research/ellipsometry/WVASE32/DAT/2009.02.12.ps1newlight.dat

   1 ps1\r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=20, MaxRevs=100, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Thu Feb 12 14:20:32 2009]\r
   3 Original[2009.02.12.ps1newlight.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 7100.000000     65.000000       23.810162       15.753048       1.7777  12.4011\r
   6 7200.000000     65.000000       24.222713       20.442492       1.78758 14.8723\r
   7 8100.000000     65.000000       26.396011       3.4790771       1.44128 7.8043\r
   8 8200.000000     65.000000       25.247181       13.395056       0.835807        4.49227\r
   9 8300.000000     65.000000       26.905382       8.9559669       0.431875        2.27406\r
  10 8400.000000     65.000000       26.872311       14.054153       0.85726 4.36204\r
  11 8500.000000     65.000000       25.860395       4.2173781       1.99564 10.0271\r
  12 8700.000000     65.000000       26.565092       7.9469113       0.945689        4.84736\r
  13 8800.000000     65.000000       27.001509       13.999637       0.29078 1.4759\r
  14 8900.000000     65.000000       26.698027       13.757181       0.270477        1.39465\r
  15 9000.000000     65.000000       26.530708       15.12062        0.215997        1.13835\r
  16 9100.000000     65.000000       26.54076        14.90699        0.21745 1.15326\r
  17 9200.000000     65.000000       26.331207       17.041761       0.209256        1.10869\r
  18 9300.000000     65.000000       26.338934       18.159988       0.210502        1.13172\r
  19 9400.000000     65.000000       25.755795       17.882145       0.179405        0.934309\r
  20 9500.000000     65.000000       25.506584       19.076603       0.223954        1.18262\r
  21 9600.000000     65.000000       25.363932       18.094343       0.218002        1.18162\r
  22 9700.000000     65.000000       25.065973       19.160515       0.215878        1.18669\r
  23 9800.000000     65.000000       24.654922       20.718042       0.147778        0.826281\r
  24 9900.000000     65.000000       24.40773        20.844334       0.152204        0.858021\r
  25 10000.000000    65.000000       24.030993       20.183786       0.240769        1.40956\r
  26 4100.000000     70.000000       28.689339       6.6547127       1.90869 8.68135\r
  27 4200.000000     70.000000       27.00934        5.6625071       1.51516 7.07273\r
  28 4300.000000     70.000000       26.577482       6.875258        0.619357        3.1736\r
  29 4400.000000     70.000000       27.786549       6.8813071       0.848077        3.94965\r
  30 4500.000000     70.000000       27.06222        10.78691        0.654034        3.16252\r
  31 4600.000000     70.000000       27.236179       9.4141903       0.561791        2.54501\r
  32 4700.000000     70.000000       26.741833       8.5089722       0.445591        2.08501\r
  33 4800.000000     70.000000       26.557301       5.9414382       0.452731        2.25154\r
  34 4900.000000     70.000000       27.134792       6.2179499       0.35643 1.78437\r
  35 5000.000000     70.000000       27.446911       6.1632037       0.400052        1.96775\r
  36 5100.000000     70.000000       27.944714       4.991261        0.282918        1.31605\r
  37 5200.000000     70.000000       28.384661       6.2801051       0.26204 1.20058\r
  38 5300.000000     70.000000       28.524767       5.8321972       0.239487        1.10662\r
  39 5400.000000     70.000000       28.831434       6.9207411       0.287139        1.34605\r
  40 5500.000000     70.000000       28.916069       6.4482384       0.20067 0.955629\r
  41 5600.000000     70.000000       29.061298       9.4585276       0.202563        0.957325\r
  42 5700.000000     70.000000       28.900822       10.315963       0.193876        0.868929\r
