2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Wed Jul 22 13:22:21 2009]
\r
3 Original[210709 calibration wafer.dat]
\r
5 3000.000000 65.000000 38.10902 105.94548 0.166455 0.425859
\r
6 3100.000000 65.000000 36.928928 106.91006 0.154285 0.397924
\r
7 3200.000000 65.000000 36.157948 107.97952 0.156839 0.409757
\r
8 3300.000000 65.000000 35.588066 109.38064 0.154192 0.41237
\r
9 3400.000000 65.000000 35.133747 110.93452 0.135494 0.365804
\r
10 3500.000000 65.000000 34.920807 112.84212 0.11803 0.322733
\r
11 3600.000000 65.000000 35.050739 115.81327 0.114031 0.318163
\r
12 3700.000000 65.000000 34.411797 121.11343 0.105535 0.303761
\r
13 3800.000000 65.000000 32.554565 124.7019 0.103185 0.320473
\r
14 3900.000000 65.000000 30.861553 126.30484 0.0775654 0.25429
\r
15 4000.000000 65.000000 29.581144 127.33042 0.0718628 0.246991
\r
16 4100.000000 65.000000 28.524239 128.19188 0.0802765 0.275796
\r
17 4200.000000 65.000000 27.637865 128.97765 0.0770838 0.274173
\r
18 4300.000000 65.000000 26.87619 129.62691 0.0606765 0.222702
\r
19 4400.000000 65.000000 26.20261 130.32698 0.062087 0.235913
\r
20 4500.000000 65.000000 25.591566 130.96864 0.0619454 0.24281
\r
21 4600.000000 65.000000 25.04011 131.63026 0.0627435 0.24207
\r
22 4700.000000 65.000000 24.523611 132.25972 0.0520957 0.206676
\r
23 4800.000000 65.000000 24.063747 132.88641 0.0530941 0.216651
\r
24 4900.000000 65.000000 23.638279 133.46413 0.0457261 0.19172
\r
25 5000.000000 65.000000 23.252474 134.03645 0.0415004 0.178539
\r
26 5100.000000 65.000000 22.881693 134.6515 0.046446 0.195364
\r
27 5200.000000 65.000000 22.534716 135.23224 0.0452943 0.195157
\r
28 5300.000000 65.000000 22.212801 135.79552 0.0347984 0.15352
\r
29 5400.000000 65.000000 21.922712 136.29926 0.0384438 0.173882
\r
30 5500.000000 65.000000 21.638973 136.85864 0.033005 0.152887
\r
31 5600.000000 65.000000 21.382935 137.33212 0.0353879 0.167685
\r
32 5700.000000 65.000000 21.126318 137.90198 0.0332133 0.152391
\r
33 5800.000000 65.000000 20.891771 138.39301 0.0341305 0.160235
\r
34 5900.000000 65.000000 20.67458 138.85684 0.0303558 0.145516
\r
35 6000.000000 65.000000 20.466129 139.33638 0.0279691 0.136851
\r
36 6100.000000 65.000000 20.272148 139.84334 0.0253575 0.126651
\r
37 6200.000000 65.000000 20.078777 140.34145 0.0287715 0.13881
\r
38 6300.000000 65.000000 19.904202 140.79703 0.0291231 0.143391
\r
39 6400.000000 65.000000 19.731428 141.22873 0.0259301 0.130057
\r
40 6500.000000 65.000000 19.573315 141.66187 0.02465 0.125929
\r
41 6600.000000 65.000000 19.418791 142.07903 0.0244194 0.127047
\r
42 6700.000000 65.000000 19.273266 142.51492 0.0212148 0.112411
\r
43 6800.000000 65.000000 19.136351 142.94714 0.0245362 0.125123
\r
44 6900.000000 65.000000 18.998177 143.34373 0.0208733 0.108211
\r
45 7000.000000 65.000000 18.865955 143.74057 0.0229169 0.121012
\r
46 7100.000000 65.000000 18.741722 144.14087 0.0228339 0.122597
\r
47 7200.000000 65.000000 18.626215 144.52783 0.0208755 0.113908
\r
48 7300.000000 65.000000 18.510286 144.9212 0.0203088 0.112718
\r
49 7400.000000 65.000000 18.402174 145.32782 0.0225821 0.120427
\r
50 7500.000000 65.000000 18.308744 145.65727 0.0238426 0.128914
\r
51 7600.000000 65.000000 18.202263 146.00998 0.0245006 0.134357
