research/ellipsometry/WVASE32/DAT/2009.02.03.cw.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=100, MaxRevs=200, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.632, HardVer=6.256, Tue Feb 03 10:08:45 2009]\r
   3 Original[2009.02.03.cw.dat]\r
   4 nm\r
   5 300.000000      65.000000       38.048607       106.29185       0.102306        0.260084\r
   6 305.000000      65.000000       37.417381       106.82485       0.0832626       0.214937\r
   7 310.000000      65.000000       36.871815       107.23515       0.0787868       0.200062\r
   8 315.000000      65.000000       36.445431       107.85941       0.0804941       0.211117\r
   9 320.000000      65.000000       36.098518       108.36201       0.0785604       0.204168\r
  10 325.000000      65.000000       35.747128       109.11726       0.081774        0.218598\r
  11 330.000000      65.000000       35.515572       109.82837       0.0784149       0.208446\r
  12 335.000000      65.000000       35.270699       110.6148        0.0726309       0.193515\r
  13 340.000000      65.000000       35.055256       111.4091        0.065912        0.176366\r
  14 345.000000      65.000000       34.87109        112.2396        0.0693448       0.186788\r
  15 350.000000      65.000000       34.826488       113.27039       0.0614578       0.167164\r
  16 355.000000      65.000000       34.904419       114.59243       0.0643017       0.176431\r
  17 360.000000      65.000000       35.009472       116.34122       0.062289        0.173087\r
  18 365.000000      65.000000       34.928654       118.8698        0.0631674       0.179304\r
  19 370.000000      65.000000       34.386272       121.5397        0.0555501       0.157584\r
  20 375.000000      65.000000       33.58194        123.70255       0.0510154       0.148275\r
  21 380.000000      65.000000       32.561378       125.21679       0.0570619       0.169908\r
  22 385.000000      65.000000       31.642044       126.1948        0.0572013       0.174646\r
  23 390.000000      65.000000       30.859781       126.87032       0.0506268       0.157827\r
  24 395.000000      65.000000       30.18973        127.40091       0.0519837       0.165524\r
  25 400.000000      65.000000       29.553347       127.85464       0.0482877       0.156339\r
  26 405.000000      65.000000       29.00913        128.37228       0.0500369       0.166217\r
  27 410.000000      65.000000       28.50573        128.76514       0.0548331       0.176167\r
  28 415.000000      65.000000       28.036959       129.1552        0.0546498       0.177706\r
  29 420.000000      65.000000       27.603115       129.55743       0.0461178       0.15329\r
  30 425.000000      65.000000       27.218693       129.83026       0.0462156       0.155806\r
  31 430.000000      65.000000       26.856325       130.17224       0.047022        0.16098\r
  32 435.000000      65.000000       26.506283       130.59515       0.0445469       0.155165\r
  33 440.000000      65.000000       26.172878       130.83797       0.035755        0.126529\r
  34 445.000000      65.000000       25.872665       131.07707       0.0446806       0.160546\r
  35 450.000000      65.000000       25.567642       131.51074       0.0367237       0.133175\r
  36 455.000000      65.000000       25.292152       131.86713       0.0413985       0.153639\r
  37 460.000000      65.000000       25.01914        132.12611       0.040563        0.142042\r
  38 465.000000      65.000000       24.751989       132.45488       0.0374457       0.132933\r
  39 470.000000      65.000000       24.511362       132.79977       0.038266        0.141342\r
  40 475.000000      65.000000       24.279984       133.1124        0.0388143       0.143595\r
  41 480.000000      65.000000       24.052761       133.4045        0.0418192       0.155241\r
  42 485.000000      65.000000       23.838606       133.75525       0.035997        0.137172\r
  43 490.000000      65.000000       23.648434       134.0421        0.0443279       0.169737\r
  44 495.000000      65.000000       23.423212       134.27174       0.03474 0.13814\r
  45 500.000000      65.000000       23.241005       134.56544       0.0380129       0.151008\r
  46 505.000000      65.000000       23.0571 134.81464       0.029469        0.120256\r
  47 510.000000      65.000000       22.880659       135.11987       0.0303916       0.118663\r
  48 515.000000      65.000000       22.695366       135.44521       0.0354322       0.139909\r
  49 520.000000      65.000000       22.522146       135.70044       0.0355649       0.142864\r
  50 525.000000      65.000000       22.346304       136.03548       0.0327632       0.132948\r
