research/ellipsometry/WVASE32/DAT/16.03.09 calibration wafer.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=10, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Mon Mar 16 16:52:39 2009]\r
   3 Original[16.03.09 calibration wafer.dat]\r
   4 nm\r
   5 300.000000      65.000000       38.09845        105.949 0.188069        0.47964\r
   6 310.000000      65.000000       37.015629       106.89287       0.165347        0.427492\r
   7 320.000000      65.000000       36.137562       108.14583       0.152908        0.400103\r
   8 330.000000      65.000000       35.533302       109.41181       0.175743        0.469643\r
   9 340.000000      65.000000       35.132835       111.09649       0.159243        0.430823\r
  10 350.000000      65.000000       34.90778        112.9624        0.159011        0.434959\r
  11 360.000000      65.000000       35.017906       115.93977       0.0903261       0.253137\r
  12 370.000000      65.000000       34.401634       121.26197       0.107397        0.310531\r
  13 380.000000      65.000000       32.567722       124.68758       0.101588        0.31661\r
  14 390.000000      65.000000       30.899771       126.43375       0.106961        0.351439\r
  15 400.000000      65.000000       29.596231       127.37193       0.101209        0.348714\r
  16 410.000000      65.000000       28.536448       128.24812       0.0973808       0.334648\r
  17 420.000000      65.000000       27.663704       129.01523       0.0989205       0.351849\r
  18 430.000000      65.000000       26.878334       129.7715        0.0906885       0.333187\r
  19 440.000000      65.000000       26.212172       130.44093       0.0860655       0.327467\r
  20 450.000000      65.000000       25.622385       131.00806       0.094395        0.370089\r
  21 460.000000      65.000000       25.065323       131.78876       0.0887538       0.343196\r
  22 470.000000      65.000000       24.540798       132.35582       0.0837101       0.332377\r
  23 480.000000      65.000000       24.096094       133.06694       0.079755        0.326066\r
  24 490.000000      65.000000       23.677055       133.54655       0.0700906       0.293694\r
  25 500.000000      65.000000       23.28022        134.15437       0.0884129       0.380867\r
  26 510.000000      65.000000       22.899784       134.85661       0.088229        0.371739\r
  27 520.000000      65.000000       22.53797        135.37596       0.0850699       0.36696\r
  28 530.000000      65.000000       22.239929       135.93558       0.0869544       0.384247\r
  29 540.000000      65.000000       21.92783        136.41502       0.0658966       0.29876\r
  30 550.000000      65.000000       21.656721       136.87419       0.0637541       0.295475\r
  31 560.000000      65.000000       21.410995       137.43842       0.073109        0.346411\r
  32 570.000000      65.000000       21.139679       137.99454       0.0689312       0.316695\r
  33 580.000000      65.000000       20.920025       138.52644       0.0748787       0.351863\r
  34 590.000000      65.000000       20.701492       138.99446       0.0535942       0.256995\r
  35 600.000000      65.000000       20.476021       139.47162       0.0611214       0.299367\r
  36 610.000000      65.000000       20.276478       139.94243       0.06031 0.301764\r
  37 620.000000      65.000000       20.095675       140.43285       0.0581439       0.280812\r
  38 630.000000      65.000000       19.919558       140.8111        0.064871        0.319346\r
  39 640.000000      65.000000       19.744698       141.22554       0.0614787       0.308406\r
  40 650.000000      65.000000       19.582714       141.72021       0.053374        0.272667\r
  41 660.000000      65.000000       19.439236       142.15202       0.051794        0.269481\r
  42 670.000000      65.000000       19.272533       142.6358        0.0562229       0.298588\r
  43 680.000000      65.000000       19.139181       143.02422       0.0572005       0.292067\r
  44 690.000000      65.000000       18.996662       143.40877       0.0516205       0.267732\r
  45 700.000000      65.000000       18.873924       143.75545       0.0532329       0.281034\r
  46 710.000000      65.000000       18.750824       144.25177       0.0450774       0.24221\r
