research/ellipsometry/WVASE32/DAT/170709 cal wafer.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Jul 17 13:35:04 2009]\r
   3 Original[170709 cal wafer.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 3000.000000     65.000000       38.59383        104.81626       0.183227        0.464415\r
   6 3100.000000     65.000000       37.418072       105.64664       0.164605        0.420696\r
   7 3200.000000     65.000000       36.591377       106.66417       0.166914        0.429875\r
   8 3300.000000     65.000000       35.984665       108.0694        0.172825        0.456731\r
   9 3400.000000     65.000000       35.511566       109.44796       0.134255        0.357852\r
  10 3500.000000     65.000000       35.297768       111.34016       0.125593        0.339208\r
  11 3600.000000     65.000000       35.367188       114.3586        0.134418        0.369936\r
  12 3700.000000     65.000000       34.672665       119.44384       0.113735        0.323619\r
  13 3800.000000     65.000000       32.878632       122.81858       0.110524        0.337285\r
  14 3900.000000     65.000000       31.19171        124.40734       0.0953422       0.306628\r
  15 4000.000000     65.000000       29.907795       125.41103       0.0957049       0.321594\r
  16 4100.000000     65.000000       28.847013       126.26962       0.101085        0.341033\r
  17 4200.000000     65.000000       27.965014       127.02903       0.092677        0.322924\r
  18 4300.000000     65.000000       27.199738       127.68358       0.0837028       0.300266\r
  19 4400.000000     65.000000       26.523003       128.35521       0.0824964       0.306069\r
  20 4500.000000     65.000000       25.911539       129.04514       0.0736012       0.281488\r
  21 4600.000000     65.000000       25.349405       129.72575       0.0801553       0.302904\r
  22 4700.000000     65.000000       24.842712       130.37077       0.0724129       0.280864\r
  23 4800.000000     65.000000       24.371912       130.97888       0.070568        0.281447\r
  24 4900.000000     65.000000       23.943602       131.60652       0.0651867       0.266821\r
  25 5000.000000     65.000000       23.548643       132.15115       0.0584301       0.24525\r
  26 5100.000000     65.000000       23.16975        132.8101        0.0648899       0.267354\r
  27 5200.000000     65.000000       22.824146       133.40115       0.0635725       0.268032\r
  28 5300.000000     65.000000       22.499687       133.98546       0.0596074       0.257191\r
  29 5400.000000     65.000000       22.195663       134.52199       0.0545093       0.241036\r
  30 5500.000000     65.000000       21.915497       135.06789       0.0512898       0.232126\r
  31 5600.000000     65.000000       21.642164       135.57452       0.0479764       0.222143\r
  32 5700.000000     65.000000       21.384411       136.15874       0.0511069       0.229791\r
  33 5800.000000     65.000000       21.145685       136.65231       0.051161        0.235263\r
  34 5900.000000     65.000000       20.915258       137.16711       0.0473725       0.222456\r
  35 6000.000000     65.000000       20.696428       137.64226       0.0420214       0.201417\r
  36 6100.000000     65.000000       20.500225       138.10167       0.0393347       0.192263\r
  37 6200.000000     65.000000       20.300798       138.61638       0.0380081       0.179945\r
  38 6300.000000     65.000000       20.117367       139.09258       0.0432163       0.208763\r
  39 6400.000000     65.000000       19.945015       139.58975       0.0431052       0.212151\r
  40 6500.000000     65.000000       19.777111       140.03212       0.0358227       0.179541\r
  41 6600.000000     65.000000       19.621937       140.44514       0.0332719       0.169738\r
  42 6700.000000     65.000000       19.473448       140.88652       0.0346446       0.180032\r
  43 6800.000000     65.000000       19.326706       141.31975       0.0345442       0.17309\r
  44 6900.000000     65.000000       19.187756       141.75119       0.0316817       0.161336\r
  45 7000.000000     65.000000       19.055986       142.16647       0.0302745       0.157026\r
  46 7100.000000     65.000000       18.927801       142.54929       0.0288777       0.152291\r
  47 7200.000000     65.000000       18.804796       142.94479       0.0240419       0.128956\r
  48 7300.000000     65.000000       18.689814       143.36507       0.0257165       0.140136\r
  49 7400.000000     65.000000       18.575918       143.73476       0.0276777       0.145124\r
