research/ellipsometry/WVASE32/DAT/080709 2nd si wafer.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Wed Jul 08 17:35:49 2009]\r
   3 Original[080709 2nd si wafer.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 4000.000000     65.000000       25.803213       172.6666        0.076284        0.36041\r
   6 4100.000000     65.000000       24.76445        173.18895       0.0880482       0.401484\r
   7 4200.000000     65.000000       23.926418       173.55295       0.069456        0.332318\r
   8 4300.000000     65.000000       23.234842       173.88277       0.0675913       0.336906\r
   9 4400.000000     65.000000       22.632418       174.08626       0.0649496       0.338063\r
  10 4500.000000     65.000000       22.091293       174.28938       0.0589916       0.319057\r
  11 4600.000000     65.000000       21.633795       174.49394       0.0611182       0.311699\r
  12 4700.000000     65.000000       21.214994       174.65082       0.0581316       0.306629\r
  13 4800.000000     65.000000       20.838076       174.81027       0.0555254       0.302373\r
  14 4900.000000     65.000000       20.493713       174.93752       0.0554927       0.312606\r
  15 5000.000000     65.000000       20.186539       175.04417       0.0464247       0.269519\r
  16 5100.000000     65.000000       19.898598       175.18001       0.0526579       0.28711\r
  17 5200.000000     65.000000       19.63413        175.29607       0.0448358       0.251156\r
  18 5300.000000     65.000000       19.396561       175.38458       0.0432842       0.249624\r
  19 5400.000000     65.000000       19.177874       175.49913       0.0418563       0.247627\r
  20 5500.000000     65.000000       18.973701       175.58821       0.0406712       0.246605\r
  21 5600.000000     65.000000       18.783176       175.61993       0.0360176       0.22377\r
  22 5700.000000     65.000000       18.602867       175.75484       0.0399349       0.232713\r
  23 5800.000000     65.000000       18.431658       175.79718       0.0378296       0.225859\r
  24 5900.000000     65.000000       18.278004       175.89958       0.0351925       0.214873\r
  25 6000.000000     65.000000       18.133389       175.96143       0.0349648       0.218036\r
  26 6100.000000     65.000000       17.99865        176.03726       0.0325356       0.20712\r
  27 6200.000000     65.000000       17.870163       176.08531       0.0356301       0.213167\r
  28 6300.000000     65.000000       17.738596       176.1606        0.031774        0.193864\r
  29 6400.000000     65.000000       17.624344       176.21014       0.0310253       0.192826\r
  30 6500.000000     65.000000       17.515749       176.29192       0.0305699       0.193575\r
  31 6600.000000     65.000000       17.414751       176.34572       0.0291542       0.188443\r
  32 6700.000000     65.000000       17.319555       176.38889       0.0249515       0.164192\r
  33 6800.000000     65.000000       17.227953       176.46028       0.0275342       0.170392\r
  34 6900.000000     65.000000       17.13752        176.51959       0.0278181       0.175134\r
  35 7000.000000     65.000000       17.052145       176.55467       0.0264677       0.16939\r
  36 7100.000000     65.000000       16.976944       176.59552       0.0214327       0.139406\r
  37 7200.000000     65.000000       16.90197        176.63737       0.0255464       0.168792\r
  38 7300.000000     65.000000       16.827095       176.70537       0.0213956       0.143629\r
  39 7400.000000     65.000000       16.757488       176.73509       0.0208078       0.131608\r
  40 7500.000000     65.000000       16.694065       176.80318       0.0206635       0.132599\r
  41 7600.000000     65.000000       16.633427       176.86061       0.0216249       0.140784\r
  42 7700.000000     65.000000       16.576128       176.8969        0.0199215       0.131536\r