  47 720.000000      65.000000       18.647295       144.61519       0.0456643       0.249034\r
  48 730.000000      65.000000       18.539  144.8913        0.0478378       0.264961\r
  49 740.000000      65.000000       18.426685       145.36812       0.0588397       0.313229\r
  50 750.000000      65.000000       18.301865       145.6756        0.0499692       0.270163\r
  51 760.000000      65.000000       18.220905       146.0854        0.0454519       0.24961\r
  52 770.000000      65.000000       18.110365       146.42317       0.0431043       0.239996\r
  53 780.000000      65.000000       18.03425        146.7821        0.0441499       0.248835\r
  54 790.000000      65.000000       17.950464       147.188 0.0442774       0.253558\r
  55 800.000000      65.000000       17.854523       147.43452       0.0452688       0.262865\r
  56 300.000000      70.000000       37.790543       89.004631       0.496348        1.20497\r
  57 310.000000      70.000000       36.805111       90.056839       0.320463        0.794667\r
  58 320.000000      70.000000       35.830078       90.848389       0.235756        0.576426\r
  59 330.000000      70.000000       35.158348       92.243584       0.126093        0.324802\r
  60 340.000000      70.000000       34.574921       94.060516       0.127204        0.327155\r
  61 350.000000      70.000000       34.242252       95.932724       0.144103        0.369618\r
  62 360.000000      70.000000       34.195583       99.152054       0.140598        0.361798\r
  63 370.000000      70.000000       33.341164       104.57462       0.122879        0.334613\r
  64 380.000000      70.000000       31.001974       108.38013       0.109124        0.313713\r
  65 390.000000      70.000000       29.025244       109.72208       0.127634        0.38455\r
  66 400.000000      70.000000       27.512817       110.38055       0.108559        0.341391\r
  67 410.000000      70.000000       26.276554       110.84768       0.105834        0.347738\r
  68 420.000000      70.000000       25.22352        111.23531       0.094949        0.32043\r
  69 430.000000      70.000000       24.327467       111.63963       0.093116        0.323154\r
  70 440.000000      70.000000       23.520357       112.07787       0.0908127       0.323583\r
  71 450.000000      70.000000       22.80662        112.448 0.0854379       0.313448\r
  72 460.000000      70.000000       22.136093       112.90382       0.0957187       0.36127\r
  73 470.000000      70.000000       21.512266       113.24351       0.0808135       0.312696\r
  74 480.000000      70.000000       20.94335        113.73106       0.0766181       0.303476\r
  75 490.000000      70.000000       20.439669       114.00857       0.0875825       0.355399\r
  76 500.000000      70.000000       19.96365        114.40011       0.0906454       0.375822\r
  77 510.000000      70.000000       19.505314       114.74281       0.0794541       0.335825\r
  78 520.000000      70.000000       19.065989       115.24504       0.0866217       0.375314\r
  79 530.000000      70.000000       18.674938       115.54779       0.0813154       0.359047\r
  80 540.000000      70.000000       18.275843       115.99933       0.0712593       0.321581\r
  81 550.000000      70.000000       17.943071       116.29225       0.0776746       0.358099\r
  82 560.000000      70.000000       17.591925       116.7229        0.0771794       0.364159\r
  83 570.000000      70.000000       17.264841       117.08895       0.0720537       0.343658\r
  84 580.000000      70.000000       16.966349       117.41862       0.0769792       0.374113\r
  85 590.000000      70.000000       16.653353       117.79924       0.0610249       0.302986\r
  86 600.000000      70.000000       16.384224       118.13657       0.0578838       0.292571\r
  87 610.000000      70.000000       16.125128       118.62589       0.056396        0.290507\r
  88 620.000000      70.000000       15.881083       118.86362       0.0639307       0.331728\r
  89 630.000000      70.000000       15.632087       119.31495       0.0627879       0.332094\r
  90 640.000000      70.000000       15.407382       119.70882       0.0591064       0.31797\r
  91 650.000000      70.000000       15.190475       120.0558        0.0572737       0.313134\r