\r
52 7700.000000 65.000000 18.106274 146.3593 0.0202298 0.112662
\r
53 7800.000000 65.000000 18.02397 146.72444 0.0180315 0.101636
\r
54 7900.000000 65.000000 17.924023 147.08005 0.0175392 0.10051
\r
55 8000.000000 65.000000 17.833286 147.42419 0.0160261 0.0933696
\r
56 8100.000000 65.000000 17.728064 147.78265 0.0200416 0.111908
\r
57 8200.000000 65.000000 17.658506 148.11978 0.0222446 0.126259
\r
58 8300.000000 65.000000 17.581306 148.43056 0.0221727 0.127699
\r
59 8400.000000 65.000000 17.505795 148.75749 0.0199121 0.116065
\r
60 8500.000000 65.000000 17.428984 149.0146 0.0185464 0.108142
\r
61 8600.000000 65.000000 17.357201 149.34851 0.0181747 0.107806
\r
62 8700.000000 65.000000 17.289742 149.66756 0.0199956 0.114445
\r
63 8800.000000 65.000000 17.219265 150.004 0.0222987 0.129848
\r
64 8900.000000 65.000000 17.168198 150.17931 0.0196821 0.115877
\r
65 9000.000000 65.000000 17.112604 150.42355 0.0199141 0.118637
\r
66 9100.000000 65.000000 17.051044 150.71788 0.0157691 0.0951232
\r
67 9200.000000 65.000000 16.99095 150.99268 0.0176675 0.107885
\r
68 9300.000000 65.000000 16.930433 151.32947 0.016958 0.104821
\r
69 9400.000000 65.000000 16.876663 151.57841 0.0192663 0.114035
\r
70 9500.000000 65.000000 16.822857 151.84703 0.0181152 0.10846
\r
71 9600.000000 65.000000 16.779114 152.0809 0.0186461 0.112776
\r
72 9700.000000 65.000000 16.725679 152.34428 0.0186684 0.114182
\r
73 9800.000000 65.000000 16.675549 152.59984 0.0186273 0.115193
\r
74 9900.000000 65.000000 16.633263 152.85837 0.018375 0.115143
\r
75 10000.000000 65.000000 16.598396 153.00311 0.0174756 0.110638
\r
76 3000.000000 70.000000 37.903336 89.462944 0.2065 0.511908
\r
77 3100.000000 70.000000 36.618877 89.89193 0.147086 0.362413
\r
78 3200.000000 70.000000 35.807384 90.83062 0.131991 0.323704
\r
79 3300.000000 70.000000 35.16431 92.223763 0.15463 0.400049
\r
80 3400.000000 70.000000 34.551571 93.891258 0.120691 0.309526
\r
81 3500.000000 70.000000 34.251049 95.83625 0.120525 0.30883
\r
82 3600.000000 70.000000 34.231903 99.118401 0.132738 0.33923
\r
83 3700.000000 70.000000 33.309055 104.73302 0.107105 0.291898
\r
84 3800.000000 70.000000 31.006859 108.39449 0.127082 0.362652
\r
85 3900.000000 70.000000 28.996832 109.62572 0.104314 0.312664
\r
86 4000.000000 70.000000 27.490015 110.27607 0.0784402 0.245646
\r
87 4100.000000 70.000000 26.256681 110.74163 0.0960696 0.314157
\r
88 4200.000000 70.000000 25.222525 111.17423 0.0743331 0.250279
\r
89 4300.000000 70.000000 24.318069 111.59555 0.0817893 0.282271
\r
90 4400.000000 70.000000 23.499413 111.92228 0.0645977 0.22952
\r
91 4500.000000 70.000000 22.786654 112.35606 0.0629661 0.230799
\r
92 4600.000000 70.000000 22.102978 112.7375 0.0605419 0.228135
\r
93 4700.000000 70.000000 21.502853 113.11906 0.0608465 0.234677
\r
94 4800.000000 70.000000 20.937029 113.53138 0.0515156 0.203554
\r
95 4900.000000 70.000000 20.43634 113.8214 0.0643597 0.260352
\r
96 5000.000000 70.000000 19.95524 114.18735 0.0449316 0.185878
\r
97 5100.000000 70.000000 19.472757 114.55539 0.0547066 0.230458
\r
98 5200.000000 70.000000 19.053894 114.92149 0.0388523 0.167589
\r
99 5300.000000 70.000000 18.641989 115.34776 0.0400524 0.175797
\r
100 5400.000000 70.000000 18.263523 115.67416 0.0622504 0.279914