  43 7800.000000     65.000000       16.514923       176.92982       0.0190069       0.127251\r
  44 7900.000000     65.000000       16.464024       176.98135       0.0186541       0.126858\r
  45 8000.000000     65.000000       16.4123 176.99568       0.0179916       0.12404\r
  46 8100.000000     65.000000       16.348026       177.09842       0.0209192       0.136129\r
  47 8200.000000     65.000000       16.303167       177.14461       0.0196083       0.129355\r
  48 8300.000000     65.000000       16.253485       177.18153       0.0187776       0.12557\r
  49 8400.000000     65.000000       16.209414       177.19919       0.0218236       0.147771\r
  50 8500.000000     65.000000       16.174059       177.08368       0.0338195       0.230982\r
  51 8600.000000     65.000000       16.127581       177.34824       0.0201821       0.139707\r
  52 8700.000000     65.000000       16.078783       177.29671       0.0276917       0.181472\r
  53 8800.000000     65.000000       16.046896       177.34215       0.0223697       0.148455\r
  54 8900.000000     65.000000       16.016104       177.38123       0.0200589       0.134766\r
  55 9000.000000     65.000000       15.981284       177.40074       0.0180749       0.122837\r
  56 9100.000000     65.000000       15.933868       177.39525       0.0171749       0.118162\r
  57 9200.000000     65.000000       15.906078       177.47437       0.017531        0.121881\r
  58 9300.000000     65.000000       15.873706       177.52768       0.0160653       0.112902\r
  59 9400.000000     65.000000       15.838793       177.52916       0.0190873       0.126988\r
  60 9500.000000     65.000000       15.80435        177.54739       0.0196213       0.131985\r
  61 9600.000000     65.000000       15.777124       177.63383       0.0181076       0.123055\r
  62 9700.000000     65.000000       15.749682       177.62242       0.0166585       0.114372\r
  63 9800.000000     65.000000       15.718168       177.65549       0.0181711       0.126101\r
  64 9900.000000     65.000000       15.692513       177.66422       0.0191906       0.134553\r
  65 10000.000000    65.000000       15.670657       177.68217       0.0149675       0.10603\r
  66 4000.000000     70.000000       20.179846       169.06548       0.0998176       0.56297\r
  67 4100.000000     70.000000       18.95878        169.67657       0.088842        0.49866\r
  68 4200.000000     70.000000       17.939888       170.0925        0.0810549       0.487594\r
  69 4300.000000     70.000000       17.104656       170.3651        0.0678064       0.434499\r
  70 4400.000000     70.000000       16.374855       170.65921       0.0637341       0.431946\r
  71 4500.000000     70.000000       15.742887       170.85109       0.0637093       0.458644\r
  72 4600.000000     70.000000       15.178991       171.07208       0.0628655       0.432247\r
  73 4700.000000     70.000000       14.680811       171.24329       0.0612889       0.443881\r
  74 4800.000000     70.000000       14.227516       171.35442       0.0536538       0.406378\r
  75 4900.000000     70.000000       13.82915        171.52008       0.0504555       0.398483\r
  76 5000.000000     70.000000       13.464796       171.62863       0.049931        0.413521\r
  77 5100.000000     70.000000       13.130174       171.77548       0.050303        0.396032\r
  78 5200.000000     70.000000       12.818378       171.90746       0.0474366       0.387479\r
  79 5300.000000     70.000000       12.530059       172.02449       0.045182        0.384627\r
  80 5400.000000     70.000000       12.266661       172.09561       0.0430547       0.379723\r
  81 5500.000000     70.000000       12.031781       172.2063        0.0381232       0.347593\r
  82 5600.000000     70.000000       11.802759       172.29893       0.0392902       0.369968\r
  83 5700.000000     70.000000       11.592967       172.38359       0.0399697       0.358138\r