  92 660.000000      70.000000       14.989043       120.39232       0.0586459       0.326067\r
  93 670.000000      70.000000       14.763553       120.71314       0.0572097       0.324616\r
  94 680.000000      70.000000       14.580364       121.15952       0.0625095       0.355851\r
  95 690.000000      70.000000       14.391524       121.47319       0.0536469       0.309484\r
  96 700.000000      70.000000       14.211887       121.79398       0.0515747       0.302371\r
  97 710.000000      70.000000       14.042848       122.1595        0.0534711       0.318333\r
  98 720.000000      70.000000       13.863601       122.46683       0.0564179       0.341058\r
  99 730.000000      70.000000       13.710648       122.9155        0.0605793       0.374136\r
 100 740.000000      70.000000       13.561912       123.15085       0.0510405       0.313009\r
 101 750.000000      70.000000       13.406555       123.65  0.0518015       0.322553\r
 102 760.000000      70.000000       13.271221       123.89993       0.0477729       0.3014\r
 103 770.000000      70.000000       13.125529       124.21043       0.0492394       0.315039\r
 104 780.000000      70.000000       12.996898       124.56553       0.0458528       0.296364\r
 105 790.000000      70.000000       12.857699       124.96541       0.0412578       0.271599\r
 106 800.000000      70.000000       12.745842       125.19441       0.06233 0.415559\r
 107 300.000000      75.000000       38.472385       70.127937       0.348084        0.892356\r
 108 310.000000      75.000000       37.073318       70.124382       0.181348        0.480026\r
 109 320.000000      75.000000       36.34536        71.120911       0.220903        0.580651\r
 110 330.000000      75.000000       35.618599       72.302353       0.190057        0.507921\r
 111 340.000000      75.000000       35.020744       73.69603        0.152587        0.403644\r
 112 350.000000      75.000000       34.572361       75.364571       0.154761        0.408468\r
 113 360.000000      75.000000       34.334972       78.488518       0.125005        0.324518\r
 114 370.000000      75.000000       33.092045       83.760452       0.134991        0.360389\r
 115 380.000000      75.000000       30.452906       86.733948       0.104262        0.287423\r
 116 390.000000      75.000000       28.333849       87.111496       0.106931        0.305252\r
 117 400.000000      75.000000       26.71781        86.969757       0.0944094       0.278825\r
 118 410.000000      75.000000       25.418221       86.649536       0.0937933       0.297243\r
 119 420.000000      75.000000       24.327957       86.283775       0.0815626       0.264474\r
 120 430.000000      75.000000       23.395168       86.004379       0.0820458       0.271323\r
 121 440.000000      75.000000       22.54406        85.625694       0.0703784       0.237411\r
 122 450.000000      75.000000       21.802916       85.366554       0.079735        0.274754\r
 123 460.000000      75.000000       21.084881       85.043282       0.0776624       0.283853\r
 124 470.000000      75.000000       20.455812       84.71125        0.0637594       0.237336\r
 125 480.000000      75.000000       19.854517       84.517128       0.0734429       0.277905\r
 126 490.000000      75.000000       19.320721       84.230873       0.0708331       0.272823\r
 127 500.000000      75.000000       18.790209       83.958824       0.0636252       0.249442\r
 128 510.000000      75.000000       18.307079       83.700409       0.0591015       0.244206\r
 129 520.000000      75.000000       17.848894       83.382111       0.0582483       0.244314\r
 130 530.000000      75.000000       17.426678       83.105751       0.0593909       0.252445\r
 131 540.000000      75.000000       17.017544       82.869209       0.0593148       0.256846\r
 132 550.000000      75.000000       16.640327       82.600128       0.0561446       0.246261\r
 133 560.000000      75.000000       16.282034       82.3367 0.0495045       0.219878\r
 134 570.000000      75.000000       15.924584       82.083878       0.0534684       0.249793\r
 135 580.000000      75.000000       15.607505       81.898979       0.0493678       0.233451\r
 136 590.000000      75.000000       15.306424       81.636292       0.0446834       0.213538\r
