research/ellipsometry/WVASE32/DAT/160709 cal wafer.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Thu Jul 16 15:08:37 2009]\r
   3 Original[160709 cal wafer.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 3000.000000     65.000000       38.229752       105.48513       0.182209        0.464752\r
   6 3100.000000     65.000000       37.067764       106.39666       0.16795 0.431613\r
   7 3200.000000     65.000000       36.286076       107.54869       0.169851        0.440956\r
   8 3300.000000     65.000000       35.681793       108.97361       0.143557        0.382478\r
   9 3400.000000     65.000000       35.222218       110.48734       0.139623        0.375542\r
  10 3500.000000     65.000000       35.009434       112.31191       0.135778        0.369325\r
  11 3600.000000     65.000000       35.179485       115.33303       0.129837        0.362613\r
  12 3700.000000     65.000000       34.486835       120.64304       0.124013        0.357103\r
  13 3800.000000     65.000000       32.707619       124.03962       0.105732        0.32679\r
  14 3900.000000     65.000000       31.00873        125.63015       0.0935482       0.304759\r
  15 4000.000000     65.000000       29.708166       126.62638       0.0910958       0.310733\r
  16 4100.000000     65.000000       28.650751       127.51128       0.0988153       0.337382\r
  17 4200.000000     65.000000       27.762396       128.24269       0.0900126       0.317943\r
  18 4300.000000     65.000000       27.00112        128.95323       0.0801478       0.291699\r
  19 4400.000000     65.000000       26.32452        129.60146       0.0763317       0.287476\r
  20 4500.000000     65.000000       25.714506       130.27682       0.0712161       0.276697\r
  21 4600.000000     65.000000       25.153557       130.95068       0.0787085       0.301368\r
  22 4700.000000     65.000000       24.645851       131.59558       0.0730123       0.287114\r
  23 4800.000000     65.000000       24.175314       132.23013       0.0654803       0.264933\r
  24 4900.000000     65.000000       23.749376       132.7849        0.0625876       0.260089\r
  25 5000.000000     65.000000       23.364218       133.39278       0.0580456       0.24751\r
  26 5100.000000     65.000000       22.990845       133.96098       0.0645657       0.269394\r
  27 5200.000000     65.000000       22.632977       134.56729       0.053233        0.227457\r
  28 5300.000000     65.000000       22.329664       135.14685       0.0553321       0.241824\r
  29 5400.000000     65.000000       22.020157       135.71422       0.0581438       0.260865\r
  30 5500.000000     65.000000       21.743  136.24496       0.0497268       0.228335\r
  31 5600.000000     65.000000       21.484499       136.72575       0.0448456       0.210687\r
  32 5700.000000     65.000000       21.233778       137.26534       0.0503947       0.229363\r
  33 5800.000000     65.000000       20.980988       137.77026       0.0461373       0.214854\r
  34 5900.000000     65.000000       20.763887       138.30228       0.0423894       0.201626\r
  35 6000.000000     65.000000       20.564386       138.77927       0.0448356       0.217576\r
  36 6100.000000     65.000000       20.360611       139.22571       0.0367749       0.182127\r
  37 6200.000000     65.000000       20.174294       139.68817       0.0425915       0.203799\r
  38 6300.000000     65.000000       19.9855 140.13321       0.0383705       0.18731\r
  39 6400.000000     65.000000       19.812756       140.62396       0.0351986       0.175251\r
  40 6500.000000     65.000000       19.655533       141.10864       0.0361044       0.183112\r
  41 6600.000000     65.000000       19.506369       141.52963       0.0330652       0.170694\r
  42 6700.000000     65.000000       19.353916       141.92439       0.0315506       0.165793\r
  43 6800.000000     65.000000       19.205097       142.44412       0.0332638       0.168639\r
  44 6900.000000     65.000000       19.074877       142.75606       0.0249513       0.128332\r
  45 7000.000000     65.000000       18.943886       143.21785       0.0318154       0.166971\r
  46 7100.000000     65.000000       18.831209       143.55066       0.0288753       0.15377\r
  47 7200.000000     65.000000       18.706026       143.92787       0.0322621       0.174582\r
  48 7300.000000     65.000000       18.596262       144.31567       0.0223854       0.123097\r
  49 7400.000000     65.000000       18.47995        144.70279       0.0237904       0.125793\r
