7100.000000     70.000000       9.7042952       172.57974       0.0218877       0.237599\r
 118 7200.000000     70.000000       9.6177731       172.58333       0.0241324       0.267206\r
 119 7300.000000     70.000000       9.5360355       172.75929       0.0227054       0.256217\r
 120 7400.000000     70.000000       9.4599075       172.82785       0.0235648       0.251357\r
 121 7500.000000     70.000000       9.3842278       172.89221       0.0179682       0.195128\r
 122 7600.000000     70.000000       9.3096056       172.99358       0.0187805       0.207506\r
 123 7700.000000     70.000000       9.2463894       173.03041       0.0183853       0.206479\r
 124 7800.000000     70.000000       9.1720133       173.10149       0.0168128       0.192017\r
 125 7900.000000     70.000000       9.1091814       173.19861       0.0198793       0.230679\r
 126 8000.000000     70.000000       9.0485086       173.3293        0.0147054       0.173519\r
 127 8100.000000     70.000000       9.0078278       173.13702       0.045412        0.511161\r
 128 8200.000000     70.000000       8.9250326       173.44049       0.0231767       0.26597\r
 129 8300.000000     70.000000       8.8873491       173.51996       0.0206969       0.241222\r
 130 8400.000000     70.000000       8.8335953       173.59688       0.025658        0.302999\r
 131 8500.000000     70.000000       8.7717447       173.58762       0.0231614       0.277026\r
 132 8600.000000     70.000000       8.7458591       173.67155       0.0296894       0.360277\r
 133 8700.000000     70.000000       8.7017384       173.80804       0.0196992       0.225646\r
 134 8800.000000     70.000000       8.6423903       173.83247       0.0190983       0.224136\r
 135 8900.000000     70.000000       8.6053762       173.85516       0.017584        0.209234\r
 136 9000.000000     70.000000       8.562952        173.87842       0.0174254       0.210189\r
 137 9100.000000     70.000000       8.5156898       173.98416       0.0175339       0.214354\r
 138 9200.000000     70.000000       8.4771986       174.01569       0.0150306       0.186347\r
 139 9300.000000     70.000000       8.4458847       174.1216        0.0142044       0.178004\r
 140 9400.000000     70.000000       8.407156        174.17378       0.0159834       0.190298\r
 141 9500.000000     70.000000       8.3712225       174.18452       0.016993        0.20475\r
 142 9600.000000     70.000000       8.3382826       174.25468       0.0138076       0.168291\r
 143 9700.000000     70.000000       8.3020411       174.32098       0.0171561       0.211726\r
 144 9800.000000     70.000000       8.2690449       174.37628       0.0154326       0.192896\r
 145 9900.000000     70.000000       8.2378407       174.40781       0.0156144       0.197353\r
 146 10000.000000    70.000000       8.2181978       174.43683       0.0132495       0.169268\r
 147 3000.000000     75.000000       26.493214       122.86343       0.227206        0.782881\r
 148 3100.000000     75.000000       24.083914       122.59608       0.210167        0.765909\r
 149 3200.000000     75.000000       22.866121       123.02678       0.217567        0.849174\r
 150 3300.000000     75.000000       22.129601       123.90607       0.18739 0.72596\r
 151 3400.000000     75.000000       21.492044       126.17488       0.19794 0.812326\r
 152 3500.000000     75.000000       21.40801        128.86795       0.15467 0.657867\r
 153 3600.000000     75.000000       21.848848       134.92145       0.152846        0.683995\r
 154 3700.000000     75.000000       20.751179       146.6635        0.148249        0.708107\r