 137 600.000000      75.000000       14.998244       81.34993        0.0473896       0.229381\r
 138 610.000000      75.000000       14.723741       81.151817       0.050069        0.245749\r
 139 620.000000      75.000000       14.443007       80.902451       0.0490394       0.252077\r
 140 630.000000      75.000000       14.191648       80.677704       0.0486312       0.252801\r
 141 640.000000      75.000000       13.925346       80.471046       0.0458169       0.240504\r
 142 650.000000      75.000000       13.691091       80.26313        0.0465002       0.247603\r
 143 660.000000      75.000000       13.472196       80.051933       0.0459277       0.247297\r
 144 670.000000      75.000000       13.240194       79.801613       0.046927        0.255699\r
 145 680.000000      75.000000       13.022192       79.586731       0.0484903       0.274251\r
 146 690.000000      75.000000       12.811879       79.415787       0.0416563       0.237771\r
 147 700.000000      75.000000       12.617852       79.163292       0.0398429       0.230888\r
 148 710.000000      75.000000       12.423641       78.93766        0.036142        0.211588\r
 149 720.000000      75.000000       12.235144       78.649696       0.0360595       0.213664\r
 150 730.000000      75.000000       12.046747       78.532257       0.0324823       0.194326\r
 151 740.000000      75.000000       11.874424       78.305595       0.0402635       0.249191\r
 152 750.000000      75.000000       11.712488       78.066803       0.0395055       0.24651\r
 153 760.000000      75.000000       11.554005       77.861244       0.0414666       0.262116\r
 154 770.000000      75.000000       11.387798       77.738823       0.0401766       0.256544\r
 155 780.000000      75.000000       11.230376       77.586586       0.0346684       0.223155\r
 156 790.000000      75.000000       11.079785       77.28479        0.0358151       0.233228\r
 157 800.000000      75.000000       10.935509       77.06752        0.041322        0.271339\r
 158 dpolE   300.000000      65.000000       0.245893        2.31405\r
 159 dpolE   310.000000      65.000000       1.02816 2.0536\r
 160 dpolE   320.000000      65.000000       0.477564        1.93416\r
 161 dpolE   330.000000      65.000000       0.339832        2.02817\r
 162 dpolE   340.000000      65.000000       0.671625        1.8647\r
 163 dpolE   350.000000      65.000000       0.251765        1.89282\r
 164 dpolE   360.000000      65.000000       0.606437        1.08756\r
 165 dpolE   370.000000      65.000000       0.716372        1.16991\r
 166 dpolE   380.000000      65.000000       0.553698        1.05707\r
 167 dpolE   390.000000      65.000000       0.229031        1.08707\r
 168 dpolE   400.000000      65.000000       0.426023        1.0103\r
 169 dpolE   410.000000      65.000000       0.0993462       0.894522\r
 170 dpolE   420.000000      65.000000       0.185457        0.898029\r
 171 dpolE   430.000000      65.000000       0.185824        0.813262\r
 172 dpolE   440.000000      65.000000       0.231008        0.765877\r
 173 dpolE   450.000000      65.000000       0.203957        0.833681\r
 174 dpolE   460.000000      65.000000       0.277394        0.730689\r
 175 dpolE   470.000000      65.000000       0.200066        0.683521\r
 176 dpolE   480.000000      65.000000       0.261029        0.646645\r
 177 dpolE   490.000000      65.000000       0.115559        0.565589\r
 178 dpolE   500.000000      65.000000       0.207525        0.707857\r
 179 dpolE   510.000000      65.000000       0.127563        0.666512\r
 180 dpolE   520.000000      65.000000       0.0826214       0.638222\r
 181 dpolE   530.000000      65.000000       0.219137        0.647665\r
 182 dpolE   540.000000      65.000000       0.240008        0.488222\r
 183 dpolE   550.000000      65.000000       0.158639        0.470518\r
 184 dpolE   560.000000      65.000000       0.0660714       0.537392\r
 185 dpolE   570.000000      65.000000       0.122522        0.480982\r
 186 dpolE   580.000000      65.000000       0.133163        0.520213\r
 187 dpolE   590.000000      65.000000       0.0951054       0.370624\r
 188 dpolE   600.000000      65.000000       0.0869056       0.420339\r
 189 dpolE   610.000000      65.000000       0.141108        0.412435\r