  50 7500.000000     65.000000       18.374678       145.08536       0.0253874       0.136242\r
  51 7600.000000     65.000000       18.282507       145.47528       0.02349 0.128023\r
  52 7700.000000     65.000000       18.178659       145.82419       0.0232113       0.128301\r
  53 7800.000000     65.000000       18.08864        146.10744       0.0240985       0.13489\r
  54 7900.000000     65.000000       17.986477       146.51625       0.0218143       0.124156\r
  55 8000.000000     65.000000       17.91053        146.85332       0.0200359       0.1159\r
  56 8100.000000     65.000000       17.823774       147.16672       0.0268294       0.148726\r
  57 8200.000000     65.000000       17.721516       147.4868        0.025255        0.142327\r
  58 8300.000000     65.000000       17.64399        147.84019       0.0239123       0.136737\r
  59 8400.000000     65.000000       17.567448       148.20076       0.0254133       0.147115\r
  60 8500.000000     65.000000       17.499102       148.54926       0.027822        0.16131\r
  61 8600.000000     65.000000       17.427061       148.83025       0.0180237       0.106326\r
  62 8700.000000     65.000000       17.364376       149.09096       0.0243392       0.138315\r
  63 8800.000000     65.000000       17.286469       149.4164        0.0195992       0.113291\r
  64 8900.000000     65.000000       17.232969       149.63036       0.0203933       0.11923\r
  65 9000.000000     65.000000       17.171005       149.88011       0.016803        0.0994075\r
  66 9100.000000     65.000000       17.108395       150.13806       0.0173827       0.104064\r
  67 9200.000000     65.000000       17.055349       150.42079       0.0141356       0.0856569\r
  68 9300.000000     65.000000       16.995712       150.78008       0.0152946       0.0938286\r
  69 9400.000000     65.000000       16.943203       151.04738       0.0199182       0.117059\r
  70 9500.000000     65.000000       16.885954       151.30255       0.0182887       0.108712\r
  71 9600.000000     65.000000       16.843348       151.55804       0.0144243       0.0866502\r
  72 9700.000000     65.000000       16.789663       151.81752       0.0176916       0.107449\r
  73 9800.000000     65.000000       16.731709       152.06274       0.0174015       0.106899\r
  74 9900.000000     65.000000       16.687326       152.34117       0.0201761       0.125552\r
  75 10000.000000    65.000000       16.649839       152.49373       0.0192435       0.120993\r
  76 3000.000000     70.000000       37.912624       88.620171       0.329518        0.805948\r
  77 3100.000000     70.000000       36.800514       89.461967       0.184681        0.45415\r
  78 3200.000000     70.000000       35.949005       90.225235       0.11976 0.291404\r
  79 3300.000000     70.000000       35.287586       91.548332       0.189057        0.486016\r
  80 3400.000000     70.000000       34.772526       93.34758        0.126208        0.322917\r
  81 3500.000000     70.000000       34.398533       95.211868       0.123718        0.316451\r
  82 3600.000000     70.000000       34.337803       98.475655       0.13723 0.353808\r
  83 3700.000000     70.000000       33.45668        103.79775       0.10362 0.281551\r
  84 3800.000000     70.000000       31.185379       107.56766       0.10661 0.303542\r
  85 3900.000000     70.000000       29.208941       108.83059       0.0987087       0.294329\r
  86 4000.000000     70.000000       27.701176       109.46119       0.0937298       0.290633\r
  87 4100.000000     70.000000       26.464415       109.99734       0.099605        0.323023\r
  88 4200.000000     70.000000       25.429398       110.41337       0.086049        0.287167\r
  89 4300.000000     70.000000       24.524801       110.81835       0.0914524       0.313612\r
  90 4400.000000     70.000000       23.724939       111.17727       0.0698763       0.245434\r
  91 4500.000000     70.000000       22.995596       111.59042       0.0761314       0.275357\r
  92 4600.000000     70.000000       22.325911       111.98564       0.0731904       0.272263\r
  93 4700.000000     70.000000       21.719133       112.39622       0.0708209       0.270097\r
  94 4800.000000     70.000000       21.142763       112.78674       0.0724368       0.282364\r
  95 4900.000000     70.000000       20.625872       113.13132       0.0641242       0.256077\r
  96 5000.000000     70.000000       20.137028       113.53494       0.0610233       0.249104\r
