research/ellipsometry/WVASE32/DAT/210709 calibration wafer.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Wed Jul 22 13:22:21 2009]\r
   3 Original[210709 calibration wafer.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 3000.000000     65.000000       38.10902        105.94548       0.166455        0.425859\r
   6 3100.000000     65.000000       36.928928       106.91006       0.154285        0.397924\r
   7 3200.000000     65.000000       36.157948       107.97952       0.156839        0.409757\r
   8 3300.000000     65.000000       35.588066       109.38064       0.154192        0.41237\r
   9 3400.000000     65.000000       35.133747       110.93452       0.135494        0.365804\r
  10 3500.000000     65.000000       34.920807       112.84212       0.11803 0.322733\r
  11 3600.000000     65.000000       35.050739       115.81327       0.114031        0.318163\r
  12 3700.000000     65.000000       34.411797       121.11343       0.105535        0.303761\r
  13 3800.000000     65.000000       32.554565       124.7019        0.103185        0.320473\r
  14 3900.000000     65.000000       30.861553       126.30484       0.0775654       0.25429\r
  15 4000.000000     65.000000       29.581144       127.33042       0.0718628       0.246991\r
  16 4100.000000     65.000000       28.524239       128.19188       0.0802765       0.275796\r
  17 4200.000000     65.000000       27.637865       128.97765       0.0770838       0.274173\r
  18 4300.000000     65.000000       26.87619        129.62691       0.0606765       0.222702\r
  19 4400.000000     65.000000       26.20261        130.32698       0.062087        0.235913\r
  20 4500.000000     65.000000       25.591566       130.96864       0.0619454       0.24281\r
  21 4600.000000     65.000000       25.04011        131.63026       0.0627435       0.24207\r
  22 4700.000000     65.000000       24.523611       132.25972       0.0520957       0.206676\r
  23 4800.000000     65.000000       24.063747       132.88641       0.0530941       0.216651\r
  24 4900.000000     65.000000       23.638279       133.46413       0.0457261       0.19172\r
  25 5000.000000     65.000000       23.252474       134.03645       0.0415004       0.178539\r
  26 5100.000000     65.000000       22.881693       134.6515        0.046446        0.195364\r
  27 5200.000000     65.000000       22.534716       135.23224       0.0452943       0.195157\r
  28 5300.000000     65.000000       22.212801       135.79552       0.0347984       0.15352\r
  29 5400.000000     65.000000       21.922712       136.29926       0.0384438       0.173882\r
  30 5500.000000     65.000000       21.638973       136.85864       0.033005        0.152887\r
  31 5600.000000     65.000000       21.382935       137.33212       0.0353879       0.167685\r
  32 5700.000000     65.000000       21.126318       137.90198       0.0332133       0.152391\r
  33 5800.000000     65.000000       20.891771       138.39301       0.0341305       0.160235\r
  34 5900.000000     65.000000       20.67458        138.85684       0.0303558       0.145516\r
  35 6000.000000     65.000000       20.466129       139.33638       0.0279691       0.136851\r
  36 6100.000000     65.000000       20.272148       139.84334       0.0253575       0.126651\r
  37 6200.000000     65.000000       20.078777       140.34145       0.0287715       0.13881\r
  38 6300.000000     65.000000       19.904202       140.79703       0.0291231       0.143391\r
  39 6400.000000     65.000000       19.731428       141.22873       0.0259301       0.130057\r
  40 6500.000000     65.000000       19.573315       141.66187       0.02465 0.125929\r
  41 6600.000000     65.000000       19.418791       142.07903       0.0244194       0.127047\r
  42 6700.000000     65.000000       19.273266       142.51492       0.0212148       0.112411\r
  43 6800.000000     65.000000       19.136351       142.94714       0.0245362       0.125123\r
  44 6900.000000     65.000000       18.998177       143.34373       0.0208733       0.108211\r
  45 7000.000000     65.000000       18.865955       143.74057       0.0229169       0.121012\r
  46 7100.000000     65.000000       18.741722       144.14087       0.0228339       0.122597\r
  47 7200.000000     65.000000       18.626215       144.52783       0.0208755       0.113908\r
  48 7300.000000     65.000000       18.510286       144.9212        0.0203088       0.112718\r
  49 7400.000000     65.000000       18.402174       145.32782       0.0225821       0.120427\r