 190 dpolE   620.000000      65.000000       0.122392        0.381642\r
 191 dpolE   630.000000      65.000000       0.067278        0.424568\r
 192 dpolE   640.000000      65.000000       0.0948168       0.400285\r
 193 dpolE   650.000000      65.000000       0.047118        0.345948\r
 194 dpolE   660.000000      65.000000       0.0834039       0.334231\r
 195 dpolE   670.000000      65.000000       0.162927        0.360354\r
 196 dpolE   680.000000      65.000000       0.119413        0.354754\r
 197 dpolE   690.000000      65.000000       0.0534268       0.318762\r
 198 dpolE   700.000000      65.000000       0.040623        0.327968\r
 199 dpolE   710.000000      65.000000       0.080394        0.276194\r
 200 dpolE   720.000000      65.000000       0.0175183       0.279107\r
 201 dpolE   730.000000      65.000000       0.0192288       0.291549\r
 202 dpolE   740.000000      65.000000       0.00960945      0.348738\r
 203 dpolE   750.000000      65.000000       0.0339198       0.294641\r
 204 dpolE   760.000000      65.000000       0.160783        0.266651\r
 205 dpolE   770.000000      65.000000       0.0771938       0.252054\r
 206 dpolE   780.000000      65.000000       0.0632235       0.257871\r
 207 dpolE   790.000000      65.000000       0.114453        0.257183\r
 208 dpolE   800.000000      65.000000       -0.0270391      0.263163\r
 209 dpolE   300.000000      70.000000       -2.59372        6.28715\r
 210 dpolE   310.000000      70.000000       2.17848 4.03335\r
 211 dpolE   320.000000      70.000000       -0.696008       3.07076\r
 212 dpolE   330.000000      70.000000       0.919407        1.4764\r
 213 dpolE   340.000000      70.000000       0.607421        1.51813\r
 214 dpolE   350.000000      70.000000       0.559424        1.75269\r
 215 dpolE   360.000000      70.000000       0.627048        1.74212\r
 216 dpolE   370.000000      70.000000       0.386253        1.37033\r
 217 dpolE   380.000000      70.000000       0.657779        1.17893\r
 218 dpolE   390.000000      70.000000       0.402516        1.34818\r
 219 dpolE   400.000000      70.000000       0.630728        1.1259\r
 220 dpolE   410.000000      70.000000       0.666177        0.985786\r
 221 dpolE   420.000000      70.000000       0.329188        0.876396\r
 222 dpolE   430.000000      70.000000       0.283372        0.851514\r
 223 dpolE   440.000000      70.000000       0.315421        0.821307\r
 224 dpolE   450.000000      70.000000       0.235724        0.768968\r
 225 dpolE   460.000000      70.000000       0.37207 0.781671\r
 226 dpolE   470.000000      70.000000       0.27006 0.65621\r
 227 dpolE   480.000000      70.000000       0.296373        0.616824\r
 228 dpolE   490.000000      70.000000       0.296505        0.702207\r
 229 dpolE   500.000000      70.000000       0.190405        0.723173\r
 230 dpolE   510.000000      70.000000       0.261024        0.580622\r
 231 dpolE   520.000000      70.000000       0.234996        0.630009\r
 232 dpolE   530.000000      70.000000       0.198995        0.588539\r
 233 dpolE   540.000000      70.000000       0.216252        0.51183\r
 234 dpolE   550.000000      70.000000       0.145048        0.557568\r
 235 dpolE   560.000000      70.000000       0.201166        0.550296\r
 236 dpolE   570.000000      70.000000       0.225555        0.474052\r
 237 dpolE   580.000000      70.000000       0.122781        0.505735\r
 238 dpolE   590.000000      70.000000       0.200876        0.397945\r
 239 dpolE   600.000000      70.000000       0.1862  0.375955\r
 240 dpolE   610.000000      70.000000       0.146181        0.364622\r
 241 dpolE   620.000000      70.000000       0.0856045       0.386054\r
 242 dpolE   630.000000      70.000000       0.150192        0.37665\r
 243 dpolE   640.000000      70.000000       0.156585        0.353013\r
 244 dpolE   650.000000      70.000000       0.129509        0.340835\r
 245 dpolE   660.000000      70.000000       0.157725        0.347565\r
 246 dpolE   670.000000      70.000000       0.0546118       0.338902\r
 247 dpolE   680.000000      70.000000       0.169544        0.345721\r
 248 dpolE   690.000000      70.000000       0.0666401       0.296127\r
 249 dpolE   700.000000      70.000000       0.120493        0.283363\r
 250 dpolE   710.000000      70.000000       0.116605        0.29272\r