  51 530.000000      65.000000       22.222569       136.33002       0.0334338       0.137612\r
  52 535.000000      65.000000       22.056498       136.57814       0.0367752       0.153056\r
  53 540.000000      65.000000       21.904476       136.85204       0.0338947       0.143151\r
  54 545.000000      65.000000       21.767504       137.06778       0.0311754       0.132995\r
  55 550.000000      65.000000       21.643763       137.36035       0.0286399       0.123959\r
  56 555.000000      65.000000       21.515623       137.55574       0.0317923       0.139416\r
  57 560.000000      65.000000       21.385302       137.83008       0.0255714       0.113476\r
  58 565.000000      65.000000       21.247421       138.12907       0.0227861       0.0964806\r
  59 570.000000      65.000000       21.139566       138.38205       0.0244624       0.104991\r
  60 575.000000      65.000000       21.003469       138.69577       0.0302462       0.13092\r
  61 580.000000      65.000000       20.887259       138.92734       0.03227 0.141744\r
  62 585.000000      65.000000       20.78153        139.14474       0.0271541       0.120481\r
  63 590.000000      65.000000       20.667953       139.3353        0.032426        0.143865\r
  64 595.000000      65.000000       20.576363       139.69852       0.0296626       0.131904\r
  65 600.000000      65.000000       20.467134       139.93784       0.0295711       0.132975\r
  66 605.000000      65.000000       20.369513       140.10545       0.0233345       0.105869\r
  67 610.000000      65.000000       20.26404        140.32365       0.0240363       0.111525\r
  68 615.000000      65.000000       20.179554       140.5748        0.0292096       0.135931\r
  69 620.000000      65.000000       20.090639       140.76822       0.0286123       0.126704\r
  70 625.000000      65.000000       19.989403       141.05598       0.0323401       0.143923\r
  71 630.000000      65.000000       19.90307        141.27406       0.0307555       0.139559\r
  72 635.000000      65.000000       19.812855       141.50258       0.032356        0.146972\r
  73 640.000000      65.000000       19.735558       141.7428        0.0288553       0.132948\r
  74 645.000000      65.000000       19.648649       141.94475       0.0285597       0.133828\r
  75 650.000000      65.000000       19.567091       142.1687        0.022864        0.108803\r
  76 655.000000      65.000000       19.479441       142.36581       0.0264604       0.127547\r
  77 660.000000      65.000000       19.423075       142.59657       0.0212317       0.104056\r
  78 665.000000      65.000000       19.350222       142.74179       0.0252694       0.124951\r
  79 670.000000      65.000000       19.265947       143.00835       0.023537        0.117976\r
  80 675.000000      65.000000       19.20248        143.22736       0.0219001       0.104035\r
  81 680.000000      65.000000       19.138603       143.40154       0.0234005       0.112023\r
  82 685.000000      65.000000       19.068121       143.68698       0.0256123       0.123852\r
  83 690.000000      65.000000       19.011255       143.91666       0.0234346       0.114395\r
  84 695.000000      65.000000       18.933426       144.036 0.0228464       0.112484\r
  85 700.000000      65.000000       18.870653       144.23212       0.0260526       0.129493\r
  86 705.000000      65.000000       18.817354       144.44525       0.0315586       0.15848\r
  87 710.000000      65.000000       18.759418       144.63736       0.0232536       0.117463\r
  88 715.000000      65.000000       18.694853       144.82207       0.0292353       0.149293\r
  89 720.000000      65.000000       18.627573       145.00856       0.0250856       0.129661\r
  90 725.000000      65.000000       18.570311       145.1512        0.0217996       0.113325\r
  91 730.000000      65.000000       18.513861       145.37294       0.0262352       0.138007\r
  92 735.000000      65.000000       18.466673       145.62473       0.0275066       0.146159\r
  93 740.000000      65.000000       18.411032       145.77551       0.0268352       0.135044\r
  94 745.000000      65.000000       18.365801       145.90691       0.0296516       0.150436\r
  95 750.000000      65.000000       18.301407       146.11856       0.0263946       0.1355\r
  96 755.000000      65.000000       18.249777       146.22366       0.0242701       0.125352\r
  97 760.000000      65.000000       18.213287       146.48045       0.0260458       0.135828\r
  98 765.000000      65.000000       18.170935       146.66112       0.0275482       0.144805\r
