research/ellipsometry/WVASE32/DAT/070709 calibration wafer.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Tue Jul 07 12:35:23 2009]\r
   3 Original[070709 calibration wafer.dat]\r
   4 nm\r
   5 400.000000      65.000000       29.710028       126.56664       0.101082        0.344518\r
   6 410.000000      65.000000       28.644142       127.44389       0.0978532       0.33339\r
   7 420.000000      65.000000       27.750441       128.18698       0.0938928       0.330987\r
   8 430.000000      65.000000       26.986332       128.86572       0.0812501       0.29525\r
   9 440.000000      65.000000       26.313957       129.54407       0.0851405       0.32033\r
  10 450.000000      65.000000       25.695311       130.18384       0.0727222       0.282268\r
  11 460.000000      65.000000       25.144073       130.87303       0.0748977       0.286769\r
  12 470.000000      65.000000       24.629217       131.48625       0.0721138       0.283497\r
  13 480.000000      65.000000       24.158724       132.11046       0.0719375       0.29093\r
  14 490.000000      65.000000       23.723017       132.71057       0.0643346       0.267244\r
  15 500.000000      65.000000       23.331476       133.26743       0.0614308       0.261895\r
  16 510.000000      65.000000       22.963722       133.87772       0.0583606       0.243596\r
  17 520.000000      65.000000       22.617661       134.46889       0.0579372       0.247616\r
  18 530.000000      65.000000       22.298105       135.01799       0.0518166       0.226597\r
  19 540.000000      65.000000       22.012077       135.54218       0.051127        0.22909\r
  20 550.000000      65.000000       21.720087       136.06628       0.0479302       0.219951\r
  21 560.000000      65.000000       21.458229       136.57756       0.0461558       0.216721\r
  22 570.000000      65.000000       21.196754       137.12857       0.0483105       0.219987\r
  23 580.000000      65.000000       20.953503       137.65572       0.0495081       0.230656\r
  24 590.000000      65.000000       20.732738       138.1174        0.045905        0.218363\r
  25 600.000000      65.000000       20.522621       138.60173       0.0414508       0.201256\r
  26 610.000000      65.000000       20.326384       139.07317       0.0408297       0.202291\r
  27 620.000000      65.000000       20.132076       139.56064       0.0397261       0.190337\r
  28 630.000000      65.000000       19.946674       140.04337       0.0422156       0.206449\r
  29 640.000000      65.000000       19.775846       140.49368       0.0381056       0.189836\r
  30 650.000000      65.000000       19.61297        140.91035       0.0372403       0.188929\r
  31 660.000000      65.000000       19.451498       141.31543       0.0334849       0.172975\r
  32 670.000000      65.000000       19.303699       141.76439       0.0348479       0.183418\r
  33 680.000000      65.000000       19.163347       142.19246       0.0334722       0.169762\r
  34 690.000000      65.000000       19.028131       142.60736       0.0341431       0.175942\r
  35 700.000000      65.000000       18.894161       142.99741       0.0336808       0.176739\r
  36 710.000000      65.000000       18.775436       143.40848       0.0349817       0.186624\r
  37 720.000000      65.000000       18.656336       143.7943        0.0299302       0.162342\r
  38 730.000000      65.000000       18.537386       144.19475       0.0287332       0.158445\r
  39 740.000000      65.000000       18.427267       144.56953       0.0299808       0.158923\r
  40 750.000000      65.000000       18.328995       144.92522       0.0287638       0.154652\r
  41 760.000000      65.000000       18.226042       145.29633       0.0280136       0.15285\r
  42 770.000000      65.000000       18.123341       145.63689       0.0276384       0.153019\r