 251 dpolE   720.000000      70.000000       0.0808953       0.307697\r
 252 dpolE   730.000000      70.000000       0.132554        0.329894\r
 253 dpolE   740.000000      70.000000       0.0567356       0.262421\r
 254 dpolE   750.000000      70.000000       0.055523        0.26517\r
 255 dpolE   760.000000      70.000000       0.0769828       0.243963\r
 256 dpolE   770.000000      70.000000       0.0801862       0.250662\r
 257 dpolE   780.000000      70.000000       0.0637252       0.233558\r
 258 dpolE   790.000000      70.000000       0.103445        0.208737\r
 259 dpolE   800.000000      70.000000       0.0395796       0.317002\r
 260 dpolE   300.000000      75.000000       -0.513312       4.28129\r
 261 dpolE   310.000000      75.000000       2.50568 2.22202\r
 262 dpolE   320.000000      75.000000       1.3671  2.78802\r
 263 dpolE   330.000000      75.000000       1.91817 2.18526\r
 264 dpolE   340.000000      75.000000       0.380692        1.80584\r
 265 dpolE   350.000000      75.000000       0.933599        1.86133\r
 266 dpolE   360.000000      75.000000       0.596208        1.54625\r
 267 dpolE   370.000000      75.000000       0.216306        1.51919\r
 268 dpolE   380.000000      75.000000       0.789668        1.14086\r
 269 dpolE   390.000000      75.000000       0.470934        1.14733\r
 270 dpolE   400.000000      75.000000       0.645773        0.99486\r
 271 dpolE   410.000000      75.000000       0.5214  0.881395\r
 272 dpolE   420.000000      75.000000       0.441182        0.758152\r
 273 dpolE   430.000000      75.000000       0.233074        0.756987\r
 274 dpolE   440.000000      75.000000       0.362401        0.641382\r
 275 dpolE   450.000000      75.000000       0.22033 0.724184\r
 276 dpolE   460.000000      75.000000       0.335782        0.633861\r
 277 dpolE   470.000000      75.000000       0.225999        0.518308\r
 278 dpolE   480.000000      75.000000       0.274955        0.591933\r
 279 dpolE   490.000000      75.000000       0.221498        0.568966\r
 280 dpolE   500.000000      75.000000       0.315511        0.506683\r
 281 dpolE   510.000000      75.000000       0.1779  0.428854\r
 282 dpolE   520.000000      75.000000       0.235375        0.419507\r
 283 dpolE   530.000000      75.000000       0.251358        0.424962\r
 284 dpolE   540.000000      75.000000       0.252758        0.423155\r
 285 dpolE   550.000000      75.000000       0.184577        0.398946\r
 286 dpolE   560.000000      75.000000       0.129981        0.350267\r
 287 dpolE   570.000000      75.000000       0.176644        0.345889\r
 288 dpolE   580.000000      75.000000       0.195428        0.317899\r
 289 dpolE   590.000000      75.000000       0.138581        0.286793\r
 290 dpolE   600.000000      75.000000       0.150857        0.302354\r
 291 dpolE   610.000000      75.000000       0.0153235       0.320277\r
 292 dpolE   620.000000      75.000000       0.179913        0.287056\r
 293 dpolE   630.000000      75.000000       0.218869        0.283344\r
 294 dpolE   640.000000      75.000000       0.135972        0.26595\r
 295 dpolE   650.000000      75.000000       0.110585        0.269904\r
 296 dpolE   660.000000      75.000000       0.126221        0.265781\r
 297 dpolE   670.000000      75.000000       0.109622        0.270462\r
 298 dpolE   680.000000      75.000000       0.0974699       0.257926\r
 299 dpolE   690.000000      75.000000       0.0767985       0.220712\r
 300 dpolE   700.000000      75.000000       0.0969372       0.211074\r
 301 dpolE   710.000000      75.000000       0.0747903       0.190949\r
 302 dpolE   720.000000      75.000000       0.107809        0.189638\r
 303 dpolE   730.000000      75.000000       0.0742219       0.170332\r
 304 dpolE   740.000000      75.000000       0.0872034       0.195695\r
 305 dpolE   750.000000      75.000000       0.0863872       0.191421\r
 306 dpolE   760.000000      75.000000       0.0548636       0.201456\r
 307 dpolE   770.000000      75.000000       0.0609242       0.194557\r
 308 dpolE   780.000000      75.000000       0.0445719       0.167652\r
 309 dpolE   790.000000      75.000000       0.0677304       0.172404\r
 310 dpolE   800.000000      75.000000       0.0455981       0.198516