  50 7500.000000     65.000000       18.308744       145.65727       0.0238426       0.128914\r
  51 7600.000000     65.000000       18.202263       146.00998       0.0245006       0.134357\r
  52 7700.000000     65.000000       18.106274       146.3593        0.0202298       0.112662\r
  53 7800.000000     65.000000       18.02397        146.72444       0.0180315       0.101636\r
  54 7900.000000     65.000000       17.924023       147.08005       0.0175392       0.10051\r
  55 8000.000000     65.000000       17.833286       147.42419       0.0160261       0.0933696\r
  56 8100.000000     65.000000       17.728064       147.78265       0.0200416       0.111908\r
  57 8200.000000     65.000000       17.658506       148.11978       0.0222446       0.126259\r
  58 8300.000000     65.000000       17.581306       148.43056       0.0221727       0.127699\r
  59 8400.000000     65.000000       17.505795       148.75749       0.0199121       0.116065\r
  60 8500.000000     65.000000       17.428984       149.0146        0.0185464       0.108142\r
  61 8600.000000     65.000000       17.357201       149.34851       0.0181747       0.107806\r
  62 8700.000000     65.000000       17.289742       149.66756       0.0199956       0.114445\r
  63 8800.000000     65.000000       17.219265       150.004 0.0222987       0.129848\r
  64 8900.000000     65.000000       17.168198       150.17931       0.0196821       0.115877\r
  65 9000.000000     65.000000       17.112604       150.42355       0.0199141       0.118637\r
  66 9100.000000     65.000000       17.051044       150.71788       0.0157691       0.0951232\r
  67 9200.000000     65.000000       16.99095        150.99268       0.0176675       0.107885\r
  68 9300.000000     65.000000       16.930433       151.32947       0.016958        0.104821\r
  69 9400.000000     65.000000       16.876663       151.57841       0.0192663       0.114035\r
  70 9500.000000     65.000000       16.822857       151.84703       0.0181152       0.10846\r
  71 9600.000000     65.000000       16.779114       152.0809        0.0186461       0.112776\r
  72 9700.000000     65.000000       16.725679       152.34428       0.0186684       0.114182\r
  73 9800.000000     65.000000       16.675549       152.59984       0.0186273       0.115193\r
  74 9900.000000     65.000000       16.633263       152.85837       0.018375        0.115143\r
  75 10000.000000    65.000000       16.598396       153.00311       0.0174756       0.110638\r
  76 3000.000000     70.000000       37.903336       89.462944       0.2065  0.511908\r
  77 3100.000000     70.000000       36.618877       89.89193        0.147086        0.362413\r
  78 3200.000000     70.000000       35.807384       90.83062        0.131991        0.323704\r
  79 3300.000000     70.000000       35.16431        92.223763       0.15463 0.400049\r
  80 3400.000000     70.000000       34.551571       93.891258       0.120691        0.309526\r
  81 3500.000000     70.000000       34.251049       95.83625        0.120525        0.30883\r
  82 3600.000000     70.000000       34.231903       99.118401       0.132738        0.33923\r
  83 3700.000000     70.000000       33.309055       104.73302       0.107105        0.291898\r
  84 3800.000000     70.000000       31.006859       108.39449       0.127082        0.362652\r
  85 3900.000000     70.000000       28.996832       109.62572       0.104314        0.312664\r
  86 4000.000000     70.000000       27.490015       110.27607       0.0784402       0.245646\r
  87 4100.000000     70.000000       26.256681       110.74163       0.0960696       0.314157\r
  88 4200.000000     70.000000       25.222525       111.17423       0.0743331       0.250279\r
  89 4300.000000     70.000000       24.318069       111.59555       0.0817893       0.282271\r
  90 4400.000000     70.000000       23.499413       111.92228       0.0645977       0.22952\r
  91 4500.000000     70.000000       22.786654       112.35606       0.0629661       0.230799\r
  92 4600.000000     70.000000       22.102978       112.7375        0.0605419       0.228135\r
  93 4700.000000     70.000000       21.502853       113.11906       0.0608465       0.234677\r
  94 4800.000000     70.000000       20.937029       113.53138       0.0515156       0.203554\r
  95 4900.000000     70.000000       20.43634        113.8214        0.0643597       0.260352\r
  96 5000.000000     70.000000       19.95524        114.18735       0.0449316       0.185878\r