  50 7500.000000     65.000000       18.468634       144.12506       0.0241011       0.128259\r
  51 7600.000000     65.000000       18.36573        144.4834        0.0226379       0.122178\r
  52 7700.000000     65.000000       18.266155       144.86299       0.0220241       0.120649\r
  53 7800.000000     65.000000       18.17201        145.24551       0.0217663       0.120831\r
  54 7900.000000     65.000000       18.082121       145.58112       0.0216697       0.122364\r
  55 8000.000000     65.000000       17.991898       145.89861       0.026168        0.149882\r
  56 8100.000000     65.000000       17.912312       146.37819       0.0257784       0.141627\r
  57 8200.000000     65.000000       17.828175       146.70041       0.0265505       0.148269\r
  58 8300.000000     65.000000       17.747911       147.05222       0.0235763       0.133674\r
  59 8400.000000     65.000000       17.660633       147.38103       0.0215207       0.123539\r
  60 8500.000000     65.000000       17.583094       147.73706       0.0297649       0.171041\r
  61 8600.000000     65.000000       17.524031       147.99123       0.0207727       0.121279\r
  62 8700.000000     65.000000       17.452831       148.27036       0.0206534       0.116397\r
  63 8800.000000     65.000000       17.383858       148.64946       0.0218922       0.125537\r
  64 8900.000000     65.000000       17.331388       148.82161       0.019204        0.111325\r
  65 9000.000000     65.000000       17.265802       149.10747       0.0171174       0.10046\r
  66 9100.000000     65.000000       17.201033       149.42395       0.0212451       0.126257\r
  67 9200.000000     65.000000       17.140144       149.68716       0.0188407       0.113291\r
  68 9300.000000     65.000000       17.080267       150.01735       0.0173339       0.10549\r
  69 9400.000000     65.000000       17.018885       150.31447       0.0178712       0.104336\r
  70 9500.000000     65.000000       16.972038       150.55177       0.0166645       0.0983214\r
  71 9600.000000     65.000000       16.92244        150.80161       0.015605        0.0930501\r
  72 9700.000000     65.000000       16.871578       151.08098       0.0180112       0.108598\r
  73 9800.000000     65.000000       16.813202       151.36687       0.0180109       0.110098\r
  74 9900.000000     65.000000       16.772182       151.60623       0.016879        0.1043\r
  75 10000.000000    65.000000       16.730366       151.77815       0.0152593       0.0952757\r
  76 3000.000000     70.000000       38.05439        87.955704       0.237506        0.588135\r
  77 3100.000000     70.000000       37.300434       88.653633       0.214912        0.522782\r
  78 3200.000000     70.000000       36.330364       89.582306       0.150607        0.369997\r
  79 3300.000000     70.000000       35.60532        90.763725       0.136791        0.34905\r
  80 3400.000000     70.000000       35.076221       92.297256       0.132199        0.336955\r
  81 3500.000000     70.000000       34.699181       94.208626       0.130845        0.332326\r
  82 3600.000000     70.000000       34.629734       97.339371       0.118246        0.300213\r
  83 3700.000000     70.000000       33.698013       102.64788       0.103965        0.279619\r
  84 3800.000000     70.000000       31.436121       106.2382        0.101034        0.284073\r
  85 3900.000000     70.000000       29.500572       107.40831       0.0978511       0.287606\r
  86 4000.000000     70.000000       28.000692       108.03434       0.0873122       0.266198\r
  87 4100.000000     70.000000       26.772335       108.53629       0.0912363       0.291622\r
  88 4200.000000     70.000000       25.742752       108.96813       0.0913473       0.299721\r
  89 4300.000000     70.000000       24.85602        109.38034       0.0835466       0.281216\r
  90 4400.000000     70.000000       24.055891       109.74979       0.0771134       0.265466\r
  91 4500.000000     70.000000       23.323738       110.11034       0.0749859       0.265319\r
  92 4600.000000     70.000000       22.648315       110.56165       0.0712411       0.260095\r
  93 4700.000000     70.000000       22.030386       110.94593       0.072045        0.269311\r
  94 4800.000000     70.000000       21.464191       111.31721       0.0654309       0.249455\r
  95 4900.000000     70.000000       20.941492       111.7086        0.061449        0.239784\r