  43 5800.000000     70.000000       28.590336       11.836349       0.287706        1.31633\r
  44 5900.000000     70.000000       28.085583       11.842122       0.252063        1.18468\r
  45 6000.000000     70.000000       27.893597       12.71289        0.209756        1.00866\r
  46 6100.000000     70.000000       27.397608       11.545809       0.180742        0.891208\r
  47 6200.000000     70.000000       27.040529       12.240277       0.158453        0.734635\r
  48 6300.000000     70.000000       26.733702       12.12111        0.21383 1.015\r
  49 6400.000000     70.000000       26.575026       10.431119       0.189041        0.936141\r
  50 6500.000000     70.000000       26.378841       8.8710489       0.271403        1.36572\r
  51 6600.000000     70.000000       26.251053       7.1581955       0.238193        1.22565\r
  52 6700.000000     70.000000       26.280497       7.3012209       0.182785        0.960465\r
  53 6800.000000     70.000000       26.593525       5.0756607       0.222682        1.09137\r
  54 6900.000000     70.000000       26.989792       4.5397096       0.205735        1.01641\r
  55 7000.000000     70.000000       27.244717       2.2420318       0.152818        0.766022\r
  56 7100.000000     70.000000       27.534164       2.6206987       0.238811        1.19075\r
  57 7200.000000     70.000000       28.354321       2.7593491       0.228449        1.14062\r
  58 7300.000000     70.000000       28.579563       2.2674153       0.199546        0.992852\r
  59 7400.000000     70.000000       29.338961       2.9768589       0.222407        1.01212\r
  60 7500.000000     70.000000       29.787224       2.3126099       0.187835        0.85332\r
  61 7600.000000     70.000000       30.178658       4.366919        0.211813        0.95309\r
  62 7700.000000     70.000000       30.610636       5.1607866       0.188136        0.866041\r
  63 7800.000000     70.000000       30.942541       6.7085505       0.28971 1.32501\r
  64 7900.000000     70.000000       31.215691       7.9555011       0.284452        1.30152\r
  65 8000.000000     70.000000       30.71962        10.220882       0.21697 1.00867\r
  66 8100.000000     70.000000       31.099424       8.1277332       0.468452        1.94304\r
  67 8200.000000     70.000000       31.261257       8.5258446       0.187113        0.787348\r
  68 8300.000000     70.000000       31.135174       9.5476265       0.15711 0.673355\r
  69 8400.000000     70.000000       31.071064       11.041813       0.168932        0.723785\r
  70 8500.000000     70.000000       31.053085       10.055875       0.31964 1.39651\r
  71 8600.000000     70.000000       30.417212       13.136827       0.207804        0.922707\r
  72 8700.000000     70.000000       30.348909       13.662696       0.157082        0.661934\r
  73 8800.000000     70.000000       29.94548        14.136534       0.090283        0.388328\r
  74 8900.000000     70.000000       29.679781       14.86471        0.0999606       0.436186\r
  75 9000.000000     70.000000       29.297018       15.16612        0.0915848       0.412303\r
  76 9100.000000     70.000000       28.85545        15.565266       0.100263        0.455027\r
  77 9200.000000     70.000000       28.479755       15.887423       0.100468        0.467145\r
  78 9300.000000     70.000000       28.11187        15.474363       0.0982125       0.467902\r
  79 9400.000000     70.000000       27.679228       15.695101       0.0999913       0.4552\r
  80 9500.000000     70.000000       27.25625        15.690992       0.105205        0.490021\r
  81 9600.000000     70.000000       27.000977       15.1901 0.120635        0.573276\r
  82 9700.000000     70.000000       26.574608       14.823153       0.123045        0.599797\r
  83 9800.000000     70.000000       26.258936       14.203911       0.107738        0.538074\r