  97 5100.000000     70.000000       19.472757       114.55539       0.0547066       0.230458\r
  98 5200.000000     70.000000       19.053894       114.92149       0.0388523       0.167589\r
  99 5300.000000     70.000000       18.641989       115.34776       0.0400524       0.175797\r
 100 5400.000000     70.000000       18.263523       115.67416       0.0622504       0.279914\r
 101 5500.000000     70.000000       17.915253       116.1076        0.037646        0.173411\r
 102 5600.000000     70.000000       17.574591       116.52498       0.0347747       0.163444\r
 103 5700.000000     70.000000       17.24794        116.93594       0.0316395       0.15044\r
 104 5800.000000     70.000000       16.938194       117.29825       0.0299683       0.145537\r
 105 5900.000000     70.000000       16.652355       117.70201       0.035685        0.176604\r
 106 6000.000000     70.000000       16.385422       118.04228       0.0315616       0.158954\r
 107 6100.000000     70.000000       16.119122       118.41952       0.0278471       0.142959\r
 108 6200.000000     70.000000       15.863753       118.80502       0.0296479       0.153772\r
 109 6300.000000     70.000000       15.621533       119.16552       0.0259494       0.136857\r
 110 6400.000000     70.000000       15.389254       119.54364       0.0255336       0.137061\r
 111 6500.000000     70.000000       15.170002       119.88322       0.024031        0.13114\r
 112 6600.000000     70.000000       14.961427       120.24483       0.0242325       0.134485\r
 113 6700.000000     70.000000       14.755564       120.60649       0.0227254       0.128877\r
 114 6800.000000     70.000000       14.562546       120.97817       0.0244448       0.138759\r
 115 6900.000000     70.000000       14.373663       121.31525       0.0235466       0.135799\r
 116 7000.000000     70.000000       14.192423       121.68677       0.021058        0.12329\r
 117 7100.000000     70.000000       14.026758       122.02526       0.0206108       0.122448\r
 118 7200.000000     70.000000       13.856075       122.36118       0.0221248       0.133622\r
 119 7300.000000     70.000000       13.698408       122.76338       0.0144142       0.0887609\r
 120 7400.000000     70.000000       13.537396       123.09801       0.018418        0.113068\r
 121 7500.000000     70.000000       13.38919        123.41801       0.0233805       0.145429\r
 122 7600.000000     70.000000       13.248744       123.72671       0.0202107       0.127372\r
 123 7700.000000     70.000000       13.112924       124.09981       0.0190239       0.121698\r
 124 7800.000000     70.000000       12.971421       124.44144       0.0164534       0.106506\r
 125 7900.000000     70.000000       12.836859       124.80359       0.0161481       0.106343\r
 126 8000.000000     70.000000       12.705934       125.14919       0.0200336       0.1342\r
 127 8100.000000     70.000000       12.589014       125.59467       0.0198702       0.124331\r
 128 8200.000000     70.000000       12.432518       125.90251       0.0229765       0.154954\r
 129 8300.000000     70.000000       12.350916       126.08104       0.0217659       0.149233\r
 130 8400.000000     70.000000       12.22436        126.42654       0.0186611       0.128727\r
 131 8500.000000     70.000000       12.130359       126.84084       0.0219266       0.15118\r
 132 8600.000000     70.000000       12.022347       127.10125       0.0284621       0.199462\r
 133 8700.000000     70.000000       11.915901       127.34579       0.0174448       0.122084\r
 134 8800.000000     70.000000       11.810009       127.75085       0.0220239       0.158806\r
 135 8900.000000     70.000000       11.735302       127.94405       0.0196563       0.143069\r
 136 9000.000000     70.000000       11.637378       128.24457       0.0187176       0.138167\r
 137 9100.000000     70.000000       11.543844       128.52702       0.0164777       0.123055\r
 138 9200.000000     70.000000       11.45839        128.82668       0.0194096       0.147702\r
 139 9300.000000     70.000000       11.363843       129.18309       0.0171862       0.132546\r
 140 9400.000000     70.000000       11.279422       129.50191       0.020416        0.155373\r
 141 9500.000000     70.000000       11.196786       129.79231       0.0199435       0.153585\r
 142 9600.000000     70.000000       11.125966       130.06213       0.0166783       0.129688\r