  84 5800.000000     70.000000       11.395163       172.48729       0.0391078       0.361224\r
  85 5900.000000     70.000000       11.216733       172.56491       0.035344        0.335995\r
  86 6000.000000     70.000000       11.049712       172.60077       0.0339488       0.331773\r
  87 6100.000000     70.000000       10.889616       172.69933       0.0321339       0.322653\r
  88 6200.000000     70.000000       10.73533        172.8116        0.0317348       0.301537\r
  89 6300.000000     70.000000       10.598957       172.82489       0.0322502       0.316063\r
  90 6400.000000     70.000000       10.465642       172.99786       0.0334614       0.336285\r
  91 6500.000000     70.000000       10.340774       173.03596       0.0304212       0.31334\r
  92 6600.000000     70.000000       10.223302       173.11432       0.0279987       0.2952\r
  93 6700.000000     70.000000       10.11079        173.18744       0.026708        0.288117\r
  94 6800.000000     70.000000       10.007002       173.2807        0.0287646       0.293354\r
  95 6900.000000     70.000000       9.9086714       173.32275       0.0268669       0.279743\r
  96 7000.000000     70.000000       9.807579        173.37352       0.0245284       0.260826\r
  97 7100.000000     70.000000       9.7151957       173.47717       0.0248978       0.270122\r
  98 7200.000000     70.000000       9.6285839       173.52051       0.022327        0.247079\r
  99 7300.000000     70.000000       9.5482759       173.59572       0.0231813       0.261459\r
 100 7400.000000     70.000000       9.4679823       173.70525       0.0237044       0.252765\r
 101 7500.000000     70.000000       9.3917933       173.79465       0.0219895       0.238749\r
 102 7600.000000     70.000000       9.3222904       173.83737       0.0197033       0.217636\r
 103 7700.000000     70.000000       9.2517529       173.91287       0.0187652       0.210966\r
 104 7800.000000     70.000000       9.1840343       173.92046       0.0206607       0.235882\r
 105 7900.000000     70.000000       9.1208782       174.03281       0.0234383       0.272129\r
 106 8000.000000     70.000000       9.0595055       174.07768       0.0212651       0.250882\r
 107 8100.000000     70.000000       9.0053825       174.09492       0.0268884       0.300997\r
 108 8200.000000     70.000000       8.9393988       174.21643       0.0198676       0.227461\r
 109 8300.000000     70.000000       8.9053631       174.28482       0.0188982       0.220002\r
 110 8400.000000     70.000000       8.8429136       174.24825       0.024031        0.283436\r
 111 8500.000000     70.000000       8.7968788       174.33809       0.0213585       0.255142\r
 112 8600.000000     70.000000       8.7510452       174.47626       0.0182528       0.22146\r
 113 8700.000000     70.000000       8.7086039       174.42415       0.0183643       0.21123\r
 114 8800.000000     70.000000       8.6573133       174.59724       0.0194597       0.228255\r
 115 8900.000000     70.000000       8.6179619       174.61591       0.0175244       0.208424\r
 116 9000.000000     70.000000       8.5768871       174.68237       0.0201013       0.24241\r
 117 9100.000000     70.000000       8.5357428       174.73337       0.0178984       0.218607\r
 118 9200.000000     70.000000       8.4964409       174.77895       0.0161259       0.199673\r
 119 9300.000000     70.000000       8.456111        174.80971       0.0171696       0.215219\r
 120 9400.000000     70.000000       8.4188223       174.88107       0.0197121       0.234455\r
 121 9500.000000     70.000000       8.38239 174.90092       0.0158797       0.191409\r
 122 9600.000000     70.000000       8.3509293       174.96104       0.0149453       0.182095\r
 123 9700.000000     70.000000       8.315815        175.05321       0.0145265       0.179163\r