 155 3800.000000     75.000000       17.341835       154.89658       0.108408        0.62851\r
 156 3900.000000     75.000000       14.533258       157.22267       0.0992614       0.703019\r
 157 4000.000000     75.000000       12.549748       157.78883       0.0948091       0.793059\r
 158 4100.000000     75.000000       11.049432       157.88951       0.091965        0.808111\r
 159 4200.000000     75.000000       9.8542795       157.44994       0.0805575       0.804977\r
 160 4300.000000     75.000000       8.8836203       156.91414       0.0767962       0.864217\r
 161 4400.000000     75.000000       8.047575        156.29694       0.0696839       0.861802\r
 162 4500.000000     75.000000       7.3219566       155.55597       0.0577896       0.778987\r
 163 4600.000000     75.000000       6.6943235       154.75598       0.0604494       0.802951\r
 164 4700.000000     75.000000       6.139183        153.86996       0.0518776       0.734985\r
 165 4800.000000     75.000000       5.6415162       152.93008       0.0442184       0.659595\r
 166 4900.000000     75.000000       5.2081494       151.87158       0.0399166       0.624401\r
 167 5000.000000     75.000000       4.8083239       150.68073       0.0390139       0.634388\r
 168 5100.000000     75.000000       4.4428935       149.51788       0.0360228       0.563347\r
 169 5200.000000     75.000000       4.1155205       148.18509       0.0333497       0.537746\r
 170 5300.000000     75.000000       3.8137634       146.76501       0.033464        0.554069\r
 171 5400.000000     75.000000       3.5454078       145.27553       0.0300633       0.509343\r
 172 5500.000000     75.000000       3.3010578       143.63084       0.0266529       0.459832\r
 173 5600.000000     75.000000       3.0737369       141.88512       0.0263457       0.460399\r
 174 5700.000000     75.000000       2.8681254       140.04665       0.0250063       0.417073\r
 175 5800.000000     75.000000       2.6774821       137.98288       0.0232976       0.391158\r
 176 5900.000000     75.000000       2.5082614       135.88403       0.0253184       0.427353\r
 177 6000.000000     75.000000       2.3586864       133.48683       0.0210444       0.35552\r
 178 6100.000000     75.000000       2.2011564       131.12964       0.0224295       0.375957\r
 179 6200.000000     75.000000       2.0749166       128.52217       0.0248797       0.402205\r
 180 6300.000000     75.000000       1.9593102       125.78465       0.0157648       0.253303\r
 181 6400.000000     75.000000       1.8431052       122.86828       0.0200083       0.316205\r
 182 6500.000000     75.000000       1.74781 119.80753       0.0149176       0.232909\r
 183 6600.000000     75.000000       1.6577355       116.70155       0.0142626       0.218452\r
 184 6700.000000     75.000000       1.5931089       113.27239       0.0138393       0.208935\r
 185 6800.000000     75.000000       1.5186169       109.67276       0.0131872       0.195579\r
 186 6900.000000     75.000000       1.4558412       106.00867       0.0125978       0.183687\r
 187 7000.000000     75.000000       1.4023894       102.58112       0.0151127       0.216819\r
 188 7100.000000     75.000000       1.36305 98.591759       0.0171899       0.24233\r
 189 7200.000000     75.000000       1.3326777       94.819695       0.0204941       0.286306\r
 190 7300.000000     75.000000       1.3022994       91.182777       0.00924996      0.129065\r
 191 7400.000000     75.000000       1.2597272       87.073647       0.0290732       0.408947\r
