2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Mar 20 20:15:14 2009]
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3 Original[200309- ps 5b888-22 align in.dat]
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123 1480.000000 65.000000 24.472443 88.733879 0.0845208 0.315187
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124 1490.000000 65.000000 23.75268 91.461632 0.0847296 0.322831
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\r
232 1360.000000 70.000000 31.443247 15.943181 0.0896226 0.767068
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\r
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\r
236 1400.000000 70.000000 30.323549 44.981441 0.107342 0.556239
\r
237 1410.000000 70.000000 29.68111 48.467419 0.095126 0.444608
\r
238 1420.000000 70.000000 28.987106 51.272881 0.0926825 0.414138
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239 1430.000000 70.000000 28.235146 53.958706 0.098939 0.422104
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240 1440.000000 70.000000 27.407555 56.422054 0.0876777 0.36229
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241 1450.000000 70.000000 26.461075 58.93243 0.0940191 0.379465
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242 1460.000000 70.000000 25.433411 61.341614 0.0867534 0.34724
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324 1070.000000 75.000000 35.957375 14.365551 0.0491735 0.219143
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326 1090.000000 75.000000 33.1964 25.31926 0.0618277 0.259033
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331 1140.000000 75.000000 24.265802 37.336983 0.0691326 0.324354
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336 1190.000000 75.000000 14.927286 13.593173 0.0717508 0.617467
\r
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\r
338 1210.000000 75.000000 15.100263 -12.317531 0.0515127 0.443431
\r
339 1220.000000 75.000000 16.472145 -22.398197 0.0426221 0.318427
\r
340 1230.000000 75.000000 18.479134 -29.237755 0.0490454 0.314
\r
341 1240.000000 75.000000 20.921572 -33.037552 0.0510028 0.271487
\r
342 1250.000000 75.000000 23.538101 -34.225914 0.0654646 0.315807
\r
343 1260.000000 75.000000 26.202339 -33.679268 0.0530182 0.240913
\r
344 1270.000000 75.000000 28.577435 -32.088253 0.0597535 0.265561
\r
345 1280.000000 75.000000 30.899403 -28.928276 0.0724928 0.319575
\r
346 1290.000000 75.000000 32.820305 -24.923283 0.067937 0.305309
\r
347 1300.000000 75.000000 34.259819 -19.767933 0.0555696 0.259463
\r
348 1310.000000 75.000000 35.315544 -13.903363 0.0645059 0.314167
\r
349 1320.000000 75.000000 35.956825 -7.2150393 0.076583 0.365406
\r
350 1330.000000 75.000000 36.254337 -0.55641419 0.0814064 0.395613
\r
351 1340.000000 75.000000 36.198986 5.9279947 0.0837494 0.407922
\r
352 1350.000000 75.000000 35.905926 11.862541 0.075612 0.36412
\r
353 1360.000000 75.000000 35.421169 16.928846 0.0864908 0.408678
\r
354 1370.000000 75.000000 34.875404 21.418919 0.0836981 0.386511
\r
355 1380.000000 75.000000 34.23193 25.069267 0.0742534 0.333085
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356 1390.000000 75.000000 33.526459 28.219156 0.0699055 0.305748
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357 1400.000000 75.000000 32.735386 30.811607 0.0845035 0.363155
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358 1410.000000 75.000000 31.874685 33.229298 0.0868902 0.35375
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446 1080.000000 80.000000 35.55497 16.156549 0.0488472 0.19653
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449 1110.000000 80.000000 31.567686 18.401808 0.0639321 0.263324
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450 1120.000000 80.000000 30.260115 17.718327 0.0475295 0.203121
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452 1140.000000 80.000000 27.668772 13.456375 0.044063 0.205499
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453 1150.000000 80.000000 26.742847 9.7256737 0.0615009 0.299873
\r
454 1160.000000 80.000000 26.178526 5.2998662 0.06166 0.292252
\r
455 1170.000000 80.000000 26.086651 0.43213895 0.0521206 0.25045
\r
456 1180.000000 80.000000 26.384102 -4.021719 0.0543506 0.260284
\r
457 1190.000000 80.000000 27.098604 -8.272603 0.0473341 0.22137
\r
458 1200.000000 80.000000 28.19696 -11.59839 0.0499297 0.224935
\r
459 1210.000000 80.000000 29.534874 -14.145467 0.0559461 0.24414
\r
460 1220.000000 80.000000 31.085217 -15.597555 0.0560446 0.236223
\r
461 1230.000000 80.000000 32.7598 -16.109554 0.0357926 0.146723
\r
462 1240.000000 80.000000 34.47438 -15.65233 0.0598954 0.228076
\r
463 1250.000000 80.000000 36.114456 -14.340208 0.0491373 0.185113
\r
464 1260.000000 80.000000 37.562855 -12.402714 0.0600811 0.225832
\r
465 1270.000000 80.000000 38.673611 -9.9087334 0.0612213 0.231602
\r
466 1280.000000 80.000000 39.531521 -6.9320655 0.0648935 0.247261
\r
467 1290.000000 80.000000 40.126854 -3.6060493 0.061382 0.235718
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468 1300.000000 80.000000 40.339077 -0.53452992 0.0626772 0.243867
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470 1320.000000 80.000000 40.031399 5.524302 0.0618539 0.232493
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471 1330.000000 80.000000 39.612484 8.1738367 0.0696762 0.264088
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566 1070.000000 85.000000 39.256157 6.6273212 0.0629993 0.235289
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570 1110.000000 85.000000 36.984829 5.1158147 0.0696633 0.260235
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\r
577 1180.000000 85.000000 37.548191 -3.7491274 0.0662342 0.245396
\r
578 1190.000000 85.000000 38.113056 -4.5003457 0.0687229 0.254543
\r
579 1200.000000 85.000000 38.753807 -4.8557673 0.054963 0.203825
\r
580 1210.000000 85.000000 39.376595 -5.0291014 0.0623932 0.231337
\r
581 1220.000000 85.000000 40.033432 -4.7934127 0.0631467 0.23471
\r
582 1230.000000 85.000000 40.64743 -4.2786126 0.0594101 0.221378
\r
583 1240.000000 85.000000 41.151825 -3.4966047 0.0607702 0.214956
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