research/ellipsometry/WVASE32/DAT/300310 si.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol>=0, Revs=100, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Tue Mar 30 12:50:56 2010]\r
   3 Original[300310 si.dat]\r
   4 nm\r
   5 300.000000      75.000000       25.337688       125.41955       4.95488 17.2819\r
   6 310.000000      75.000000       24.422451       123.8926        1.72734 6.37106\r
   7 320.000000      75.000000       23.048702       123.83684       1.12104 4.1047\r
   8 330.000000      75.000000       20.900009       125.81653       0.758568        3.15887\r
   9 340.000000      75.000000       20.744476       127.01773       0.678308        2.69392\r
  10 350.000000      75.000000       21.118103       129.77867       0.552511        2.3281\r
  11 360.000000      75.000000       21.645399       134.90807       0.436153        1.87208\r
  12 370.000000      75.000000       20.720722       146.99332       0.34628 1.62811\r
  13 380.000000      75.000000       17.381651       155.85527       0.271308        1.57698\r
  14 390.000000      75.000000       14.53663        158.43335       0.219716        1.55012\r
  15 400.000000      75.000000       12.538639       159.79529       0.245933        2.08218\r
  16 410.000000      75.000000       11.119999       158.81693       0.230866        2.00424\r
  17 420.000000      75.000000       9.7781792       159.30864       0.117663        1.18585\r
  18 430.000000      75.000000       8.791996        158.3587        0.162155        1.84353\r
  19 440.000000      75.000000       7.9927578       157.48363       0.160556        1.97659\r
  20 450.000000      75.000000       7.2548428       156.78368       0.145881        1.95379\r
  21 460.000000      75.000000       6.6028266       156.38049       0.118185        1.56542\r
  22 470.000000      75.000000       6.0614052       155.74211       0.070089        0.993761\r
  23 480.000000      75.000000       5.5641613       155.08101       0.109287        1.62595\r
  24 490.000000      75.000000       5.1295629       153.29036       0.0935657       1.44486\r
  25 500.000000      75.000000       4.7611871       153.12144       0.088778        1.4541\r
  26 510.000000      75.000000       4.337338        151.97893       0.0665736       1.04318\r
  27 520.000000      75.000000       3.985518        150.24547       0.100803        1.6037\r
  28 530.000000      75.000000       3.7096336       149.41798       0.0753322       1.24505\r
  29 540.000000      75.000000       3.4506984       147.86865       0.0763188       1.28863\r
  30 550.000000      75.000000       3.2147005       145.91333       0.0661568       1.15058\r
  31 560.000000      75.000000       2.9732571       143.7478        0.0544952       0.942278\r
  32 570.000000      75.000000       2.7425504       142.93575       0.067065        1.11901\r
  33 580.000000      75.000000       2.5766089       140.67686       0.0635725       1.06533\r
  34 590.000000      75.000000       2.4082749       138.34174       0.0985345       1.64511\r
  35 600.000000      75.000000       2.2016957       137.77802       0.0557946       0.962803\r
  36 610.000000      75.000000       2.0301759       134.12286       0.116349        1.93358\r
  37 620.000000      75.000000       1.9169972       131.82669       0.0852622       1.35038\r
  38 630.000000      75.000000       1.8920339       128.61115       0.0572137       0.959419\r
  39 640.000000      75.000000       1.7353424       125.53296       0.0892658       1.44935\r
  40 650.000000      75.000000       1.5366204       124.30289       0.0641896       0.981285\r
  41 660.000000      75.000000       1.4178146       120.54238       0.119489        1.79357\r
  42 670.000000      75.000000       1.4171588       116.20049       0.0682063       1.07082\r
  43 680.000000      75.000000       1.3894644       114.95425       0.131845        2.04396\r
  44 690.000000      75.000000       1.2795554       110.05708       0.113965        1.66239\r