  96 5000.000000     70.000000       20.452839       112.08941       0.058806        0.234349\r
  97 5100.000000     70.000000       19.989325       112.50218       0.0586448       0.239847\r
  98 5200.000000     70.000000       19.546886       112.92253       0.0549837       0.229153\r
  99 5300.000000     70.000000       19.145466       113.31458       0.0523819       0.222286\r
 100 5400.000000     70.000000       18.75629        113.66371       0.0529654       0.229823\r
 101 5500.000000     70.000000       18.400896       114.09119       0.0472456       0.209105\r
 102 5600.000000     70.000000       18.052052       114.4542        0.0441353       0.199161\r
 103 5700.000000     70.000000       17.722483       114.84671       0.0475481       0.218295\r
 104 5800.000000     70.000000       17.405903       115.22073       0.04249 0.198533\r
 105 5900.000000     70.000000       17.115105       115.5957        0.0411002       0.195377\r
 106 6000.000000     70.000000       16.835855       115.98276       0.0383963       0.185687\r
 107 6100.000000     70.000000       16.566931       116.36562       0.03853 0.190326\r
 108 6200.000000     70.000000       16.308865       116.73428       0.0326159       0.162879\r
 109 6300.000000     70.000000       16.051344       117.12234       0.0348636       0.176957\r
 110 6400.000000     70.000000       15.820391       117.48488       0.0311612       0.16065\r
 111 6500.000000     70.000000       15.59526        117.84181       0.0357619       0.187821\r
 112 6600.000000     70.000000       15.378958       118.19847       0.0296515       0.158414\r
 113 6700.000000     70.000000       15.172906       118.58093       0.0284495       0.154557\r
 114 6800.000000     70.000000       14.962476       118.93131       0.0284893       0.15545\r
 115 6900.000000     70.000000       14.776373       119.34226       0.0286569       0.158772\r
 116 7000.000000     70.000000       14.591568       119.70746       0.0296738       0.167319\r
 117 7100.000000     70.000000       14.416915       120.04185       0.0269729       0.154426\r
 118 7200.000000     70.000000       14.238911       120.39495       0.026817        0.155975\r
 119 7300.000000     70.000000       14.071085       120.77385       0.0218036       0.128892\r
 120 7400.000000     70.000000       13.908963       121.10714       0.0247544       0.146127\r
 121 7500.000000     70.000000       13.758819       121.44421       0.0147535       0.0882415\r
 122 7600.000000     70.000000       13.608225       121.80501       0.0228048       0.138643\r
 123 7700.000000     70.000000       13.456373       122.10883       0.0177827       0.109629\r
 124 7800.000000     70.000000       13.321056       122.50703       0.0214816       0.133955\r
 125 7900.000000     70.000000       13.190188       122.7936        0.0184288       0.116832\r
 126 8000.000000     70.000000       13.047751       123.17896       0.0172346       0.110915\r
 127 8100.000000     70.000000       12.898565       123.64297       0.0230452       0.139377\r
 128 8200.000000     70.000000       12.755855       124.11124       0.0250287       0.163979\r
 129 8300.000000     70.000000       12.678777       124.20348       0.0230087       0.151965\r
 130 8400.000000     70.000000       12.559628       124.59058       0.0268355       0.178129\r
 131 8500.000000     70.000000       12.452019       124.92403       0.0266076       0.176555\r
 132 8600.000000     70.000000       12.326067       125.21927       0.0217674       0.14743\r
 133 8700.000000     70.000000       12.228407       125.44205       0.0203165       0.137472\r
 134 8800.000000     70.000000       12.113501       125.92832       0.0193411       0.134546\r
 135 8900.000000     70.000000       12.032963       126.12432       0.0174521       0.122534\r
 136 9000.000000     70.000000       11.934955       126.37207       0.0159314       0.113251\r
 137 9100.000000     70.000000       11.841686       126.70992       0.013621        0.0980044\r
 138 9200.000000     70.000000       11.743728       126.99297       0.0160238       0.117448\r
 139 9300.000000     70.000000       11.64901        127.35324       0.0165788       0.12303\r
 140 9400.000000     70.000000       11.558251       127.66142       0.0169664       0.124596\r
 141 9500.000000     70.000000       11.474538       127.94635       0.0168512       0.125219\r
 142 9600.000000     70.000000       11.392602       128.22409       0.0159457       0.119715\r
