2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=20, MaxRevs=100, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Thu Feb 12 15:37:50 2009]
\r
3 Original[2009.02.12silane.dat]
\r
5 8800.000000 65.000000 26.756718 -1.112681 0.537077 2.52528
\r
6 8900.000000 65.000000 26.213226 -3.8508613 0.438774 2.12248
\r
7 9000.000000 65.000000 26.477406 -5.5402322 0.417828 1.95789
\r
8 9100.000000 65.000000 26.610302 -3.1174948 0.449629 2.21046
\r
9 9200.000000 65.000000 26.538774 -6.4888768 0.233092 1.13274
\r
10 9300.000000 65.000000 26.44021 -4.3496518 0.344091 1.67712
\r
11 9400.000000 65.000000 26.653999 -5.3381181 0.393483 1.80972
\r
12 9500.000000 65.000000 26.674904 -4.1015635 0.285081 1.30442
\r
13 9600.000000 65.000000 26.708275 -1.9741414 0.455933 2.13196
\r
14 9700.000000 65.000000 26.55245 -4.7727566 0.433248 1.99171
\r
15 9800.000000 65.000000 26.808874 -5.1446795 0.137083 0.636685
\r
16 9900.000000 65.000000 26.827602 -5.5563035 0.130941 0.616277
\r
17 10000.000000 65.000000 26.819765 -6.5986328 0.296964 1.40499
\r
18 dpolE 8800.000000 65.000000 9.08178 3.39367
\r
19 dpolE 8900.000000 65.000000 9.11236 2.74627
\r
20 dpolE 9000.000000 65.000000 5.48109 2.71133
\r
21 dpolE 9100.000000 65.000000 10.1817 2.78998
\r
22 dpolE 9200.000000 65.000000 7.96634 1.47675
\r
23 dpolE 9300.000000 65.000000 6.52202 2.17948
\r
24 dpolE 9400.000000 65.000000 6.97662 2.56254
\r
25 dpolE 9500.000000 65.000000 5.84076 1.86405
\r
26 dpolE 9600.000000 65.000000 7.55256 2.92477
\r
27 dpolE 9700.000000 65.000000 3.82149 2.85449
\r
28 dpolE 9800.000000 65.000000 4.98776 0.897403
\r
29 dpolE 9900.000000 65.000000 5.71436 0.850528
\r
30 dpolE 10000.000000 65.000000 5.56126 1.93373