\r
101 5500.000000 70.000000 17.915253 116.1076 0.037646 0.173411
\r
102 5600.000000 70.000000 17.574591 116.52498 0.0347747 0.163444
\r
103 5700.000000 70.000000 17.24794 116.93594 0.0316395 0.15044
\r
104 5800.000000 70.000000 16.938194 117.29825 0.0299683 0.145537
\r
105 5900.000000 70.000000 16.652355 117.70201 0.035685 0.176604
\r
106 6000.000000 70.000000 16.385422 118.04228 0.0315616 0.158954
\r
107 6100.000000 70.000000 16.119122 118.41952 0.0278471 0.142959
\r
108 6200.000000 70.000000 15.863753 118.80502 0.0296479 0.153772
\r
109 6300.000000 70.000000 15.621533 119.16552 0.0259494 0.136857
\r
110 6400.000000 70.000000 15.389254 119.54364 0.0255336 0.137061
\r
111 6500.000000 70.000000 15.170002 119.88322 0.024031 0.13114
\r
112 6600.000000 70.000000 14.961427 120.24483 0.0242325 0.134485
\r
113 6700.000000 70.000000 14.755564 120.60649 0.0227254 0.128877
\r
114 6800.000000 70.000000 14.562546 120.97817 0.0244448 0.138759
\r
115 6900.000000 70.000000 14.373663 121.31525 0.0235466 0.135799
\r
116 7000.000000 70.000000 14.192423 121.68677 0.021058 0.12329
\r
117 7100.000000 70.000000 14.026758 122.02526 0.0206108 0.122448
\r
118 7200.000000 70.000000 13.856075 122.36118 0.0221248 0.133622
\r
119 7300.000000 70.000000 13.698408 122.76338 0.0144142 0.0887609
\r
120 7400.000000 70.000000 13.537396 123.09801 0.018418 0.113068
\r
121 7500.000000 70.000000 13.38919 123.41801 0.0233805 0.145429
\r
122 7600.000000 70.000000 13.248744 123.72671 0.0202107 0.127372
\r
123 7700.000000 70.000000 13.112924 124.09981 0.0190239 0.121698
\r
124 7800.000000 70.000000 12.971421 124.44144 0.0164534 0.106506
\r
125 7900.000000 70.000000 12.836859 124.80359 0.0161481 0.106343
\r
126 8000.000000 70.000000 12.705934 125.14919 0.0200336 0.1342
\r
127 8100.000000 70.000000 12.589014 125.59467 0.0198702 0.124331
\r
128 8200.000000 70.000000 12.432518 125.90251 0.0229765 0.154954
\r
129 8300.000000 70.000000 12.350916 126.08104 0.0217659 0.149233
\r
130 8400.000000 70.000000 12.22436 126.42654 0.0186611 0.128727
\r
131 8500.000000 70.000000 12.130359 126.84084 0.0219266 0.15118
\r
132 8600.000000 70.000000 12.022347 127.10125 0.0284621 0.199462
\r
133 8700.000000 70.000000 11.915901 127.34579 0.0174448 0.122084
\r
134 8800.000000 70.000000 11.810009 127.75085 0.0220239 0.158806
\r
135 8900.000000 70.000000 11.735302 127.94405 0.0196563 0.143069
\r
136 9000.000000 70.000000 11.637378 128.24457 0.0187176 0.138167
\r
137 9100.000000 70.000000 11.543844 128.52702 0.0164777 0.123055
\r
138 9200.000000 70.000000 11.45839 128.82668 0.0194096 0.147702
\r
139 9300.000000 70.000000 11.363843 129.18309 0.0171862 0.132546
\r
140 9400.000000 70.000000 11.279422 129.50191 0.020416 0.155373
\r
141 9500.000000 70.000000 11.196786 129.79231 0.0199435 0.153585
\r
142 9600.000000 70.000000 11.125966 130.06213 0.0166783 0.129688
\r
143 9700.000000 70.000000 11.046848 130.35381 0.0190768 0.150258
\r
144 9800.000000 70.000000 10.966178 130.68652 0.018064 0.144414
\r
145 9900.000000 70.000000 10.893674 130.95984 0.0179399 0.145032
\r
146 10000.000000 70.000000 10.833306 131.09789 0.0174566 0.142429
\r
147 3000.000000 75.000000 38.307289 69.697884 0.188132 0.483575
\r
148 3100.000000 75.000000 37.139511 70.252907 0.134239 0.351668