 192 7500.000000     75.000000       1.2595415       83.335182       0.0259128       0.371741\r
 193 7600.000000     75.000000       1.2175857       79.588661       0.0184887       0.260799\r
 194 7700.000000     75.000000       1.2440435       76.234558       0.0175845       0.256027\r
 195 7800.000000     75.000000       1.2096676       72.884987       0.0320679       0.465722\r
 196 7900.000000     75.000000       1.2455183       69.339096       0.0147425       0.22306\r
 197 8000.000000     75.000000       1.2324553       66.753105       0.0249067       0.379787\r
 198 8100.000000     75.000000       1.250481        64.299248       0.0238121       0.579344\r
 199 8200.000000     75.000000       1.3022414       60.197483       0.0245576       0.400215\r
 200 8300.000000     75.000000       1.2817957       58.108898       0.0285292       0.469373\r
 201 8400.000000     75.000000       1.2656534       55.418777       0.0721299       1.1755\r
 202 8500.000000     75.000000       1.2482508       53.304611       0.0704741       1.14134\r
 203 8600.000000     75.000000       1.314234        50.64315        0.058338        1.01077\r
 204 8700.000000     75.000000       1.3291888       48.385048       0.0534841       0.912543\r
 205 8800.000000     75.000000       1.3472109       46.519508       0.0156983       0.269848\r
 206 8900.000000     75.000000       1.3686841       45.325726       0.0210227       0.366434\r
 207 9000.000000     75.000000       1.3764205       43.726501       0.00952329      0.167531\r
 208 9100.000000     75.000000       1.38941 42.196335       0.0183928       0.325028\r
 209 9200.000000     75.000000       1.4127556       40.553455       0.0107079       0.192212\r
 210 9300.000000     75.000000       1.4430015       38.9212 0.0151082       0.277414\r
 211 9400.000000     75.000000       1.4633117       37.673298       0.0118925       0.21149\r
 212 9500.000000     75.000000       1.477162        36.402828       0.0124068       0.222894\r
 213 9600.000000     75.000000       1.5003511       35.484131       0.0100101       0.181648\r
 214 9700.000000     75.000000       1.5222521       34.509228       0.0160725       0.294526\r
 215 9800.000000     75.000000       1.541597        33.23489        0.0131956       0.24544\r
 216 9900.000000     75.000000       1.5666378       32.124939       0.0122599       0.231468\r
 217 10000.000000    75.000000       1.5813929       31.540489       0.0136459       0.25987\r
 218 dpolE   3000.000000     65.000000       0.0815607       1.94622\r
 219 dpolE   3100.000000     65.000000       0.268785        1.62559\r
 220 dpolE   3200.000000     65.000000       0.130599        1.26559\r
 221 dpolE   3300.000000     65.000000       0.0598307       1.49291\r
 222 dpolE   3400.000000     65.000000       -0.047167       1.27643\r
 223 dpolE   3500.000000     65.000000       -0.358055       1.44572\r
 224 dpolE   3600.000000     65.000000       0.232938        1.06704\r
 225 dpolE   3700.000000     65.000000       0.218006        0.945034\r
 226 dpolE   3800.000000     65.000000       -0.0671807      0.738162\r
 227 dpolE   3900.000000     65.000000       -0.11647        0.648528\r
 228 dpolE   4000.000000     65.000000       -0.0541818      0.546819\r
 229 dpolE   4100.000000     65.000000       -0.108503       0.578688\r
 230 dpolE   4200.000000     65.000000       -0.0921592      0.495831\r
 231 dpolE   4300.000000     65.000000       -0.106637       0.455763\r
 232 dpolE   4400.000000     65.000000       -0.0901629      0.40594\r
