research/ellipsometry/WVASE32/DAT/070709 calibration wafer rt.dat

   1 \r
   2 RTmethod[PolRT=-0.00, RevsRT=100, SlitRT=2000, AutoSlitMin=100, Interleave=Off, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Tue Jul 07 14:17:39 2009]\r
   3 Original[070709 calibration wafer rt.dat]\r
   4 nm\r
   5 pT      400.000000      0.000000        3.4884e-005     0.00500035\r
   6 pT      410.000000      0.000000        9.76428e-007    0.00500001\r
   7 pT      420.000000      0.000000        1.12204e-005    0.00500011\r
   8 pT      430.000000      0.000000        1.57654e-005    0.00500016\r
   9 pT      440.000000      0.000000        9.49462e-006    0.00500009\r
  10 pT      450.000000      0.000000        5.84546e-007    0.00500001\r
  11 pT      460.000000      0.000000        4.93181e-006    0.00500005\r
  12 pT      470.000000      0.000000        6.64179e-007    0.00500001\r
  13 pT      480.000000      0.000000        2.76487e-006    0.00500003\r
  14 pT      490.000000      0.000000        1.43862e-006    0.00500001\r
  15 pT      500.000000      0.000000        5.59931e-006    0.00500006\r
  16 pT      510.000000      0.000000        3.69075e-006    0.00500004\r
  17 pT      520.000000      0.000000        2.7959e-006     0.00500003\r
  18 pT      530.000000      0.000000        3.26343e-006    0.00500003\r
  19 pT      540.000000      0.000000        3.91409e-006    0.00500004\r
  20 pT      550.000000      0.000000        1.12013e-006    0.00500001\r
  21 pT      560.000000      0.000000        8.91078e-007    0.00500001\r
  22 pT      570.000000      0.000000        1.84627e-006    0.00500002\r
  23 pT      580.000000      0.000000        5.74649e-006    0.00500006\r
  24 pT      590.000000      0.000000        6.11903e-006    0.00500006\r
  25 pT      600.000000      0.000000        1.03786e-006    0.00500001\r
  26 pT      610.000000      0.000000        5.54821e-006    0.00500006\r
  27 pT      620.000000      0.000000        6.24689e-006    0.00500006\r
  28 pT      630.000000      0.000000        5.05094e-006    0.00500005\r
  29 pT      640.000000      0.000000        5.60557e-006    0.00500006\r
  30 pT      650.000000      0.000000        2.36965e-006    0.00500002\r
  31 pT      660.000000      0.000000        3.402e-006      0.00500003\r
  32 pT      670.000000      0.000000        6.14766e-006    0.00500006\r
  33 pT      680.000000      0.000000        1.53657e-006    0.00500002\r
  34 pT      690.000000      0.000000        3.76018e-006    0.00500004\r
  35 pT      700.000000      0.000000        7.42488e-006    0.00500007\r
  36 pT      710.000000      0.000000        5.3544e-006     0.00500005\r
  37 pT      720.000000      0.000000        5.42022e-006    0.00500005\r
  38 pT      730.000000      0.000000        5.78343e-006    0.00500006\r
  39 pT      740.000000      0.000000        8.05188e-006    0.00500008\r
  40 pT      750.000000      0.000000        3.84137e-007    0.005\r
  41 pT      760.000000      0.000000        7.13857e-006    0.00500007\r
  42 pT      770.000000      0.000000        5.5287e-006     0.00500006\r
  43 pT      780.000000      0.000000        1.08254e-005    0.00500011\r
  44 pT      790.000000      0.000000        4.77834e-006    0.00500005\r
  45 pT      800.000000      0.000000        3.0008e-006     0.00500003\r
  46 pT      810.000000      0.000000        1.77579e-005    0.00500018\r
  47 pT      820.000000      0.000000        3.43512e-006    0.00500003\r
  48 pT      830.000000      0.000000        3.37727e-006    0.00500003\r
  49 pT      840.000000      0.000000        2.75491e-006    0.00500003\r
  50 pT      850.000000      0.000000        1.78205e-005    0.00500018\r
  51 pT      860.000000      0.000000        9.06222e-006    0.00500009\r
  52 pT      870.000000      0.000000        1.2649e-005     0.00500013\r
  53 pT      880.000000      0.000000        7.45274e-006    0.00500007\r
  54 pT      890.000000      0.000000        3.43898e-006    0.00500003\r
  55 pT      900.000000      0.000000        2.61441e-006    0.00500003\r
  56 pT      910.000000      0.000000        2.56314e-006    0.00500003\r
  57 pT      920.000000      0.000000        2.28952e-006    0.00500002\r
  58 pT      930.000000      0.000000        2.93631e-006    0.00500003\r
  59 pT      940.000000      0.000000        4.09497e-007    0.005\r
  60 pT      950.000000      0.000000        5.37045e-006    0.00500005\r
  61 pT      960.000000      0.000000        4.72701e-006    0.00500005\r
  62 pT      970.000000      0.000000        2.03349e-006    0.00500002\r
  63 pT      980.000000      0.000000        3.86599e-006    0.00500004\r
  64 pT      990.000000      0.000000        4.70758e-006    0.00500005\r
  65 pT      1000.000000     0.000000        2.0432e-005     0.0050002