  97 5100.000000     70.000000       19.676617       113.93235       0.0612813       0.255887\r
  98 5200.000000     70.000000       19.236729       114.3381        0.0586201       0.249777\r
  99 5300.000000     70.000000       18.832642       114.71937       0.0513643       0.223115\r
 100 5400.000000     70.000000       18.456638       115.09965       0.0532805       0.236884\r
 101 5500.000000     70.000000       18.095778       115.47558       0.0445583       0.202175\r
 102 5600.000000     70.000000       17.763512       115.83062       0.0445096       0.205843\r
 103 5700.000000     70.000000       17.433525       116.25447       0.0501163       0.235524\r
 104 5800.000000     70.000000       17.125473       116.61344       0.043873        0.209959\r
 105 5900.000000     70.000000       16.835829       116.93717       0.0422836       0.205781\r
 106 6000.000000     70.000000       16.544937       117.36054       0.040778        0.202345\r
 107 6100.000000     70.000000       16.297945       117.70557       0.0366561       0.185522\r
 108 6200.000000     70.000000       16.037457       118.0854        0.0412868       0.210961\r
 109 6300.000000     70.000000       15.789974       118.47462       0.0340154       0.17678\r
 110 6400.000000     70.000000       15.561687       118.8342        0.0356733       0.188443\r
 111 6500.000000     70.000000       15.340438       119.17239       0.0321543       0.172551\r
 112 6600.000000     70.000000       15.127825       119.53838       0.0326821       0.179047\r
 113 6700.000000     70.000000       14.921923       119.90243       0.0307911       0.171668\r
 114 6800.000000     70.000000       14.712955       120.24162       0.0326016       0.182294\r
 115 6900.000000     70.000000       14.52873        120.60975       0.0381759       0.216468\r
 116 7000.000000     70.000000       14.349576       120.89973       0.0255195       0.146917\r
 117 7100.000000     70.000000       14.171086       121.26641       0.0274926       0.160654\r
 118 7200.000000     70.000000       14.003795       121.59367       0.0315502       0.188112\r
 119 7300.000000     70.000000       13.838354       121.97501       0.0242118       0.146868\r
 120 7400.000000     70.000000       13.675225       122.40538       0.0282688       0.171109\r
 121 7500.000000     70.000000       13.530666       122.67126       0.0202553       0.124234\r
 122 7600.000000     70.000000       13.390811       123.08354       0.0232197       0.144345\r
 123 7700.000000     70.000000       13.250536       123.37469       0.0184684       0.116303\r
 124 7800.000000     70.000000       13.103764       123.72193       0.0218527       0.139315\r
 125 7900.000000     70.000000       12.974583       124.08637       0.0194773       0.126703\r
 126 8000.000000     70.000000       12.862776       124.3568        0.0259658       0.170922\r
 127 8100.000000     70.000000       12.710647       124.78408       0.0257003       0.158903\r
 128 8200.000000     70.000000       12.573369       125.22436       0.0223454       0.149526\r
 129 8300.000000     70.000000       12.49202        125.37899       0.0222701       0.150374\r
 130 8400.000000     70.000000       12.368748       125.73801       0.0219794       0.149176\r
 131 8500.000000     70.000000       12.252554       126.09153       0.0200778       0.136578\r
 132 8600.000000     70.000000       12.156104       126.36596       0.0182822       0.126314\r
 133 8700.000000     70.000000       12.049168       126.69776       0.021308        0.147424\r
 134 8800.000000     70.000000       11.940487       127.05775       0.0215688       0.153229\r
 135 8900.000000     70.000000       11.856283       127.18099       0.0177998       0.127514\r
 136 9000.000000     70.000000       11.766444       127.53786       0.0199326       0.144684\r
 137 9100.000000     70.000000       11.668992       127.8526        0.0187567       0.137925\r
 138 9200.000000     70.000000       11.577773       128.13693       0.0190933       0.142997\r
 139 9300.000000     70.000000       11.487485       128.47432       0.0166013       0.125915\r
 140 9400.000000     70.000000       11.398677       128.81595       0.0180794       0.13552\r
 141 9500.000000     70.000000       11.312821       129.08731       0.0173315       0.131457\r
 142 9600.000000     70.000000       11.235128       129.319 0.0152123       0.116501\r
 143 9700.000000     70.000000       11.155216       129.65535       0.0162104       0.125768\r
