2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=100, MaxRevs=200, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Feb 06 04:12:42 2009]
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3 Original[2009.02.05.ps+s+g-etched.dat]
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\r
125 1580.000000 65.000000 24.310091 10.299252 1.92267 9.15969
\r
126 1585.000000 65.000000 24.272837 -4.7301536 2.03885 9.80169
\r
127 1595.000000 65.000000 27.548315 -2.8059416 2.20232 9.79851
\r
128 1605.000000 65.000000 25.601492 -4.4122519 2.24572 9.7024
\r
129 1610.000000 65.000000 27.235786 4.2564673 1.6098 7.19667
\r
130 1615.000000 65.000000 26.695843 -7.9865775 1.84605 8.91931
\r
131 1625.000000 65.000000 27.245352 -11.986775 2.14055 9.26508
\r
132 1635.000000 65.000000 26.374456 0.71190804 2.3317 12.8309
\r
133 1640.000000 65.000000 26.950994 0.92683882 2.52957 11.938
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134 1645.000000 65.000000 27.850906 -6.8267899 2.52032 12.3529
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135 1675.000000 65.000000 27.774492 -3.5073528 1.86088 8.1388
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136 1680.000000 65.000000 29.097389 -0.95359898 1.55965 6.58388
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137 630.000000 70.000000 32.647633 -8.3394995 1.99014 8.9872
\r
138 720.000000 70.000000 32.53323 -4.4342179 0.961862 4.31359
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139 725.000000 70.000000 33.707268 -6.5277729 1.14087 4.64497
\r
140 735.000000 70.000000 34.12532 -4.0354152 1.1302 5.04184
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141 740.000000 70.000000 32.945473 -5.1278267 1.14136 4.48897
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142 765.000000 70.000000 33.055248 -2.5709028 0.58354 2.3818
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143 770.000000 70.000000 32.308685 -7.2169247 1.33705 5.58744
\r
144 820.000000 70.000000 33.121243 -5.5738659 0.766321 3.09703
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145 825.000000 70.000000 32.688034 -5.1718473 0.246795 0.984561
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146 830.000000 70.000000 33.043377 -4.9421878 0.301827 1.2093
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147 835.000000 70.000000 32.367096 -5.8479257 0.543878 2.15395
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148 840.000000 70.000000 32.506973 -7.2186084 0.60641 2.37267
\r
149 870.000000 70.000000 33.357479 -5.0323563 0.646914 2.45543
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\r
153 890.000000 70.000000 32.965706 -4.0630822 0.191872 0.767506
\r
154 895.000000 70.000000 32.974773 -4.04496 0.136192 0.541545
\r
155 900.000000 70.000000 33.135712 -4.4209552 0.139431 0.556589
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156 905.000000 70.000000 33.083435 -4.431109 0.125596 0.501407
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157 910.000000 70.000000 33.139149 -4.1680231 0.206499 0.834025
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158 915.000000 70.000000 33.188297 -4.7064037 0.0976424 0.392702
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159 920.000000 70.000000 33.175869 -4.2941613 0.109525 0.445363
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160 925.000000 70.000000 33.126595 -4.1938086 0.101493 0.412752
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164 945.000000 70.000000 33.16222 -4.5586662 0.166315 0.641017
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199 1120.000000 70.000000 33.734451 -2.0370121 0.522468 2.09039
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\r
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\r
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\r
208 1165.000000 70.000000 33.26524 -1.1837243 0.586143 2.23175
\r
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\r
210 1175.000000 70.000000 33.720009 -1.944418 0.31354 1.20645
\r
211 1180.000000 70.000000 33.510475 -1.409749 0.288669 1.11226
\r
212 1185.000000 70.000000 33.338554 -0.69111407 0.31515 1.24712
\r
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\r
214 1195.000000 70.000000 33.333736 -1.3389412 0.402102 1.58505
\r