 124 9800.000000     70.000000       8.282649        175.07838       0.0157561       0.196727\r
 125 9900.000000     70.000000       8.2479019       175.11938       0.0150733       0.190463\r
 126 10000.000000    70.000000       8.2281952       175.16183       0.0173446       0.22152\r
 127 4000.000000     75.000000       12.420615       159.49965       0.109408        0.931529\r
 128 4100.000000     75.000000       10.96883        159.67207       0.0923509       0.821632\r
 129 4200.000000     75.000000       9.7853861       159.28214       0.0875935       0.886332\r
 130 4300.000000     75.000000       8.7882833       158.97301       0.0721738       0.810685\r
 131 4400.000000     75.000000       7.9670353       158.39195       0.0619933       0.759408\r
 132 4500.000000     75.000000       7.2369218       157.77374       0.0542811       0.717784\r
 133 4600.000000     75.000000       6.6007185       157.12085       0.0576726       0.746471\r
 134 4700.000000     75.000000       6.0398278       156.28416       0.0492462       0.674551\r
 135 4800.000000     75.000000       5.5466733       155.38449       0.044035        0.665881\r
 136 4900.000000     75.000000       5.1029439       154.44456       0.040539        0.642813\r
 137 5000.000000     75.000000       4.7088389       153.40402       0.0342548       0.566162\r
 138 5100.000000     75.000000       4.3438592       152.39909       0.0353624       0.560891\r
 139 5200.000000     75.000000       4.0059385       151.07933       0.0346628       0.567156\r
 140 5300.000000     75.000000       3.7023821       149.70967       0.0250941       0.420925\r
 141 5400.000000     75.000000       3.4348783       148.37927       0.0290772       0.500529\r
 142 5500.000000     75.000000       3.1814349       146.82292       0.0239295       0.418783\r
 143 5600.000000     75.000000       2.9544744       145.22423       0.0190844       0.339667\r
 144 5700.000000     75.000000       2.7437379       143.49692       0.0281233       0.47511\r
 145 5800.000000     75.000000       2.543541        141.6051        0.024969        0.424494\r
 146 5900.000000     75.000000       2.3797679       139.63077       0.0208585       0.359208\r
 147 6000.000000     75.000000       2.2134271       137.30042       0.0212542       0.365538\r
 148 6100.000000     75.000000       2.0700107       135.01653       0.0207274       0.356475\r
 149 6200.000000     75.000000       1.9198351       132.2888        0.0122217       0.198583\r
 150 6300.000000     75.000000       1.808605        129.56647       0.0186233       0.302817\r
 151 6400.000000     75.000000       1.6933564       126.57462       0.0181195       0.291421\r
 152 6500.000000     75.000000       1.5868874       123.52419       0.0234819       0.371396\r
 153 6600.000000     75.000000       1.5106335       120.18702       0.0129975       0.203406\r
 154 6700.000000     75.000000       1.426402        116.6246        0.00963254      0.146845\r
 155 6800.000000     75.000000       1.3564574       112.88551       0.0175381       0.261549\r
 156 6900.000000     75.000000       1.2978437       108.98833       0.00757322      0.110657\r
 157 7000.000000     75.000000       1.2338624       105.0603        0.0248446       0.351866\r
 158 7100.000000     75.000000       1.168875        100.84482       0.0152273       0.209236\r
 159 7200.000000     75.000000       1.1560867       96.655792       0.0161086       0.220384\r
 160 7300.000000     75.000000       1.1202763       92.305054       0.0132163       0.178616\r
 161 7400.000000     75.000000       1.0982221       88.036766       0.0244604       0.341615\r
 162 7500.000000     75.000000       1.0877199       83.750618       0.0116747       0.163561\r
 163 7600.000000     75.000000       1.0756209       79.516747       0.0168416       0.23573\r
 164 7700.000000     75.000000       1.0814756       75.799591       0.0481196       0.696899\r