\r
149 3200.000000 75.000000 36.307636 71.120392 0.163633 0.426782
\r
150 3300.000000 75.000000 35.630161 72.271812 0.123943 0.328613
\r
151 3400.000000 75.000000 35.011589 73.613182 0.135536 0.357841
\r
152 3500.000000 75.000000 34.57436 75.278542 0.127489 0.335856
\r
153 3600.000000 75.000000 34.388927 78.546158 0.125207 0.323562
\r
154 3700.000000 75.000000 33.104465 83.736671 0.107164 0.286429
\r
155 3800.000000 75.000000 30.461138 86.690178 0.0920529 0.253058
\r
156 3900.000000 75.000000 28.306696 87.046288 0.085542 0.244235
\r
157 4000.000000 75.000000 26.729198 86.865791 0.0759451 0.223669
\r
158 4100.000000 75.000000 25.401745 86.526985 0.0671058 0.212397
\r
159 4200.000000 75.000000 24.32198 86.198639 0.065189 0.211077
\r
160 4300.000000 75.000000 23.386757 85.892494 0.0645457 0.213468
\r
161 4400.000000 75.000000 22.552805 85.574829 0.0545998 0.183752
\r
162 4500.000000 75.000000 21.784986 85.254944 0.0517212 0.178269
\r
163 4600.000000 75.000000 21.080887 84.962616 0.0486741 0.177411
\r
164 4700.000000 75.000000 20.444487 84.665581 0.0468364 0.174222
\r
165 4800.000000 75.000000 19.847754 84.360176 0.042119 0.159025
\r
166 4900.000000 75.000000 19.304312 84.124893 0.0422849 0.162618
\r
167 5000.000000 75.000000 18.793968 83.846153 0.0378675 0.148081
\r
168 5100.000000 75.000000 18.312517 83.593384 0.0364848 0.150409
\r
169 5200.000000 75.000000 17.84749 83.310028 0.0365618 0.153007
\r
170 5300.000000 75.000000 17.423222 83.031403 0.0344989 0.14631
\r
171 5400.000000 75.000000 17.01865 82.809311 0.0354874 0.153172
\r
172 5500.000000 75.000000 16.639061 82.557152 0.0328344 0.143689
\r
173 5600.000000 75.000000 16.281063 82.307037 0.0275235 0.122087
\r
174 5700.000000 75.000000 15.936924 82.068665 0.0315243 0.146818
\r
175 5800.000000 75.000000 15.602325 81.828262 0.0302472 0.142667
\r
176 5900.000000 75.000000 15.296107 81.606056 0.0296363 0.141324
\r
177 6000.000000 75.000000 14.997261 81.354523 0.0266879 0.128765
\r
178 6100.000000 75.000000 14.720437 81.148041 0.0282359 0.1385
\r
179 6200.000000 75.000000 14.439399 80.918625 0.0266537 0.136555
\r
180 6300.000000 75.000000 14.173969 80.686646 0.0255697 0.132486
\r
181 6400.000000 75.000000 13.925379 80.438606 0.022673 0.118696
\r
182 6500.000000 75.000000 13.68236 80.271194 0.0226905 0.120595
\r
183 6600.000000 75.000000 13.456589 80.044807 0.020774 0.111588
\r
184 6700.000000 75.000000 13.229371 79.805283 0.0214255 0.116439
\r
185 6800.000000 75.000000 13.010839 79.586655 0.0219586 0.124006
\r
186 6900.000000 75.000000 12.79871 79.384438 0.023596 0.134706
\r
187 7000.000000 75.000000 12.606572 79.197052 0.0205847 0.118982
\r
188 7100.000000 75.000000 12.416154 78.976921 0.0192687 0.112465
\r
189 7200.000000 75.000000 12.229851 78.793274 0.0160848 0.094936
\r
190 7300.000000 75.000000 12.044127 78.56562 0.0205703 0.122851
\r
191 7400.000000 75.000000 11.869187 78.362366 0.0180761 0.11156
\r
192 7500.000000 75.000000 11.697825 78.129005 0.0179791 0.112076
\r
193 7600.000000 75.000000 11.539281 77.953842 0.0204427 0.12904
\r
194 7700.000000 75.000000 11.382193 77.742966 0.0189848 0.120954
\r
195 7800.000000 75.000000 11.23 77.527985 0.0203247 0.130638
\r
196 7900.000000 75.000000 11.077474 77.33181 0.0166321 0.108036