 233 dpolE   4500.000000     65.000000       -0.0790244      0.362097\r
 234 dpolE   4600.000000     65.000000       -0.109885       0.359363\r
 235 dpolE   4700.000000     65.000000       -0.142535       0.339995\r
 236 dpolE   4800.000000     65.000000       -0.141067       0.302928\r
 237 dpolE   4900.000000     65.000000       -0.126556       0.282305\r
 238 dpolE   5000.000000     65.000000       -0.0996059      0.249146\r
 239 dpolE   5100.000000     65.000000       -0.132319       0.288853\r
 240 dpolE   5200.000000     65.000000       -0.123856       0.268141\r
 241 dpolE   5300.000000     65.000000       -0.120484       0.253808\r
 242 dpolE   5400.000000     65.000000       -0.130128       0.227952\r
 243 dpolE   5500.000000     65.000000       -0.10522        0.213738\r
 244 dpolE   5600.000000     65.000000       -0.0876416      0.195327\r
 245 dpolE   5700.000000     65.000000       -0.121967       0.213598\r
 246 dpolE   5800.000000     65.000000       -0.120369       0.19282\r
 247 dpolE   5900.000000     65.000000       -0.101896       0.186434\r
 248 dpolE   6000.000000     65.000000       -0.0901294      0.176603\r
 249 dpolE   6100.000000     65.000000       -0.092364       0.163324\r
 250 dpolE   6200.000000     65.000000       -0.117048       0.16869\r
 251 dpolE   6300.000000     65.000000       -0.102967       0.159798\r
 252 dpolE   6400.000000     65.000000       -0.102388       0.152863\r
 253 dpolE   6500.000000     65.000000       -0.0911242      0.142506\r
 254 dpolE   6600.000000     65.000000       -0.0692429      0.140221\r
 255 dpolE   6700.000000     65.000000       -0.102599       0.128065\r
 256 dpolE   6800.000000     65.000000       -0.0973698      0.139507\r
 257 dpolE   6900.000000     65.000000       -0.103051       0.128605\r
 258 dpolE   7000.000000     65.000000       -0.0680163      0.114742\r
 259 dpolE   7100.000000     65.000000       -0.0528006      0.104922\r
 260 dpolE   7200.000000     65.000000       -0.0717376      0.103087\r
 261 dpolE   7300.000000     65.000000       -0.0814731      0.106051\r
 262 dpolE   7400.000000     65.000000       -0.0980341      0.111782\r
 263 dpolE   7500.000000     65.000000       -0.064674       0.114922\r
 264 dpolE   7600.000000     65.000000       -0.0485464      0.0994358\r
 265 dpolE   7700.000000     65.000000       -0.0370685      0.0925991\r
 266 dpolE   7800.000000     65.000000       -0.0625751      0.0950666\r
 267 dpolE   7900.000000     65.000000       -0.0370623      0.0817678\r
 268 dpolE   8000.000000     65.000000       -0.0402171      0.0755214\r
 269 dpolE   8100.000000     65.000000       -0.0337743      0.113071\r
 270 dpolE   8200.000000     65.000000       -0.0535524      0.0968568\r
 271 dpolE   8300.000000     65.000000       -0.0495608      0.0968241\r
 272 dpolE   8400.000000     65.000000       -0.063846       0.0954711\r
 273 dpolE   8500.000000     65.000000       0.00751475      0.147012\r
 274 dpolE   8600.000000     65.000000       -0.0386011      0.0876764\r
 275 dpolE   8700.000000     65.000000       -0.0509249      0.101639\r
 276 dpolE   8800.000000     65.000000       -0.0650652      0.105993\r
 277 dpolE   8900.000000     65.000000       -0.0454341      0.0987212\r
 278 dpolE   9000.000000     65.000000       -0.00951252     0.100467\r
 279 dpolE   9100.000000     65.000000       -0.0209467      0.0906667\r
 280 dpolE   9200.000000     65.000000       -0.0197809      0.0853509\r
 281 dpolE   9300.000000     65.000000       -0.0394692      0.0934102\r
 282 dpolE   9400.000000     65.000000       -0.0265224      0.101682\r