  43 780.000000      65.000000       18.032495       146.02617       0.0285252       0.160089\r
  44 790.000000      65.000000       17.938005       146.33128       0.0264945       0.150873\r
  45 800.000000      65.000000       17.851658       146.71274       0.0259164       0.150102\r
  46 810.000000      65.000000       17.751085       147.09558       0.0355984       0.197686\r
  47 820.000000      65.000000       17.668177       147.43672       0.0289332       0.163473\r
  48 830.000000      65.000000       17.584694       147.73412       0.0312938       0.17947\r
  49 840.000000      65.000000       17.516031       148.07413       0.0305019       0.176853\r
  50 850.000000      65.000000       17.454403       148.34383       0.0279736       0.161996\r
  51 860.000000      65.000000       17.370888       148.68324       0.0253626       0.149667\r
  52 870.000000      65.000000       17.300325       148.97684       0.0329978       0.187948\r
  53 880.000000      65.000000       17.221653       149.27104       0.0295601       0.171372\r
  54 890.000000      65.000000       17.168154       149.48018       0.0310471       0.182035\r
  55 900.000000      65.000000       17.107742       149.75293       0.031355        0.186107\r
  56 910.000000      65.000000       17.040524       150.03645       0.0284916       0.171211\r
  57 920.000000      65.000000       16.97657        150.31615       0.0294218       0.179068\r
  58 930.000000      65.000000       16.917068       150.63229       0.0300917       0.185286\r
  59 940.000000      65.000000       16.867777       150.93436       0.0313429       0.18497\r
  60 950.000000      65.000000       16.817404       151.16455       0.0281522       0.167908\r
  61 960.000000      65.000000       16.768124       151.42992       0.0314783       0.189805\r
  62 970.000000      65.000000       16.723185       151.68954       0.0290737       0.177225\r
  63 980.000000      65.000000       16.670752       151.96129       0.0282032       0.173805\r
  64 990.000000      65.000000       16.627396       152.23692       0.0281697       0.175923\r
  65 1000.000000     65.000000       16.590744       152.37944       0.0259883       0.163937\r
  66 400.000000      70.000000       27.643831       109.43009       0.107429        0.334019\r
  67 410.000000      70.000000       26.458494       109.88097       0.101923        0.330362\r
  68 420.000000      70.000000       25.419456       110.30035       0.097517        0.325271\r
  69 430.000000      70.000000       24.517355       110.67574       0.0925832       0.317081\r
  70 440.000000      70.000000       23.719027       111.04421       0.0825358       0.289536\r
  71 450.000000      70.000000       22.977652       111.42778       0.0787656       0.284693\r
  72 460.000000      70.000000       22.321873       111.82468       0.0758978       0.282121\r
  73 470.000000      70.000000       21.703493       112.21596       0.0749635       0.285504\r
  74 480.000000      70.000000       21.133745       112.58781       0.0699782       0.272469\r
  75 490.000000      70.000000       20.611076       112.97362       0.0687669       0.274331\r
  76 500.000000      70.000000       20.12813        113.33418       0.0622483       0.253663\r
  77 510.000000      70.000000       19.665955       113.72027       0.0669008       0.279165\r
  78 520.000000      70.000000       19.22566        114.12444       0.0637049       0.271239\r
  79 530.000000      70.000000       18.829628       114.50071       0.0598954       0.259749\r
  80 540.000000      70.000000       18.450722       114.87602       0.0566275       0.251263\r
  81 550.000000      70.000000       18.090536       115.21911       0.0555963       0.251595\r
  82 560.000000      70.000000       17.749857       115.57036       0.0494819       0.228437\r