 165 7800.000000     75.000000       1.0517994       71.511063       0.020227        0.289548\r
 166 7900.000000     75.000000       1.0622488       67.735283       0.0523408       0.774471\r
 167 8000.000000     75.000000       1.0812352       64.695747       0.0280098       0.423164\r
 168 8100.000000     75.000000       1.0977303       60.786526       0.0660079       1.02735\r
 169 8200.000000     75.000000       1.1102817       58.132469       0.0300534       0.473167\r
 170 8300.000000     75.000000       1.1377859       55.560997       0.0221113       0.358718\r
 171 8400.000000     75.000000       1.134552        52.878258       0.0517133       0.849343\r
 172 8500.000000     75.000000       1.2596463       51.19772        0.0528681       0.940275\r
 173 8600.000000     75.000000       1.205163        47.854053       0.0344195       0.604689\r
 174 8700.000000     75.000000       1.2064612       45.733292       0.0282729       0.476052\r
 175 8800.000000     75.000000       1.2460701       43.891415       0.0124214       0.21682\r
 176 8900.000000     75.000000       1.2656523       42.310329       0.0108114       0.191662\r
 177 9000.000000     75.000000       1.2871377       40.521797       0.0146471       0.263217\r
 178 9100.000000     75.000000       1.3182809       38.807842       0.0145306       0.267006\r
 179 9200.000000     75.000000       1.3329229       37.446941       0.00934298      0.172476\r
 180 9300.000000     75.000000       1.3551461       35.845058       0.0116547       0.217923\r
 181 9400.000000     75.000000       1.3815869       34.597034       0.0132479       0.238778\r
 182 9500.000000     75.000000       1.4090348       33.301109       0.0100188       0.183463\r
 183 9600.000000     75.000000       1.4344893       32.361931       0.013275        0.246298\r
 184 9700.000000     75.000000       1.4416785       31.20454        0.0120826       0.224782\r
 185 9800.000000     75.000000       1.4724602       30.234545       0.00994669      0.18795\r
 186 9900.000000     75.000000       1.4959561       29.237513       0.0109164       0.208621\r
 187 10000.000000    75.000000       1.5204939       28.696301       0.011331        0.219026\r
 188 dpolE   4000.000000     65.000000       -0.0199539      0.497054\r
 189 dpolE   4100.000000     65.000000       -0.158551       0.577101\r
 190 dpolE   4200.000000     65.000000       -0.0734349      0.438982\r
 191 dpolE   4300.000000     65.000000       -0.138869       0.41377\r
 192 dpolE   4400.000000     65.000000       -0.127399       0.386571\r
 193 dpolE   4500.000000     65.000000       -0.0936235      0.341502\r
 194 dpolE   4600.000000     65.000000       -0.117589       0.359172\r
 195 dpolE   4700.000000     65.000000       -0.110538       0.333252\r
 196 dpolE   4800.000000     65.000000       -0.0962691      0.311024\r
 197 dpolE   4900.000000     65.000000       -0.093496       0.304551\r
 198 dpolE   5000.000000     65.000000       -0.0670359      0.249743\r
 199 dpolE   5100.000000     65.000000       -0.101864       0.288654\r
 200 dpolE   5200.000000     65.000000       -0.0968818      0.241059\r
 201 dpolE   5300.000000     65.000000       -0.0836825      0.228832\r
 202 dpolE   5400.000000     65.000000       -0.0864389      0.217638\r
 203 dpolE   5500.000000     65.000000       -0.0963816      0.208199\r
 204 dpolE   5600.000000     65.000000       -0.0647197      0.181594\r
 205 dpolE   5700.000000     65.000000       -0.103474       0.205657\r
 206 dpolE   5800.000000     65.000000       -0.132288       0.192197\r
 207 dpolE   5900.000000     65.000000       -0.0874199      0.176243\r
 208 dpolE   6000.000000     65.000000       -0.0931202      0.172846\r
 209 dpolE   6100.000000     65.000000       -0.0897617      0.158851\r
 210 dpolE   6200.000000     65.000000       -0.0860511      0.177967\r