 144 9800.000000     70.000000       11.077073       129.89622       0.0149887       0.117831\r
 145 9900.000000     70.000000       11.002089       130.26431       0.0171444       0.136577\r
 146 10000.000000    70.000000       10.942048       130.44136       0.0172337       0.138466\r
 147 3000.000000     75.000000       38.492371       69.053101       0.315282        0.822839\r
 148 3100.000000     75.000000       37.236614       69.708679       0.187986        0.491034\r
 149 3200.000000     75.000000       36.557087       70.723412       0.22578 0.593362\r
 150 3300.000000     75.000000       35.841343       71.55069        0.157428        0.416681\r
 151 3400.000000     75.000000       35.220833       73.051102       0.136658        0.361149\r
 152 3500.000000     75.000000       34.764206       74.833389       0.131975        0.347578\r
 153 3600.000000     75.000000       34.560871       77.911789       0.141734        0.367235\r
 154 3700.000000     75.000000       33.294357       82.933182       0.113668        0.303738\r
 155 3800.000000     75.000000       30.693012       85.973373       0.10045 0.275278\r
 156 3900.000000     75.000000       28.574123       86.344734       0.0883712       0.250915\r
 157 4000.000000     75.000000       26.994831       86.173874       0.0854896       0.250566\r
 158 4100.000000     75.000000       25.684616       85.84127        0.0818368       0.257037\r
 159 4200.000000     75.000000       24.614626       85.563065       0.0770145       0.247562\r
 160 4300.000000     75.000000       23.671003       85.282837       0.0744834       0.244469\r
 161 4400.000000     75.000000       22.839071       84.956375       0.0632619       0.211279\r
 162 4500.000000     75.000000       22.071089       84.675339       0.0650199       0.222163\r
 163 4600.000000     75.000000       21.370617       84.418419       0.0605821       0.21875\r
 164 4700.000000     75.000000       20.721254       84.115662       0.0519632       0.191339\r
 165 4800.000000     75.000000       20.126963       83.847359       0.0571928       0.213878\r
 166 4900.000000     75.000000       19.582752       83.582169       0.0548911       0.208971\r
 167 5000.000000     75.000000       19.07526        83.337959       0.0512239       0.197917\r
 168 5100.000000     75.000000       18.585785       83.119843       0.0470727       0.191992\r
 169 5200.000000     75.000000       18.11659        82.859909       0.0425008       0.175835\r
 170 5300.000000     75.000000       17.691299       82.618797       0.0401965       0.168434\r
 171 5400.000000     75.000000       17.288401       82.370277       0.0425881       0.181643\r
 172 5500.000000     75.000000       16.905516       82.16008        0.0392223       0.169415\r
 173 5600.000000     75.000000       16.547108       81.926453       0.0354064       0.155109\r
 174 5700.000000     75.000000       16.190651       81.683647       0.0329255       0.151299\r
 175 5800.000000     75.000000       15.854612       81.428307       0.0310546       0.144614\r
 176 5900.000000     75.000000       15.5523 81.260368       0.0322847       0.151969\r
 177 6000.000000     75.000000       15.246185       81.01561        0.0308043       0.146817\r
 178 6100.000000     75.000000       14.966329       80.812126       0.0332405       0.161127\r
 179 6200.000000     75.000000       14.683317       80.579323       0.0315257       0.159145\r
 180 6300.000000     75.000000       14.415299       80.353874       0.0322864       0.164715\r
 181 6400.000000     75.000000       14.162385       80.134407       0.0269355       0.138948\r
 182 6500.000000     75.000000       13.919227       79.956734       0.0271152       0.141964\r
 183 6600.000000     75.000000       13.691499       79.737823       0.0270584       0.143145\r
 184 6700.000000     75.000000       13.459573       79.546783       0.0276204       0.147896\r
 185 6800.000000     75.000000       13.238924       79.302307       0.023088        0.128318\r
 186 6900.000000     75.000000       13.023133       79.117653       0.0249831       0.140109\r
 187 7000.000000     75.000000       12.824288       78.926491       0.0210393       0.119655\r
 188 7100.000000     75.000000       12.630849       78.766731       0.0231189       0.132876\r
 189 7200.000000     75.000000       12.445381       78.551682       0.0240214       0.13958\r
 190 7300.000000     75.000000       12.246224       78.3433 0.017591        0.1035\r