  83 570.000000      70.000000       17.421976       116.00803       0.0507497       0.238147\r
  84 580.000000      70.000000       17.112703       116.3582        0.0462084       0.220828\r
  85 590.000000      70.000000       16.819994       116.71696       0.0482429       0.234612\r
  86 600.000000      70.000000       16.543375       117.08286       0.0431207       0.213442\r
  87 610.000000      70.000000       16.281336       117.48194       0.0444939       0.225277\r
  88 620.000000      70.000000       16.030064       117.83128       0.0468566       0.239271\r
  89 630.000000      70.000000       15.777917       118.22135       0.0409307       0.212405\r
  90 640.000000      70.000000       15.544927       118.54144       0.0413114       0.217809\r
  91 650.000000      70.000000       15.328048       118.91993       0.0373649       0.200252\r
  92 660.000000      70.000000       15.115516       119.26698       0.0375475       0.205363\r
  93 670.000000      70.000000       14.90626        119.65181       0.0369594       0.205917\r
  94 680.000000      70.000000       14.707661       119.99805       0.033574        0.187491\r
  95 690.000000      70.000000       14.520824       120.33587       0.0322191       0.182616\r
  96 700.000000      70.000000       14.340837       120.68574       0.0342912       0.197216\r
  97 710.000000      70.000000       14.166076       121.03339       0.0341397       0.199332\r
  98 720.000000      70.000000       13.995346       121.40742       0.0333959       0.19885\r
  99 730.000000      70.000000       13.831863       121.77046       0.0322766       0.195412\r
 100 740.000000      70.000000       13.671755       122.10252       0.0347134       0.209651\r
 101 750.000000      70.000000       13.519996       122.4368        0.031739        0.194272\r
 102 760.000000      70.000000       13.373077       122.80209       0.0300166       0.186363\r
 103 770.000000      70.000000       13.229775       123.10191       0.0308687       0.194072\r
 104 780.000000      70.000000       13.088387       123.46104       0.0313345       0.199319\r
 105 790.000000      70.000000       12.936156       123.8638        0.0312738       0.203409\r
 106 800.000000      70.000000       12.828622       124.13606       0.0325772       0.214118\r
 107 810.000000      70.000000       12.674684       124.47157       0.0423451       0.261366\r
 108 820.000000      70.000000       12.550094       125.00824       0.0387866       0.257411\r
 109 830.000000      70.000000       12.463296       125.11417       0.0357414       0.241219\r
 110 840.000000      70.000000       12.34485        125.48404       0.0344643       0.233527\r
 111 850.000000      70.000000       12.232711       125.77597       0.0331513       0.224723\r
 112 860.000000      70.000000       12.131503       126.13827       0.0361251       0.249243\r
 113 870.000000      70.000000       12.022122       126.45911       0.0341537       0.235966\r
 114 880.000000      70.000000       11.914762       126.79577       0.0337984       0.240251\r
 115 890.000000      70.000000       11.831824       127.00551       0.0333361       0.23933\r
 116 900.000000      70.000000       11.740044       127.29023       0.0324742       0.236021\r
 117 910.000000      70.000000       11.648012       127.60423       0.0309222       0.22755\r
 118 920.000000      70.000000       11.555785       127.92006       0.0312888       0.23458\r
 119 930.000000      70.000000       11.468113       128.27773       0.031734        0.240747\r
 120 940.000000      70.000000       11.377715       128.58308       0.0315584       0.236706\r
 121 950.000000      70.000000       11.296619       128.87697       0.0317888       0.241311\r
 122 960.000000      70.000000       11.221901       129.11298       0.0314223       0.240735\r
 123 970.000000      70.000000       11.136989       129.44336       0.0281026       0.218194\r