 143 9700.000000     70.000000       11.046848       130.35381       0.0190768       0.150258\r
 144 9800.000000     70.000000       10.966178       130.68652       0.018064        0.144414\r
 145 9900.000000     70.000000       10.893674       130.95984       0.0179399       0.145032\r
 146 10000.000000    70.000000       10.833306       131.09789       0.0174566       0.142429\r
 147 3000.000000     75.000000       38.307289       69.697884       0.188132        0.483575\r
 148 3100.000000     75.000000       37.139511       70.252907       0.134239        0.351668\r
 149 3200.000000     75.000000       36.307636       71.120392       0.163633        0.426782\r
 150 3300.000000     75.000000       35.630161       72.271812       0.123943        0.328613\r
 151 3400.000000     75.000000       35.011589       73.613182       0.135536        0.357841\r
 152 3500.000000     75.000000       34.57436        75.278542       0.127489        0.335856\r
 153 3600.000000     75.000000       34.388927       78.546158       0.125207        0.323562\r
 154 3700.000000     75.000000       33.104465       83.736671       0.107164        0.286429\r
 155 3800.000000     75.000000       30.461138       86.690178       0.0920529       0.253058\r
 156 3900.000000     75.000000       28.306696       87.046288       0.085542        0.244235\r
 157 4000.000000     75.000000       26.729198       86.865791       0.0759451       0.223669\r
 158 4100.000000     75.000000       25.401745       86.526985       0.0671058       0.212397\r
 159 4200.000000     75.000000       24.32198        86.198639       0.065189        0.211077\r
 160 4300.000000     75.000000       23.386757       85.892494       0.0645457       0.213468\r
 161 4400.000000     75.000000       22.552805       85.574829       0.0545998       0.183752\r
 162 4500.000000     75.000000       21.784986       85.254944       0.0517212       0.178269\r
 163 4600.000000     75.000000       21.080887       84.962616       0.0486741       0.177411\r
 164 4700.000000     75.000000       20.444487       84.665581       0.0468364       0.174222\r
 165 4800.000000     75.000000       19.847754       84.360176       0.042119        0.159025\r
 166 4900.000000     75.000000       19.304312       84.124893       0.0422849       0.162618\r
 167 5000.000000     75.000000       18.793968       83.846153       0.0378675       0.148081\r
 168 5100.000000     75.000000       18.312517       83.593384       0.0364848       0.150409\r
 169 5200.000000     75.000000       17.84749        83.310028       0.0365618       0.153007\r
 170 5300.000000     75.000000       17.423222       83.031403       0.0344989       0.14631\r
 171 5400.000000     75.000000       17.01865        82.809311       0.0354874       0.153172\r
 172 5500.000000     75.000000       16.639061       82.557152       0.0328344       0.143689\r
 173 5600.000000     75.000000       16.281063       82.307037       0.0275235       0.122087\r
 174 5700.000000     75.000000       15.936924       82.068665       0.0315243       0.146818\r
 175 5800.000000     75.000000       15.602325       81.828262       0.0302472       0.142667\r
 176 5900.000000     75.000000       15.296107       81.606056       0.0296363       0.141324\r
 177 6000.000000     75.000000       14.997261       81.354523       0.0266879       0.128765\r
 178 6100.000000     75.000000       14.720437       81.148041       0.0282359       0.1385\r
 179 6200.000000     75.000000       14.439399       80.918625       0.0266537       0.136555\r
 180 6300.000000     75.000000       14.173969       80.686646       0.0255697       0.132486\r
 181 6400.000000     75.000000       13.925379       80.438606       0.022673        0.118696\r
 182 6500.000000     75.000000       13.68236        80.271194       0.0226905       0.120595\r
 183 6600.000000     75.000000       13.456589       80.044807       0.020774        0.111588\r
 184 6700.000000     75.000000       13.229371       79.805283       0.0214255       0.116439\r
 185 6800.000000     75.000000       13.010839       79.586655       0.0219586       0.124006\r
 186 6900.000000     75.000000       12.79871        79.384438       0.023596        0.134706\r
 187 7000.000000     75.000000       12.606572       79.197052       0.0205847       0.118982\r
 188 7100.000000     75.000000       12.416154       78.976921       0.0192687       0.112465\r
 189 7200.000000     75.000000       12.229851       78.793274       0.0160848       0.094936\r