 191 7400.000000     75.000000       12.084159       78.139755       0.0186766       0.113443\r
 192 7500.000000     75.000000       11.904346       77.952446       0.0179115       0.109703\r
 193 7600.000000     75.000000       11.745273       77.773582       0.0183738       0.114086\r
 194 7700.000000     75.000000       11.581254       77.570961       0.0186449       0.116924\r
 195 7800.000000     75.000000       11.423946       77.394501       0.0190089       0.120306\r
 196 7900.000000     75.000000       11.272544       77.168831       0.016973        0.1085\r
 197 8000.000000     75.000000       11.127044       77.059334       0.018221        0.117514\r
 198 8100.000000     75.000000       10.945046       76.825783       0.0174535       0.115726\r
 199 8200.000000     75.000000       10.80763        76.513626       0.0201085       0.135862\r
 200 8300.000000     75.000000       10.715649       76.44001        0.0180701       0.122368\r
 201 8400.000000     75.000000       10.57174        76.233467       0.013512        0.092171\r
 202 8500.000000     75.000000       10.449697       76.119133       0.0211441       0.145411\r
 203 8600.000000     75.000000       10.31767        75.878242       0.0181323       0.126098\r
 204 8700.000000     75.000000       10.196452       75.623482       0.0194985       0.139857\r
 205 8800.000000     75.000000       10.071177       75.417404       0.0164382       0.119956\r
 206 8900.000000     75.000000       9.9742365       75.3424 0.0178714       0.130939\r
 207 9000.000000     75.000000       9.8651028       75.109177       0.0153229       0.113304\r
 208 9100.000000     75.000000       9.7500362       74.948555       0.0172413       0.128569\r
 209 9200.000000     75.000000       9.6482525       74.720169       0.0147924       0.111276\r
 210 9300.000000     75.000000       9.5387049       74.453735       0.0133788       0.101607\r
 211 9400.000000     75.000000       9.4302139       74.323387       0.0171729       0.133577\r
 212 9500.000000     75.000000       9.331316        74.151993       0.0177827       0.139268\r
 213 9600.000000     75.000000       9.2403994       73.940102       0.0152682       0.120355\r
 214 9700.000000     75.000000       9.1453629       73.697769       0.0175541       0.139494\r
 215 9800.000000     75.000000       9.050293        73.538872       0.0156508       0.125335\r
 216 9900.000000     75.000000       8.9577618       73.360435       0.0161595       0.130368\r
 217 10000.000000    75.000000       8.8850489       73.229538       0.0149702       0.121279\r
 218 dpolE   3000.000000     65.000000       0.890608        2.23741\r
 219 dpolE   3100.000000     65.000000       0.601269        2.09694\r
 220 dpolE   3200.000000     65.000000       0.306812        2.1605\r
 221 dpolE   3300.000000     65.000000       0.606162        1.66111\r
 222 dpolE   3400.000000     65.000000       0.348214        1.64153\r
 223 dpolE   3500.000000     65.000000       0.289227        1.62221\r
 224 dpolE   3600.000000     65.000000       1.08997 1.56466\r
 225 dpolE   3700.000000     65.000000       0.814812        1.35403\r
 226 dpolE   3800.000000     65.000000       0.181829        1.10844\r
 227 dpolE   3900.000000     65.000000       0.135422        0.957476\r
 228 dpolE   4000.000000     65.000000       0.11944 0.917345\r
 229 dpolE   4100.000000     65.000000       0.164572        0.912962\r
 230 dpolE   4200.000000     65.000000       0.232387        0.822223\r
 231 dpolE   4300.000000     65.000000       0.115766        0.724991\r
 232 dpolE   4400.000000     65.000000       0.128749        0.685632\r
 233 dpolE   4500.000000     65.000000       0.145297        0.634178\r
 234 dpolE   4600.000000     65.000000       0.0490618       0.654076\r
 235 dpolE   4700.000000     65.000000       0.0473759       0.601738\r
 236 dpolE   4800.000000     65.000000       0.0461693       0.536239\r
 237 dpolE   4900.000000     65.000000       0.0948172       0.509064\r
 238 dpolE   5000.000000     65.000000       0.0555172       0.469356\r
 239 dpolE   5100.000000     65.000000       0.0108011       0.492483\r
 240 dpolE   5200.000000     65.000000       -0.0119357      0.403179\r
 241 dpolE   5300.000000     65.000000       -0.026028       0.416724\r
 242 dpolE   5400.000000     65.000000       0.0326045       0.435385\r
 243 dpolE   5500.000000     65.000000       0.0184017       0.370503\r