\r
197 8000.000000 75.000000 10.929536 77.071449 0.0162974 0.106907
\r
198 8100.000000 75.000000 10.791587 76.87664 0.0278224 0.18708
\r
199 8200.000000 75.000000 10.621634 76.695213 0.0199873 0.13677
\r
200 8300.000000 75.000000 10.518118 76.535522 0.0173024 0.119119
\r
201 8400.000000 75.000000 10.383435 76.367821 0.022715 0.15807
\r
202 8500.000000 75.000000 10.257289 76.048332 0.0199082 0.139575
\r
203 8600.000000 75.000000 10.133519 75.950272 0.0158148 0.11179
\r
204 8700.000000 75.000000 10.022974 75.774506 0.0166762 0.121608
\r
205 8800.000000 75.000000 9.8922539 75.516357 0.0208019 0.154287
\r
206 8900.000000 75.000000 9.794796 75.375008 0.0194642 0.145169
\r
207 9000.000000 75.000000 9.6856012 75.167526 0.0168187 0.126478
\r
208 9100.000000 75.000000 9.5782938 74.974724 0.0167005 0.126553
\r
209 9200.000000 75.000000 9.4743137 74.764038 0.0171318 0.131112
\r
210 9300.000000 75.000000 9.3636675 74.537361 0.0181505 0.140023
\r
211 9400.000000 75.000000 9.2615757 74.320541 0.0189736 0.150048
\r
212 9500.000000 75.000000 9.1633673 74.131935 0.0187228 0.149128
\r
213 9600.000000 75.000000 9.0740891 73.931343 0.0154147 0.123461
\r
214 9700.000000 75.000000 8.9787388 73.729568 0.0159713 0.128954
\r
215 9800.000000 75.000000 8.8834658 73.527748 0.0160166 0.130497
\r
216 9900.000000 75.000000 8.7959042 73.331055 0.0154519 0.126801
\r
217 10000.000000 75.000000 8.7220497 73.206993 0.0153422 0.126413
\r
218 dpolE 3000.000000 65.000000 0.989679 2.04051
\r
219 dpolE 3100.000000 65.000000 0.71498 1.92287
\r
220 dpolE 3200.000000 65.000000 0.623475 1.98699
\r
221 dpolE 3300.000000 65.000000 0.843477 1.77831
\r
222 dpolE 3400.000000 65.000000 0.641239 1.58869
\r
223 dpolE 3500.000000 65.000000 0.633093 1.40534
\r
224 dpolE 3600.000000 65.000000 0.391423 1.3775
\r
225 dpolE 3700.000000 65.000000 0.452489 1.15358
\r
226 dpolE 3800.000000 65.000000 0.452826 1.07705
\r
227 dpolE 3900.000000 65.000000 0.259555 0.78958
\r
228 dpolE 4000.000000 65.000000 0.211749 0.719026
\r
229 dpolE 4100.000000 65.000000 0.186142 0.737499
\r
230 dpolE 4200.000000 65.000000 0.206239 0.699762
\r
231 dpolE 4300.000000 65.000000 0.238994 0.544641
\r
232 dpolE 4400.000000 65.000000 0.182522 0.553176
\r
233 dpolE 4500.000000 65.000000 0.149887 0.547158
\r
234 dpolE 4600.000000 65.000000 0.0756703 0.517668
\r
235 dpolE 4700.000000 65.000000 0.138177 0.425737
\r
236 dpolE 4800.000000 65.000000 0.10708 0.431272
\r
237 dpolE 4900.000000 65.000000 0.140173 0.36874
\r
238 dpolE 5000.000000 65.000000 0.089283 0.33269
\r
239 dpolE 5100.000000 65.000000 0.0434862 0.351458
\r
240 dpolE 5200.000000 65.000000 0.0638291 0.340234
\r
241 dpolE 5300.000000 65.000000 0.0742414 0.259616
\r
242 dpolE 5400.000000 65.000000 0.0852136 0.285533
\r
243 dpolE 5500.000000 65.000000 0.0698683 0.24373
\r
244 dpolE 5600.000000 65.000000 0.056002 0.260147
\r
245 dpolE 5700.000000 65.000000 0.0194873 0.232078
\r
246 dpolE 5800.000000 65.000000 0.0414693 0.237358
\r
247 dpolE 5900.000000 65.000000 0.0639799 0.210011
\r
248 dpolE 6000.000000 65.000000 0.0492002 0.192574
\r
249 dpolE 6100.000000 65.000000 0.0360417 0.173751
\r
250 dpolE 6200.000000 65.000000 0.0309054 0.189049
\r
251 dpolE 6300.000000 65.000000 0.0420822 0.19058
