2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=10, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Mon Mar 16 16:52:39 2009]
\r
3 Original[16.03.09 calibration wafer.dat]
\r
5 300.000000 65.000000 38.09845 105.949 0.188069 0.47964
\r
6 310.000000 65.000000 37.015629 106.89287 0.165347 0.427492
\r
7 320.000000 65.000000 36.137562 108.14583 0.152908 0.400103
\r
8 330.000000 65.000000 35.533302 109.41181 0.175743 0.469643
\r
9 340.000000 65.000000 35.132835 111.09649 0.159243 0.430823
\r
10 350.000000 65.000000 34.90778 112.9624 0.159011 0.434959
\r
11 360.000000 65.000000 35.017906 115.93977 0.0903261 0.253137
\r
12 370.000000 65.000000 34.401634 121.26197 0.107397 0.310531
\r
13 380.000000 65.000000 32.567722 124.68758 0.101588 0.31661
\r
14 390.000000 65.000000 30.899771 126.43375 0.106961 0.351439
\r
15 400.000000 65.000000 29.596231 127.37193 0.101209 0.348714
\r
16 410.000000 65.000000 28.536448 128.24812 0.0973808 0.334648
\r
17 420.000000 65.000000 27.663704 129.01523 0.0989205 0.351849
\r
18 430.000000 65.000000 26.878334 129.7715 0.0906885 0.333187
\r
19 440.000000 65.000000 26.212172 130.44093 0.0860655 0.327467
\r
20 450.000000 65.000000 25.622385 131.00806 0.094395 0.370089
\r
21 460.000000 65.000000 25.065323 131.78876 0.0887538 0.343196
\r
22 470.000000 65.000000 24.540798 132.35582 0.0837101 0.332377
\r
23 480.000000 65.000000 24.096094 133.06694 0.079755 0.326066
\r
24 490.000000 65.000000 23.677055 133.54655 0.0700906 0.293694
\r
25 500.000000 65.000000 23.28022 134.15437 0.0884129 0.380867
\r
26 510.000000 65.000000 22.899784 134.85661 0.088229 0.371739
\r
27 520.000000 65.000000 22.53797 135.37596 0.0850699 0.36696
\r
28 530.000000 65.000000 22.239929 135.93558 0.0869544 0.384247
\r
29 540.000000 65.000000 21.92783 136.41502 0.0658966 0.29876
\r
30 550.000000 65.000000 21.656721 136.87419 0.0637541 0.295475
\r
31 560.000000 65.000000 21.410995 137.43842 0.073109 0.346411
\r
32 570.000000 65.000000 21.139679 137.99454 0.0689312 0.316695
\r
33 580.000000 65.000000 20.920025 138.52644 0.0748787 0.351863
\r
34 590.000000 65.000000 20.701492 138.99446 0.0535942 0.256995
\r
35 600.000000 65.000000 20.476021 139.47162 0.0611214 0.299367
\r
36 610.000000 65.000000 20.276478 139.94243 0.06031 0.301764
\r
37 620.000000 65.000000 20.095675 140.43285 0.0581439 0.280812
\r
38 630.000000 65.000000 19.919558 140.8111 0.064871 0.319346
\r
39 640.000000 65.000000 19.744698 141.22554 0.0614787 0.308406
\r
40 650.000000 65.000000 19.582714 141.72021 0.053374 0.272667
\r
41 660.000000 65.000000 19.439236 142.15202 0.051794 0.269481
\r
42 670.000000 65.000000 19.272533 142.6358 0.0562229 0.298588
\r
43 680.000000 65.000000 19.139181 143.02422 0.0572005 0.292067
\r
44 690.000000 65.000000 18.996662 143.40877 0.0516205 0.267732
\r
45 700.000000 65.000000 18.873924 143.75545 0.0532329 0.281034
\r
46 710.000000 65.000000 18.750824 144.25177 0.0450774 0.24221
\r
47 720.000000 65.000000 18.647295 144.61519 0.0456643 0.249034
\r
48 730.000000 65.000000 18.539 144.8913 0.0478378 0.264961