 211 dpolE   6300.000000     65.000000       -0.0852061      0.156652\r
 212 dpolE   6400.000000     65.000000       -0.0976381      0.151184\r
 213 dpolE   6500.000000     65.000000       -0.0757461      0.14723\r
 214 dpolE   6600.000000     65.000000       -0.0753517      0.139055\r
 215 dpolE   6700.000000     65.000000       -0.0696648      0.1178\r
 216 dpolE   6800.000000     65.000000       -0.0989617      0.133151\r
 217 dpolE   6900.000000     65.000000       -0.0809584      0.13307\r
 218 dpolE   7000.000000     65.000000       -0.0822468      0.125351\r
 219 dpolE   7100.000000     65.000000       -0.0630151      0.100535\r
 220 dpolE   7200.000000     65.000000       -0.0689073      0.118756\r
 221 dpolE   7300.000000     65.000000       -0.0564809      0.0985563\r
 222 dpolE   7400.000000     65.000000       -0.0513137      0.0981568\r
 223 dpolE   7500.000000     65.000000       -0.0516735      0.0966149\r
 224 dpolE   7600.000000     65.000000       -0.0394327      0.100235\r
 225 dpolE   7700.000000     65.000000       -0.0317437      0.0915822\r
 226 dpolE   7800.000000     65.000000       -0.0269127      0.086675\r
 227 dpolE   7900.000000     65.000000       -0.0492092      0.0845341\r
 228 dpolE   8000.000000     65.000000       -0.042573       0.0809386\r
 229 dpolE   8100.000000     65.000000       -0.0286628      0.0962999\r
 230 dpolE   8200.000000     65.000000       -0.0316161      0.0895616\r
 231 dpolE   8300.000000     65.000000       -0.0297374      0.0851015\r
 232 dpolE   8400.000000     65.000000       -0.00307653     0.0982044\r
 233 dpolE   8500.000000     65.000000       0.0256316       0.151472\r
 234 dpolE   8600.000000     65.000000       0.00976077      0.0897221\r
 235 dpolE   8700.000000     65.000000       -0.0200337      0.126003\r
 236 dpolE   8800.000000     65.000000       -0.0533379      0.101089\r
 237 dpolE   8900.000000     65.000000       0.00548141      0.0899898\r
 238 dpolE   9000.000000     65.000000       0.00443401      0.0805767\r
 239 dpolE   9100.000000     65.000000       0.0190611       0.0760215\r
 240 dpolE   9200.000000     65.000000       -0.0127961      0.0771951\r
 241 dpolE   9300.000000     65.000000       -0.0235231      0.0703481\r
 242 dpolE   9400.000000     65.000000       -0.0278224      0.0855576\r
 243 dpolE   9500.000000     65.000000       -0.0183546      0.0873833\r
 244 dpolE   9600.000000     65.000000       -0.0204342      0.0801822\r
 245 dpolE   9700.000000     65.000000       -0.0276575      0.0733592\r
 246 dpolE   9800.000000     65.000000       -0.0239197      0.0795495\r
 247 dpolE   9900.000000     65.000000       -0.0135787      0.0835549\r
 248 dpolE   10000.000000    65.000000       0.0136212       0.0648158\r
 249 dpolE   4000.000000     70.000000       -0.0823599      0.547138\r
 250 dpolE   4100.000000     70.000000       -0.056024       0.475096\r
 251 dpolE   4200.000000     70.000000       -0.0726509      0.409624\r
 252 dpolE   4300.000000     70.000000       -0.0804192      0.325989\r
 253 dpolE   4400.000000     70.000000       -0.0625167      0.291908\r
 254 dpolE   4500.000000     70.000000       -0.0271442      0.279963\r
 255 dpolE   4600.000000     70.000000       -0.0664766      0.274531\r
 256 dpolE   4700.000000     70.000000       -0.069516       0.257896\r
 257 dpolE   4800.000000     70.000000       -0.0666888      0.21767\r
 258 dpolE   4900.000000     70.000000       -0.053593       0.197788\r
 259 dpolE   5000.000000     70.000000       -0.0519822      0.190123\r
 260 dpolE   5100.000000     70.000000       -0.053113       0.192208\r
 261 dpolE   5200.000000     70.000000       -0.0648717      0.175873\r
 262 dpolE   5300.000000     70.000000       -0.0532045      0.163083\r
 263 dpolE   5400.000000     70.000000       -0.0429207      0.151279\r
 264 dpolE   5500.000000     70.000000       -0.0318675      0.130641\r
