research/ellipsometry/WVASE32/DAT/2009.02.06.cw.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=20, MaxRevs=100, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Fri Feb 06 08:54:55 2009]\r
   3 Original[2009.02.06.cw.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 3000.000000     75.000000       38.214554       70.073036       0.0660747       0.171222\r
   6 3100.000000     75.000000       36.964916       70.567505       0.0648569       0.168643\r
   7 3200.000000     75.000000       36.085262       71.504173       0.0817243       0.213272\r
   8 3300.000000     75.000000       35.352978       72.701813       0.0825368       0.218866\r
   9 3400.000000     75.000000       34.777569       73.943916       0.0627076       0.165206\r
  10 3500.000000     75.000000       34.422394       75.926056       0.0846667       0.221279\r
  11 3600.000000     75.000000       34.111416       79.231407       0.0611345       0.157579\r
  12 3700.000000     75.000000       32.763592       84.609055       0.0669674       0.180001\r
  13 3800.000000     75.000000       30.238178       87.576302       0.0447167       0.122829\r
  14 3900.000000     75.000000       28.067017       87.829262       0.0424885       0.121408\r
  15 4000.000000     75.000000       26.44326        87.539482       0.0408788       0.120928\r
  16 4100.000000     75.000000       25.136644       87.165115       0.0302521       0.0963572\r
  17 4200.000000     75.000000       24.064646       86.924873       0.037677        0.122624\r
  18 4300.000000     75.000000       23.099249       86.534477       0.0295157       0.0982756\r
  19 4400.000000     75.000000       22.270676       86.189835       0.0285038       0.0966694\r
  20 4500.000000     75.000000       21.503574       85.938202       0.0322128       0.111798\r
  21 4600.000000     75.000000       20.804955       85.517494       0.0316004       0.116429\r
  22 4700.000000     75.000000       20.172153       85.231712       0.0351321       0.131941\r
  23 4800.000000     75.000000       19.569052       84.965919       0.0305977       0.116819\r
  24 4900.000000     75.000000       19.033604       84.62748        0.0295541       0.114962\r
  25 5000.000000     75.000000       18.523666       84.303482       0.03388 0.133809\r
  26 5100.000000     75.000000       18.046341       84.166435       0.0337824       0.140841\r
  27 5200.000000     75.000000       17.586348       83.808502       0.0285055       0.120605\r
  28 5300.000000     75.000000       17.151884       83.540131       0.0277379       0.119028\r
  29 5400.000000     75.000000       16.76174        83.2314 0.0286268       0.125049\r
  30 5500.000000     75.000000       16.384333       83.014603       0.0278529       0.123362\r
  31 5600.000000     75.000000       16.028889       82.722542       0.0280885       0.126237\r
  32 5700.000000     75.000000       15.686175       82.433678       0.0312436       0.147439\r
  33 5800.000000     75.000000       15.351259       82.104935       0.0282724       0.135213\r
  34 5900.000000     75.000000       15.049531       81.951256       0.031102        0.150466\r
  35 6000.000000     75.000000       14.764803       81.682228       0.0273247       0.133487\r
  36 6100.000000     75.000000       14.4706 81.368698       0.0308802       0.15361\r
  37 6200.000000     75.000000       14.207958       81.225296       0.0336011       0.174413\r
  38 6300.000000     75.000000       13.940052       80.984596       0.0301481       0.158245\r
  39 6400.000000     75.000000       13.689313       80.718681       0.0303576       0.161247\r
  40 6500.000000     75.000000       13.45793        80.408531       0.029146        0.156877\r
  41 6600.000000     75.000000       13.225684       80.300934       0.0328999       0.178941\r
  42 6700.000000     75.000000       13.010173       79.982208       0.0334617       0.184324\r
  43 6800.000000     75.000000       12.789454       79.835732       0.0305376       0.174712\r