 124 980.000000      70.000000       11.058808       129.75587       0.0290797       0.229016\r
 125 990.000000      70.000000       10.983301       130.02469       0.0269103       0.21439\r
 126 1000.000000     70.000000       10.92295        130.21648       0.0267032       0.214702\r
 127 400.000000      75.000000       26.99707        86.009689       0.097752        0.28714\r
 128 410.000000      75.000000       25.752823       85.69384        0.0960819       0.301496\r
 129 420.000000      75.000000       24.672857       85.393753       0.0919547       0.295171\r
 130 430.000000      75.000000       23.735151       85.037704       0.0843591       0.276293\r
 131 440.000000      75.000000       22.90029        84.713303       0.0763908       0.254581\r
 132 450.000000      75.000000       22.131609       84.450432       0.0748011       0.255274\r
 133 460.000000      75.000000       21.442251       84.162354       0.0721489       0.259995\r
 134 470.000000      75.000000       20.802141       83.898499       0.0704175       0.258622\r
 135 480.000000      75.000000       20.209208       83.606071       0.0662109       0.246957\r
 136 490.000000      75.000000       19.655212       83.387642       0.0690373       0.262176\r
 137 500.000000      75.000000       19.153238       83.124641       0.063805        0.246106\r
 138 510.000000      75.000000       18.672533       82.863998       0.0652762       0.265481\r
 139 520.000000      75.000000       18.209539       82.627785       0.06644 0.273639\r
 140 530.000000      75.000000       17.746662       82.450417       0.0449981       0.189058\r
 141 540.000000      75.000000       17.382797       82.11026        0.0611104       0.259123\r
 142 550.000000      75.000000       16.990925       81.898918       0.0498  0.214291\r
 143 560.000000      75.000000       16.623774       81.664848       0.0497217       0.217333\r
 144 570.000000      75.000000       16.2679 81.429665       0.0515815       0.235816\r
 145 580.000000      75.000000       15.948858       81.236115       0.0497856       0.231054\r
 146 590.000000      75.000000       15.63453        80.934349       0.0412544       0.19343\r
 147 600.000000      75.000000       15.345486       80.768089       0.0540483       0.25634\r
 148 610.000000      75.000000       15.04517        80.624649       0.0414518       0.199928\r
 149 620.000000      75.000000       14.78452        80.295982       0.0421762       0.211956\r
 150 630.000000      75.000000       14.508432       80.083252       0.0398004       0.201868\r
 151 640.000000      75.000000       14.238979       79.831825       0.0427573       0.21969\r
 152 650.000000      75.000000       13.999746       79.710258       0.0398163       0.207536\r
 153 660.000000      75.000000       13.774987       79.552742       0.0327485       0.172605\r
 154 670.000000      75.000000       13.534363       79.316811       0.0251657       0.134338\r
 155 680.000000      75.000000       13.341987       79.118599       0.0417955       0.231635\r
 156 690.000000      75.000000       13.103366       78.895004       0.0402148       0.225394\r
 157 700.000000      75.000000       12.914801       78.704582       0.0414718       0.234999\r
 158 710.000000      75.000000       12.719603       78.423576       0.0398964       0.227892\r
 159 720.000000      75.000000       12.526173       78.339981       0.0409309       0.235898\r
 160 730.000000      75.000000       12.346782       78.10257        0.0301885       0.176382\r
 161 740.000000      75.000000       12.1654 77.860939       0.03    0.181373\r
 162 750.000000      75.000000       11.998054       77.653336       0.0315107       0.192132\r
 163 760.000000      75.000000       11.824566       77.522781       0.0314237       0.194158\r