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\r
216 1205.000000 70.000000 33.554901 0.42232814 0.774428 3.08474
\r
217 1210.000000 70.000000 33.123722 0.33769843 0.565817 2.25628
\r
218 1215.000000 70.000000 33.434364 -2.3139627 0.625469 2.4795
\r
219 1220.000000 70.000000 33.343578 -1.093236 0.813991 3.20432
\r
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\r
221 1230.000000 70.000000 33.039967 1.067432 0.563747 2.34075
\r
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\r
223 1240.000000 70.000000 34.276672 -1.7800719 0.544141 2.07582
\r
224 1245.000000 70.000000 33.156685 -1.2110627 0.626662 2.47987
\r
225 1250.000000 70.000000 33.44281 0.090798408 0.586976 2.23656
\r
226 1255.000000 70.000000 33.250324 1.0374991 0.491298 1.88428
\r
227 1260.000000 70.000000 33.622284 -0.77727371 0.452479 1.73484
\r
228 1265.000000 70.000000 33.286987 -0.61723709 0.279705 1.09009
\r
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\r
230 1275.000000 70.000000 33.735603 -0.71049994 0.372666 1.46421
\r
231 1280.000000 70.000000 33.429493 1.2136931 0.450632 1.7939
\r
232 1285.000000 70.000000 33.052734 -0.7914874 0.762451 3.01044
\r
233 1290.000000 70.000000 33.498272 -0.41915882 0.665574 2.59977
\r
234 1295.000000 70.000000 33.276875 0.50324905 0.738922 2.8978
\r
235 1300.000000 70.000000 33.586082 0.56054056 0.677859 2.76473
\r
236 1305.000000 70.000000 33.590328 3.1032617 0.61301 2.45113
\r
237 1310.000000 70.000000 33.193729 1.5184523 0.540543 2.1554
\r
238 1315.000000 70.000000 33.68359 -2.0662694 0.428393 1.74421
\r
239 1320.000000 70.000000 33.402016 -2.3946214 0.674084 2.59369
\r
240 1325.000000 70.000000 32.816467 -0.070515834 0.542823 2.16712
\r
241 1330.000000 70.000000 32.686287 0.934062 0.656925 2.57756
\r
242 1335.000000 70.000000 33.212997 -0.13393128 0.540731 2.09691
\r
243 1340.000000 70.000000 32.938915 2.9507623 0.532714 2.10585
\r
244 1345.000000 70.000000 33.13699 -0.0059517245 0.493282 1.89144
\r
245 1350.000000 70.000000 32.687786 1.6045959 0.496474 1.92675
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246 1355.000000 70.000000 33.147274 0.92938805 0.717394 2.8427
\r
247 1360.000000 70.000000 32.762299 1.0687209 0.583436 2.28894
\r
248 1365.000000 70.000000 33.082298 -0.25160047 0.421088 1.65087
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249 1370.000000 70.000000 33.109734 -0.75485545 0.259626 1.0498
\r
250 1375.000000 70.000000 33.223244 0.15545362 0.271841 1.08242
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251 1380.000000 70.000000 33.023239 0.22317754 0.560444 2.23662
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252 1385.000000 70.000000 33.003319 1.5646052 0.50479 2.00726
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253 1390.000000 70.000000 32.553234 -2.3357227 0.47798 1.99768
\r
254 1395.000000 70.000000 32.758392 -3.173811 0.641995 2.55744
\r
255 1400.000000 70.000000 33.063656 2.0310087 0.604038 2.45976
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256 1405.000000 70.000000 32.742348 0.33536422 0.445493 1.83529
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258 1415.000000 70.000000 32.834206 -0.2802403 0.344345 1.38932
\r
259 1420.000000 70.000000 32.632874 -0.51485687 0.488532 1.95642
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262 1435.000000 70.000000 32.560169 -0.34175986 0.514509 2.05973
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264 1445.000000 70.000000 32.549732 1.0183713 0.280815 1.13939
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270 1475.000000 70.000000 32.790665 0.69443119 0.243314 0.980246
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274 1495.000000 70.000000 33.1357 -0.96147406 0.409932 1.62128
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\r
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\r
294 1595.000000 70.000000 32.313576 3.0495584 0.671014 2.60635
\r
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300 1625.000000 70.000000 32.484898 1.7311405 0.780156 3.15968
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301 1630.000000 70.000000 31.522305 1.3408877 0.898452 3.88543
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305 1650.000000 70.000000 32.263985 -1.586511 0.790684 3.35828