 244 dpolE   5600.000000     65.000000       0.0320286       0.332581\r
 245 dpolE   5700.000000     65.000000       0.00125869      0.355061\r
 246 dpolE   5800.000000     65.000000       -0.0301122      0.32356\r
 247 dpolE   5900.000000     65.000000       0.00301031      0.295643\r
 248 dpolE   6000.000000     65.000000       -0.0059056      0.311386\r
 249 dpolE   6100.000000     65.000000       -0.018182       0.254255\r
 250 dpolE   6200.000000     65.000000       -0.0287655      0.282277\r
 251 dpolE   6300.000000     65.000000       -0.0743327      0.253381\r
 252 dpolE   6400.000000     65.000000       0.00840869      0.231037\r
 253 dpolE   6500.000000     65.000000       0.0120229       0.23588\r
 254 dpolE   6600.000000     65.000000       -0.00421047     0.215219\r
 255 dpolE   6700.000000     65.000000       -0.038983       0.20459\r
 256 dpolE   6800.000000     65.000000       0.0250897       0.207878\r
 257 dpolE   6900.000000     65.000000       -0.060133       0.155481\r
 258 dpolE   7000.000000     65.000000       0.0411564       0.197321\r
 259 dpolE   7100.000000     65.000000       -0.0360075      0.178704\r
 260 dpolE   7200.000000     65.000000       -0.0824303      0.198953\r
 261 dpolE   7300.000000     65.000000       -0.0884511      0.137557\r
 262 dpolE   7400.000000     65.000000       -0.0870451      0.142058\r
 263 dpolE   7500.000000     65.000000       -0.0768016      0.150923\r
 264 dpolE   7600.000000     65.000000       0.00983292      0.138959\r
 265 dpolE   7700.000000     65.000000       -0.0317418      0.136832\r
 266 dpolE   7800.000000     65.000000       -0.0540369      0.141828\r
 267 dpolE   7900.000000     65.000000       -0.0208337      0.127602\r
 268 dpolE   8000.000000     65.000000       0.0124268       0.117026\r
 269 dpolE   8100.000000     65.000000       0.0251962       0.153396\r
 270 dpolE   8200.000000     65.000000       -0.00555565     0.143311\r
 271 dpolE   8300.000000     65.000000       -0.0154726      0.134977\r
 272 dpolE   8400.000000     65.000000       -0.0174338      0.143125\r
 273 dpolE   8500.000000     65.000000       -0.00523309     0.158572\r
 274 dpolE   8600.000000     65.000000       0.0259508       0.101892\r
 275 dpolE   8700.000000     65.000000       -0.0111746      0.134289\r
 276 dpolE   8800.000000     65.000000       -0.00768946     0.107076\r
 277 dpolE   8900.000000     65.000000       0.0100604       0.111102\r
 278 dpolE   9000.000000     65.000000       -0.00405017     0.0912358\r
 279 dpolE   9100.000000     65.000000       -0.0114973      0.0940716\r
 280 dpolE   9200.000000     65.000000       -0.00128115     0.0762223\r
 281 dpolE   9300.000000     65.000000       0.005144        0.0821516\r
 282 dpolE   9400.000000     65.000000       -0.00982075     0.105636\r
 283 dpolE   9500.000000     65.000000       0.00258476      0.0965966\r
 284 dpolE   9600.000000     65.000000       0.0215156       0.0759531\r
 285 dpolE   9700.000000     65.000000       0.00610054      0.0928223\r
 286 dpolE   9800.000000     65.000000       -0.00490372     0.0909294\r
 287 dpolE   9900.000000     65.000000       -0.0263212      0.105234\r
 288 dpolE   10000.000000    65.000000       -0.000590645    0.100152\r
 289 dpolE   3000.000000     70.000000       -0.949182       4.15143\r
 290 dpolE   3100.000000     70.000000       0.267656        2.34908\r
 291 dpolE   3200.000000     70.000000       -1.16283        1.56262\r
 292 dpolE   3300.000000     70.000000       0.616331        2.22324\r
 293 dpolE   3400.000000     70.000000       0.492984        1.51209\r
 294 dpolE   3500.000000     70.000000       0.645895        1.5096\r
 295 dpolE   3600.000000     70.000000       1.6317  1.69627\r
 296 dpolE   3700.000000     70.000000       0.589224        1.15876\r
 297 dpolE   3800.000000     70.000000       0.268306        1.16082\r
 298 dpolE   3900.000000     70.000000       0.270768        1.05074\r
 299 dpolE   4000.000000     70.000000       0.207287        0.982543\r
 300 dpolE   4100.000000     70.000000       0.185815        0.938185\r
 301 dpolE   4200.000000     70.000000       0.247125        0.80154\r
 302 dpolE   4300.000000     70.000000       0.214819        0.844281\r
 303 dpolE   4400.000000     70.000000       0.172158        0.63917\r
 304 dpolE   4500.000000     70.000000       0.132522        0.692731\r
 305 dpolE   4600.000000     70.000000       0.138409        0.605037\r
 306 dpolE   4700.000000     70.000000       0.145023        0.582117\r