 164 770.000000      75.000000       11.663383       77.357544       0.0259761       0.162048\r
 165 780.000000      75.000000       11.505897       77.105995       0.0320709       0.201985\r
 166 790.000000      75.000000       11.354085       76.90564        0.0309481       0.197035\r
 167 800.000000      75.000000       11.204797       76.734932       0.0293782       0.188522\r
 168 810.000000      75.000000       11.025721       76.502556       0.0401732       0.265339\r
 169 820.000000      75.000000       10.892469       76.33149        0.0360321       0.241456\r
 170 830.000000      75.000000       10.792745       76.244568       0.0337431       0.227441\r
 171 840.000000      75.000000       10.652275       75.993439       0.0373706       0.253502\r
 172 850.000000      75.000000       10.524871       75.844589       0.0398255       0.270459\r
 173 860.000000      75.000000       10.404646       75.721222       0.0387176       0.26709\r
 174 870.000000      75.000000       10.275435       75.503502       0.0331812       0.236637\r
 175 880.000000      75.000000       10.15111        75.270309       0.0341416       0.247796\r
 176 890.000000      75.000000       10.056948       75.13887        0.0344294       0.251047\r
 177 900.000000      75.000000       9.9471254       74.95295        0.0323092       0.237606\r
 178 910.000000      75.000000       9.8363638       74.758369       0.0323028       0.239561\r
 179 920.000000      75.000000       9.7277927       74.557083       0.0301076       0.225377\r
 180 930.000000      75.000000       9.6167784       74.337654       0.0324106       0.244849\r
 181 940.000000      75.000000       9.5090132       74.128967       0.0309181       0.239453\r
 182 950.000000      75.000000       9.4131908       73.945541       0.0294232       0.229492\r
 183 960.000000      75.000000       9.3193035       73.789078       0.0288631       0.226312\r
 184 970.000000      75.000000       9.2210283       73.585892       0.028308        0.223796\r
 185 980.000000      75.000000       9.1254635       73.374054       0.0277272       0.22129\r
 186 990.000000      75.000000       9.0350075       73.171478       0.0273176       0.219667\r
 187 1000.000000     75.000000       8.9607334       73.043213       0.0271169       0.218987\r
 188 dpolE   400.000000      65.000000       0.143792        1.0206\r
 189 dpolE   410.000000      65.000000       0.144701        0.904925\r
 190 dpolE   420.000000      65.000000       0.0990319       0.859192\r
 191 dpolE   430.000000      65.000000       0.0335361       0.735908\r
 192 dpolE   440.000000      65.000000       0.0774655       0.765434\r
 193 dpolE   450.000000      65.000000       0.088962        0.648114\r
 194 dpolE   460.000000      65.000000       0.0974109       0.622399\r
 195 dpolE   470.000000      65.000000       0.0545744       0.594466\r
 196 dpolE   480.000000      65.000000       0.0562309       0.58932\r
 197 dpolE   490.000000      65.000000       0.0412261       0.523423\r
 198 dpolE   500.000000      65.000000       0.0451321       0.496741\r
 199 dpolE   510.000000      65.000000       0.0209132       0.444984\r
 200 dpolE   520.000000      65.000000       0.0316653       0.438727\r
 201 dpolE   530.000000      65.000000       0.0191572       0.390016\r
 202 dpolE   540.000000      65.000000       0.00599956      0.383351\r
 203 dpolE   550.000000      65.000000       0.0126357       0.357352\r
 204 dpolE   560.000000      65.000000       0.000199917     0.342507\r
 205 dpolE   570.000000      65.000000       0.00401241      0.340208\r
 206 dpolE   580.000000      65.000000       -0.012526       0.347065\r
 207 dpolE   590.000000      65.000000       0.0146284       0.32018\r
 208 dpolE   600.000000      65.000000       0.00935253      0.28776\r
 209 dpolE   610.000000      65.000000       -0.0012411      0.282213\r