 190 7300.000000     75.000000       12.044127       78.56562        0.0205703       0.122851\r
 191 7400.000000     75.000000       11.869187       78.362366       0.0180761       0.11156\r
 192 7500.000000     75.000000       11.697825       78.129005       0.0179791       0.112076\r
 193 7600.000000     75.000000       11.539281       77.953842       0.0204427       0.12904\r
 194 7700.000000     75.000000       11.382193       77.742966       0.0189848       0.120954\r
 195 7800.000000     75.000000       11.23   77.527985       0.0203247       0.130638\r
 196 7900.000000     75.000000       11.077474       77.33181        0.0166321       0.108036\r
 197 8000.000000     75.000000       10.929536       77.071449       0.0162974       0.106907\r
 198 8100.000000     75.000000       10.791587       76.87664        0.0278224       0.18708\r
 199 8200.000000     75.000000       10.621634       76.695213       0.0199873       0.13677\r
 200 8300.000000     75.000000       10.518118       76.535522       0.0173024       0.119119\r
 201 8400.000000     75.000000       10.383435       76.367821       0.022715        0.15807\r
 202 8500.000000     75.000000       10.257289       76.048332       0.0199082       0.139575\r
 203 8600.000000     75.000000       10.133519       75.950272       0.0158148       0.11179\r
 204 8700.000000     75.000000       10.022974       75.774506       0.0166762       0.121608\r
 205 8800.000000     75.000000       9.8922539       75.516357       0.0208019       0.154287\r
 206 8900.000000     75.000000       9.794796        75.375008       0.0194642       0.145169\r
 207 9000.000000     75.000000       9.6856012       75.167526       0.0168187       0.126478\r
 208 9100.000000     75.000000       9.5782938       74.974724       0.0167005       0.126553\r
 209 9200.000000     75.000000       9.4743137       74.764038       0.0171318       0.131112\r
 210 9300.000000     75.000000       9.3636675       74.537361       0.0181505       0.140023\r
 211 9400.000000     75.000000       9.2615757       74.320541       0.0189736       0.150048\r
 212 9500.000000     75.000000       9.1633673       74.131935       0.0187228       0.149128\r
 213 9600.000000     75.000000       9.0740891       73.931343       0.0154147       0.123461\r
 214 9700.000000     75.000000       8.9787388       73.729568       0.0159713       0.128954\r
 215 9800.000000     75.000000       8.8834658       73.527748       0.0160166       0.130497\r
 216 9900.000000     75.000000       8.7959042       73.331055       0.0154519       0.126801\r
 217 10000.000000    75.000000       8.7220497       73.206993       0.0153422       0.126413\r
 218 dpolE   3000.000000     65.000000       0.989679        2.04051\r
 219 dpolE   3100.000000     65.000000       0.71498 1.92287\r
 220 dpolE   3200.000000     65.000000       0.623475        1.98699\r
 221 dpolE   3300.000000     65.000000       0.843477        1.77831\r
 222 dpolE   3400.000000     65.000000       0.641239        1.58869\r
 223 dpolE   3500.000000     65.000000       0.633093        1.40534\r
 224 dpolE   3600.000000     65.000000       0.391423        1.3775\r
 225 dpolE   3700.000000     65.000000       0.452489        1.15358\r
 226 dpolE   3800.000000     65.000000       0.452826        1.07705\r
 227 dpolE   3900.000000     65.000000       0.259555        0.78958\r
 228 dpolE   4000.000000     65.000000       0.211749        0.719026\r
 229 dpolE   4100.000000     65.000000       0.186142        0.737499\r
 230 dpolE   4200.000000     65.000000       0.206239        0.699762\r
 231 dpolE   4300.000000     65.000000       0.238994        0.544641\r
 232 dpolE   4400.000000     65.000000       0.182522        0.553176\r
 233 dpolE   4500.000000     65.000000       0.149887        0.547158\r
 234 dpolE   4600.000000     65.000000       0.0756703       0.517668\r
 235 dpolE   4700.000000     65.000000       0.138177        0.425737\r
 236 dpolE   4800.000000     65.000000       0.10708 0.431272\r
 237 dpolE   4900.000000     65.000000       0.140173        0.36874\r
 238 dpolE   5000.000000     65.000000       0.089283        0.33269\r
 239 dpolE   5100.000000     65.000000       0.0434862       0.351458\r
 240 dpolE   5200.000000     65.000000       0.0638291       0.340234\r
 241 dpolE   5300.000000     65.000000       0.0742414       0.259616\r
 242 dpolE   5400.000000     65.000000       0.0852136       0.285533\r
 243 dpolE   5500.000000     65.000000       0.0698683       0.24373\r
