research/ellipsometry/WVASE32/DAT/221209 base 200micron slit.dat

   1 \r
   2 RTmethod[PolRT=0.00, RevsRT=10, SlitRT=200, Interleave=Off, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Tue Dec 22 10:20:48 2009]\r
   3 Original[221209 base 200micron slit.dat]\r
   4 nm\r
   5 pT      300.000000      90.000000       0.00310816      0.01\r
   6 pT      310.000000      90.000000       0.0065426       0.01\r
   7 pT      320.000000      90.000000       0.0107913       0.01\r
   8 pT      330.000000      90.000000       0.0187383       0.01\r
   9 pT      340.000000      90.000000       0.0280384       0.01\r
  10 pT      350.000000      90.000000       0.040246        0.01\r
  11 pT      360.000000      90.000000       0.0560665       0.01\r
  12 pT      370.000000      90.000000       0.0807143       0.01\r
  13 pT      380.000000      90.000000       0.12486 0.01\r
  14 pT      390.000000      90.000000       0.196712        0.01\r
  15 pT      400.000000      90.000000       0.299833        0.01\r
  16 pT      410.000000      90.000000       0.411873        0.01\r
  17 pT      420.000000      90.000000       0.503119        0.01\r
  18 pT      430.000000      90.000000       0.60968 0.01\r
  19 pT      440.000000      90.000000       0.78751 0.01\r
  20 pT      450.000000      90.000000       0.973338        0.01\r
  21 pT      460.000000      90.000000       1.21737 0.01\r
  22 pT      470.000000      90.000000       1.71977 0.01\r
  23 pT      480.000000      90.000000       1.3924  0.01\r
  24 pT      490.000000      90.000000       1.55921 0.01\r
  25 pT      500.000000      90.000000       1.68111 0.01\r
  26 pT      510.000000      90.000000       1.80838 0.01\r
  27 pT      520.000000      90.000000       1.93744 0.01\r
  28 pT      530.000000      90.000000       2.02295 0.01\r
  29 pT      540.000000      90.000000       2.08902 0.01\r
  30 pT      550.000000      90.000000       2.1532  0.01\r
  31 pT      560.000000      90.000000       2.18692 0.01\r
  32 pT      570.000000      90.000000       2.21467 0.01\r
  33 pT      580.000000      90.000000       2.22567 0.01\r
  34 pT      590.000000      90.000000       2.22501 0.01\r
  35 pT      600.000000      90.000000       2.04323 0.01\r
  36 pT      610.000000      90.000000       2.10063 0.01\r
  37 pT      620.000000      90.000000       2.14386 0.01\r
  38 pT      630.000000      90.000000       2.06164 0.01\r
  39 pT      640.000000      90.000000       1.9297  0.01\r
  40 pT      650.000000      90.000000       1.89913 0.01\r
  41 pT      660.000000      90.000000       1.73654 0.01\r
  42 pT      670.000000      90.000000       1.78481 0.01\r
  43 pT      680.000000      90.000000       1.76191 0.01\r
  44 pT      690.000000      90.000000       1.89084 0.01\r
  45 pT      700.000000      90.000000       1.57745 0.01\r
  46 pT      710.000000      90.000000       1.52221 0.01\r
  47 pT      720.000000      90.000000       1.52552 0.01\r
  48 pT      730.000000      90.000000       1.44773 0.01\r
  49 pT      740.000000      90.000000       1.35044 0.01\r
  50 pT      750.000000      90.000000       1.27715 0.01\r
  51 pT      760.000000      90.000000       1.14538 0.01\r
  52 pT      770.000000      90.000000       1.06117 0.01\r
  53 pT      780.000000      90.000000       0.783931        0.01\r
  54 pT      790.000000      90.000000       0.960746        0.01\r
  55 pT      800.000000      90.000000       0.820077        0.01\r
  56 pT      810.000000      90.000000       0.259814        0.01\r
  57 pT      820.000000      90.000000       0.552477        0.01\r
  58 pT      830.000000      90.000000       1.6547  0.01\r
  59 pT      840.000000      90.000000       0.652173        0.01\r
  60 pT      850.000000      90.000000       0.395688        0.01\r
  61 pT      860.000000      90.000000       0.506445        0.01\r