 283 dpolE   9500.000000     65.000000       -0.027546       0.0969061\r
 284 dpolE   9600.000000     65.000000       0.00346143      0.0978765\r
 285 dpolE   9700.000000     65.000000       -0.0302763      0.0931851\r
 286 dpolE   9800.000000     65.000000       -0.0364642      0.0857057\r
 287 dpolE   9900.000000     65.000000       -0.0339561      0.0966299\r
 288 dpolE   10000.000000    65.000000       -0.00288182     0.0918804\r
 289 dpolE   3000.000000     70.000000       2.32364 2.13037\r
 290 dpolE   3100.000000     70.000000       0.54883 2.29331\r
 291 dpolE   3200.000000     70.000000       1.53002 1.70443\r
 292 dpolE   3300.000000     70.000000       0.548849        1.82197\r
 293 dpolE   3400.000000     70.000000       0.123265        1.39367\r
 294 dpolE   3500.000000     70.000000       0.11759 1.27276\r
 295 dpolE   3600.000000     70.000000       -0.0348624      1.14738\r
 296 dpolE   3700.000000     70.000000       -0.115513       1.03357\r
 297 dpolE   3800.000000     70.000000       0.0295253       0.685428\r
 298 dpolE   3900.000000     70.000000       0.0148252       0.555092\r
 299 dpolE   4000.000000     70.000000       0.0204761       0.509121\r
 300 dpolE   4100.000000     70.000000       -0.0607438      0.490128\r
 301 dpolE   4200.000000     70.000000       -0.0255778      0.418244\r
 302 dpolE   4300.000000     70.000000       -0.0280554      0.374156\r
 303 dpolE   4400.000000     70.000000       -0.0224426      0.312545\r
 304 dpolE   4500.000000     70.000000       -0.0265869      0.286853\r
 305 dpolE   4600.000000     70.000000       -0.041039       0.296342\r
 306 dpolE   4700.000000     70.000000       -0.0407253      0.265623\r
 307 dpolE   4800.000000     70.000000       -0.0404963      0.235163\r
 308 dpolE   4900.000000     70.000000       -0.0206061      0.20203\r
 309 dpolE   5000.000000     70.000000       -0.0390053      0.193671\r
 310 dpolE   5100.000000     70.000000       -0.0399354      0.204313\r
 311 dpolE   5200.000000     70.000000       -0.037978       0.176182\r
 312 dpolE   5300.000000     70.000000       -0.0468076      0.166353\r
 313 dpolE   5400.000000     70.000000       -0.0374394      0.148552\r
 314 dpolE   5500.000000     70.000000       -0.0351736      0.138169\r
 315 dpolE   5600.000000     70.000000       -0.032436       0.124632\r
 316 dpolE   5700.000000     70.000000       -0.0548881      0.143785\r
 317 dpolE   5800.000000     70.000000       -0.0454105      0.124773\r
 318 dpolE   5900.000000     70.000000       -0.0299876      0.113879\r
 319 dpolE   6000.000000     70.000000       -0.0366339      0.115442\r
 320 dpolE   6100.000000     70.000000       -0.0265257      0.0986731\r
 321 dpolE   6200.000000     70.000000       -0.0315436      0.101088\r
 322 dpolE   6300.000000     70.000000       -0.0442973      0.101806\r
 323 dpolE   6400.000000     70.000000       -0.0318727      0.0938098\r
 324 dpolE   6500.000000     70.000000       -0.0396605      0.0875887\r
 325 dpolE   6600.000000     70.000000       -0.0345161      0.0825145\r
 326 dpolE   6700.000000     70.000000       -0.0133488      0.0684823\r
 327 dpolE   6800.000000     70.000000       -0.0381228      0.0789107\r
 328 dpolE   6900.000000     70.000000       -0.0339003      0.0686615\r
 329 dpolE   7000.000000     70.000000       -0.0336674      0.069944\r
 330 dpolE   7100.000000     70.000000       -0.0194318      0.061609\r
 331 dpolE   7200.000000     70.000000       -0.0135679      0.0669986\r
 332 dpolE   7300.000000     70.000000       -0.0160257      0.0622072\r