 244 dpolE   5600.000000     65.000000       0.056002        0.260147\r
 245 dpolE   5700.000000     65.000000       0.0194873       0.232078\r
 246 dpolE   5800.000000     65.000000       0.0414693       0.237358\r
 247 dpolE   5900.000000     65.000000       0.0639799       0.210011\r
 248 dpolE   6000.000000     65.000000       0.0492002       0.192574\r
 249 dpolE   6100.000000     65.000000       0.0360417       0.173751\r
 250 dpolE   6200.000000     65.000000       0.0309054       0.189049\r
 251 dpolE   6300.000000     65.000000       0.0420822       0.19058\r
 252 dpolE   6400.000000     65.000000       0.0389985       0.168862\r
 253 dpolE   6500.000000     65.000000       0.044961        0.15979\r
 254 dpolE   6600.000000     65.000000       0.0452295       0.157605\r
 255 dpolE   6700.000000     65.000000       0.0433533       0.136324\r
 256 dpolE   6800.000000     65.000000       0.0408337       0.152384\r
 257 dpolE   6900.000000     65.000000       0.0404609       0.128976\r
 258 dpolE   7000.000000     65.000000       0.0304998       0.141165\r
 259 dpolE   7100.000000     65.000000       0.0310776       0.14004\r
 260 dpolE   7200.000000     65.000000       0.0114772       0.127542\r
 261 dpolE   7300.000000     65.000000       0.0480653       0.123509\r
 262 dpolE   7400.000000     65.000000       0.0574895       0.133605\r
 263 dpolE   7500.000000     65.000000       0.043984        0.140583\r
 264 dpolE   7600.000000     65.000000       0.00344484      0.143928\r
 265 dpolE   7700.000000     65.000000       0.0704774       0.118266\r
 266 dpolE   7800.000000     65.000000       0.0135547       0.105301\r
 267 dpolE   7900.000000     65.000000       0.0610848       0.101791\r
 268 dpolE   8000.000000     65.000000       0.0653195       0.0928445\r
 269 dpolE   8100.000000     65.000000       0.0501373       0.113668\r
 270 dpolE   8200.000000     65.000000       0.0808927       0.125197\r
 271 dpolE   8300.000000     65.000000       0.0545366       0.124121\r
 272 dpolE   8400.000000     65.000000       0.0774682       0.111254\r
 273 dpolE   8500.000000     65.000000       0.0824077       0.105049\r
 274 dpolE   8600.000000     65.000000       0.0904518       0.102106\r
 275 dpolE   8700.000000     65.000000       0.0994566       0.109461\r
 276 dpolE   8800.000000     65.000000       0.0784933       0.120803\r
 277 dpolE   8900.000000     65.000000       0.0793139       0.106368\r
 278 dpolE   9000.000000     65.000000       0.0808979       0.107255\r
 279 dpolE   9100.000000     65.000000       0.0999806       0.084584\r
 280 dpolE   9200.000000     65.000000       0.0925812       0.0944034\r
 281 dpolE   9300.000000     65.000000       0.0939845       0.0902727\r
 282 dpolE   9400.000000     65.000000       0.075558        0.10136\r
 283 dpolE   9500.000000     65.000000       0.0965339       0.0948963\r
 284 dpolE   9600.000000     65.000000       0.0916325       0.0974134\r
 285 dpolE   9700.000000     65.000000       0.0879988       0.0971491\r
 286 dpolE   9800.000000     65.000000       0.0654769       0.0965705\r
 287 dpolE   9900.000000     65.000000       0.0774302       0.0950419\r
 288 dpolE   10000.000000    65.000000       0.105469        0.0901944\r
 289 dpolE   3000.000000     70.000000       1.5117  2.56115\r
 290 dpolE   3100.000000     70.000000       0.221777        1.8683\r
 291 dpolE   3200.000000     70.000000       -0.109916       1.713\r
 292 dpolE   3300.000000     70.000000       1.35561 1.80718\r
 293 dpolE   3400.000000     70.000000       0.349613        1.44291\r
 294 dpolE   3500.000000     70.000000       0.434977        1.46915\r
 295 dpolE   3600.000000     70.000000       -0.277824       1.65858\r
 296 dpolE   3700.000000     70.000000       0.419115        1.19626\r
 297 dpolE   3800.000000     70.000000       -0.258856       1.38287\r
 298 dpolE   3900.000000     70.000000       -0.126835       1.10662\r
 299 dpolE   4000.000000     70.000000       0.238122        0.816633\r
 300 dpolE   4100.000000     70.000000       0.167516        0.898659\r
 301 dpolE   4200.000000     70.000000       0.133034        0.687505\r
 302 dpolE   4300.000000     70.000000       -0.299472       0.751901\r
 303 dpolE   4400.000000     70.000000       0.111444        0.585405\r
 304 dpolE   4500.000000     70.000000       0.190609        0.566938\r
 305 dpolE   4600.000000     70.000000       0.232368        0.494903\r