  84 9900.000000     70.000000       25.934843       13.410992       0.0834102       0.425357\r
  85 10000.000000    70.000000       25.813942       12.868022       0.0713041       0.375981\r
  86 3700.000000     75.000000       32.84285        7.3762927       1.34309 5.75506\r
  87 3800.000000     75.000000       33.26022        12.31603        0.935564        3.81869\r
  88 3900.000000     75.000000       32.666763       9.4314566       0.546417        2.39918\r
  89 4000.000000     75.000000       32.783783       10.11478        0.490896        2.13918\r
  90 4100.000000     75.000000       33.367886       10.900096       0.403425        1.61318\r
  91 4200.000000     75.000000       32.714626       10.83287        0.297023        1.23004\r
  92 4300.000000     75.000000       32.60791        12.548632       0.256038        1.07333\r
  93 4400.000000     75.000000       32.11898        12.219588       0.205699        0.902559\r
  94 4500.000000     75.000000       32.012714       11.958912       0.198753        0.901945\r
  95 4600.000000     75.000000       31.822586       11.680343       0.211459        0.889194\r
  96 4700.000000     75.000000       31.941847       10.676668       0.198428        0.85807\r
  97 4800.000000     75.000000       32.217083       10.728969       0.21344 0.937391\r
  98 4900.000000     75.000000       32.494278       10.617523       0.194441        0.867339\r
  99 5000.000000     75.000000       32.761799       10.978005       0.19584 0.888204\r
 100 5100.000000     75.000000       32.980137       11.596158       0.1813  0.760039\r
 101 5200.000000     75.000000       33.22361        12.348783       0.175114        0.776895\r
 102 5300.000000     75.000000       33.299351       13.415834       0.191304        0.826582\r
 103 5400.000000     75.000000       33.321014       14.158  0.186509        0.813546\r
 104 5500.000000     75.000000       33.152111       15.415661       0.172283        0.762034\r
 105 5600.000000     75.000000       32.795773       15.700906       0.191396        0.864751\r
 106 5700.000000     75.000000       32.523846       16.193113       0.15926 0.678\r
 107 5800.000000     75.000000       32.199512       17.053415       0.166708        0.721795\r
 108 5900.000000     75.000000       31.762886       16.802309       0.160702        0.713335\r
 109 6000.000000     75.000000       31.472816       16.577913       0.187117        0.854067\r
 110 6100.000000     75.000000       31.194796       15.986836       0.174346        0.819377\r
 111 6200.000000     75.000000       31.078894       15.157799       0.19662 0.873713\r
 112 6300.000000     75.000000       31.007324       14.178082       0.191754        0.872635\r
 113 6400.000000     75.000000       30.975677       13.057358       0.185192        0.862346\r
 114 6500.000000     75.000000       31.085827       12.584453       0.189006        0.895014\r
 115 6600.000000     75.000000       31.340681       11.275678       0.194444        0.968899\r
 116 6700.000000     75.000000       31.596661       11.012586       0.190877        0.959395\r
 117 6800.000000     75.000000       31.898949       10.571537       0.165682        0.777581\r
 118 6900.000000     75.000000       32.320663       10.462974       0.156407        0.738121\r
 119 7000.000000     75.000000       32.681419       10.404223       0.206856        0.950801\r
 120 7100.000000     75.000000       33.068634       9.8611145       0.168551        0.78255\r
 121 7200.000000     75.000000       33.364925       9.8710938       0.17111 0.798904\r
 122 7300.000000     75.000000       33.802364       10.708382       0.167835        0.786175\r
 123 7400.000000     75.000000       34.030376       11.679962       0.206033        0.896211\r
 124 7500.000000     75.000000       34.178627       13.177113       0.17453 0.758373\r