\r
252 dpolE 6400.000000 65.000000 0.0389985 0.168862
\r
253 dpolE 6500.000000 65.000000 0.044961 0.15979
\r
254 dpolE 6600.000000 65.000000 0.0452295 0.157605
\r
255 dpolE 6700.000000 65.000000 0.0433533 0.136324
\r
256 dpolE 6800.000000 65.000000 0.0408337 0.152384
\r
257 dpolE 6900.000000 65.000000 0.0404609 0.128976
\r
258 dpolE 7000.000000 65.000000 0.0304998 0.141165
\r
259 dpolE 7100.000000 65.000000 0.0310776 0.14004
\r
260 dpolE 7200.000000 65.000000 0.0114772 0.127542
\r
261 dpolE 7300.000000 65.000000 0.0480653 0.123509
\r
262 dpolE 7400.000000 65.000000 0.0574895 0.133605
\r
263 dpolE 7500.000000 65.000000 0.043984 0.140583
\r
264 dpolE 7600.000000 65.000000 0.00344484 0.143928
\r
265 dpolE 7700.000000 65.000000 0.0704774 0.118266
\r
266 dpolE 7800.000000 65.000000 0.0135547 0.105301
\r
267 dpolE 7900.000000 65.000000 0.0610848 0.101791
\r
268 dpolE 8000.000000 65.000000 0.0653195 0.0928445
\r
269 dpolE 8100.000000 65.000000 0.0501373 0.113668
\r
270 dpolE 8200.000000 65.000000 0.0808927 0.125197
\r
271 dpolE 8300.000000 65.000000 0.0545366 0.124121
\r
272 dpolE 8400.000000 65.000000 0.0774682 0.111254
\r
273 dpolE 8500.000000 65.000000 0.0824077 0.105049
\r
274 dpolE 8600.000000 65.000000 0.0904518 0.102106
\r
275 dpolE 8700.000000 65.000000 0.0994566 0.109461
\r
276 dpolE 8800.000000 65.000000 0.0784933 0.120803
\r
277 dpolE 8900.000000 65.000000 0.0793139 0.106368
\r
278 dpolE 9000.000000 65.000000 0.0808979 0.107255
\r
279 dpolE 9100.000000 65.000000 0.0999806 0.084584
\r
280 dpolE 9200.000000 65.000000 0.0925812 0.0944034
\r
281 dpolE 9300.000000 65.000000 0.0939845 0.0902727
\r
282 dpolE 9400.000000 65.000000 0.075558 0.10136
\r
283 dpolE 9500.000000 65.000000 0.0965339 0.0948963
\r
284 dpolE 9600.000000 65.000000 0.0916325 0.0974134
\r
285 dpolE 9700.000000 65.000000 0.0879988 0.0971491
\r
286 dpolE 9800.000000 65.000000 0.0654769 0.0965705
\r
287 dpolE 9900.000000 65.000000 0.0774302 0.0950419
\r
288 dpolE 10000.000000 65.000000 0.105469 0.0901944
\r
289 dpolE 3000.000000 70.000000 1.5117 2.56115
\r
290 dpolE 3100.000000 70.000000 0.221777 1.8683
\r
291 dpolE 3200.000000 70.000000 -0.109916 1.713
\r
292 dpolE 3300.000000 70.000000 1.35561 1.80718
\r
293 dpolE 3400.000000 70.000000 0.349613 1.44291
\r
294 dpolE 3500.000000 70.000000 0.434977 1.46915
\r
295 dpolE 3600.000000 70.000000 -0.277824 1.65858
\r
296 dpolE 3700.000000 70.000000 0.419115 1.19626
\r
297 dpolE 3800.000000 70.000000 -0.258856 1.38287
\r
298 dpolE 3900.000000 70.000000 -0.126835 1.10662
\r
299 dpolE 4000.000000 70.000000 0.238122 0.816633
\r
300 dpolE 4100.000000 70.000000 0.167516 0.898659
\r
301 dpolE 4200.000000 70.000000 0.133034 0.687505
\r
302 dpolE 4300.000000 70.000000 -0.299472 0.751901
\r
303 dpolE 4400.000000 70.000000 0.111444 0.585405
\r
304 dpolE 4500.000000 70.000000 0.190609 0.566938
\r
305 dpolE 4600.000000 70.000000 0.232368 0.494903
\r
306 dpolE 4700.000000 70.000000 0.0265722 0.495479
\r
307 dpolE 4800.000000 70.000000 0.200845 0.415491
\r
308 dpolE 4900.000000 70.000000 0.163311 0.517233
\r
309 dpolE 5000.000000 70.000000 0.146299 0.358935
\r
310 dpolE 5100.000000 70.000000 0.00967465 0.400759
\r
311 dpolE 5200.000000 70.000000 0.0305384 0.283575
\r