\r
49 740.000000 65.000000 18.426685 145.36812 0.0588397 0.313229
\r
50 750.000000 65.000000 18.301865 145.6756 0.0499692 0.270163
\r
51 760.000000 65.000000 18.220905 146.0854 0.0454519 0.24961
\r
52 770.000000 65.000000 18.110365 146.42317 0.0431043 0.239996
\r
53 780.000000 65.000000 18.03425 146.7821 0.0441499 0.248835
\r
54 790.000000 65.000000 17.950464 147.188 0.0442774 0.253558
\r
55 800.000000 65.000000 17.854523 147.43452 0.0452688 0.262865
\r
56 300.000000 70.000000 37.790543 89.004631 0.496348 1.20497
\r
57 310.000000 70.000000 36.805111 90.056839 0.320463 0.794667
\r
58 320.000000 70.000000 35.830078 90.848389 0.235756 0.576426
\r
59 330.000000 70.000000 35.158348 92.243584 0.126093 0.324802
\r
60 340.000000 70.000000 34.574921 94.060516 0.127204 0.327155
\r
61 350.000000 70.000000 34.242252 95.932724 0.144103 0.369618
\r
62 360.000000 70.000000 34.195583 99.152054 0.140598 0.361798
\r
63 370.000000 70.000000 33.341164 104.57462 0.122879 0.334613
\r
64 380.000000 70.000000 31.001974 108.38013 0.109124 0.313713
\r
65 390.000000 70.000000 29.025244 109.72208 0.127634 0.38455
\r
66 400.000000 70.000000 27.512817 110.38055 0.108559 0.341391
\r
67 410.000000 70.000000 26.276554 110.84768 0.105834 0.347738
\r
68 420.000000 70.000000 25.22352 111.23531 0.094949 0.32043
\r
69 430.000000 70.000000 24.327467 111.63963 0.093116 0.323154
\r
70 440.000000 70.000000 23.520357 112.07787 0.0908127 0.323583
\r
71 450.000000 70.000000 22.80662 112.448 0.0854379 0.313448
\r
72 460.000000 70.000000 22.136093 112.90382 0.0957187 0.36127
\r
73 470.000000 70.000000 21.512266 113.24351 0.0808135 0.312696
\r
74 480.000000 70.000000 20.94335 113.73106 0.0766181 0.303476
\r
75 490.000000 70.000000 20.439669 114.00857 0.0875825 0.355399
\r
76 500.000000 70.000000 19.96365 114.40011 0.0906454 0.375822
\r
77 510.000000 70.000000 19.505314 114.74281 0.0794541 0.335825
\r
78 520.000000 70.000000 19.065989 115.24504 0.0866217 0.375314
\r
79 530.000000 70.000000 18.674938 115.54779 0.0813154 0.359047
\r
80 540.000000 70.000000 18.275843 115.99933 0.0712593 0.321581
\r
81 550.000000 70.000000 17.943071 116.29225 0.0776746 0.358099
\r
82 560.000000 70.000000 17.591925 116.7229 0.0771794 0.364159
\r
83 570.000000 70.000000 17.264841 117.08895 0.0720537 0.343658
\r
84 580.000000 70.000000 16.966349 117.41862 0.0769792 0.374113
\r
85 590.000000 70.000000 16.653353 117.79924 0.0610249 0.302986
\r
86 600.000000 70.000000 16.384224 118.13657 0.0578838 0.292571
\r
87 610.000000 70.000000 16.125128 118.62589 0.056396 0.290507
\r
88 620.000000 70.000000 15.881083 118.86362 0.0639307 0.331728
\r
89 630.000000 70.000000 15.632087 119.31495 0.0627879 0.332094
\r
90 640.000000 70.000000 15.407382 119.70882 0.0591064 0.31797
\r
91 650.000000 70.000000 15.190475 120.0558 0.0572737 0.313134
\r
92 660.000000 70.000000 14.989043 120.39232 0.0586459 0.326067
\r
93 670.000000 70.000000 14.763553 120.71314 0.0572097 0.324616
\r
94 680.000000 70.000000 14.580364 121.15952 0.0625095 0.355851
\r