  45 700.000000      75.000000       1.3241687       105.06474       0.0976312       1.51946\r
  46 710.000000      75.000000       1.4151425       100.19564       0.102759        1.61959\r
  47 720.000000      75.000000       1.1502243       96.055801       0.206897        2.80209\r
  48 730.000000      75.000000       1.2548469       92.581375       0.160368        2.45934\r
  49 740.000000      75.000000       1.0674889       88.226845       0.215012        2.69973\r
  50 750.000000      75.000000       0.98902929      84.558708       0.262431        3.08075\r
  51 760.000000      75.000000       1.1789426       82.744278       0.209078        3.07189\r
  52 770.000000      75.000000       0.93341947      71.686272       0.220341        2.97394\r
  53 780.000000      75.000000       0.83849311      70.943771       0.558468        6.15637\r
  54 790.000000      75.000000       1.2640795       68.884224       0.100156        2.17356\r
  55 800.000000      75.000000       0.91175687      61.035454       0.300849        3.90872\r
  56 810.000000      75.000000       0.93320274      58.789536       0.437863        5.6702\r
  57 820.000000      75.000000       1.1129346       56.485706       0.173209        2.6938\r
  58 830.000000      75.000000       1.1429816       55.947102       0.0817285       1.29732\r
  59 840.000000      75.000000       0.93027562      52.646255       0.169691        2.2155\r
  60 850.000000      75.000000       1.21389 48.462555       0.355627        5.87224\r
  61 860.000000      75.000000       1.4937001       45.651699       0.173156        3.67621\r
  62 870.000000      75.000000       1.0507039       45.733814       0.164567        2.49785\r
  63 880.000000      75.000000       1.2597013       44.263588       0.0456863       0.803508\r
  64 890.000000      75.000000       1.2582977       42.753479       0.0158223       0.35733\r
  65 900.000000      75.000000       1.3051893       39.967968       0.0616674       1.13636\r
  66 910.000000      75.000000       1.2732272       38.808544       0.0271622       0.482892\r
  67 920.000000      75.000000       1.3332286       37.681782       0.0140997       0.258795\r
  68 930.000000      75.000000       1.3622433       36.586693       0.0782413       1.44344\r
  69 940.000000      75.000000       1.4031602       34.508755       0.0304496       0.55295\r
  70 950.000000      75.000000       1.4122372       32.582474       0.0489488       0.893593\r
  71 960.000000      75.000000       1.4502473       32.855473       0.0540367       1.00513\r
  72 970.000000      75.000000       1.4127243       30.964994       0.0281425       0.514622\r
  73 980.000000      75.000000       1.4770958       29.591425       0.0234497       0.445045\r
  74 990.000000      75.000000       1.4927868       29.098557       0.0332271       0.631085\r
  75 1000.000000     75.000000       1.5144422       28.220951       0.0533147       1.03672\r
  76 dpolE   300.000000      75.000000       -4.78905        45.5714\r
  77 dpolE   310.000000      75.000000       3.06875 16.1573\r
  78 dpolE   320.000000      75.000000       -6.4203 10.6263\r
  79 dpolE   330.000000      75.000000       -0.0440727      5.75024\r
  80 dpolE   340.000000      75.000000       -4.69557        5.72638\r
  81 dpolE   350.000000      75.000000       -2.11188        4.48495\r
  82 dpolE   360.000000      75.000000       -3.73371        3.61906\r
  83 dpolE   370.000000      75.000000       -1.05855        2.36827\r
  84 dpolE   380.000000      75.000000       -0.0300459      1.45868\r
  85 dpolE   390.000000      75.000000       -0.0255225      0.991889\r
  86 dpolE   400.000000      75.000000       0.314239        0.951903\r
  87 dpolE   410.000000      75.000000       -0.106431       0.81925\r
  88 dpolE   420.000000      75.000000       0.0811381       0.365541\r
  89 dpolE   430.000000      75.000000       0.0373512       0.458049\r
  90 dpolE   440.000000      75.000000       -0.102375       0.414606\r
  91 dpolE   450.000000      75.000000       -0.0761092      0.340818\r