 210 dpolE   620.000000      65.000000       0.00672267      0.26296\r
 211 dpolE   630.000000      65.000000       -0.00649629     0.278294\r
 212 dpolE   640.000000      65.000000       0.00400941      0.250007\r
 213 dpolE   650.000000      65.000000       0.000963351     0.243284\r
 214 dpolE   660.000000      65.000000       -0.0151115      0.217857\r
 215 dpolE   670.000000      65.000000       0.0136075       0.225655\r
 216 dpolE   680.000000      65.000000       0.0303568       0.209155\r
 217 dpolE   690.000000      65.000000       0.00147543      0.212398\r
 218 dpolE   700.000000      65.000000       -0.0254446      0.208982\r
 219 dpolE   710.000000      65.000000       -0.00967281     0.216161\r
 220 dpolE   720.000000      65.000000       -0.00159054     0.184192\r
 221 dpolE   730.000000      65.000000       -0.00657828     0.176114\r
 222 dpolE   740.000000      65.000000       -0.0144154      0.178615\r
 223 dpolE   750.000000      65.000000       -0.0152789      0.170724\r
 224 dpolE   760.000000      65.000000       -0.00202817     0.165586\r
 225 dpolE   770.000000      65.000000       -0.000345232    0.162728\r
 226 dpolE   780.000000      65.000000       0.021252        0.167499\r
 227 dpolE   790.000000      65.000000       -0.0307394      0.154978\r
 228 dpolE   800.000000      65.000000       0.00594318      0.151276\r
 229 dpolE   810.000000      65.000000       0.00150004      0.203215\r
 230 dpolE   820.000000      65.000000       0.0399476       0.163793\r
 231 dpolE   830.000000      65.000000       0.0203414       0.17617\r
 232 dpolE   840.000000      65.000000       0.00562206      0.171588\r
 233 dpolE   850.000000      65.000000       -0.00431615     0.159928\r
 234 dpolE   860.000000      65.000000       0.100785        0.143432\r
 235 dpolE   870.000000      65.000000       0.0540072       0.181728\r
 236 dpolE   880.000000      65.000000       0.021675        0.161072\r
 237 dpolE   890.000000      65.000000       0.029255        0.168719\r
 238 dpolE   900.000000      65.000000       0.0393228       0.169742\r
 239 dpolE   910.000000      65.000000       0.0397289       0.153651\r
 240 dpolE   920.000000      65.000000       0.0535105       0.15799\r
 241 dpolE   930.000000      65.000000       0.0354958       0.161098\r
 242 dpolE   940.000000      65.000000       0.0385827       0.165566\r
 243 dpolE   950.000000      65.000000       0.029689        0.148231\r
 244 dpolE   960.000000      65.000000       0.0517836       0.165175\r
 245 dpolE   970.000000      65.000000       0.0588316       0.152035\r
 246 dpolE   980.000000      65.000000       0.0199798       0.146945\r
 247 dpolE   990.000000      65.000000       0.0286163       0.146447\r
 248 dpolE   1000.000000     65.000000       0.041246        0.134862\r
 249 dpolE   400.000000      70.000000       0.278441        1.12677\r
 250 dpolE   410.000000      70.000000       0.227792        0.960475\r
 251 dpolE   420.000000      70.000000       0.296146        0.90846\r
 252 dpolE   430.000000      70.000000       0.192641        0.85537\r
 253 dpolE   440.000000      70.000000       0.149625        0.755507\r
 254 dpolE   450.000000      70.000000       0.154174        0.716657\r
 255 dpolE   460.000000      70.000000       0.153403        0.627644\r
 256 dpolE   470.000000      70.000000       0.077719        0.616678\r
 257 dpolE   480.000000      70.000000       0.144714        0.5711\r
 258 dpolE   490.000000      70.000000       0.106204        0.558821\r
 259 dpolE   500.000000      70.000000       0.056244        0.50322\r
 260 dpolE   510.000000      70.000000       0.0625028       0.496311\r
 261 dpolE   520.000000      70.000000       0.0871759       0.469282\r
 262 dpolE   530.000000      70.000000       0.0617129       0.438838\r
 263 dpolE   540.000000      70.000000       0.0358194       0.413848\r