 143 9700.000000     70.000000       11.311904       128.54996       0.0147242       0.111981\r
 144 9800.000000     70.000000       11.231153       128.86427       0.0160433       0.123647\r
 145 9900.000000     70.000000       11.153594       129.15271       0.0155497       0.12129\r
 146 10000.000000    70.000000       11.089598       129.31142       0.0133048       0.104611\r
 147 3000.000000     75.000000       38.838036       68.442055       0.420891        1.09535\r
 148 3100.000000     75.000000       37.77655        69.017258       0.198722        0.518903\r
 149 3200.000000     75.000000       36.845707       69.80024        0.156841        0.4114\r
 150 3300.000000     75.000000       36.199036       70.72448        0.157128        0.415699\r
 151 3400.000000     75.000000       35.529411       72.08194        0.149466        0.396294\r
 152 3500.000000     75.000000       35.098885       73.762108       0.167907        0.442712\r
 153 3600.000000     75.000000       34.881813       76.765091       0.12464 0.32366\r
 154 3700.000000     75.000000       33.616978       81.704323       0.104927        0.279321\r
 155 3800.000000     75.000000       31.094215       84.55526        0.0919473       0.25109\r
 156 3900.000000     75.000000       29.037924       84.943451       0.0877691       0.2474\r
 157 4000.000000     75.000000       27.47934        84.726524       0.0816109       0.236828\r
 158 4100.000000     75.000000       26.199207       84.478264       0.079892        0.248049\r
 159 4200.000000     75.000000       25.128763       84.208595       0.0683893       0.217011\r
 160 4300.000000     75.000000       24.207788       83.922379       0.0712465       0.230601\r
 161 4400.000000     75.000000       23.373346       83.652336       0.0653006       0.214985\r
 162 4500.000000     75.000000       22.614412       83.415573       0.0660036       0.221936\r
 163 4600.000000     75.000000       21.905315       83.171043       0.0555669       0.1973\r
 164 4700.000000     75.000000       21.26837        82.919113       0.0527842       0.190902\r
 165 4800.000000     75.000000       20.670168       82.688408       0.0537918       0.197705\r
 166 4900.000000     75.000000       20.119022       82.474495       0.0491202       0.183604\r
 167 5000.000000     75.000000       19.602261       82.257416       0.0445596       0.169015\r
 168 5100.000000     75.000000       19.10619        82.034424       0.0405016       0.161741\r
 169 5200.000000     75.000000       18.643562       81.835701       0.0378464       0.153195\r
 170 5300.000000     75.000000       18.212492       81.622375       0.0349456       0.143269\r
 171 5400.000000     75.000000       17.796623       81.406616       0.0359209       0.149842\r
 172 5500.000000     75.000000       17.417713       81.185165       0.0330993       0.139834\r
 173 5600.000000     75.000000       17.036896       81.000244       0.0291278       0.124797\r
 174 5700.000000     75.000000       16.68844        80.796059       0.0332943       0.149419\r
 175 5800.000000     75.000000       16.347364       80.597244       0.0277069       0.125854\r
 176 5900.000000     75.000000       16.032211       80.433083       0.0288306       0.132471\r
 177 6000.000000     75.000000       15.72661        80.226677       0.0255337       0.119002\r
 178 6100.000000     75.000000       15.431907       80.068192       0.0241993       0.114187\r
 179 6200.000000     75.000000       15.146017       79.870956       0.0215236       0.1058\r
 180 6300.000000     75.000000       14.874742       79.689819       0.0260594       0.129493\r
 181 6400.000000     75.000000       14.618031       79.499199       0.0243039       0.122578\r
 182 6500.000000     75.000000       14.366498       79.305145       0.023371        0.119118\r
 183 6600.000000     75.000000       14.133286       79.10479        0.0208244       0.10736\r
 184 6700.000000     75.000000       13.897146       78.926468       0.0166573       0.0867814\r
 185 6800.000000     75.000000       13.666899       78.775871       0.021524        0.116286\r
 186 6900.000000     75.000000       13.454371       78.56749        0.0201939       0.110731\r
 187 7000.000000     75.000000       13.243559       78.410477       0.0170449       0.0943933\r
 188 7100.000000     75.000000       13.04803        78.246246       0.0186625       0.10432\r
 189 7200.000000     75.000000       12.848892       78.075768       0.0155133       0.0877086\r