 306 dpolE   4700.000000     70.000000       0.0265722       0.495479\r
 307 dpolE   4800.000000     70.000000       0.200845        0.415491\r
 308 dpolE   4900.000000     70.000000       0.163311        0.517233\r
 309 dpolE   5000.000000     70.000000       0.146299        0.358935\r
 310 dpolE   5100.000000     70.000000       0.00967465      0.400759\r
 311 dpolE   5200.000000     70.000000       0.0305384       0.283575\r
 312 dpolE   5300.000000     70.000000       -0.228002       0.291391\r
 313 dpolE   5400.000000     70.000000       0.101229        0.448287\r
 314 dpolE   5500.000000     70.000000       0.11136 0.27027\r
 315 dpolE   5600.000000     70.000000       0.0118146       0.248705\r
 316 dpolE   5700.000000     70.000000       0.0515977       0.208677\r
 317 dpolE   5800.000000     70.000000       0.0489773       0.196945\r
 318 dpolE   5900.000000     70.000000       0.0524348       0.233381\r
 319 dpolE   6000.000000     70.000000       0.024107        0.205673\r
 320 dpolE   6100.000000     70.000000       0.0332676       0.180533\r
 321 dpolE   6200.000000     70.000000       0.0317305       0.179064\r
 322 dpolE   6300.000000     70.000000       0.0179318       0.156041\r
 323 dpolE   6400.000000     70.000000       0.0486411       0.152749\r
 324 dpolE   6500.000000     70.000000       0.0344338       0.143187\r
 325 dpolE   6600.000000     70.000000       0.0405629       0.14378\r
 326 dpolE   6700.000000     70.000000       0.0329202       0.134676\r
 327 dpolE   6800.000000     70.000000       0.0249801       0.135531\r
 328 dpolE   6900.000000     70.000000       0.0291983       0.129977\r
 329 dpolE   7000.000000     70.000000       0.0179617       0.115827\r
 330 dpolE   7100.000000     70.000000       -0.00247985     0.113036\r
 331 dpolE   7200.000000     70.000000       0.0198168       0.120783\r
 332 dpolE   7300.000000     70.000000       -0.00608806     0.0787116\r
 333 dpolE   7400.000000     70.000000       0.0118073       0.0945771\r
 334 dpolE   7500.000000     70.000000       -0.018386       0.119775\r
 335 dpolE   7600.000000     70.000000       -0.0223658      0.103296\r
 336 dpolE   7700.000000     70.000000       0.014426        0.0968566\r
 337 dpolE   7800.000000     70.000000       0.026399        0.0836635\r
 338 dpolE   7900.000000     70.000000       0.0218281       0.0816575\r
 339 dpolE   8000.000000     70.000000       0.0255982       0.101443\r
 340 dpolE   8100.000000     70.000000       0.133875        0.0939598\r
 341 dpolE   8200.000000     70.000000       0.0604533       0.109561\r
 342 dpolE   8300.000000     70.000000       -0.00105889     0.103266\r
 343 dpolE   8400.000000     70.000000       0.0420756       0.0888646\r
 344 dpolE   8500.000000     70.000000       0.052581        0.105544\r
 345 dpolE   8600.000000     70.000000       0.0111971       0.136273\r
 346 dpolE   8700.000000     70.000000       -0.0252743      0.0786492\r
 347 dpolE   8800.000000     70.000000       0.016946        0.0974003\r
 348 dpolE   8900.000000     70.000000       -0.00170207     0.0869168\r
 349 dpolE   9000.000000     70.000000       0.0148968       0.0823827\r
 350 dpolE   9100.000000     70.000000       -0.0102487      0.0723573\r
 351 dpolE   9200.000000     70.000000       -0.00913702     0.0851979\r
 352 dpolE   9300.000000     70.000000       0.0141349       0.0752263\r
 353 dpolE   9400.000000     70.000000       0.0068343       0.085196\r
 354 dpolE   9500.000000     70.000000       -0.000656007    0.0829806\r
 355 dpolE   9600.000000     70.000000       0.00478112      0.0693417\r
 356 dpolE   9700.000000     70.000000       0.0136364       0.0790225\r
 357 dpolE   9800.000000     70.000000       0.0174431       0.0744166\r
 358 dpolE   9900.000000     70.000000       0.00748599      0.0737636\r
 359 dpolE   10000.000000    70.000000       0.00580634      0.0717837\r
 360 dpolE   3000.000000     75.000000       -0.949815       2.32329\r
 361 dpolE   3100.000000     75.000000       1.19318 1.66287\r
 362 dpolE   3200.000000     75.000000       0.301695        2.07682\r
 363 dpolE   3300.000000     75.000000       0.601612        1.43925\r
 364 dpolE   3400.000000     75.000000       0.36383 1.60454\r
 365 dpolE   3500.000000     75.000000       0.705006        1.53853\r
 366 dpolE   3600.000000     75.000000       0.210711        1.55586\r
 367 dpolE   3700.000000     75.000000       0.674102        1.20301\r
 368 dpolE   3800.000000     75.000000       0.423643        1.01047\r