 264 dpolE   550.000000      70.000000       0.0102825       0.404488\r
 265 dpolE   560.000000      70.000000       0.0109613       0.358261\r
 266 dpolE   570.000000      70.000000       0.0311654       0.339474\r
 267 dpolE   580.000000      70.000000       0.0529227       0.307498\r
 268 dpolE   590.000000      70.000000       0.0272223       0.319633\r
 269 dpolE   600.000000      70.000000       0.0253054       0.284401\r
 270 dpolE   610.000000      70.000000       0.039034        0.292916\r
 271 dpolE   620.000000      70.000000       0.0492574       0.286622\r
 272 dpolE   630.000000      70.000000       0.0104562       0.249274\r
 273 dpolE   640.000000      70.000000       0.00950595      0.250546\r
 274 dpolE   650.000000      70.000000       0.0227039       0.225631\r
 275 dpolE   660.000000      70.000000       -0.000604421    0.226683\r
 276 dpolE   670.000000      70.000000       0.0214454       0.222151\r
 277 dpolE   680.000000      70.000000       0.00346899      0.188659\r
 278 dpolE   690.000000      70.000000       -0.0011175      0.18035\r
 279 dpolE   700.000000      70.000000       0.00746314      0.19127\r
 280 dpolE   710.000000      70.000000       0.0116775       0.189685\r
 281 dpolE   720.000000      70.000000       -0.0124064      0.185552\r
 282 dpolE   730.000000      70.000000       0.0061743       0.178709\r
 283 dpolE   740.000000      70.000000       -0.00854234     0.180742\r
 284 dpolE   750.000000      70.000000       -0.0152692      0.164758\r
 285 dpolE   760.000000      70.000000       0.0116422       0.155245\r
 286 dpolE   770.000000      70.000000       -0.0229476      0.15932\r
 287 dpolE   780.000000      70.000000       -0.0030802      0.161507\r
 288 dpolE   790.000000      70.000000       0.00835275      0.1607\r
 289 dpolE   800.000000      70.000000       -0.0281552      0.167589\r
 290 dpolE   810.000000      70.000000       0.0721637       0.203242\r
 291 dpolE   820.000000      70.000000       0.0454964       0.187616\r
 292 dpolE   830.000000      70.000000       -0.00751804     0.172003\r
 293 dpolE   840.000000      70.000000       -0.000951436    0.166747\r
 294 dpolE   850.000000      70.000000       0.0229925       0.16195\r
 295 dpolE   860.000000      70.000000       0.0259439       0.175367\r
 296 dpolE   870.000000      70.000000       0.0141314       0.155825\r
 297 dpolE   880.000000      70.000000       0.0234509       0.151478\r
 298 dpolE   890.000000      70.000000       0.0110276       0.149297\r
 299 dpolE   900.000000      70.000000       -0.00286674     0.145018\r
 300 dpolE   910.000000      70.000000       0.00171996      0.137676\r
 301 dpolE   920.000000      70.000000       -0.0107188      0.139227\r
 302 dpolE   930.000000      70.000000       -0.00774818     0.141026\r
 303 dpolE   940.000000      70.000000       -0.00765551     0.133505\r
 304 dpolE   950.000000      70.000000       0.000719397     0.134064\r
 305 dpolE   960.000000      70.000000       -0.00190896     0.132461\r
 306 dpolE   970.000000      70.000000       0.0089349       0.117983\r
 307 dpolE   980.000000      70.000000       0.00868353      0.121491\r
 308 dpolE   990.000000      70.000000       0.0106842       0.112167\r
 309 dpolE   1000.000000     70.000000       0.00575947      0.111315\r
 310 dpolE   400.000000      75.000000       0.361893        1.04129\r
 311 dpolE   410.000000      75.000000       0.298769        0.912794\r
 312 dpolE   420.000000      75.000000       0.334185        0.864091\r
 313 dpolE   430.000000      75.000000       0.194713        0.786608\r
 314 dpolE   440.000000      75.000000       0.169605        0.705589\r
 315 dpolE   450.000000      75.000000       0.229   0.686857\r
 316 dpolE   460.000000      75.000000       0.137611        0.597729\r