 333 dpolE   7400.000000     70.000000       -0.0217903      0.065676\r
 334 dpolE   7500.000000     70.000000       -0.0130299      0.0494094\r
 335 dpolE   7600.000000     70.000000       -0.0159697      0.0509867\r
 336 dpolE   7700.000000     70.000000       -0.0164874      0.0493542\r
 337 dpolE   7800.000000     70.000000       -0.00868635     0.0445864\r
 338 dpolE   7900.000000     70.000000       -0.0300269      0.0521371\r
 339 dpolE   8000.000000     70.000000       -0.00762102     0.0381133\r
 340 dpolE   8100.000000     70.000000       0.0712021       0.120597\r
 341 dpolE   8200.000000     70.000000       -0.0102445      0.0606221\r
 342 dpolE   8300.000000     70.000000       0.000205611     0.0535945\r
 343 dpolE   8400.000000     70.000000       0.0133239       0.0658281\r
 344 dpolE   8500.000000     70.000000       -0.00146202     0.0588987\r
 345 dpolE   8600.000000     70.000000       0.00895235      0.0748966\r
 346 dpolE   8700.000000     70.000000       -0.0781936      0.0507798\r
 347 dpolE   8800.000000     70.000000       -0.0146913      0.0483391\r
 348 dpolE   8900.000000     70.000000       0.00663248      0.0440898\r
 349 dpolE   9000.000000     70.000000       0.000799526     0.0432933\r
 350 dpolE   9100.000000     70.000000       -0.00564926     0.0431546\r
 351 dpolE   9200.000000     70.000000       0.00224057      0.0366537\r
 352 dpolE   9300.000000     70.000000       -0.00836668     0.0344126\r
 353 dpolE   9400.000000     70.000000       0.00259806      0.0394062\r
 354 dpolE   9500.000000     70.000000       -0.00250238     0.0415509\r
 355 dpolE   9600.000000     70.000000       0.00437098      0.033497\r
 356 dpolE   9700.000000     70.000000       0.00433266      0.0412656\r
 357 dpolE   9800.000000     70.000000       0.00412843      0.0368081\r
 358 dpolE   9900.000000     70.000000       -0.000661686    0.0369764\r
 359 dpolE   10000.000000    70.000000       0.0117122       0.0311813\r
 360 dpolE   3000.000000     75.000000       1.49228 2.15326\r
 361 dpolE   3100.000000     75.000000       -0.48439        1.93341\r
 362 dpolE   3200.000000     75.000000       0.736169        1.95112\r
 363 dpolE   3300.000000     75.000000       -0.47052        1.54347\r
 364 dpolE   3400.000000     75.000000       0.380483        1.58543\r
 365 dpolE   3500.000000     75.000000       0.229118        1.24205\r
 366 dpolE   3600.000000     75.000000       0.209886        1.2149\r
 367 dpolE   3700.000000     75.000000       0.168585        0.994504\r
 368 dpolE   3800.000000     75.000000       0.151285        0.578195\r
 369 dpolE   3900.000000     75.000000       0.110638        0.446375\r
 370 dpolE   4000.000000     75.000000       0.0690092       0.371266\r
 371 dpolE   4100.000000     75.000000       0.0075355       0.321422\r
 372 dpolE   4200.000000     75.000000       -0.00775012     0.253409\r
 373 dpolE   4300.000000     75.000000       0.0225369       0.218901\r
 374 dpolE   4400.000000     75.000000       -0.00369488     0.179587\r
 375 dpolE   4500.000000     75.000000       0.0258163       0.134496\r
 376 dpolE   4600.000000     75.000000       0.0230039       0.127084\r
 377 dpolE   4700.000000     75.000000       0.0333238       0.0986828\r
 378 dpolE   4800.000000     75.000000       0.0301406       0.0766479\r
 379 dpolE   4900.000000     75.000000       0.0368602       0.0631875\r
 380 dpolE   5000.000000     75.000000       0.0247169       0.0565407\r
 381 dpolE   5100.000000     75.000000       0.0254485       0.0471233\r