312 dpolE 5300.000000 70.000000 -0.228002 0.291391
\r
313 dpolE 5400.000000 70.000000 0.101229 0.448287
\r
314 dpolE 5500.000000 70.000000 0.11136 0.27027
\r
315 dpolE 5600.000000 70.000000 0.0118146 0.248705
\r
316 dpolE 5700.000000 70.000000 0.0515977 0.208677
\r
317 dpolE 5800.000000 70.000000 0.0489773 0.196945
\r
318 dpolE 5900.000000 70.000000 0.0524348 0.233381
\r
319 dpolE 6000.000000 70.000000 0.024107 0.205673
\r
320 dpolE 6100.000000 70.000000 0.0332676 0.180533
\r
321 dpolE 6200.000000 70.000000 0.0317305 0.179064
\r
322 dpolE 6300.000000 70.000000 0.0179318 0.156041
\r
323 dpolE 6400.000000 70.000000 0.0486411 0.152749
\r
324 dpolE 6500.000000 70.000000 0.0344338 0.143187
\r
325 dpolE 6600.000000 70.000000 0.0405629 0.14378
\r
326 dpolE 6700.000000 70.000000 0.0329202 0.134676
\r
327 dpolE 6800.000000 70.000000 0.0249801 0.135531
\r
328 dpolE 6900.000000 70.000000 0.0291983 0.129977
\r
329 dpolE 7000.000000 70.000000 0.0179617 0.115827
\r
330 dpolE 7100.000000 70.000000 -0.00247985 0.113036
\r
331 dpolE 7200.000000 70.000000 0.0198168 0.120783
\r
332 dpolE 7300.000000 70.000000 -0.00608806 0.0787116
\r
333 dpolE 7400.000000 70.000000 0.0118073 0.0945771
\r
334 dpolE 7500.000000 70.000000 -0.018386 0.119775
\r
335 dpolE 7600.000000 70.000000 -0.0223658 0.103296
\r
336 dpolE 7700.000000 70.000000 0.014426 0.0968566
\r
337 dpolE 7800.000000 70.000000 0.026399 0.0836635
\r
338 dpolE 7900.000000 70.000000 0.0218281 0.0816575
\r
339 dpolE 8000.000000 70.000000 0.0255982 0.101443
\r
340 dpolE 8100.000000 70.000000 0.133875 0.0939598
\r
341 dpolE 8200.000000 70.000000 0.0604533 0.109561
\r
342 dpolE 8300.000000 70.000000 -0.00105889 0.103266
\r
343 dpolE 8400.000000 70.000000 0.0420756 0.0888646
\r
344 dpolE 8500.000000 70.000000 0.052581 0.105544
\r
345 dpolE 8600.000000 70.000000 0.0111971 0.136273
\r
346 dpolE 8700.000000 70.000000 -0.0252743 0.0786492
\r
347 dpolE 8800.000000 70.000000 0.016946 0.0974003
\r
348 dpolE 8900.000000 70.000000 -0.00170207 0.0869168
\r
349 dpolE 9000.000000 70.000000 0.0148968 0.0823827
\r
350 dpolE 9100.000000 70.000000 -0.0102487 0.0723573
\r
351 dpolE 9200.000000 70.000000 -0.00913702 0.0851979
\r
352 dpolE 9300.000000 70.000000 0.0141349 0.0752263
\r
353 dpolE 9400.000000 70.000000 0.0068343 0.085196
\r
354 dpolE 9500.000000 70.000000 -0.000656007 0.0829806
\r
355 dpolE 9600.000000 70.000000 0.00478112 0.0693417
\r
356 dpolE 9700.000000 70.000000 0.0136364 0.0790225
\r
357 dpolE 9800.000000 70.000000 0.0174431 0.0744166
\r
358 dpolE 9900.000000 70.000000 0.00748599 0.0737636
\r
359 dpolE 10000.000000 70.000000 0.00580634 0.0717837
\r
360 dpolE 3000.000000 75.000000 -0.949815 2.32329
\r
361 dpolE 3100.000000 75.000000 1.19318 1.66287
\r
362 dpolE 3200.000000 75.000000 0.301695 2.07682
\r
363 dpolE 3300.000000 75.000000 0.601612 1.43925
\r
364 dpolE 3400.000000 75.000000 0.36383 1.60454
\r
365 dpolE 3500.000000 75.000000 0.705006 1.53853
\r
366 dpolE 3600.000000 75.000000 0.210711 1.55586
\r
367 dpolE 3700.000000 75.000000 0.674102 1.20301
\r
368 dpolE 3800.000000 75.000000 0.423643 1.01047
\r
369 dpolE 3900.000000 75.000000 0.437727 0.917775
\r
370 dpolE 4000.000000 75.000000 0.301243 0.80287
\r
371 dpolE 4100.000000 75.000000 0.305982 0.631409
\r