\r
306 1655.000000 70.000000 33.417027 -0.81502706 1.07839 4.44507
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\r
312 1685.000000 70.000000 32.391697 1.3479171 1.22452 4.82417
\r
313 1690.000000 70.000000 31.773277 -0.81516695 1.801 7.22608
\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
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\r
341 585.000000 75.000000 36.854568 -3.9804375 0.299257 1.17803
\r
342 590.000000 75.000000 37.421185 -3.7207196 0.27888 1.07899
\r
343 595.000000 75.000000 37.455288 -3.6885386 0.159761 0.625541
\r
344 600.000000 75.000000 37.854137 -2.500829 0.213341 0.850616
\r
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\r
346 610.000000 75.000000 37.660671 -3.1476269 0.305657 1.23469
\r
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\r
348 620.000000 75.000000 37.566124 -1.6555409 0.255834 0.958756
\r
349 625.000000 75.000000 37.466675 -2.7900655 0.283366 1.07084
\r
350 630.000000 75.000000 37.665733 -1.1495862 0.291176 1.09736
\r
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\r
352 640.000000 75.000000 37.511475 -1.3674279 0.188989 0.719666
\r
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\r
354 650.000000 75.000000 37.495785 -1.4064943 0.183238 0.709642
\r
355 655.000000 75.000000 37.626358 -0.7180059 0.270594 1.06439
\r
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\r
357 665.000000 75.000000 37.438602 -0.062771223 0.244511 0.971258
\r
358 670.000000 75.000000 37.346008 -0.15629341 0.185953 0.745075
\r
359 675.000000 75.000000 37.281517 -0.40001869 0.187689 0.691978
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\r
361 685.000000 75.000000 37.100998 -0.4952805 0.180605 0.682891
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362 690.000000 75.000000 37.200363 -0.5029012 0.211836 0.80544
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363 695.000000 75.000000 37.136654 0.083609588 0.21769 0.830617
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445 1105.000000 75.000000 37.867191 -1.1841561 0.15377 0.571318
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446 1110.000000 75.000000 37.774376 -0.50240856 0.148569 0.552953
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453 1145.000000 75.000000 37.883801 0.57841629 0.208762 0.803521
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454 1150.000000 75.000000 37.825848 1.1264 0.210519 0.80522
\r
455 1155.000000 75.000000 37.798763 1.0303899 0.237428 0.908773
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456 1160.000000 75.000000 37.696289 -0.19600573 0.231974 0.847986
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457 1165.000000 75.000000 37.555027 0.3731733 0.184191 0.669695
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458 1170.000000 75.000000 37.560417 0.38202587 0.17177 0.628556
\r
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\r
461 1185.000000 75.000000 37.58157 0.7576142 0.12883 0.471723
\r
462 1190.000000 75.000000 37.647686 1.052506 0.168368 0.624012
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\r
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\r
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\r
469 1225.000000 75.000000 37.393955 -0.18577603 0.210486 0.81119
\r
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\r
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\r
472 1240.000000 75.000000 37.268063 1.744837 0.310532 1.14519
\r
473 1245.000000 75.000000 37.393799 1.0786432 0.195895 0.715461
\r
474 1250.000000 75.000000 37.393501 1.3547751 0.212058 0.769418
\r
475 1255.000000 75.000000 37.240856 0.95322651 0.203638 0.759079
\r
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\r
477 1265.000000 75.000000 37.220459 0.98964828 0.115717 0.43099
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478 1270.000000 75.000000 37.288116 0.99605215 0.111937 0.418692
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502 1390.000000 75.000000 36.677021 1.7427859 0.215671 0.836396
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559 1675.000000 75.000000 36.08625 -0.47389045 0.312063 1.18222
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\r
561 1685.000000 75.000000 36.183617 2.2199335 0.402369 1.51999
\r