  44 6900.000000     75.000000       12.592933       79.564285       0.0322303       0.1862\r
  45 7000.000000     75.000000       12.391159       79.346115       0.0333432       0.195329\r
  46 7100.000000     75.000000       12.201346       79.111221       0.0306464       0.181323\r
  47 7200.000000     75.000000       12.01904        78.880234       0.0338178       0.202033\r
  48 7300.000000     75.000000       11.829926       78.675674       0.0356314       0.215519\r
  49 7400.000000     75.000000       11.667236       78.424675       0.0344217       0.215049\r
  50 7500.000000     75.000000       11.49364        78.257332       0.0308571       0.194277\r
  51 7600.000000     75.000000       11.33559        78.015747       0.0351692       0.22462\r
  52 7700.000000     75.000000       11.184216       77.81076        0.0359634       0.231513\r
  53 7800.000000     75.000000       11.021627       77.608284       0.0381321       0.247841\r
  54 7900.000000     75.000000       10.872526       77.399498       0.0396192       0.260459\r
  55 8000.000000     75.000000       10.738546       77.199623       0.0360105       0.238357\r
  56 8100.000000     75.000000       10.599247       76.989258       0.0347331       0.237194\r
  57 8200.000000     75.000000       10.455955       76.726135       0.0338393       0.233231\r
  58 8300.000000     75.000000       10.338129       76.549049       0.0312043       0.2194\r
  59 8400.000000     75.000000       10.196134       76.226494       0.032735        0.231382\r
  60 8500.000000     75.000000       10.093179       76.070969       0.02714 0.192835\r
  61 8600.000000     75.000000       9.9695263       75.862732       0.0265666       0.191217\r
  62 8700.000000     75.000000       9.850008        75.609192       0.0268128       0.19852\r
  63 8800.000000     75.000000       9.7229052       75.446892       0.0294007       0.221914\r
  64 8900.000000     75.000000       9.6197271       75.300209       0.0304899       0.23105\r
  65 9000.000000     75.000000       9.5252514       75.082947       0.0319705       0.244148\r
  66 9100.000000     75.000000       9.4087868       74.855988       0.0294776       0.227187\r
  67 9200.000000     75.000000       9.3149433       74.67662        0.0289442       0.225067\r
  68 9300.000000     75.000000       9.2095575       74.393723       0.0295539       0.231764\r
  69 9400.000000     75.000000       9.1102314       74.22654        0.0298647       0.239948\r
  70 9500.000000     75.000000       9.0141811       73.973305       0.0289095       0.234021\r
  71 9600.000000     75.000000       8.9139433       73.775551       0.0280502       0.228213\r
  72 9700.000000     75.000000       8.8252487       73.579765       0.027035        0.221755\r
  73 9800.000000     75.000000       8.7341099       73.376678       0.0264859       0.219342\r
  74 9900.000000     75.000000       8.648303        73.116096       0.0269783       0.225101\r
  75 10000.000000    75.000000       8.5779877       73.040588       0.0242711       0.202824\r
  76 dpolE   3000.000000     75.000000       0.378378        0.808188\r
  77 dpolE   3100.000000     75.000000       0.0367606       0.806459\r
  78 dpolE   3200.000000     75.000000       0.130985        1.03726\r
  79 dpolE   3300.000000     75.000000       0.722433        0.955464\r
  80 dpolE   3400.000000     75.000000       -0.0839697      0.744405\r
  81 dpolE   3500.000000     75.000000       0.129934        1.02695\r
  82 dpolE   3600.000000     75.000000       0.437594        0.759273\r
  83 dpolE   3700.000000     75.000000       1.30144 0.750717\r
  84 dpolE   3800.000000     75.000000       -0.0541803      0.492179\r
  85 dpolE   3900.000000     75.000000       0.0785832       0.455947\r
  86 dpolE   4000.000000     75.000000       0.16812 0.430455\r
  87 dpolE   4100.000000     75.000000       0.349568        0.283094\r
  88 dpolE   4200.000000     75.000000       0.125314        0.349155\r
  89 dpolE   4300.000000     75.000000       0.0742963       0.270532\r
  90 dpolE   4400.000000     75.000000       0.0867558       0.258315\r