95 690.000000 70.000000 14.391524 121.47319 0.0536469 0.309484
\r
96 700.000000 70.000000 14.211887 121.79398 0.0515747 0.302371
\r
97 710.000000 70.000000 14.042848 122.1595 0.0534711 0.318333
\r
98 720.000000 70.000000 13.863601 122.46683 0.0564179 0.341058
\r
99 730.000000 70.000000 13.710648 122.9155 0.0605793 0.374136
\r
100 740.000000 70.000000 13.561912 123.15085 0.0510405 0.313009
\r
101 750.000000 70.000000 13.406555 123.65 0.0518015 0.322553
\r
102 760.000000 70.000000 13.271221 123.89993 0.0477729 0.3014
\r
103 770.000000 70.000000 13.125529 124.21043 0.0492394 0.315039
\r
104 780.000000 70.000000 12.996898 124.56553 0.0458528 0.296364
\r
105 790.000000 70.000000 12.857699 124.96541 0.0412578 0.271599
\r
106 800.000000 70.000000 12.745842 125.19441 0.06233 0.415559
\r
107 300.000000 75.000000 38.472385 70.127937 0.348084 0.892356
\r
108 310.000000 75.000000 37.073318 70.124382 0.181348 0.480026
\r
109 320.000000 75.000000 36.34536 71.120911 0.220903 0.580651
\r
110 330.000000 75.000000 35.618599 72.302353 0.190057 0.507921
\r
111 340.000000 75.000000 35.020744 73.69603 0.152587 0.403644
\r
112 350.000000 75.000000 34.572361 75.364571 0.154761 0.408468
\r
113 360.000000 75.000000 34.334972 78.488518 0.125005 0.324518
\r
114 370.000000 75.000000 33.092045 83.760452 0.134991 0.360389
\r
115 380.000000 75.000000 30.452906 86.733948 0.104262 0.287423
\r
116 390.000000 75.000000 28.333849 87.111496 0.106931 0.305252
\r
117 400.000000 75.000000 26.71781 86.969757 0.0944094 0.278825
\r
118 410.000000 75.000000 25.418221 86.649536 0.0937933 0.297243
\r
119 420.000000 75.000000 24.327957 86.283775 0.0815626 0.264474
\r
120 430.000000 75.000000 23.395168 86.004379 0.0820458 0.271323
\r
121 440.000000 75.000000 22.54406 85.625694 0.0703784 0.237411
\r
122 450.000000 75.000000 21.802916 85.366554 0.079735 0.274754
\r
123 460.000000 75.000000 21.084881 85.043282 0.0776624 0.283853
\r
124 470.000000 75.000000 20.455812 84.71125 0.0637594 0.237336
\r
125 480.000000 75.000000 19.854517 84.517128 0.0734429 0.277905
\r
126 490.000000 75.000000 19.320721 84.230873 0.0708331 0.272823
\r
127 500.000000 75.000000 18.790209 83.958824 0.0636252 0.249442
\r
128 510.000000 75.000000 18.307079 83.700409 0.0591015 0.244206
\r
129 520.000000 75.000000 17.848894 83.382111 0.0582483 0.244314
\r
130 530.000000 75.000000 17.426678 83.105751 0.0593909 0.252445
\r
131 540.000000 75.000000 17.017544 82.869209 0.0593148 0.256846
\r
132 550.000000 75.000000 16.640327 82.600128 0.0561446 0.246261
\r
133 560.000000 75.000000 16.282034 82.3367 0.0495045 0.219878
\r
134 570.000000 75.000000 15.924584 82.083878 0.0534684 0.249793
\r
135 580.000000 75.000000 15.607505 81.898979 0.0493678 0.233451
\r
136 590.000000 75.000000 15.306424 81.636292 0.0446834 0.213538
\r
137 600.000000 75.000000 14.998244 81.34993 0.0473896 0.229381
\r
138 610.000000 75.000000 14.723741 81.151817 0.050069 0.245749
\r
139 620.000000 75.000000 14.443007 80.902451 0.0490394 0.252077
\r
140 630.000000 75.000000 14.191648 80.677704 0.0486312 0.252801