562 1690.000000 75.000000 35.715973 0.50691193 0.615888 2.35327
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563 1695.000000 75.000000 35.471519 -3.7350013 0.902503 3.45466
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564 1700.000000 75.000000 35.512352 3.0810933 1.20144 4.61333
\r
565 1705.000000 75.000000 34.115723 6.3058691 1.97936 7.71509
\r
566 385.000000 80.000000 35.866291 -19.634748 1.26143 5.42828
\r
567 390.000000 80.000000 37.182003 -16.030163 0.914498 3.90521
\r
568 395.000000 80.000000 37.8232 -17.776205 0.682024 2.85963
\r
569 400.000000 80.000000 39.656818 -16.712238 0.44927 1.85267
\r
570 405.000000 80.000000 41.393318 -14.491543 0.494879 2.14508
\r
571 410.000000 80.000000 42.728889 -11.743883 0.405192 1.63339
\r
572 415.000000 80.000000 43.873821 -4.1411266 0.229866 0.940086
\r
573 420.000000 80.000000 44.328438 1.4089544 0.25288 1.02506
\r
574 425.000000 80.000000 43.56646 5.6404448 0.38331 1.48851
\r
575 430.000000 80.000000 42.92609 6.7146845 0.30111 1.17692
\r
576 435.000000 80.000000 41.866234 8.0372906 0.187426 0.737145
\r
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\r
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\r
585 480.000000 80.000000 36.409416 3.3117979 0.107352 0.453219
\r
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\r
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\r
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\r
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\r
592 515.000000 80.000000 37.645031 -6.7988915 0.108214 0.418271
\r
593 520.000000 80.000000 37.971416 -7.3174257 0.0816543 0.314486
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594 525.000000 80.000000 38.419685 -7.6501961 0.0837648 0.322555
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595 530.000000 80.000000 38.826687 -7.9192104 0.0871751 0.337099
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596 535.000000 80.000000 39.119541 -7.8451362 0.101452 0.393247
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597 540.000000 80.000000 39.475685 -8.0331392 0.0757801 0.29473
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599 550.000000 80.000000 40.514297 -7.4705501 0.0707527 0.278357
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\r
694 1025.000000 80.000000 41.555809 2.0331299 0.0912684 0.330348
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700 1055.000000 80.000000 41.283451 2.2759583 0.104304 0.388166
\r
701 1060.000000 80.000000 41.218967 2.5594091 0.106867 0.398447
\r
702 1065.000000 80.000000 41.220287 2.546283 0.0979559 0.366555
\r
703 1070.000000 80.000000 41.245514 2.3891129 0.11045 0.413175
\r
704 1075.000000 80.000000 41.168434 2.3701348 0.0956513 0.36142
\r
705 1080.000000 80.000000 41.089973 2.608505 0.102157 0.38748
\r
706 1085.000000 80.000000 41.109688 2.8732758 0.0813067 0.290975
\r
707 1090.000000 80.000000 41.11908 3.1863856 0.114075 0.408922
\r
708 1095.000000 80.000000 40.982216 3.0914311 0.0843569 0.304684
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825 1680.000000 80.000000 38.336311 -0.83483183 0.139953 0.51715
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826 1685.000000 80.000000 38.399323 -1.3404361 0.144539 0.53987
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827 1690.000000 80.000000 38.057808 -1.607223 0.224333 0.836723
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828 1695.000000 80.000000 37.938522 -1.8521277 0.322485 1.20882
\r
829 1700.000000 80.000000 38.202515 0.30307329 0.616342 2.33336
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830 1705.000000 80.000000 38.526112 -1.1936666 0.616801 2.30289
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831 1710.000000 80.000000 38.768913 -1.1624111 0.836365 3.02402
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832 1715.000000 80.000000 37.360081 -3.0938039 0.833732 3.30152
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833 1720.000000 80.000000 37.123825 -0.8450914 1.28692 4.84318
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834 1725.000000 80.000000 37.239849 3.0354676 1.80791 7.99975
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835 1730.000000 80.000000 38.277828 -1.9836661 1.53523 6.53711