  62 pT      870.000000      90.000000       0.943248        0.01\r
  63 pT      880.000000      90.000000       2.92089 0.01\r
  64 pT      890.000000      90.000000       3.50206 0.01\r
  65 pT      900.000000      90.000000       4.5105  0.01\r
  66 pT      910.000000      90.000000       3.53945 0.01\r
  67 pT      920.000000      90.000000       10.4301 0.01\r
  68 pT      930.000000      90.000000       3.34054 0.01\r
  69 pT      940.000000      90.000000       7.60429 0.01\r
  70 pT      950.000000      90.000000       7.30025 0.01\r
  71 pT      960.000000      90.000000       3.58934 0.01\r
  72 pT      970.000000      90.000000       4.27963 0.01\r
  73 pT      980.000000      90.000000       22.5235 0.01\r
  74 pT      990.000000      90.000000       6.38464 0.01\r
  75 pT      1000.000000     90.000000       4.47588 0.01\r
  76 pT      1010.000000     90.000000       2.70507 0.01\r
  77 pT      1020.000000     90.000000       2.4597  0.01\r
  78 pT      1030.000000     90.000000       1.3696  0.01\r
  79 pT      1040.000000     90.000000       0.997082        0.01\r
  80 pT      1050.000000     90.000000       1.03856 0.01\r
  81 pT      1060.000000     90.000000       1.45315 0.01\r
  82 pT      1070.000000     90.000000       1.51905 0.01\r
  83 pT      1080.000000     90.000000       2.26303 0.01\r
  84 pT      1090.000000     90.000000       2.95633 0.01\r
  85 pT      1100.000000     90.000000       1.86538 0.01\r
  86 pT      1110.000000     90.000000       3.26969 0.01\r
  87 pT      1120.000000     90.000000       3.26898 0.01\r
  88 pT      1130.000000     90.000000       2.05926 0.01\r
  89 pT      1140.000000     90.000000       1.89226 0.01\r
  90 pT      1150.000000     90.000000       1.91487 0.01\r
  91 pT      1160.000000     90.000000       2.02047 0.01\r
  92 pT      1170.000000     90.000000       2.64856 0.01\r
  93 pT      1180.000000     90.000000       6.28268 0.01\r
  94 pT      1190.000000     90.000000       3.79061 0.01\r
  95 pT      1200.000000     90.000000       2.44861 0.01\r
  96 pT      1210.000000     90.000000       2.08565 0.01\r
  97 pT      1220.000000     90.000000       2.05642 0.01\r
  98 pT      1230.000000     90.000000       2.39947 0.01\r
  99 pT      1240.000000     90.000000       1.93367 0.01\r
 100 pT      1250.000000     90.000000       1.90943 0.01\r
 101 pT      1260.000000     90.000000       2.26445 0.01\r
 102 pT      1270.000000     90.000000       4.78787 0.01\r
 103 pT      1280.000000     90.000000       2.04308 0.01\r
 104 pT      1290.000000     90.000000       1.74503 0.01\r
 105 pT      1300.000000     90.000000       1.7976  0.01\r
 106 pT      1310.000000     90.000000       1.88955 0.01\r
 107 pT      1320.000000     90.000000       1.97615 0.01\r
 108 pT      1330.000000     90.000000       2.05031 0.01\r
 109 pT      1340.000000     90.000000       2.14507 0.01\r
 110 pT      1350.000000     90.000000       2.08155 0.01\r
 111 pT      1360.000000     90.000000       1.85592 0.01\r
 112 pT      1370.000000     90.000000       5.04596 0.01\r
 113 pT      1380.000000     90.000000       2.50547 0.01\r
 114 pT      1390.000000     90.000000       1.87797 0.01\r
 115 pT      1400.000000     90.000000       1.63208 0.01\r
 116 pT      1410.000000     90.000000       1.73417 0.01\r
 117 pT      1420.000000     90.000000       3.1889  0.01\r
 118 pT      1430.000000     90.000000       3.04444 0.01\r
 119 pT      1440.000000     90.000000       2.46696 0.01\r
 120 pT      1450.000000     90.000000       2.03709 0.01\r
 121 pT      1460.000000     90.000000       1.77006 0.01\r
 122 pT      1470.000000     90.000000       2.04688 0.01\r
 123 pT      1480.000000     90.000000       6.37868 0.01\r
 124 pT      1490.000000     90.000000       2.59316 0.01\r
 125 pT      1500.000000     90.000000       1.84502 0.01