 317 dpolE   470.000000      75.000000       0.110973        0.580633\r
 318 dpolE   480.000000      75.000000       0.123287        0.542014\r
 319 dpolE   490.000000      75.000000       0.0707377       0.563102\r
 320 dpolE   500.000000      75.000000       0.121714        0.517256\r
 321 dpolE   510.000000      75.000000       0.124819        0.481621\r
 322 dpolE   520.000000      75.000000       0.03822 0.487735\r
 323 dpolE   530.000000      75.000000       0.421709        0.326015\r
 324 dpolE   540.000000      75.000000       -0.055079       0.445818\r
 325 dpolE   550.000000      75.000000       -0.0197634      0.361261\r
 326 dpolE   560.000000      75.000000       0.108794        0.358148\r
 327 dpolE   570.000000      75.000000       -0.0805447      0.341254\r
 328 dpolE   580.000000      75.000000       0.117896        0.326984\r
 329 dpolE   590.000000      75.000000       0.0132449       0.270197\r
 330 dpolE   600.000000      75.000000       0.0468332       0.352427\r
 331 dpolE   610.000000      75.000000       0.0142343       0.270124\r
 332 dpolE   620.000000      75.000000       0.0297852       0.252715\r
 333 dpolE   630.000000      75.000000       -0.0718717      0.237796\r
 334 dpolE   640.000000      75.000000       -0.0128652      0.253772\r
 335 dpolE   650.000000      75.000000       -0.0226865      0.23633\r
 336 dpolE   660.000000      75.000000       -0.00771589     0.193818\r
 337 dpolE   670.000000      75.000000       0.0110076       0.148176\r
 338 dpolE   680.000000      75.000000       0.110595        0.227101\r
 339 dpolE   690.000000      75.000000       0.0998591       0.217171\r
 340 dpolE   700.000000      75.000000       -0.00740325     0.224867\r
 341 dpolE   710.000000      75.000000       -0.110797       0.216231\r
 342 dpolE   720.000000      75.000000       -0.156814       0.221419\r
 343 dpolE   730.000000      75.000000       -0.0343645      0.162292\r
 344 dpolE   740.000000      75.000000       -0.00802149     0.149353\r
 345 dpolE   750.000000      75.000000       -0.00265843     0.156361\r
 346 dpolE   760.000000      75.000000       -0.0399422      0.156253\r
 347 dpolE   770.000000      75.000000       -0.0348963      0.128821\r
 348 dpolE   780.000000      75.000000       -0.00671012     0.158636\r
 349 dpolE   790.000000      75.000000       0.00181136      0.152478\r
 350 dpolE   800.000000      75.000000       -0.0362807      0.144595\r
 351 dpolE   810.000000      75.000000       0.0452004       0.184815\r
 352 dpolE   820.000000      75.000000       0.0347915       0.164156\r
 353 dpolE   830.000000      75.000000       -0.0385291      0.153731\r
 354 dpolE   840.000000      75.000000       -0.0152329      0.170061\r
 355 dpolE   850.000000      75.000000       -0.0574814      0.181969\r
 356 dpolE   860.000000      75.000000       -0.0324467      0.177131\r
 357 dpolE   870.000000      75.000000       -0.0376487      0.141276\r
 358 dpolE   880.000000      75.000000       -0.0159053      0.143737\r
 359 dpolE   890.000000      75.000000       -0.0488922      0.145118\r
 360 dpolE   900.000000      75.000000       -0.0509036      0.135824\r
 361 dpolE   910.000000      75.000000       -0.0514882      0.135443\r
 362 dpolE   920.000000      75.000000       -0.051696       0.125808\r
 363 dpolE   930.000000      75.000000       -0.030602       0.134956\r
 364 dpolE   940.000000      75.000000       -0.0302768      0.120458\r
 365 dpolE   950.000000      75.000000       -0.0289021      0.114322\r
 366 dpolE   960.000000      75.000000       -0.0406521      0.112015\r
 367 dpolE   970.000000      75.000000       -0.0335996      0.109427\r
 368 dpolE   980.000000      75.000000       -0.0236041      0.106661\r
 369 dpolE   990.000000      75.000000       -0.0180916      0.104753\r
 370 dpolE   1000.000000     75.000000       -0.0352456      0.104001