 190 7300.000000     75.000000       12.656706       77.864067       0.0167616       0.095731\r
 191 7400.000000     75.000000       12.479704       77.702942       0.0189831       0.112406\r
 192 7500.000000     75.000000       12.304377       77.536224       0.0152799       0.0913777\r
 193 7600.000000     75.000000       12.132442       77.33667        0.0187339       0.113003\r
 194 7700.000000     75.000000       11.96738        77.162247       0.0145635       0.0886957\r
 195 7800.000000     75.000000       11.800897       77.019356       0.0141829       0.0871157\r
 196 7900.000000     75.000000       11.642787       76.815369       0.0130541       0.0809752\r
 197 8000.000000     75.000000       11.493078       76.664589       0.0120955       0.0760432\r
 198 8100.000000     75.000000       11.326191       76.45723        0.0175471       0.112961\r
 199 8200.000000     75.000000       11.16056        76.219452       0.0147944       0.0972931\r
 200 8300.000000     75.000000       11.060984       76.143822       0.014916        0.0983857\r
 201 8400.000000     75.000000       10.912731       75.968437       0.0144762       0.096127\r
 202 8500.000000     75.000000       10.77387        75.77948        0.0186246       0.124112\r
 203 8600.000000     75.000000       10.660096       75.531662       0.0202373       0.136953\r
 204 8700.000000     75.000000       10.530028       75.475731       0.0187646       0.130887\r
 205 8800.000000     75.000000       10.397212       75.243889       0.0144875       0.102672\r
 206 8900.000000     75.000000       10.297494       75.108772       0.0144196       0.10277\r
 207 9000.000000     75.000000       10.184095       74.950447       0.0153325       0.110128\r
 208 9100.000000     75.000000       10.068949       74.765297       0.0135673       0.098328\r
 209 9200.000000     75.000000       9.9610043       74.582405       0.0128321       0.0938387\r
 210 9300.000000     75.000000       9.8451319       74.366646       0.0133742       0.0986784\r
 211 9400.000000     75.000000       9.7346544       74.191742       0.0158566       0.119899\r
 212 9500.000000     75.000000       9.6325102       73.996613       0.0155369       0.118262\r
 213 9600.000000     75.000000       9.5410604       73.8489 0.0139647       0.107008\r
 214 9700.000000     75.000000       9.4388571       73.659615       0.0134913       0.104248\r
 215 9800.000000     75.000000       9.3398046       73.47641        0.0136645       0.106491\r
 216 9900.000000     75.000000       9.2423477       73.278404       0.0123189       0.0967789\r
 217 10000.000000    75.000000       9.1675587       73.165115       0.0128433       0.101288\r
 218 dpolE   3000.000000     65.000000       0.826502        2.26212\r
 219 dpolE   3100.000000     65.000000       1.01513 2.06115\r
 220 dpolE   3200.000000     65.000000       0.452122        2.13284\r
 221 dpolE   3300.000000     65.000000       0.512588        2.01129\r
 222 dpolE   3400.000000     65.000000       0.519395        1.58891\r
 223 dpolE   3500.000000     65.000000       0.659812        1.50719\r
 224 dpolE   3600.000000     65.000000       0.448836        1.63778\r
 225 dpolE   3700.000000     65.000000       0.598494        1.25315\r
 226 dpolE   3800.000000     65.000000       0.262624        1.17013\r
 227 dpolE   3900.000000     65.000000       0.291443        0.986032\r
 228 dpolE   4000.000000     65.000000       0.109481        0.975801\r
 229 dpolE   4100.000000     65.000000       0.2644  0.943777\r
 230 dpolE   4200.000000     65.000000       0.21948 0.856878\r
 231 dpolE   4300.000000     65.000000       0.134322        0.766939\r
 232 dpolE   4400.000000     65.000000       0.144718        0.751015\r
 233 dpolE   4500.000000     65.000000       0.143077        0.664778\r
 234 dpolE   4600.000000     65.000000       0.0954908       0.674315\r
 235 dpolE   4700.000000     65.000000       0.1007  0.604562\r
 236 dpolE   4800.000000     65.000000       0.131998        0.585763\r
 237 dpolE   4900.000000     65.000000       0.0936994       0.537896\r
 238 dpolE   5000.000000     65.000000       0.0662896       0.479636\r
 239 dpolE   5100.000000     65.000000       0.0680304       0.501077\r
 240 dpolE   5200.000000     65.000000       0.0742636       0.487869\r
 241 dpolE   5300.000000     65.000000       0.090569        0.454643\r
 242 dpolE   5400.000000     65.000000       0.0648481       0.414133\r