 382 dpolE   5200.000000     75.000000       0.0250965       0.0399324\r
 383 dpolE   5300.000000     75.000000       0.0263069       0.0367155\r
 384 dpolE   5400.000000     75.000000       0.0289464       0.0303407\r
 385 dpolE   5500.000000     75.000000       0.0291949       0.0248108\r
 386 dpolE   5600.000000     75.000000       0.024827        0.0226413\r
 387 dpolE   5700.000000     75.000000       0.0284848       0.0195017\r
 388 dpolE   5800.000000     75.000000       0.0258443       0.0168015\r
 389 dpolE   5900.000000     75.000000       0.0261795       0.0169425\r
 390 dpolE   6000.000000     75.000000       0.0276578       0.013131\r
 391 dpolE   6100.000000     75.000000       0.0193533       0.0129367\r
 392 dpolE   6200.000000     75.000000       0.0247171       0.0131437\r
 393 dpolE   6300.000000     75.000000       0.0251211       0.00778192\r
 394 dpolE   6400.000000     75.000000       0.0192984       0.0091935\r
 395 dpolE   6500.000000     75.000000       0.0203737       0.00642258\r
 396 dpolE   6600.000000     75.000000       0.0179247       0.00575506\r
 397 dpolE   6700.000000     75.000000       0.0218159       0.00530211\r
 398 dpolE   6800.000000     75.000000       0.0193156       0.00467951\r
 399 dpolE   6900.000000     75.000000       0.0188621       0.0042249\r
 400 dpolE   7000.000000     75.000000       0.0182414       0.00481413\r
 401 dpolE   7100.000000     75.000000       0.0175794       0.00526499\r
 402 dpolE   7200.000000     75.000000       0.0184814       0.0060683\r
 403 dpolE   7300.000000     75.000000       0.0205231       0.0026368\r
 404 dpolE   7400.000000     75.000000       0.0111819       0.00788274\r
 405 dpolE   7500.000000     75.000000       0.0179829       0.0069521\r
 406 dpolE   7600.000000     75.000000       0.00870685      0.00477011\r
 407 dpolE   7700.000000     75.000000       0.0166738       0.0046371\r
 408 dpolE   7800.000000     75.000000       0.00963686      0.00817514\r
 409 dpolE   7900.000000     75.000000       0.0171265       0.00389238\r
 410 dpolE   8000.000000     75.000000       0.0130434       0.0065093\r
 411 dpolE   8100.000000     75.000000       0.00932072      0.00635585\r
 412 dpolE   8200.000000     75.000000       0.0241406       0.00682857\r
 413 dpolE   8300.000000     75.000000       0.0202875       0.00777485\r
 414 dpolE   8400.000000     75.000000       0.00820596      0.0196122\r
 415 dpolE   8500.000000     75.000000       -0.00196825     0.0190186\r
 416 dpolE   8600.000000     75.000000       0.0168517       0.0165932\r
 417 dpolE   8700.000000     75.000000       0.0146828       0.0154073\r
 418 dpolE   8800.000000     75.000000       0.0112418       0.00462997\r
 419 dpolE   8900.000000     75.000000       0.0124863       0.00633651\r
 420 dpolE   9000.000000     75.000000       0.00973709      0.0028999\r
 421 dpolE   9100.000000     75.000000       0.00501824      0.00569736\r
 422 dpolE   9200.000000     75.000000       0.0047217       0.00339269\r
 423 dpolE   9300.000000     75.000000       0.00843464      0.00490995\r
 424 dpolE   9400.000000     75.000000       0.00835522      0.00392172\r
 425 dpolE   9500.000000     75.000000       0.00728181      0.00414412\r
 426 dpolE   9600.000000     75.000000       0.00746066      0.00341283\r
 427 dpolE   9700.000000     75.000000       0.00683736      0.00558587\r
 428 dpolE   9800.000000     75.000000       0.00773597      0.00465598\r
 429 dpolE   9900.000000     75.000000       0.00972068      0.00440999\r
 430 dpolE   10000.000000    75.000000       0.00946083      0.00496863