research/ellipsometry/WVASE32/DAT/2009.02.04.ps1scan.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=200, MaxRevs=200, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.632, HardVer=6.256, Wed Feb 04 20:20:55 2009]\r
   3 Original[2009.02.04.ps1scan.dat]\r
   4 nm\r
   5 885.000000      55.000000       36.459591       160.09229       1.75961 6.67743\r
   6 1480.000000     55.000000       36.834743       175.8443        3.81364 16.4157\r
   7 885.000000      60.000000       33.266171       145.62282       1.45586 5.41406\r
   8 995.000000      60.000000       33.708088       149.03566       0.718233        2.84543\r
   9 885.000000      65.000000       32.1889 130.46465       1.30585 4.85117\r
  10 995.000000      65.000000       31.42325        133.29266       0.83709 3.20517\r
  11 885.000000      70.000000       29.751419       103.67867       1.15538 4.70332\r
  12 980.000000      70.000000       29.411959       109.48592       0.685243        2.93292\r
  13 990.000000      70.000000       29.463463       110.75334       1.58826 6.77895\r
  14 995.000000      70.000000       29.359377       110.68862       0.863384        3.51967\r
  15 880.000000      75.000000       31.855457       54.394749       2.09011 10.3779\r
  16 980.000000      75.000000       30.010233       61.189781       0.69139 3.38744\r
  17 985.000000      75.000000       31.513596       61.057262       1.24493 5.79562\r
  18 995.000000      75.000000       30.453381       61.833351       0.404981        1.92664\r
  19 dpolE   885.000000      55.000000       15.5003 14.0564\r
  20 dpolE   1480.000000     55.000000       20.8585 26.9873\r
  21 dpolE   885.000000      60.000000       15.575  12.3478\r
  22 dpolE   995.000000      60.000000       20.2207 5.7977\r
  23 dpolE   885.000000      65.000000       25.7939 10.9426\r
  24 dpolE   995.000000      65.000000       21.0253 7.03108\r
  25 dpolE   885.000000      70.000000       36.8074 8.70024\r
  26 dpolE   980.000000      70.000000       38.6108 4.98325\r
  27 dpolE   990.000000      70.000000       36.7325 11.9062\r
  28 dpolE   995.000000      70.000000       33.9369 6.66016\r
  29 dpolE   880.000000      75.000000       46.9899 13.5943\r
  30 dpolE   980.000000      75.000000       45.7372 4.36301\r
  31 dpolE   985.000000      75.000000       46.2228 8.62523\r
  32 dpolE   995.000000      75.000000       44.3279 2.80085