 243 dpolE   5500.000000     65.000000       0.0732082       0.38778\r
 244 dpolE   5600.000000     65.000000       0.0506478       0.361099\r
 245 dpolE   5700.000000     65.000000       0.0414228       0.364553\r
 246 dpolE   5800.000000     65.000000       0.0557258       0.363495\r
 247 dpolE   5900.000000     65.000000       0.0655338       0.334853\r
 248 dpolE   6000.000000     65.000000       0.0648943       0.295668\r
 249 dpolE   6100.000000     65.000000       0.0280737       0.275787\r
 250 dpolE   6200.000000     65.000000       0.0387677       0.254728\r
 251 dpolE   6300.000000     65.000000       0.0275843       0.288604\r
 252 dpolE   6400.000000     65.000000       0.0436191       0.286483\r
 253 dpolE   6500.000000     65.000000       0.029611        0.237095\r
 254 dpolE   6600.000000     65.000000       0.0199789       0.219422\r
 255 dpolE   6700.000000     65.000000       0.0445245       0.227501\r
 256 dpolE   6800.000000     65.000000       0.0154289       0.218658\r
 257 dpolE   6900.000000     65.000000       0.00535571      0.199614\r
 258 dpolE   7000.000000     65.000000       0.00499674      0.190239\r
 259 dpolE   7100.000000     65.000000       0.0215347       0.180728\r
 260 dpolE   7200.000000     65.000000       0.0549735       0.149816\r
 261 dpolE   7300.000000     65.000000       0.0116675       0.159743\r
 262 dpolE   7400.000000     65.000000       0.00406972      0.166867\r
 263 dpolE   7500.000000     65.000000       0.0188837       0.144678\r
 264 dpolE   7600.000000     65.000000       0.00015972      0.135436\r
 265 dpolE   7700.000000     65.000000       0.029132        0.131218\r
 266 dpolE   7800.000000     65.000000       0.0240638       0.129392\r
 267 dpolE   7900.000000     65.000000       0.0185087       0.12845\r
 268 dpolE   8000.000000     65.000000       0.0236131       0.15471\r
 269 dpolE   8100.000000     65.000000       0.013131        0.148897\r
 270 dpolE   8200.000000     65.000000       0.0176559       0.152258\r
 271 dpolE   8300.000000     65.000000       0.033913        0.134423\r
 272 dpolE   8400.000000     65.000000       0.0418253       0.122438\r
 273 dpolE   8500.000000     65.000000       0.039391        0.171518\r
 274 dpolE   8600.000000     65.000000       0.05579 0.118933\r
 275 dpolE   8700.000000     65.000000       0.0251182       0.115071\r
 276 dpolE   8800.000000     65.000000       0.0326293       0.120736\r
 277 dpolE   8900.000000     65.000000       0.0383211       0.105689\r
 278 dpolE   9000.000000     65.000000       0.0396685       0.093845\r
 279 dpolE   9100.000000     65.000000       0.0550635       0.116014\r
 280 dpolE   9200.000000     65.000000       0.0277742       0.102561\r
 281 dpolE   9300.000000     65.000000       0.0300046       0.0940429\r
 282 dpolE   9400.000000     65.000000       0.0294022       0.0955277\r
 283 dpolE   9500.000000     65.000000       0.0312202       0.0888037\r
 284 dpolE   9600.000000     65.000000       0.0401561       0.082908\r
 285 dpolE   9700.000000     65.000000       0.0420563       0.0953423\r
 286 dpolE   9800.000000     65.000000       0.0176867       0.0950599\r
 287 dpolE   9900.000000     65.000000       0.0352007       0.0888301\r
 288 dpolE   10000.000000    65.000000       0.0482394       0.0801325\r
 289 dpolE   3000.000000     70.000000       1.70279 2.95521\r
 290 dpolE   3100.000000     70.000000       -0.612439       2.75798\r
 291 dpolE   3200.000000     70.000000       1.18303 1.95232\r
 292 dpolE   3300.000000     70.000000       0.27561 1.6157\r
 293 dpolE   3400.000000     70.000000       0.496784        1.59094\r
 294 dpolE   3500.000000     70.000000       0.490847        1.60469\r
 295 dpolE   3600.000000     70.000000       0.42576 1.47936\r
 296 dpolE   3700.000000     70.000000       0.458123        1.1696\r
 297 dpolE   3800.000000     70.000000       0.197705        1.11029\r
 298 dpolE   3900.000000     70.000000       0.420318        1.05215\r
 299 dpolE   4000.000000     70.000000       0.297544        0.926039\r
 300 dpolE   4100.000000     70.000000       0.320708        0.869233\r
 301 dpolE   4200.000000     70.000000       0.273441        0.862288\r
 302 dpolE   4300.000000     70.000000       0.268049        0.782506\r
 303 dpolE   4400.000000     70.000000       0.212597        0.716337\r
 304 dpolE   4500.000000     70.000000       0.169535        0.693528\r
 305 dpolE   4600.000000     70.000000       0.18375 0.598124\r