 125 7600.000000     75.000000       34.382286       13.447111       0.183967        0.812623\r
 126 7700.000000     75.000000       34.417614       14.328679       0.154165        0.719936\r
 127 7800.000000     75.000000       34.322643       15.590285       0.19139 0.857711\r
 128 7900.000000     75.000000       34.313732       16.757959       0.201605        0.905135\r
 129 8000.000000     75.000000       34.178802       17.641329       0.179962        0.814588\r
 130 8100.000000     75.000000       34.452168       13.196966       0.220737        0.911139\r
 131 8200.000000     75.000000       34.096581       14.489974       0.177215        0.740998\r
 132 8300.000000     75.000000       33.815609       15.325462       0.134848        0.568246\r
 133 8400.000000     75.000000       33.341503       15.660119       0.127788        0.54551\r
 134 8500.000000     75.000000       33.135246       15.643116       0.168892        0.732805\r
 135 8600.000000     75.000000       32.785606       16.046043       0.181349        0.796102\r
 136 8700.000000     75.000000       32.40015        16.666594       0.159996        0.673532\r
 137 8800.000000     75.000000       32.06683        16.125748       0.128148        0.549649\r
 138 8900.000000     75.000000       31.726011       16.188112       0.109154        0.475232\r
 139 9000.000000     75.000000       31.430687       15.957591       0.127627        0.566901\r
 140 9100.000000     75.000000       31.125708       15.741574       0.116768        0.526572\r
 141 9200.000000     75.000000       30.815651       15.182068       0.127204        0.58798\r
 142 9300.000000     75.000000       30.497871       14.723157       0.115291        0.541025\r
 143 9400.000000     75.000000       30.209087       13.937606       0.119683        0.538197\r
 144 9500.000000     75.000000       30.006527       13.26902        0.124295        0.569701\r
 145 9600.000000     75.000000       29.806322       12.35161        0.140649        0.654201\r
 146 9700.000000     75.000000       29.702362       11.915883       0.125923        0.596471\r
 147 9800.000000     75.000000       29.623528       10.746055       0.145225        0.700376\r
 148 9900.000000     75.000000       29.489162       9.6620216       0.12931 0.631458\r
 149 10000.000000    75.000000       29.356562       8.8998976       0.129365        0.642063\r
 150 dpolE   7100.000000     65.000000       31.3749 8.73839\r
 151 dpolE   7200.000000     65.000000       37.3534 8.00899\r
 152 dpolE   8100.000000     65.000000       26.0092 7.9663\r
 153 dpolE   8200.000000     65.000000       18.5923 4.92337\r
 154 dpolE   8300.000000     65.000000       19.8065 2.50999\r
 155 dpolE   8400.000000     65.000000       17.3755 5.2957\r
 156 dpolE   8500.000000     65.000000       12.1636 11.6025\r
 157 dpolE   8700.000000     65.000000       18.9974 5.47641\r
 158 dpolE   8800.000000     65.000000       19.5434 1.76628\r
 159 dpolE   8900.000000     65.000000       18.8234 1.6301\r
 160 dpolE   9000.000000     65.000000       19.7819 1.2938\r
 161 dpolE   9100.000000     65.000000       19.6022 1.29792\r
 162 dpolE   9200.000000     65.000000       18.8664 1.26693\r
 163 dpolE   9300.000000     65.000000       19.281  1.2761\r
 164 dpolE   9400.000000     65.000000       19.4302 1.07362\r
 165 dpolE   9500.000000     65.000000       19.3831 1.33615\r
 166 dpolE   9600.000000     65.000000       19.9128 1.27048\r
 167 dpolE   9700.000000     65.000000       19.6768 1.25986\r
 168 dpolE   9800.000000     65.000000       19.3779 0.858863\r
 169 dpolE   9900.000000     65.000000       18.7332 0.883349\r
 170 dpolE   10000.000000    65.000000       19.1173 1.3566\r
 171 dpolE   4100.000000     70.000000       12.5413 12.5189\r
 172 dpolE   4200.000000     70.000000       9.24286 9.78973\r