 369 dpolE   3900.000000     75.000000       0.437727        0.917775\r
 370 dpolE   4000.000000     75.000000       0.301243        0.80287\r
 371 dpolE   4100.000000     75.000000       0.305982        0.631409\r
 372 dpolE   4200.000000     75.000000       0.238119        0.606919\r
 373 dpolE   4300.000000     75.000000       0.18638 0.595577\r
 374 dpolE   4400.000000     75.000000       0.133273        0.498847\r
 375 dpolE   4500.000000     75.000000       0.155603        0.469711\r
 376 dpolE   4600.000000     75.000000       0.0524765       0.398331\r
 377 dpolE   4700.000000     75.000000       0.107956        0.381024\r
 378 dpolE   4800.000000     75.000000       0.0338113       0.340273\r
 379 dpolE   4900.000000     75.000000       0.0165613       0.340234\r
 380 dpolE   5000.000000     75.000000       0.102048        0.30242\r
 381 dpolE   5100.000000     75.000000       0.0029972       0.265387\r
 382 dpolE   5200.000000     75.000000       0.0524614       0.263931\r
 383 dpolE   5300.000000     75.000000       0.0696381       0.247414\r
 384 dpolE   5400.000000     75.000000       0.0294495       0.254036\r
 385 dpolE   5500.000000     75.000000       0.0212885       0.233886\r
 386 dpolE   5600.000000     75.000000       0.0304649       0.195035\r
 387 dpolE   5700.000000     75.000000       0.0230645       0.204588\r
 388 dpolE   5800.000000     75.000000       0.0163717       0.195294\r
 389 dpolE   5900.000000     75.000000       -0.022047       0.190622\r
 390 dpolE   6000.000000     75.000000       -0.0261858      0.170814\r
 391 dpolE   6100.000000     75.000000       -0.0392958      0.180761\r
 392 dpolE   6200.000000     75.000000       0.000221039     0.156527\r
 393 dpolE   6300.000000     75.000000       0.0075414       0.149436\r
 394 dpolE   6400.000000     75.000000       -0.0027468      0.131967\r
 395 dpolE   6500.000000     75.000000       -0.00832044     0.131965\r
 396 dpolE   6600.000000     75.000000       -0.0320828      0.120493\r
 397 dpolE   6700.000000     75.000000       -0.0367558      0.123799\r
 398 dpolE   6800.000000     75.000000       -0.00819336     0.116955\r
 399 dpolE   6900.000000     75.000000       0.0280097       0.124981\r
 400 dpolE   7000.000000     75.000000       -0.0421782      0.109338\r
 401 dpolE   7100.000000     75.000000       -0.0673133      0.102112\r
 402 dpolE   7200.000000     75.000000       -0.0405719      0.084899\r
 403 dpolE   7300.000000     75.000000       -0.00768042     0.108067\r
 404 dpolE   7400.000000     75.000000       -0.0376077      0.0880928\r
 405 dpolE   7500.000000     75.000000       -0.00137398     0.0871852\r
 406 dpolE   7600.000000     75.000000       -0.0451866      0.0994503\r
 407 dpolE   7700.000000     75.000000       -0.0514074      0.0921581\r
 408 dpolE   7800.000000     75.000000       -0.0300956      0.0984656\r
 409 dpolE   7900.000000     75.000000       -0.0394196      0.0802666\r
 410 dpolE   8000.000000     75.000000       -0.0330567      0.0783975\r
 411 dpolE   8100.000000     75.000000       0.0406628       0.125468\r
 412 dpolE   8200.000000     75.000000       0.00251186      0.0889558\r
 413 dpolE   8300.000000     75.000000       -0.0581432      0.0769277\r
 414 dpolE   8400.000000     75.000000       -0.0564271      0.101552\r
 415 dpolE   8500.000000     75.000000       -0.00366519     0.0889725\r
 416 dpolE   8600.000000     75.000000       -0.036562       0.0705355\r
 417 dpolE   8700.000000     75.000000       -0.04779        0.0693158\r
 418 dpolE   8800.000000     75.000000       -0.031298       0.0854538\r
 419 dpolE   8900.000000     75.000000       -0.0498459      0.0799389\r
 420 dpolE   9000.000000     75.000000       -0.057115       0.0688744\r
 421 dpolE   9100.000000     75.000000       -0.0655402      0.0682245\r
 422 dpolE   9200.000000     75.000000       -0.0435989      0.0696776\r
 423 dpolE   9300.000000     75.000000       -0.0460313      0.0735962\r
 424 dpolE   9400.000000     75.000000       -0.0425261      0.0719815\r
 425 dpolE   9500.000000     75.000000       -0.0422667      0.0707879\r
 426 dpolE   9600.000000     75.000000       -0.0445216      0.0581799\r
 427 dpolE   9700.000000     75.000000       -0.0348055      0.0600273\r
 428 dpolE   9800.000000     75.000000       -0.0284785      0.0598895\r
 429 dpolE   9900.000000     75.000000       -0.0227567      0.057589\r
 430 dpolE   10000.000000    75.000000       -0.0424987      0.0571742