\r
141 640.000000 75.000000 13.925346 80.471046 0.0458169 0.240504
\r
142 650.000000 75.000000 13.691091 80.26313 0.0465002 0.247603
\r
143 660.000000 75.000000 13.472196 80.051933 0.0459277 0.247297
\r
144 670.000000 75.000000 13.240194 79.801613 0.046927 0.255699
\r
145 680.000000 75.000000 13.022192 79.586731 0.0484903 0.274251
\r
146 690.000000 75.000000 12.811879 79.415787 0.0416563 0.237771
\r
147 700.000000 75.000000 12.617852 79.163292 0.0398429 0.230888
\r
148 710.000000 75.000000 12.423641 78.93766 0.036142 0.211588
\r
149 720.000000 75.000000 12.235144 78.649696 0.0360595 0.213664
\r
150 730.000000 75.000000 12.046747 78.532257 0.0324823 0.194326
\r
151 740.000000 75.000000 11.874424 78.305595 0.0402635 0.249191
\r
152 750.000000 75.000000 11.712488 78.066803 0.0395055 0.24651
\r
153 760.000000 75.000000 11.554005 77.861244 0.0414666 0.262116
\r
154 770.000000 75.000000 11.387798 77.738823 0.0401766 0.256544
\r
155 780.000000 75.000000 11.230376 77.586586 0.0346684 0.223155
\r
156 790.000000 75.000000 11.079785 77.28479 0.0358151 0.233228
\r
157 800.000000 75.000000 10.935509 77.06752 0.041322 0.271339
\r
158 dpolE 300.000000 65.000000 0.245893 2.31405
\r
159 dpolE 310.000000 65.000000 1.02816 2.0536
\r
160 dpolE 320.000000 65.000000 0.477564 1.93416
\r
161 dpolE 330.000000 65.000000 0.339832 2.02817
\r
162 dpolE 340.000000 65.000000 0.671625 1.8647
\r
163 dpolE 350.000000 65.000000 0.251765 1.89282
\r
164 dpolE 360.000000 65.000000 0.606437 1.08756
\r
165 dpolE 370.000000 65.000000 0.716372 1.16991
\r
166 dpolE 380.000000 65.000000 0.553698 1.05707
\r
167 dpolE 390.000000 65.000000 0.229031 1.08707
\r
168 dpolE 400.000000 65.000000 0.426023 1.0103
\r
169 dpolE 410.000000 65.000000 0.0993462 0.894522
\r
170 dpolE 420.000000 65.000000 0.185457 0.898029
\r
171 dpolE 430.000000 65.000000 0.185824 0.813262
\r
172 dpolE 440.000000 65.000000 0.231008 0.765877
\r
173 dpolE 450.000000 65.000000 0.203957 0.833681
\r
174 dpolE 460.000000 65.000000 0.277394 0.730689
\r
175 dpolE 470.000000 65.000000 0.200066 0.683521
\r
176 dpolE 480.000000 65.000000 0.261029 0.646645
\r
177 dpolE 490.000000 65.000000 0.115559 0.565589
\r
178 dpolE 500.000000 65.000000 0.207525 0.707857
\r
179 dpolE 510.000000 65.000000 0.127563 0.666512
\r
180 dpolE 520.000000 65.000000 0.0826214 0.638222
\r
181 dpolE 530.000000 65.000000 0.219137 0.647665
\r
182 dpolE 540.000000 65.000000 0.240008 0.488222
\r
183 dpolE 550.000000 65.000000 0.158639 0.470518
\r
184 dpolE 560.000000 65.000000 0.0660714 0.537392
\r
185 dpolE 570.000000 65.000000 0.122522 0.480982
\r
186 dpolE 580.000000 65.000000 0.133163 0.520213
\r
187 dpolE 590.000000 65.000000 0.0951054 0.370624
\r
188 dpolE 600.000000 65.000000 0.0869056 0.420339
\r
189 dpolE 610.000000 65.000000 0.141108 0.412435
\r
190 dpolE 620.000000 65.000000 0.122392 0.381642
\r
191 dpolE 630.000000 65.000000 0.067278 0.424568
\r
192 dpolE 640.000000 65.000000 0.0948168 0.400285
\r
193 dpolE 650.000000 65.000000 0.047118 0.345948
\r