  92 dpolE   460.000000      75.000000       -0.0504198      0.24725\r
  93 dpolE   470.000000      75.000000       0.0263577       0.132126\r
  94 dpolE   480.000000      75.000000       -0.033448       0.186945\r
  95 dpolE   490.000000      75.000000       -0.0407337      0.147466\r
  96 dpolE   500.000000      75.000000       0.0369354       0.126719\r
  97 dpolE   510.000000      75.000000       -0.00225908     0.0846593\r
  98 dpolE   520.000000      75.000000       -0.0560667      0.117028\r
  99 dpolE   530.000000      75.000000       -0.0148762      0.0799535\r
 100 dpolE   540.000000      75.000000       -0.0133732      0.0745507\r
 101 dpolE   550.000000      75.000000       0.0219202       0.0593855\r
 102 dpolE   560.000000      75.000000       -0.0195594      0.0451131\r
 103 dpolE   570.000000      75.000000       0.00193685      0.0494796\r
 104 dpolE   580.000000      75.000000       4.32244e-005    0.0437192\r
 105 dpolE   590.000000      75.000000       -0.00694733     0.0629274\r
 106 dpolE   600.000000      75.000000       0.0111807       0.0317034\r
 107 dpolE   610.000000      75.000000       -0.0177631      0.0607738\r
 108 dpolE   620.000000      75.000000       -0.0154881      0.0410602\r
 109 dpolE   630.000000      75.000000       0.0437807       0.0266913\r
 110 dpolE   640.000000      75.000000       0.0240524       0.0376554\r
 111 dpolE   650.000000      75.000000       -0.0158165      0.0236006\r
 112 dpolE   660.000000      75.000000       -0.013045       0.0395244\r
 113 dpolE   670.000000      75.000000       0.0233946       0.0219273\r
 114 dpolE   680.000000      75.000000       0.0224255       0.0408023\r
 115 dpolE   690.000000      75.000000       0.00704018      0.0318272\r
 116 dpolE   700.000000      75.000000       0.0427188       0.0273132\r
 117 dpolE   710.000000      75.000000       0.0626484       0.0313884\r
 118 dpolE   720.000000      75.000000       0.00286696      0.0492827\r
 119 dpolE   730.000000      75.000000       0.0483215       0.0400556\r
 120 dpolE   740.000000      75.000000       -0.0260816      0.0479126\r
 121 dpolE   750.000000      75.000000       -0.0431434      0.0539738\r
 122 dpolE   760.000000      75.000000       0.0225133       0.049265\r
 123 dpolE   770.000000      75.000000       -0.0140146      0.0367105\r
 124 dpolE   780.000000      75.000000       -0.0607232      0.0935613\r
 125 dpolE   790.000000      75.000000       0.0719935       0.0229174\r
 126 dpolE   800.000000      75.000000       -0.0430496      0.054301\r
 127 dpolE   810.000000      75.000000       -0.0491211      0.082674\r
 128 dpolE   820.000000      75.000000       -0.0038857      0.0389379\r
 129 dpolE   830.000000      75.000000       -0.000656507    0.0190968\r
 130 dpolE   840.000000      75.000000       -0.0622495      0.0327797\r
 131 dpolE   850.000000      75.000000       -0.0079021      0.0924094\r
 132 dpolE   860.000000      75.000000       0.0934758       0.0543896\r
 133 dpolE   870.000000      75.000000       -0.0314054      0.0354951\r
 134 dpolE   880.000000      75.000000       0.011845        0.012121\r
 135 dpolE   890.000000      75.000000       0.003832        0.0042377\r
 136 dpolE   900.000000      75.000000       0.0169338       0.0171355\r
 137 dpolE   910.000000      75.000000       -0.00317946     0.00745627\r
 138 dpolE   920.000000      75.000000       0.00496977      0.00409933\r
 139 dpolE   930.000000      75.000000       0.00178885      0.0235228\r
 140 dpolE   940.000000      75.000000       0.00939782      0.00943798\r
 141 dpolE   950.000000      75.000000       0.00383398      0.0153558\r
 142 dpolE   960.000000      75.000000       0.0112047       0.017493\r
 143 dpolE   970.000000      75.000000       -0.00550985     0.00888795\r
 144 dpolE   980.000000      75.000000       0.00684122      0.00778682\r
 145 dpolE   990.000000      75.000000       0.00256051      0.0112182\r
 146 dpolE   1000.000000     75.000000       0.00939309      0.0182577