research/ellipsometry/WVASE32/DAT/2009.02.04.ps1.2.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=100, MaxRevs=200, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.632, HardVer=6.256, Wed Feb 04 17:53:57 2009]\r
   3 Original[2009.02.04.ps1.2.dat]\r
   4 nm\r
   5 980.000000      45.000000       41.571487       168.98195       2.50488 10.3588\r
   6 1475.000000     55.000000       35.38525        164.2146        3.74202 17.022\r
   7 885.000000      60.000000       33.885788       146.95258       1.40487 5.47193\r
   8 980.000000      60.000000       33.896297       143.71684       0.86867 3.18045\r
   9 985.000000      60.000000       33.880795       143.92688       1.63773 5.56191\r
  10 1485.000000     60.000000       38.220013       160.05177       3.96468 16.0013\r
  11 885.000000      65.000000       32.099506       130.6452        1.1967  4.2482\r
  12 995.000000      65.000000       31.276415       134.31642       0.974493        3.75051\r
  13 885.000000      70.000000       29.447079       103.63595       0.973174        3.61013\r
  14 980.000000      70.000000       28.23245        108.49057       0.63847 2.63037\r
  15 985.000000      70.000000       29.37966        107.81089       1.44814 6.68356\r
  16 995.000000      70.000000       29.109356       110.67876       0.645304        2.76928\r
  17 880.000000      75.000000       31.085859       50.478096       1.85873 8.05766\r
  18 980.000000      75.000000       30.060087       59.842224       0.936234        4.81974\r
  19 985.000000      75.000000       30.00868        60.748051       1.23134 5.47145\r
  20 995.000000      75.000000       30.366653       57.163521       0.51299 2.55127\r
  21 dpolE   980.000000      45.000000       26.1971 18.3119\r
  22 dpolE   1475.000000     55.000000       22.758  26.5139\r
  23 dpolE   885.000000      60.000000       19.7962 11.5441\r
  24 dpolE   980.000000      60.000000       13.4749 7.7923\r
  25 dpolE   985.000000      60.000000       0.192682        15.9491\r
  26 dpolE   1485.000000     60.000000       25.4232 30.412\r
  27 dpolE   885.000000      65.000000       18.4212 10.9239\r
  28 dpolE   995.000000      65.000000       24.8581 7.59377\r
  29 dpolE   885.000000      70.000000       28.4978 8.17544\r
  30 dpolE   980.000000      70.000000       32.2552 4.87151\r
  31 dpolE   985.000000      70.000000       42.8977 10.1805\r
  32 dpolE   995.000000      70.000000       37.1444 4.8221\r
  33 dpolE   880.000000      75.000000       37.2915 14.0314\r
  34 dpolE   980.000000      75.000000       48.8879 5.84622\r
  35 dpolE   985.000000      75.000000       39.4845 9.02976\r
  36 dpolE   995.000000      75.000000       45.4843 3.40931