 307 dpolE   4800.000000     70.000000       0.141508        0.590891\r
 308 dpolE   4900.000000     70.000000       0.135696        0.520852\r
 309 dpolE   5000.000000     70.000000       0.0887434       0.492832\r
 310 dpolE   5100.000000     70.000000       0.0419626       0.454542\r
 311 dpolE   5200.000000     70.000000       0.0674164       0.431747\r
 312 dpolE   5300.000000     70.000000       0.075001        0.375948\r
 313 dpolE   5400.000000     70.000000       0.0712326       0.388895\r
 314 dpolE   5500.000000     70.000000       0.0616058       0.323628\r
 315 dpolE   5600.000000     70.000000       0.016777        0.322034\r
 316 dpolE   5700.000000     70.000000       0.055537        0.334936\r
 317 dpolE   5800.000000     70.000000       0.0632004       0.291749\r
 318 dpolE   5900.000000     70.000000       0.0159375       0.280126\r
 319 dpolE   6000.000000     70.000000       0.0449653       0.268497\r
 320 dpolE   6100.000000     70.000000       -0.04674        0.241605\r
 321 dpolE   6200.000000     70.000000       0.00720344      0.252535\r
 322 dpolE   6300.000000     70.000000       0.0220869       0.206998\r
 323 dpolE   6400.000000     70.000000       0.0355653       0.216136\r
 324 dpolE   6500.000000     70.000000       0.0129011       0.194077\r
 325 dpolE   6600.000000     70.000000       -0.00146961     0.197143\r
 326 dpolE   6700.000000     70.000000       -0.0158246      0.185106\r
 327 dpolE   6800.000000     70.000000       -0.0105545      0.18305\r
 328 dpolE   6900.000000     70.000000       -0.0598404      0.213727\r
 329 dpolE   7000.000000     70.000000       -0.0114558      0.142274\r
 330 dpolE   7100.000000     70.000000       -0.0379198      0.152714\r
 331 dpolE   7200.000000     70.000000       -0.0263308      0.175188\r
 332 dpolE   7300.000000     70.000000       0.0057309       0.133891\r
 333 dpolE   7400.000000     70.000000       -0.0179352      0.146955\r
 334 dpolE   7500.000000     70.000000       -0.00472039     0.104998\r
 335 dpolE   7600.000000     70.000000       -0.0141987      0.120043\r
 336 dpolE   7700.000000     70.000000       -0.0290292      0.0952501\r
 337 dpolE   7800.000000     70.000000       -0.0205064      0.112492\r
 338 dpolE   7900.000000     70.000000       -0.0199617      0.100144\r
 339 dpolE   8000.000000     70.000000       -0.0329547      0.133548\r
 340 dpolE   8100.000000     70.000000       0.0710811       0.123268\r
 341 dpolE   8200.000000     70.000000       0.0390226       0.107346\r
 342 dpolE   8300.000000     70.000000       -0.0139967      0.107201\r
 343 dpolE   8400.000000     70.000000       -0.0387755      0.106275\r
 344 dpolE   8500.000000     70.000000       0.00781997      0.0978587\r
 345 dpolE   8600.000000     70.000000       0.0138726       0.0887336\r
 346 dpolE   8700.000000     70.000000       -0.000630545    0.0971393\r
 347 dpolE   8800.000000     70.000000       0.00309729      0.0967523\r
 348 dpolE   8900.000000     70.000000       -0.0361012      0.0798944\r
 349 dpolE   9000.000000     70.000000       -0.0316223      0.0891429\r
 350 dpolE   9100.000000     70.000000       -0.0234139      0.0835813\r
 351 dpolE   9200.000000     70.000000       -0.0365056      0.0850729\r
 352 dpolE   9300.000000     70.000000       -0.0211549      0.0738094\r
 353 dpolE   9400.000000     70.000000       -0.0200713      0.0765449\r
 354 dpolE   9500.000000     70.000000       -0.0254999      0.0731642\r
 355 dpolE   9600.000000     70.000000       -0.0246375      0.0641649\r
 356 dpolE   9700.000000     70.000000       -0.0196563      0.0681137\r
 357 dpolE   9800.000000     70.000000       -0.0251228      0.0627375\r
 358 dpolE   9900.000000     70.000000       -0.000225509    0.0714814\r
 359 dpolE   10000.000000    70.000000       -0.0170553      0.0719064\r
 360 dpolE   3000.000000     75.000000       0.855688        3.83966\r
 361 dpolE   3100.000000     75.000000       0.691141        2.33313\r
 362 dpolE   3200.000000     75.000000       1.30741 2.85724\r
 363 dpolE   3300.000000     75.000000       0.3608  1.83036\r
 364 dpolE   3400.000000     75.000000       0.210324        1.62051\r
 365 dpolE   3500.000000     75.000000       0.532348        1.59217\r
 366 dpolE   3600.000000     75.000000       0.290788        1.75969\r
 367 dpolE   3700.000000     75.000000       0.593162        1.2793\r
 368 dpolE   3800.000000     75.000000       0.395807        1.10653\r