  91 dpolE   4500.000000     75.000000       -0.00502567     0.2904\r
  92 dpolE   4600.000000     75.000000       0.17392 0.255828\r
  93 dpolE   4700.000000     75.000000       0.0903987       0.283013\r
  94 dpolE   4800.000000     75.000000       0.115829        0.244359\r
  95 dpolE   4900.000000     75.000000       0.0955231       0.23503\r
  96 dpolE   5000.000000     75.000000       0.0422963       0.267777\r
  97 dpolE   5100.000000     75.000000       0.0211423       0.242951\r
  98 dpolE   5200.000000     75.000000       0.0353566       0.203479\r
  99 dpolE   5300.000000     75.000000       0.0595367       0.196478\r
 100 dpolE   5400.000000     75.000000       0.0474324       0.202419\r
 101 dpolE   5500.000000     75.000000       0.0387568       0.195941\r
 102 dpolE   5600.000000     75.000000       0.0977764       0.196341\r
 103 dpolE   5700.000000     75.000000       0.0541104       0.20002\r
 104 dpolE   5800.000000     75.000000       0.0606346       0.180011\r
 105 dpolE   5900.000000     75.000000       0.0645123       0.197146\r
 106 dpolE   6000.000000     75.000000       -0.00459347     0.172687\r
 107 dpolE   6100.000000     75.000000       -0.0132527      0.194906\r
 108 dpolE   6200.000000     75.000000       0.0250327       0.194772\r
 109 dpolE   6300.000000     75.000000       0.0152258       0.173908\r
 110 dpolE   6400.000000     75.000000       0.0678706       0.174115\r
 111 dpolE   6500.000000     75.000000       -0.0033399      0.167427\r
 112 dpolE   6600.000000     75.000000       -0.0259292      0.188433\r
 113 dpolE   6700.000000     75.000000       0.0172617       0.190757\r
 114 dpolE   6800.000000     75.000000       0.0202297       0.160586\r
 115 dpolE   6900.000000     75.000000       0.0372701       0.168762\r
 116 dpolE   7000.000000     75.000000       0.0273566       0.174812\r
 117 dpolE   7100.000000     75.000000       0.0065297       0.160227\r
 118 dpolE   7200.000000     75.000000       -0.00459682     0.176361\r
 119 dpolE   7300.000000     75.000000       0.0347511       0.184755\r
 120 dpolE   7400.000000     75.000000       0.0150412       0.165769\r
 121 dpolE   7500.000000     75.000000       -0.00428478     0.14819\r
 122 dpolE   7600.000000     75.000000       0.00787783      0.169153\r
 123 dpolE   7700.000000     75.000000       -0.0125573      0.172877\r
 124 dpolE   7800.000000     75.000000       -0.00739619     0.182596\r
 125 dpolE   7900.000000     75.000000       0.00626577      0.188921\r
 126 dpolE   8000.000000     75.000000       -0.0335881      0.171687\r
 127 dpolE   8100.000000     75.000000       0.0195151       0.153905\r
 128 dpolE   8200.000000     75.000000       -0.0436546      0.149215\r
 129 dpolE   8300.000000     75.000000       -0.00571435     0.137116\r
 130 dpolE   8400.000000     75.000000       0.00840481      0.144088\r
 131 dpolE   8500.000000     75.000000       -0.0107718      0.119665\r
 132 dpolE   8600.000000     75.000000       0.053057        0.116374\r
 133 dpolE   8700.000000     75.000000       0.00352744      0.109671\r
 134 dpolE   8800.000000     75.000000       0.0163302       0.118537\r
 135 dpolE   8900.000000     75.000000       -0.0331337      0.123036\r
 136 dpolE   9000.000000     75.000000       -0.0353156      0.128722\r
 137 dpolE   9100.000000     75.000000       -0.0199215      0.118161\r
 138 dpolE   9200.000000     75.000000       -0.0298241      0.115637\r
 139 dpolE   9300.000000     75.000000       0.0127203       0.117641\r
 140 dpolE   9400.000000     75.000000       -0.0124305      0.11128\r
 141 dpolE   9500.000000     75.000000       -0.00743927     0.10731\r
 142 dpolE   9600.000000     75.000000       -0.0106024      0.103912\r
 143 dpolE   9700.000000     75.000000       -0.00569341     0.0997203\r
 144 dpolE   9800.000000     75.000000       -0.0065905      0.0971559\r
 145 dpolE   9900.000000     75.000000       0.0111895       0.098605\r
 146 dpolE   10000.000000    75.000000       -0.022432       0.0888737