  99 770.000000      65.000000       18.109118       146.87703       0.0221215       0.117283\r
 100 775.000000      65.000000       18.07332        147.02068       0.0223703       0.119691\r
 101 780.000000      65.000000       18.035357       147.22008       0.0274334       0.148368\r
 102 785.000000      65.000000       17.967974       147.33768       0.0259356       0.141284\r
 103 790.000000      65.000000       17.936567       147.54126       0.0216618       0.118769\r
 104 795.000000      65.000000       17.885052       147.70563       0.0306491       0.170163\r
 105 800.000000      65.000000       17.872263       147.76797       0.0355136       0.197689\r
 106 805.000000      65.000000       17.814077       147.91995       0.0285417       0.149984\r
 107 300.000000      70.000000       37.825718       89.442375       0.155745        0.385207\r
 108 305.000000      70.000000       36.986012       89.829201       0.160496        0.402371\r
 109 310.000000      70.000000       36.540138       90.493233       0.094129        0.231997\r
 110 315.000000      70.000000       36.087013       90.945511       0.110857        0.27233\r
 111 320.000000      70.000000       35.676743       91.315544       0.072298        0.162789\r
 112 325.000000      70.000000       35.349133       92.019028       0.0915452       0.236173\r
 113 330.000000      70.000000       35.04467        92.739479       0.0850255       0.218671\r
 114 dpolE   300.000000      65.000000       0.681752        1.26327\r
 115 dpolE   305.000000      65.000000       0.799869        1.0333\r
 116 dpolE   310.000000      65.000000       0.568006        0.997955\r
 117 dpolE   315.000000      65.000000       1.02918 0.996753\r
 118 dpolE   320.000000      65.000000       0.64513 0.993686\r
 119 dpolE   325.000000      65.000000       0.562274        0.940767\r
 120 dpolE   330.000000      65.000000       0.62291 0.912609\r
 121 dpolE   335.000000      65.000000       0.366325        0.853024\r
 122 dpolE   340.000000      65.000000       0.153728        0.78008\r
 123 dpolE   345.000000      65.000000       0.400257        0.825222\r
 124 dpolE   350.000000      65.000000       0.359889        0.73491\r
 125 dpolE   355.000000      65.000000       0.593222        0.776651\r
 126 dpolE   360.000000      65.000000       0.380044        0.756847\r
 127 dpolE   365.000000      65.000000       0.678993        0.767676\r
 128 dpolE   370.000000      65.000000       0.281655        0.609138\r
 129 dpolE   375.000000      65.000000       0.37495 0.562395\r
 130 dpolE   380.000000      65.000000       0.178258        0.621045\r
 131 dpolE   385.000000      65.000000       0.318354        0.617009\r
 132 dpolE   390.000000      65.000000       0.212673        0.542518\r
 133 dpolE   395.000000      65.000000       0.151742        0.555254\r
 134 dpolE   400.000000      65.000000       0.112395        0.512197\r
 135 dpolE   405.000000      65.000000       0.321371        0.52883\r
 136 dpolE   410.000000      65.000000       0.109755        0.542048\r
 137 dpolE   415.000000      65.000000       0.112353        0.540427\r
 138 dpolE   420.000000      65.000000       0.277525        0.450808\r
 139 dpolE   425.000000      65.000000       0.0554518       0.450322\r
 140 dpolE   430.000000      65.000000       0.139027        0.458104\r
 141 dpolE   435.000000      65.000000       0.149349        0.432674\r
 142 dpolE   440.000000      65.000000       0.064559        0.344305\r
 143 dpolE   445.000000      65.000000       -0.0332535      0.429495\r
 144 dpolE   450.000000      65.000000       0.24257 0.357806\r
 145 dpolE   455.000000      65.000000       0.050327        0.395662\r
 146 dpolE   460.000000      65.000000       -0.0477586      0.37746\r
 147 dpolE   465.000000      65.000000       0.0382956       0.343841\r
 148 dpolE   470.000000      65.000000       -0.0385711      0.339672\r
 149 dpolE   475.000000      65.000000       0.0869315       0.348171\r
 150 dpolE   480.000000      65.000000       0.0687771       0.378364\r
 151 dpolE   485.000000      65.000000       0.128829        0.319502\r
 152 dpolE   490.000000      65.000000       0.137181        0.399907\r
 153 dpolE   495.000000      65.000000       0.0763326       0.303035\r
 154 dpolE   500.000000      65.000000       0.0289018       0.336067\r
 155 dpolE   505.000000      65.000000       0.0223231       0.256265\r
 156 dpolE   510.000000      65.000000       0.0714207       0.250773\r
 157 dpolE   515.000000      65.000000       -0.0191852      0.292138\r