 369 dpolE   3900.000000     75.000000       0.323769        0.953868\r
 370 dpolE   4000.000000     75.000000       0.394531        0.908651\r
 371 dpolE   4100.000000     75.000000       0.222917        0.776235\r
 372 dpolE   4200.000000     75.000000       0.31036 0.722556\r
 373 dpolE   4300.000000     75.000000       0.247279        0.692837\r
 374 dpolE   4400.000000     75.000000       0.225474        0.582873\r
 375 dpolE   4500.000000     75.000000       0.186902        0.596101\r
 376 dpolE   4600.000000     75.000000       0.115649        0.500725\r
 377 dpolE   4700.000000     75.000000       0.0954002       0.427251\r
 378 dpolE   4800.000000     75.000000       0.105324        0.466791\r
 379 dpolE   4900.000000     75.000000       0.0585645       0.446487\r
 380 dpolE   5000.000000     75.000000       0.0350547       0.414385\r
 381 dpolE   5100.000000     75.000000       0.0787129       0.346222\r
 382 dpolE   5200.000000     75.000000       0.0845664       0.310483\r
 383 dpolE   5300.000000     75.000000       0.082177        0.291925\r
 384 dpolE   5400.000000     75.000000       0.0678615       0.308722\r
 385 dpolE   5500.000000     75.000000       -0.00113296     0.283262\r
 386 dpolE   5600.000000     75.000000       0.0607117       0.25426\r
 387 dpolE   5700.000000     75.000000       0.00649611      0.216646\r
 388 dpolE   5800.000000     75.000000       0.0420891       0.203186\r
 389 dpolE   5900.000000     75.000000       0.0237611       0.210486\r
 390 dpolE   6000.000000     75.000000       0.04709 0.199719\r
 391 dpolE   6100.000000     75.000000       0.0542321       0.215476\r
 392 dpolE   6200.000000     75.000000       -0.0227977      0.187964\r
 393 dpolE   6300.000000     75.000000       -0.0440218      0.191717\r
 394 dpolE   6400.000000     75.000000       -0.0188842      0.159175\r
 395 dpolE   6500.000000     75.000000       -0.0248294      0.160152\r
 396 dpolE   6600.000000     75.000000       -0.0560401      0.159458\r
 397 dpolE   6700.000000     75.000000       -0.0400499      0.162068\r
 398 dpolE   6800.000000     75.000000       -0.0419614      0.124991\r
 399 dpolE   6900.000000     75.000000       -0.07294        0.134742\r
 400 dpolE   7000.000000     75.000000       -0.093221       0.113619\r
 401 dpolE   7100.000000     75.000000       -0.0820831      0.124449\r
 402 dpolE   7200.000000     75.000000       -0.0577728      0.128844\r
 403 dpolE   7300.000000     75.000000       -0.0242834      0.0938402\r
 404 dpolE   7400.000000     75.000000       -0.0398535      0.0925088\r
 405 dpolE   7500.000000     75.000000       -0.0684595      0.0884061\r
 406 dpolE   7600.000000     75.000000       -0.0710198      0.0908845\r
 407 dpolE   7700.000000     75.000000       -0.0697556      0.091956\r
 408 dpolE   7800.000000     75.000000       -0.0458344      0.0935211\r
 409 dpolE   7900.000000     75.000000       -0.0664121      0.0832572\r
 410 dpolE   8000.000000     75.000000       -0.0588435      0.0891675\r
 411 dpolE   8100.000000     75.000000       -0.000158291    0.0798369\r
 412 dpolE   8200.000000     75.000000       0.00175542      0.0907317\r
 413 dpolE   8300.000000     75.000000       -0.0661865      0.0817993\r
 414 dpolE   8400.000000     75.000000       -0.0233459      0.0610115\r
 415 dpolE   8500.000000     75.000000       -0.0486513      0.0963378\r
 416 dpolE   8600.000000     75.000000       -0.0610274      0.0823522\r
 417 dpolE   8700.000000     75.000000       -0.0821326      0.0824511\r
 418 dpolE   8800.000000     75.000000       -0.0429352      0.0687351\r
 419 dpolE   8900.000000     75.000000       -0.0861499      0.0748307\r
 420 dpolE   9000.000000     75.000000       -0.0714777      0.0639385\r
 421 dpolE   9100.000000     75.000000       -0.0727954      0.0717195\r
 422 dpolE   9200.000000     75.000000       -0.072681       0.0613515\r
 423 dpolE   9300.000000     75.000000       -0.0459228      0.0552633\r
 424 dpolE   9400.000000     75.000000       -0.0606697      0.0664139\r
 425 dpolE   9500.000000     75.000000       -0.0652651      0.0685741\r
 426 dpolE   9600.000000     75.000000       -0.0523113      0.0587372\r
 427 dpolE   9700.000000     75.000000       -0.046147       0.0672725\r
 428 dpolE   9800.000000     75.000000       -0.0567803      0.0597561\r
 429 dpolE   9900.000000     75.000000       -0.0541621      0.0614875\r
 430 dpolE   10000.000000    75.000000       -0.0685371      0.0569666