 265 dpolE   5600.000000     70.000000       -0.0328965      0.131408\r
 266 dpolE   5700.000000     70.000000       -0.0426419      0.135243\r
 267 dpolE   5800.000000     70.000000       -0.0435359      0.129318\r
 268 dpolE   5900.000000     70.000000       -0.0418854      0.114395\r
 269 dpolE   6000.000000     70.000000       -0.0365117      0.107672\r
 270 dpolE   6100.000000     70.000000       -0.0364337      0.0999127\r
 271 dpolE   6200.000000     70.000000       -0.0391907      0.0999019\r
 272 dpolE   6300.000000     70.000000       -0.0454765      0.0999937\r
 273 dpolE   6400.000000     70.000000       -0.0430966      0.101863\r
 274 dpolE   6500.000000     70.000000       -0.0298131      0.0909933\r
 275 dpolE   6600.000000     70.000000       -0.0296831      0.0823872\r
 276 dpolE   6700.000000     70.000000       -0.0301843      0.0773456\r
 277 dpolE   6800.000000     70.000000       -0.0346864      0.0846532\r
 278 dpolE   6900.000000     70.000000       -0.0320404      0.0778566\r
 279 dpolE   7000.000000     70.000000       -0.0344085      0.0699972\r
 280 dpolE   7100.000000     70.000000       -0.0341295      0.0700189\r
 281 dpolE   7200.000000     70.000000       -0.0271028      0.0619103\r
 282 dpolE   7300.000000     70.000000       -0.0255282      0.0634404\r
 283 dpolE   7400.000000     70.000000       -0.0308162      0.0660052\r
 284 dpolE   7500.000000     70.000000       -0.0279878      0.0604098\r
 285 dpolE   7600.000000     70.000000       -0.0149243      0.0534442\r
 286 dpolE   7700.000000     70.000000       -0.00859418     0.0502538\r
 287 dpolE   7800.000000     70.000000       -0.0120743      0.0547302\r
 288 dpolE   7900.000000     70.000000       -0.0205141      0.061366\r
 289 dpolE   8000.000000     70.000000       -0.0131856      0.0550589\r
 290 dpolE   8100.000000     70.000000       -0.0738469      0.0716569\r
 291 dpolE   8200.000000     70.000000       -0.0289042      0.0520332\r
 292 dpolE   8300.000000     70.000000       -0.00578322     0.0489556\r
 293 dpolE   8400.000000     70.000000       -0.00792033     0.0616755\r
 294 dpolE   8500.000000     70.000000       -0.00487232     0.0543604\r
 295 dpolE   8600.000000     70.000000       0.00162146      0.0459787\r
 296 dpolE   8700.000000     70.000000       -0.000301237    0.0471478\r
 297 dpolE   8800.000000     70.000000       -0.0113839      0.0492611\r
 298 dpolE   8900.000000     70.000000       0.00361194      0.0439415\r
 299 dpolE   9000.000000     70.000000       0.00502606      0.0499283\r
 300 dpolE   9100.000000     70.000000       -0.00130253     0.0440773\r
 301 dpolE   9200.000000     70.000000       -0.00140642     0.039356\r
 302 dpolE   9300.000000     70.000000       -0.000419724    0.0415622\r
 303 dpolE   9400.000000     70.000000       -0.00629368     0.0486308\r
 304 dpolE   9500.000000     70.000000       0.0103394       0.0388081\r
 305 dpolE   9600.000000     70.000000       0.00514919      0.0362611\r
 306 dpolE   9700.000000     70.000000       0.004434        0.0349498\r
 307 dpolE   9800.000000     70.000000       -0.00318663     0.0376048\r
 308 dpolE   9900.000000     70.000000       -0.000313834    0.0356878\r
 309 dpolE   10000.000000    70.000000       0.0103139       0.0408086\r
 310 dpolE   4000.000000     75.000000       -0.0258474      0.422258\r
 311 dpolE   4100.000000     75.000000       -0.0490634      0.317583\r
 312 dpolE   4200.000000     75.000000       -0.0548561      0.270831\r
 313 dpolE   4300.000000     75.000000       -0.0299574      0.198792\r
 314 dpolE   4400.000000     75.000000       -0.016231       0.153307\r
 315 dpolE   4500.000000     75.000000       -0.0229811      0.120658\r
 316 dpolE   4600.000000     75.000000       -0.00840674     0.115641\r
 317 dpolE   4700.000000     75.000000       -0.0119189      0.0890142\r