 306 dpolE   4700.000000     70.000000       0.167138        0.601856\r
 307 dpolE   4800.000000     70.000000       0.128795        0.54336\r
 308 dpolE   4900.000000     70.000000       0.11091 0.50836\r
 309 dpolE   5000.000000     70.000000       0.105684        0.483894\r
 310 dpolE   5100.000000     70.000000       0.0985929       0.442677\r
 311 dpolE   5200.000000     70.000000       0.0903202       0.412542\r
 312 dpolE   5300.000000     70.000000       0.0914929       0.390918\r
 313 dpolE   5400.000000     70.000000       0.0763556       0.394309\r
 314 dpolE   5500.000000     70.000000       0.0952927       0.350105\r
 315 dpolE   5600.000000     70.000000       0.0851157       0.32557\r
 316 dpolE   5700.000000     70.000000       0.0502785       0.324191\r
 317 dpolE   5800.000000     70.000000       0.0524304       0.288329\r
 318 dpolE   5900.000000     70.000000       0.0634207       0.277697\r
 319 dpolE   6000.000000     70.000000       0.0615635       0.258336\r
 320 dpolE   6100.000000     70.000000       0.027504        0.259014\r
 321 dpolE   6200.000000     70.000000       0.0393055       0.203522\r
 322 dpolE   6300.000000     70.000000       0.0329546       0.216514\r
 323 dpolE   6400.000000     70.000000       0.0439464       0.192755\r
 324 dpolE   6500.000000     70.000000       0.014255        0.220998\r
 325 dpolE   6600.000000     70.000000       0.0395622       0.18256\r
 326 dpolE   6700.000000     70.000000       0.0248613       0.17461\r
 327 dpolE   6800.000000     70.000000       -0.00447615     0.163255\r
 328 dpolE   6900.000000     70.000000       0.0310334       0.163469\r
 329 dpolE   7000.000000     70.000000       0.0193176       0.169186\r
 330 dpolE   7100.000000     70.000000       0.026506        0.153331\r
 331 dpolE   7200.000000     70.000000       0.0169586       0.151927\r
 332 dpolE   7300.000000     70.000000       0.0337611       0.123072\r
 333 dpolE   7400.000000     70.000000       -0.00196607     0.131315\r
 334 dpolE   7500.000000     70.000000       0.0115  0.0780116\r
 335 dpolE   7600.000000     70.000000       -0.00315458     0.120611\r
 336 dpolE   7700.000000     70.000000       -0.0101998      0.0937968\r
 337 dpolE   7800.000000     70.000000       -0.00442489     0.113292\r
 338 dpolE   7900.000000     70.000000       0.0191694       0.0967493\r
 339 dpolE   8000.000000     70.000000       0.0416202       0.0901722\r
 340 dpolE   8100.000000     70.000000       -0.00239892     0.112941\r
 341 dpolE   8200.000000     70.000000       0.0693801       0.12256\r
 342 dpolE   8300.000000     70.000000       -0.00920042     0.112964\r
 343 dpolE   8400.000000     70.000000       -0.0137171      0.132379\r
 344 dpolE   8500.000000     70.000000       0.00828678      0.132549\r
 345 dpolE   8600.000000     70.000000       0.0669751       0.10742\r
 346 dpolE   8700.000000     70.000000       -0.0058812      0.0945132\r
 347 dpolE   8800.000000     70.000000       0.00881958      0.0884584\r
 348 dpolE   8900.000000     70.000000       -0.00162058     0.0798094\r
 349 dpolE   9000.000000     70.000000       -0.00305506     0.0726263\r
 350 dpolE   9100.000000     70.000000       -0.00679922     0.0619275\r
 351 dpolE   9200.000000     70.000000       -0.0165118      0.0728236\r
 352 dpolE   9300.000000     70.000000       -0.0152953      0.0752064\r
 353 dpolE   9400.000000     70.000000       -0.0176024      0.0732289\r
 354 dpolE   9500.000000     70.000000       -0.00919154     0.0725182\r
 355 dpolE   9600.000000     70.000000       -0.00158585     0.06852\r
 356 dpolE   9700.000000     70.000000       0.0139808       0.0630356\r
 357 dpolE   9800.000000     70.000000       -0.000159432    0.0684123\r
 358 dpolE   9900.000000     70.000000       0.0108108       0.0661236\r
 359 dpolE   10000.000000    70.000000       -0.0242606      0.0566428\r
 360 dpolE   3000.000000     75.000000       0.789816        5.14328\r
 361 dpolE   3100.000000     75.000000       0.528562        2.47576\r
 362 dpolE   3200.000000     75.000000       0.48593 1.99316\r
 363 dpolE   3300.000000     75.000000       0.510591        1.82982\r
 364 dpolE   3400.000000     75.000000       0.714773        1.77095\r
 365 dpolE   3500.000000     75.000000       0.711263        2.02984\r
 366 dpolE   3600.000000     75.000000       0.486928        1.54962\r
 367 dpolE   3700.000000     75.000000       0.409248        1.1872\r
 368 dpolE   3800.000000     75.000000       0.632926        1.01846\r