 158 dpolE   520.000000      65.000000       -0.0132071      0.291484\r
 159 dpolE   525.000000      65.000000       0.00649786      0.268702\r
 160 dpolE   530.000000      65.000000       0.0386366       0.273207\r
 161 dpolE   535.000000      65.000000       0.0101569       0.299084\r
 162 dpolE   540.000000      65.000000       0.0273981       0.274451\r
 163 dpolE   545.000000      65.000000       -0.0208996      0.252165\r
 164 dpolE   550.000000      65.000000       0.0372182       0.23114\r
 165 dpolE   555.000000      65.000000       -0.0117199      0.255503\r
 166 dpolE   560.000000      65.000000       -0.0264263      0.205025\r
 167 dpolE   565.000000      65.000000       -0.0178355      0.174647\r
 168 dpolE   570.000000      65.000000       0.0415671       0.187263\r
 169 dpolE   575.000000      65.000000       0.0119103       0.230369\r
 170 dpolE   580.000000      65.000000       0.043359        0.244047\r
 171 dpolE   585.000000      65.000000       0.0558479       0.205338\r
 172 dpolE   590.000000      65.000000       0.00252762      0.248298\r
 173 dpolE   595.000000      65.000000       0.00109161      0.228866\r
 174 dpolE   600.000000      65.000000       0.112149        0.229104\r
 175 dpolE   605.000000      65.000000       -0.021565       0.180965\r
 176 dpolE   610.000000      65.000000       0.0219444       0.182563\r
 177 dpolE   615.000000      65.000000       0.0727056       0.224419\r
 178 dpolE   620.000000      65.000000       -0.0241621      0.211057\r
 179 dpolE   625.000000      65.000000       -0.0107861      0.240373\r
 180 dpolE   630.000000      65.000000       0.00347377      0.223027\r
 181 dpolE   635.000000      65.000000       0.0123719       0.239093\r
 182 dpolE   640.000000      65.000000       0.0224072       0.20879\r
 183 dpolE   645.000000      65.000000       -0.0188798      0.205699\r
 184 dpolE   650.000000      65.000000       -0.0291963      0.164337\r
 185 dpolE   655.000000      65.000000       -0.020054       0.186842\r
 186 dpolE   660.000000      65.000000       0.0270143       0.149599\r
 187 dpolE   665.000000      65.000000       0.00222163      0.17743\r
 188 dpolE   670.000000      65.000000       0.05306 0.164325\r
 189 dpolE   675.000000      65.000000       0.0247538       0.149028\r
 190 dpolE   680.000000      65.000000       -0.0161306      0.158988\r
 191 dpolE   685.000000      65.000000       0.0728624       0.173696\r
 192 dpolE   690.000000      65.000000       0.0808309       0.158281\r
 193 dpolE   695.000000      65.000000       0.024135        0.153466\r
 194 dpolE   700.000000      65.000000       0.00364372      0.174903\r
 195 dpolE   705.000000      65.000000       0.0603038       0.210957\r
 196 dpolE   710.000000      65.000000       -0.0073125      0.155459\r
 197 dpolE   715.000000      65.000000       0.0462676       0.194287\r
 198 dpolE   720.000000      65.000000       0.0311528       0.165966\r
 199 dpolE   725.000000      65.000000       -0.0546529      0.143873\r
 200 dpolE   730.000000      65.000000       -0.0301048      0.172697\r
 201 dpolE   735.000000      65.000000       0.0886314       0.181378\r
 202 dpolE   740.000000      65.000000       -0.097904       0.172849\r
 203 dpolE   745.000000      65.000000       -0.0322293      0.189931\r
 204 dpolE   750.000000      65.000000       -0.0106694      0.168773\r
 205 dpolE   755.000000      65.000000       -0.0291968      0.154595\r
 206 dpolE   760.000000      65.000000       0.00554545      0.165182\r
 207 dpolE   765.000000      65.000000       0.0428383       0.17473\r
 208 dpolE   770.000000      65.000000       -0.00855056     0.139399\r
 209 dpolE   775.000000      65.000000       0.00688277      0.140161\r
 210 dpolE   780.000000      65.000000       0.0381764       0.171155\r
 211 dpolE   785.000000      65.000000       -0.0401214      0.161399\r
 212 dpolE   790.000000      65.000000       0.00273906      0.134922\r
 213 dpolE   795.000000      65.000000       0.179789        0.190422\r
 214 dpolE   800.000000      65.000000       -0.0197313      0.219668\r
 215 dpolE   805.000000      65.000000       0.00679184      0.174884\r
 216 dpolE   300.000000      70.000000       0.506235        1.93071\r
 217 dpolE   305.000000      70.000000       2.99156 1.98677\r
 218 dpolE   310.000000      70.000000       0.348808        1.19723\r
 219 dpolE   315.000000      70.000000       -0.109619       1.42635\r
 220 dpolE   320.000000      70.000000       0.360733        1.41613\r
 221 dpolE   325.000000      70.000000       0.514366        1.06684\r
 222 dpolE   330.000000      70.000000       0.400554        1.00149