 318 dpolE   4800.000000     75.000000       -0.0118994      0.0738619\r
 319 dpolE   4900.000000     75.000000       -0.010728       0.0618077\r
 320 dpolE   5000.000000     75.000000       -0.00572769     0.0476687\r
 321 dpolE   5100.000000     75.000000       -0.00310301     0.0445167\r
 322 dpolE   5200.000000     75.000000       -0.00369407     0.0397177\r
 323 dpolE   5300.000000     75.000000       -0.00792361     0.0262764\r
 324 dpolE   5400.000000     75.000000       0.00247491      0.0279034\r
 325 dpolE   5500.000000     75.000000       -0.00296453     0.0210645\r
 326 dpolE   5600.000000     75.000000       0.00124411      0.0154382\r
 327 dpolE   5700.000000     75.000000       0.0027066       0.0206241\r
 328 dpolE   5800.000000     75.000000       -0.00186313     0.0167936\r
 329 dpolE   5900.000000     75.000000       0.00910151      0.0129731\r
 330 dpolE   6000.000000     75.000000       0.00573435      0.0121709\r
 331 dpolE   6100.000000     75.000000       0.00702588      0.010978\r
 332 dpolE   6200.000000     75.000000       -0.000331455    0.00585343\r
 333 dpolE   6300.000000     75.000000       0.00660206      0.00828912\r
 334 dpolE   6400.000000     75.000000       0.0066002       0.00744239\r
 335 dpolE   6500.000000     75.000000       0.00444008      0.00890144\r
 336 dpolE   6600.000000     75.000000       0.00947242      0.00461539\r
 337 dpolE   6700.000000     75.000000       0.0073302       0.00317541\r
 338 dpolE   6800.000000     75.000000       0.00831902      0.00532298\r
 339 dpolE   6900.000000     75.000000       0.00823331      0.00215812\r
 340 dpolE   7000.000000     75.000000       0.00399928      0.00660146\r
 341 dpolE   7100.000000     75.000000       0.000520346     0.00373691\r
 342 dpolE   7200.000000     75.000000       0.00494536      0.00385062\r
 343 dpolE   7300.000000     75.000000       0.00474575      0.0029913\r
 344 dpolE   7400.000000     75.000000       0.00570427      0.00526675\r
 345 dpolE   7500.000000     75.000000       0.00626539      0.00246375\r
 346 dpolE   7600.000000     75.000000       0.00370887      0.003509\r
 347 dpolE   7700.000000     75.000000       0.00970274      0.00991075\r
 348 dpolE   7800.000000     75.000000       0.000448384     0.00407652\r
 349 dpolE   7900.000000     75.000000       0.00284651      0.0106606\r
 350 dpolE   8000.000000     75.000000       0.00211774      0.0059261\r
 351 dpolE   8100.000000     75.000000       0.00495539      0.014134\r
 352 dpolE   8200.000000     75.000000       0.00280583      0.00661511\r
 353 dpolE   8300.000000     75.000000       0.0055996       0.00504779\r
 354 dpolE   8400.000000     75.000000       0.0024532       0.0118276\r
 355 dpolE   8500.000000     75.000000       0.0268824       0.0137762\r
 356 dpolE   8600.000000     75.000000       0.0101391       0.00857251\r
 357 dpolE   8700.000000     75.000000       0.00112683      0.00712982\r
 358 dpolE   8800.000000     75.000000       0.00831737      0.00325639\r
 359 dpolE   8900.000000     75.000000       0.00867446      0.00290109\r
 360 dpolE   9000.000000     75.000000       0.00796478      0.00403369\r
 361 dpolE   9100.000000     75.000000       0.0108644       0.00412968\r
 362 dpolE   9200.000000     75.000000       0.0067677       0.0027096\r
 363 dpolE   9300.000000     75.000000       0.00619803      0.00346048\r
 364 dpolE   9400.000000     75.000000       0.00523308      0.00403229\r
 365 dpolE   9500.000000     75.000000       0.00708993      0.003127\r
 366 dpolE   9600.000000     75.000000       0.00868388      0.00423979\r
 367 dpolE   9700.000000     75.000000       0.00389129      0.00389616\r
 368 dpolE   9800.000000     75.000000       0.00611348      0.00329282\r
 369 dpolE   9900.000000     75.000000       0.00631714      0.003688\r
 370 dpolE   10000.000000    75.000000       0.00786649      0.00390692