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836 1735.000000 80.000000 37.22905 7.5230637 2.88755 11.0984
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837 320.000000 85.000000 42.532562 -10.090133 1.71104 7.00435
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841 360.000000 85.000000 39.656208 4.3982344 0.600684 2.4207
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854 425.000000 85.000000 43.812572 3.7045875 0.116925 0.424731
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\r
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942 865.000000 85.000000 42.891079 -1.540047 0.0873276 0.326884
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943 870.000000 85.000000 42.806686 -1.4191747 0.0874786 0.307956
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1014 1225.000000 85.000000 42.196018 3.3698492 0.100028 0.370651
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1015 1230.000000 85.000000 42.197136 3.5642304 0.0813248 0.306151
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1020 1255.000000 85.000000 42.074238 3.1561131 0.103509 0.367732
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1021 1260.000000 85.000000 41.975243 3.3336077 0.0767574 0.274621
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1022 1265.000000 85.000000 41.931072 3.3123479 0.0696467 0.24983
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1023 1270.000000 85.000000 41.936115 3.2086852 0.0703073 0.252839
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1024 1275.000000 85.000000 41.914562 3.2537885 0.103885 0.376562
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1025 1280.000000 85.000000 41.919487 3.1176622 0.085685 0.310724
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1026 1285.000000 85.000000 41.868324 3.1643517 0.0852161 0.310166
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1027 1290.000000 85.000000 41.862041 2.9821184 0.0808231 0.298734
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1028 1295.000000 85.000000 41.847713 2.8720026 0.0928417 0.344447
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1029 1300.000000 85.000000 41.788166 3.2721331 0.0886921 0.327147
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1030 1305.000000 85.000000 41.817024 3.1480918 0.0889786 0.33663
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1031 1310.000000 85.000000 41.705566 2.9613397 0.101868 0.379236
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1032 1315.000000 85.000000 41.713043 3.0478873 0.0735626 0.274471
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1033 1320.000000 85.000000 41.697216 2.798682 0.0826163 0.293285
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1034 1325.000000 85.000000 41.661304 2.7651358 0.109846 0.391602
\r
1035 1330.000000 85.000000 41.688793 2.8095961 0.0895637 0.328678
\r
1036 1335.000000 85.000000 41.650188 2.7393894 0.14446 0.521342
\r
1037 1340.000000 85.000000 41.650043 2.7378168 0.0728678 0.259985
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1038 1345.000000 85.000000 41.498413 2.7777495 0.0943731 0.339279
\r
1039 1350.000000 85.000000 41.648323 2.8575933 0.109342 0.398248
\r
1040 1355.000000 85.000000 41.669872 2.795861 0.105896 0.383173
\r
1041 1360.000000 85.000000 41.59869 3.0093822 0.0999485 0.364619
\r
1042 1365.000000 85.000000 41.506638 2.6611714 0.0652476 0.237206
\r
1043 1370.000000 85.000000 41.479778 2.6333416 0.0635836 0.232617
\r
1044 1375.000000 85.000000 41.548866 2.4913185 0.0796334 0.291538
\r
1045 1380.000000 85.000000 41.429485 2.6286898 0.0945997 0.350035
\r
1046 1385.000000 85.000000 41.484734 2.6136439 0.101978 0.376705
\r
1047 1390.000000 85.000000 41.469913 2.4685252 0.0750455 0.27731
\r
1048 1395.000000 85.000000 41.451336 2.0368106 0.096081 0.355718
\r
1049 1400.000000 85.000000 41.417404 1.9996141 0.0875365 0.333077
\r
1050 1405.000000 85.000000 41.44833 2.5953679 0.0919504 0.343491
\r
1051 1410.000000 85.000000 41.438194 2.2448606 0.10248 0.367713
\r
1052 1415.000000 85.000000 41.403301 2.1624756 0.11103 0.395291
\r
1053 1420.000000 85.000000 41.373428 2.2502608 0.0774418 0.2772
\r
1054 1425.000000 85.000000 41.398872 2.0849426 0.112921 0.405091
\r
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