 173 dpolE   4300.000000     70.000000       13.9449 3.72589\r
 174 dpolE   4400.000000     70.000000       5.60897 5.6818\r
 175 dpolE   4500.000000     70.000000       5.81074 4.32923\r
 176 dpolE   4600.000000     70.000000       8.0779  3.72947\r
 177 dpolE   4700.000000     70.000000       8.0037  2.89916\r
 178 dpolE   4800.000000     70.000000       11.2018 2.80023\r
 179 dpolE   4900.000000     70.000000       11.9165 2.2094\r
 180 dpolE   5000.000000     70.000000       9.88891 2.53806\r
 181 dpolE   5100.000000     70.000000       12.8602 1.81657\r
 182 dpolE   5200.000000     70.000000       11.0645 1.71928\r
 183 dpolE   5300.000000     70.000000       10.3993 1.57989\r
 184 dpolE   5400.000000     70.000000       10.9226 1.88972\r
 185 dpolE   5500.000000     70.000000       11.0512 1.31184\r
 186 dpolE   5600.000000     70.000000       9.80356 1.35698\r
 187 dpolE   5700.000000     70.000000       11.7636 1.31162\r
 188 dpolE   5800.000000     70.000000       11.8    1.93731\r
 189 dpolE   5900.000000     70.000000       11.592  1.66588\r
 190 dpolE   6000.000000     70.000000       11.8543 1.37599\r
 191 dpolE   6100.000000     70.000000       11.5488 1.16413\r
 192 dpolE   6200.000000     70.000000       11.041  1.03778\r
 193 dpolE   6300.000000     70.000000       10.9833 1.38082\r
 194 dpolE   6400.000000     70.000000       13.0132 1.17752\r
 195 dpolE   6500.000000     70.000000       12.2212 1.67173\r
 196 dpolE   6600.000000     70.000000       12.628  1.43962\r
 197 dpolE   6700.000000     70.000000       13.5009 1.09505\r
 198 dpolE   6800.000000     70.000000       13.8035 1.36719\r
 199 dpolE   6900.000000     70.000000       14.4351 1.26134\r
 200 dpolE   7000.000000     70.000000       15.5546 0.926184\r
 201 dpolE   7100.000000     70.000000       14.6797 1.46179\r
 202 dpolE   7200.000000     70.000000       16.1516 1.40173\r
 203 dpolE   7300.000000     70.000000       15.2351 1.24153\r
 204 dpolE   7400.000000     70.000000       14.7179 1.45511\r
 205 dpolE   7500.000000     70.000000       14.4619 1.23524\r
 206 dpolE   7600.000000     70.000000       13.3253 1.42265\r
 207 dpolE   7700.000000     70.000000       15.9936 1.2444\r
 208 dpolE   7800.000000     70.000000       15.161  1.94076\r
 209 dpolE   7900.000000     70.000000       15.0255 1.93095\r
 210 dpolE   8000.000000     70.000000       14.7785 1.46789\r
 211 dpolE   8100.000000     70.000000       8.57057 3.39279\r
 212 dpolE   8200.000000     70.000000       9.45525 1.34493\r
 213 dpolE   8300.000000     70.000000       10.1429 1.11937\r
 214 dpolE   8400.000000     70.000000       9.0968  1.21825\r
 215 dpolE   8500.000000     70.000000       9.70131 2.2687\r
 216 dpolE   8600.000000     70.000000       10.217  1.4755\r
 217 dpolE   8700.000000     70.000000       10.6531 1.12988\r
 218 dpolE   8800.000000     70.000000       11.2797 0.641674\r
 219 dpolE   8900.000000     70.000000       11.0545 0.707016\r
 220 dpolE   9000.000000     70.000000       11.405  0.629847\r
 221 dpolE   9100.000000     70.000000       11.4449 0.693144\r
 222 dpolE   9200.000000     70.000000       11.9024 0.683197\r
 223 dpolE   9300.000000     70.000000       12.5157 0.656575\r
 224 dpolE   9400.000000     70.000000       12.2758 0.671719\r
 225 dpolE   9500.000000     70.000000       12.3445 0.695322\r
 226 dpolE   9600.000000     70.000000       12.7746 0.785434\r
 227 dpolE   9700.000000     70.000000       12.9617 0.786355\r
 228 dpolE   9800.000000     70.000000       12.9213 0.674379\r
 229 dpolE   9900.000000     70.000000       12.9881 0.513975\r
 230 dpolE   10000.000000    70.000000       13.1003 0.433235\r
 231 dpolE   3700.000000     75.000000       20.3387 9.26251\r
 232 dpolE   3800.000000     75.000000       7.99835 7.20899\r
 233 dpolE   3900.000000     75.000000       14.0449 3.8749\r