194 dpolE 660.000000 65.000000 0.0834039 0.334231
\r
195 dpolE 670.000000 65.000000 0.162927 0.360354
\r
196 dpolE 680.000000 65.000000 0.119413 0.354754
\r
197 dpolE 690.000000 65.000000 0.0534268 0.318762
\r
198 dpolE 700.000000 65.000000 0.040623 0.327968
\r
199 dpolE 710.000000 65.000000 0.080394 0.276194
\r
200 dpolE 720.000000 65.000000 0.0175183 0.279107
\r
201 dpolE 730.000000 65.000000 0.0192288 0.291549
\r
202 dpolE 740.000000 65.000000 0.00960945 0.348738
\r
203 dpolE 750.000000 65.000000 0.0339198 0.294641
\r
204 dpolE 760.000000 65.000000 0.160783 0.266651
\r
205 dpolE 770.000000 65.000000 0.0771938 0.252054
\r
206 dpolE 780.000000 65.000000 0.0632235 0.257871
\r
207 dpolE 790.000000 65.000000 0.114453 0.257183
\r
208 dpolE 800.000000 65.000000 -0.0270391 0.263163
\r
209 dpolE 300.000000 70.000000 -2.59372 6.28715
\r
210 dpolE 310.000000 70.000000 2.17848 4.03335
\r
211 dpolE 320.000000 70.000000 -0.696008 3.07076
\r
212 dpolE 330.000000 70.000000 0.919407 1.4764
\r
213 dpolE 340.000000 70.000000 0.607421 1.51813
\r
214 dpolE 350.000000 70.000000 0.559424 1.75269
\r
215 dpolE 360.000000 70.000000 0.627048 1.74212
\r
216 dpolE 370.000000 70.000000 0.386253 1.37033
\r
217 dpolE 380.000000 70.000000 0.657779 1.17893
\r
218 dpolE 390.000000 70.000000 0.402516 1.34818
\r
219 dpolE 400.000000 70.000000 0.630728 1.1259
\r
220 dpolE 410.000000 70.000000 0.666177 0.985786
\r
221 dpolE 420.000000 70.000000 0.329188 0.876396
\r
222 dpolE 430.000000 70.000000 0.283372 0.851514
\r
223 dpolE 440.000000 70.000000 0.315421 0.821307
\r
224 dpolE 450.000000 70.000000 0.235724 0.768968
\r
225 dpolE 460.000000 70.000000 0.37207 0.781671
\r
226 dpolE 470.000000 70.000000 0.27006 0.65621
\r
227 dpolE 480.000000 70.000000 0.296373 0.616824
\r
228 dpolE 490.000000 70.000000 0.296505 0.702207
\r
229 dpolE 500.000000 70.000000 0.190405 0.723173
\r
230 dpolE 510.000000 70.000000 0.261024 0.580622
\r
231 dpolE 520.000000 70.000000 0.234996 0.630009
\r
232 dpolE 530.000000 70.000000 0.198995 0.588539
\r
233 dpolE 540.000000 70.000000 0.216252 0.51183
\r
234 dpolE 550.000000 70.000000 0.145048 0.557568
\r
235 dpolE 560.000000 70.000000 0.201166 0.550296
\r
236 dpolE 570.000000 70.000000 0.225555 0.474052
\r
237 dpolE 580.000000 70.000000 0.122781 0.505735
\r
238 dpolE 590.000000 70.000000 0.200876 0.397945
\r
239 dpolE 600.000000 70.000000 0.1862 0.375955
\r
240 dpolE 610.000000 70.000000 0.146181 0.364622
\r
241 dpolE 620.000000 70.000000 0.0856045 0.386054
\r
242 dpolE 630.000000 70.000000 0.150192 0.37665
\r
243 dpolE 640.000000 70.000000 0.156585 0.353013
\r
244 dpolE 650.000000 70.000000 0.129509 0.340835
\r
245 dpolE 660.000000 70.000000 0.157725 0.347565
\r
246 dpolE 670.000000 70.000000 0.0546118 0.338902
\r
247 dpolE 680.000000 70.000000 0.169544 0.345721
\r
248 dpolE 690.000000 70.000000 0.0666401 0.296127
\r
249 dpolE 700.000000 70.000000 0.120493 0.283363
\r
250 dpolE 710.000000 70.000000 0.116605 0.29272
\r
251 dpolE 720.000000 70.000000 0.0808953 0.307697
\r
252 dpolE 730.000000 70.000000 0.132554 0.329894