 369 dpolE   3900.000000     75.000000       0.395287        0.956139\r
 370 dpolE   4000.000000     75.000000       0.276802        0.877813\r
 371 dpolE   4100.000000     75.000000       0.292569        0.767489\r
 372 dpolE   4200.000000     75.000000       0.309923        0.650812\r
 373 dpolE   4300.000000     75.000000       0.271148        0.673134\r
 374 dpolE   4400.000000     75.000000       0.260307        0.61161\r
 375 dpolE   4500.000000     75.000000       0.159002        0.616192\r
 376 dpolE   4600.000000     75.000000       0.170665        0.467679\r
 377 dpolE   4700.000000     75.000000       0.150721        0.442486\r
 378 dpolE   4800.000000     75.000000       0.249501        0.4475\r
 379 dpolE   4900.000000     75.000000       0.148108        0.407655\r
 380 dpolE   5000.000000     75.000000       0.117464        0.367947\r
 381 dpolE   5100.000000     75.000000       0.0801695       0.304582\r
 382 dpolE   5200.000000     75.000000       0.0972168       0.282975\r
 383 dpolE   5300.000000     75.000000       0.10964 0.259827\r
 384 dpolE   5400.000000     75.000000       0.0722268       0.266656\r
 385 dpolE   5500.000000     75.000000       0.0365118       0.244872\r
 386 dpolE   5600.000000     75.000000       0.0607605       0.214305\r
 387 dpolE   5700.000000     75.000000       0.0541972       0.224571\r
 388 dpolE   5800.000000     75.000000       0.0350277       0.186091\r
 389 dpolE   5900.000000     75.000000       0.0384696       0.192856\r
 390 dpolE   6000.000000     75.000000       -0.0138215      0.17068\r
 391 dpolE   6100.000000     75.000000       -0.0187004      0.161188\r
 392 dpolE   6200.000000     75.000000       0.0106867       0.131643\r
 393 dpolE   6300.000000     75.000000       0.0363437       0.158616\r
 394 dpolE   6400.000000     75.000000       0.0364772       0.147846\r
 395 dpolE   6500.000000     75.000000       -0.00966218     0.141803\r
 396 dpolE   6600.000000     75.000000       0.0216687       0.125888\r
 397 dpolE   6700.000000     75.000000       -0.0150307      0.100383\r
 398 dpolE   6800.000000     75.000000       0.000518199     0.119635\r
 399 dpolE   6900.000000     75.000000       -0.00237482     0.112277\r
 400 dpolE   7000.000000     75.000000       -0.0208956      0.0945145\r
 401 dpolE   7100.000000     75.000000       -0.0405233      0.103252\r
 402 dpolE   7200.000000     75.000000       -0.00616365     0.0854381\r
 403 dpolE   7300.000000     75.000000       -0.0190286      0.0920096\r
 404 dpolE   7400.000000     75.000000       -0.0362139      0.0970514\r
 405 dpolE   7500.000000     75.000000       -0.016951       0.0778627\r
 406 dpolE   7600.000000     75.000000       -0.0433767      0.0952642\r
 407 dpolE   7700.000000     75.000000       -0.0263037      0.0738186\r
 408 dpolE   7800.000000     75.000000       -0.0231853      0.0717349\r
 409 dpolE   7900.000000     75.000000       -0.0348382      0.065769\r
 410 dpolE   8000.000000     75.000000       -0.0294563      0.0610636\r
 411 dpolE   8100.000000     75.000000       0.0140791       0.0828947\r
 412 dpolE   8200.000000     75.000000       0.038737        0.0687601\r
 413 dpolE   8300.000000     75.000000       -0.0380954      0.0695364\r
 414 dpolE   8400.000000     75.000000       -0.0130261      0.0673782\r
 415 dpolE   8500.000000     75.000000       -0.0433014      0.0868714\r
 416 dpolE   8600.000000     75.000000       -0.0125382      0.0945659\r
 417 dpolE   8700.000000     75.000000       -0.0393688      0.0816704\r
 418 dpolE   8800.000000     75.000000       -0.0476614      0.062456\r
 419 dpolE   8900.000000     75.000000       -0.0626994      0.0621736\r
 420 dpolE   9000.000000     75.000000       -0.079934       0.065981\r
 421 dpolE   9100.000000     75.000000       -0.0682644      0.0581972\r
 422 dpolE   9200.000000     75.000000       -0.065251       0.0548747\r
 423 dpolE   9300.000000     75.000000       -0.0549496      0.0570029\r
 424 dpolE   9400.000000     75.000000       -0.057195       0.063249\r
 425 dpolE   9500.000000     75.000000       -0.0728675      0.0618259\r
 426 dpolE   9600.000000     75.000000       -0.0476719      0.0554386\r
 427 dpolE   9700.000000     75.000000       -0.0390049      0.053338\r
 428 dpolE   9800.000000     75.000000       -0.0404725      0.0537981\r
 429 dpolE   9900.000000     75.000000       -0.0329047      0.0483149\r
 430 dpolE   10000.000000    75.000000       -0.0560879      0.0504004