 234 dpolE   4000.000000     75.000000       9.90718 3.56456\r
 235 dpolE   4100.000000     75.000000       11.4063 3.03361\r
 236 dpolE   4200.000000     75.000000       11.3003 2.18763\r
 237 dpolE   4300.000000     75.000000       10.7097 1.89637\r
 238 dpolE   4400.000000     75.000000       12.727  1.47843\r
 239 dpolE   4500.000000     75.000000       13.8877 1.40257\r
 240 dpolE   4600.000000     75.000000       13.5273 1.52273\r
 241 dpolE   4700.000000     75.000000       14.6699 1.40213\r
 242 dpolE   4800.000000     75.000000       15.1567 1.50306\r
 243 dpolE   4900.000000     75.000000       15.7885 1.36249\r
 244 dpolE   5000.000000     75.000000       16.5135 1.36586\r
 245 dpolE   5100.000000     75.000000       16.4771 1.30325\r
 246 dpolE   5200.000000     75.000000       16.2346 1.21039\r
 247 dpolE   5300.000000     75.000000       17.4743 1.37433\r
 248 dpolE   5400.000000     75.000000       16.9665 1.34586\r
 249 dpolE   5500.000000     75.000000       16.7579 1.24837\r
 250 dpolE   5600.000000     75.000000       16.6801 1.37704\r
 251 dpolE   5700.000000     75.000000       17.4354 1.15413\r
 252 dpolE   5800.000000     75.000000       17.2907 1.20538\r
 253 dpolE   5900.000000     75.000000       17.686  1.14339\r
 254 dpolE   6000.000000     75.000000       18.1624 1.31038\r
 255 dpolE   6100.000000     75.000000       18.9749 1.19848\r
 256 dpolE   6200.000000     75.000000       19.6301 1.35615\r
 257 dpolE   6300.000000     75.000000       20.2777 1.30053\r
 258 dpolE   6400.000000     75.000000       20.8296 1.23556\r
 259 dpolE   6500.000000     75.000000       21.5464 1.24975\r
 260 dpolE   6600.000000     75.000000       22.1006 1.26006\r
 261 dpolE   6700.000000     75.000000       22.4411 1.23495\r
 262 dpolE   6800.000000     75.000000       22.7922 1.07804\r
 263 dpolE   6900.000000     75.000000       23.4856 1.01663\r
 264 dpolE   7000.000000     75.000000       23.4857 1.379\r
 265 dpolE   7100.000000     75.000000       24.1953 1.1172\r
 266 dpolE   7200.000000     75.000000       24.0445 1.1419\r
 267 dpolE   7300.000000     75.000000       24.3517 1.12585\r
 268 dpolE   7400.000000     75.000000       23.8489 1.42994\r
 269 dpolE   7500.000000     75.000000       23.1898 1.22419\r
 270 dpolE   7600.000000     75.000000       24.2568 1.28503\r
 271 dpolE   7700.000000     75.000000       24.2163 1.03919\r
 272 dpolE   7800.000000     75.000000       24.0524 1.34806\r
 273 dpolE   7900.000000     75.000000       23.3346 1.43476\r
 274 dpolE   8000.000000     75.000000       23.3186 1.28876\r
 275 dpolE   8100.000000     75.000000       17.7491 1.62372\r
 276 dpolE   8200.000000     75.000000       17.5925 1.30354\r
 277 dpolE   8300.000000     75.000000       16.976  0.994556\r
 278 dpolE   8400.000000     75.000000       16.5168 0.938618\r
 279 dpolE   8500.000000     75.000000       16.6489 1.22974\r
 280 dpolE   8600.000000     75.000000       16.3777 1.3197\r
 281 dpolE   8700.000000     75.000000       17.2841 1.16461\r
 282 dpolE   8800.000000     75.000000       17.1935 0.919488\r
 283 dpolE   8900.000000     75.000000       17.0178 0.776944\r
 284 dpolE   9000.000000     75.000000       17.3571 0.896044\r
 285 dpolE   9100.000000     75.000000       17.1567 0.812664\r
 286 dpolE   9200.000000     75.000000       17.695  0.868582\r
 287 dpolE   9300.000000     75.000000       17.7002 0.781288\r
 288 dpolE   9400.000000     75.000000       17.8188 0.810658\r
 289 dpolE   9500.000000     75.000000       18.1177 0.830163\r
 290 dpolE   9600.000000     75.000000       18.0902 0.929933\r
 291 dpolE   9700.000000     75.000000       18.6878 0.82249\r
 292 dpolE   9800.000000     75.000000       18.9566 0.934237\r
 293 dpolE   9900.000000     75.000000       18.8839 0.8246\r
 294 dpolE   10000.000000    75.000000       19.0357 0.814034