\r
253 dpolE 740.000000 70.000000 0.0567356 0.262421
\r
254 dpolE 750.000000 70.000000 0.055523 0.26517
\r
255 dpolE 760.000000 70.000000 0.0769828 0.243963
\r
256 dpolE 770.000000 70.000000 0.0801862 0.250662
\r
257 dpolE 780.000000 70.000000 0.0637252 0.233558
\r
258 dpolE 790.000000 70.000000 0.103445 0.208737
\r
259 dpolE 800.000000 70.000000 0.0395796 0.317002
\r
260 dpolE 300.000000 75.000000 -0.513312 4.28129
\r
261 dpolE 310.000000 75.000000 2.50568 2.22202
\r
262 dpolE 320.000000 75.000000 1.3671 2.78802
\r
263 dpolE 330.000000 75.000000 1.91817 2.18526
\r
264 dpolE 340.000000 75.000000 0.380692 1.80584
\r
265 dpolE 350.000000 75.000000 0.933599 1.86133
\r
266 dpolE 360.000000 75.000000 0.596208 1.54625
\r
267 dpolE 370.000000 75.000000 0.216306 1.51919
\r
268 dpolE 380.000000 75.000000 0.789668 1.14086
\r
269 dpolE 390.000000 75.000000 0.470934 1.14733
\r
270 dpolE 400.000000 75.000000 0.645773 0.99486
\r
271 dpolE 410.000000 75.000000 0.5214 0.881395
\r
272 dpolE 420.000000 75.000000 0.441182 0.758152
\r
273 dpolE 430.000000 75.000000 0.233074 0.756987
\r
274 dpolE 440.000000 75.000000 0.362401 0.641382
\r
275 dpolE 450.000000 75.000000 0.22033 0.724184
\r
276 dpolE 460.000000 75.000000 0.335782 0.633861
\r
277 dpolE 470.000000 75.000000 0.225999 0.518308
\r
278 dpolE 480.000000 75.000000 0.274955 0.591933
\r
279 dpolE 490.000000 75.000000 0.221498 0.568966
\r
280 dpolE 500.000000 75.000000 0.315511 0.506683
\r
281 dpolE 510.000000 75.000000 0.1779 0.428854
\r
282 dpolE 520.000000 75.000000 0.235375 0.419507
\r
283 dpolE 530.000000 75.000000 0.251358 0.424962
\r
284 dpolE 540.000000 75.000000 0.252758 0.423155
\r
285 dpolE 550.000000 75.000000 0.184577 0.398946
\r
286 dpolE 560.000000 75.000000 0.129981 0.350267
\r
287 dpolE 570.000000 75.000000 0.176644 0.345889
\r
288 dpolE 580.000000 75.000000 0.195428 0.317899
\r
289 dpolE 590.000000 75.000000 0.138581 0.286793
\r
290 dpolE 600.000000 75.000000 0.150857 0.302354
\r
291 dpolE 610.000000 75.000000 0.0153235 0.320277
\r
292 dpolE 620.000000 75.000000 0.179913 0.287056
\r
293 dpolE 630.000000 75.000000 0.218869 0.283344
\r
294 dpolE 640.000000 75.000000 0.135972 0.26595
\r
295 dpolE 650.000000 75.000000 0.110585 0.269904
\r
296 dpolE 660.000000 75.000000 0.126221 0.265781
\r
297 dpolE 670.000000 75.000000 0.109622 0.270462
\r
298 dpolE 680.000000 75.000000 0.0974699 0.257926
\r
299 dpolE 690.000000 75.000000 0.0767985 0.220712
\r
300 dpolE 700.000000 75.000000 0.0969372 0.211074
\r
301 dpolE 710.000000 75.000000 0.0747903 0.190949
\r
302 dpolE 720.000000 75.000000 0.107809 0.189638
\r
303 dpolE 730.000000 75.000000 0.0742219 0.170332
\r
304 dpolE 740.000000 75.000000 0.0872034 0.195695
\r
305 dpolE 750.000000 75.000000 0.0863872 0.191421
\r
306 dpolE 760.000000 75.000000 0.0548636 0.201456
\r
307 dpolE 770.000000 75.000000 0.0609242 0.194557
\r
308 dpolE 780.000000 75.000000 0.0445719 0.167652
\r
309 dpolE 790.000000 75.000000 0.0677304 0.172404
\r
310 dpolE 800.000000 75.000000 0.0455981 0.198516