372 dpolE 4200.000000 75.000000 0.238119 0.606919
\r
373 dpolE 4300.000000 75.000000 0.18638 0.595577
\r
374 dpolE 4400.000000 75.000000 0.133273 0.498847
\r
375 dpolE 4500.000000 75.000000 0.155603 0.469711
\r
376 dpolE 4600.000000 75.000000 0.0524765 0.398331
\r
377 dpolE 4700.000000 75.000000 0.107956 0.381024
\r
378 dpolE 4800.000000 75.000000 0.0338113 0.340273
\r
379 dpolE 4900.000000 75.000000 0.0165613 0.340234
\r
380 dpolE 5000.000000 75.000000 0.102048 0.30242
\r
381 dpolE 5100.000000 75.000000 0.0029972 0.265387
\r
382 dpolE 5200.000000 75.000000 0.0524614 0.263931
\r
383 dpolE 5300.000000 75.000000 0.0696381 0.247414
\r
384 dpolE 5400.000000 75.000000 0.0294495 0.254036
\r
385 dpolE 5500.000000 75.000000 0.0212885 0.233886
\r
386 dpolE 5600.000000 75.000000 0.0304649 0.195035
\r
387 dpolE 5700.000000 75.000000 0.0230645 0.204588
\r
388 dpolE 5800.000000 75.000000 0.0163717 0.195294
\r
389 dpolE 5900.000000 75.000000 -0.022047 0.190622
\r
390 dpolE 6000.000000 75.000000 -0.0261858 0.170814
\r
391 dpolE 6100.000000 75.000000 -0.0392958 0.180761
\r
392 dpolE 6200.000000 75.000000 0.000221039 0.156527
\r
393 dpolE 6300.000000 75.000000 0.0075414 0.149436
\r
394 dpolE 6400.000000 75.000000 -0.0027468 0.131967
\r
395 dpolE 6500.000000 75.000000 -0.00832044 0.131965
\r
396 dpolE 6600.000000 75.000000 -0.0320828 0.120493
\r
397 dpolE 6700.000000 75.000000 -0.0367558 0.123799
\r
398 dpolE 6800.000000 75.000000 -0.00819336 0.116955
\r
399 dpolE 6900.000000 75.000000 0.0280097 0.124981
\r
400 dpolE 7000.000000 75.000000 -0.0421782 0.109338
\r
401 dpolE 7100.000000 75.000000 -0.0673133 0.102112
\r
402 dpolE 7200.000000 75.000000 -0.0405719 0.084899
\r
403 dpolE 7300.000000 75.000000 -0.00768042 0.108067
\r
404 dpolE 7400.000000 75.000000 -0.0376077 0.0880928
\r
405 dpolE 7500.000000 75.000000 -0.00137398 0.0871852
\r
406 dpolE 7600.000000 75.000000 -0.0451866 0.0994503
\r
407 dpolE 7700.000000 75.000000 -0.0514074 0.0921581
\r
408 dpolE 7800.000000 75.000000 -0.0300956 0.0984656
\r
409 dpolE 7900.000000 75.000000 -0.0394196 0.0802666
\r
410 dpolE 8000.000000 75.000000 -0.0330567 0.0783975
\r
411 dpolE 8100.000000 75.000000 0.0406628 0.125468
\r
412 dpolE 8200.000000 75.000000 0.00251186 0.0889558
\r
413 dpolE 8300.000000 75.000000 -0.0581432 0.0769277
\r
414 dpolE 8400.000000 75.000000 -0.0564271 0.101552
\r
415 dpolE 8500.000000 75.000000 -0.00366519 0.0889725
\r
416 dpolE 8600.000000 75.000000 -0.036562 0.0705355
\r
417 dpolE 8700.000000 75.000000 -0.04779 0.0693158
\r
418 dpolE 8800.000000 75.000000 -0.031298 0.0854538
\r
419 dpolE 8900.000000 75.000000 -0.0498459 0.0799389
\r
420 dpolE 9000.000000 75.000000 -0.057115 0.0688744
\r
421 dpolE 9100.000000 75.000000 -0.0655402 0.0682245
\r
422 dpolE 9200.000000 75.000000 -0.0435989 0.0696776
\r
423 dpolE 9300.000000 75.000000 -0.0460313 0.0735962
\r
424 dpolE 9400.000000 75.000000 -0.0425261 0.0719815
\r
425 dpolE 9500.000000 75.000000 -0.0422667 0.0707879
\r
426 dpolE 9600.000000 75.000000 -0.0445216 0.0581799
\r
427 dpolE 9700.000000 75.000000 -0.0348055 0.0600273
\r
428 dpolE 9800.000000 75.000000 -0.0284785 0.0598895
\r
429 dpolE 9900.000000 75.000000 -0.0227567 0.057589
\r
430 dpolE 10000.000000 75.000000 -0.0424987 0.0571742