research/ellipsometry/WVASE32/EXAMPLES/HI-LO.DAT

   1 Five layer hi-lo stack on silicon\r
   2 nm\r
   3 500.000000      60.000000       5.32208 53.3785 0.046289        0.607557\r
   4 505.000000      60.000000       8.97359 108.568 0.016512        0.137776\r
   5 510.000000      60.000000       13.7197 133.39  0.017877        0.129667\r
   6 515.000000      60.000000       17.3517 148.543 0.019888        0.192019\r
   7 520.000000      60.000000       20.1102 160.467 0.022176        0.273043\r
   8 525.000000      60.000000       22.2209 170.287 0.023205        0.556177\r
   9 530.000000      60.000000       23.866  174.514 0.025507        1.00569\r
  10 535.000000      60.000000       25.0775 168.122 0.025611        0.445061\r
  11 540.000000      60.000000       26.0332 159.899 0.026803        0.282723\r
  12 545.000000      60.000000       26.797  151.842 0.026243        0.187011\r
  13 550.000000      60.000000       27.5197 143.869 0.027168        0.164323\r
  14 555.000000      60.000000       28.3117 136.192 0.026443        0.129549\r
  15 560.000000      60.000000       29.3467 128.954 0.027824        0.121364\r
  16 565.000000      60.000000       30.9111 122.224 0.028533        0.110238\r
  17 570.000000      60.000000       33.4875 116.09  0.03044 0.110198\r
  18 575.000000      60.000000       37.9557 110.717 0.032396        0.109625\r
  19 580.000000      60.000000       45.9982 106.311 0.03139 0.10559\r
  20 585.000000      60.000000       59.8735 103.326 0.033988        0.111525\r
  21 590.000000      60.000000       78.3106 102.563 0.054327        0.2586\r
  22 595.000000      60.000000       69.2276 90.9722 0.049276        0.155529\r
  23 600.000000      60.000000       52.5476 91.1199 0.039519        0.11771\r
  24 605.000000      60.000000       41.9213 94.5723 0.035073        0.112245\r
  25 610.000000      60.000000       35.8588 98.9746 0.032782        0.112709\r
  26 615.000000      60.000000       32.1885 104.154 0.030756        0.111028\r
  27 620.000000      60.000000       29.8405 109.871 0.028626        0.114276\r
  28 625.000000      60.000000       28.2803 115.873 0.027842        0.11139\r
  29 630.000000      60.000000       27.1747 122.197 0.027089        0.117935\r
  30 635.000000      60.000000       26.3437 128.469 0.025761        0.115505\r
  31 640.000000      60.000000       25.6547 134.746 0.026029        0.133974\r
  32 645.000000      60.000000       25.0515 141.092 0.026952        0.140961\r
  33 650.000000      60.000000       24.4913 147.353 0.026092        0.181273\r
  34 655.000000      60.000000       23.9018 153.741 0.025404        0.200221\r
  35 660.000000      60.000000       23.3357 160.157 0.025707        0.277981\r
  36 665.000000      60.000000       22.7584 166.375 0.025907        0.390418\r
  37 670.000000      60.000000       22.1683 172.5   0.024995        0.732681\r
  38 675.000000      60.000000       21.5663 174.762 0.026191        1.01327\r
  39 680.000000      60.000000       21.0455 169.246 0.02411 0.530965\r
  40 685.000000      60.000000       20.6294 161.977 0.024707        0.30809\r
  41 690.000000      60.000000       20.4036 153.633 0.025199        0.223684\r
  42 695.000000      60.000000       20.5507 144.694 0.02623 0.178145\r
  43 700.000000      60.000000       21.2096 134.509 0.028048        0.158093\r
  44 705.000000      60.000000       22.84   122.919 0.027253        0.133382\r
  45 710.000000      60.000000       25.9759 109.803 0.034885        0.124554\r
  46 715.000000      60.000000       31.5918 94.4275 0.048002        0.134317\r
  47 720.000000      60.000000       41.044  73.7274 0.093233        0.223307\r
  48 725.000000      60.000000       51.6799 42.5373 0.226675        0.609963\r
  49 730.000000      60.000000       52.2037 31.8094 0.157831        0.766106\r
  50 735.000000      60.000000       44.6356 52.6835 0.103992        0.29068\r
  51 740.000000      60.000000       38.2313 65.4259 0.065221        0.181245\r
  52 745.000000      60.000000       34.0274 73.9927 0.041277        0.159569\r
  53 750.000000      60.000000       31.4185 80.0344 0.038576        0.141566\r
  54 755.000000      60.000000       29.9471 84.7795 0.03636 0.129437\r
  55 760.000000      60.000000       29.1424 88.7422 0.032177        0.120501\r
  56 765.000000      60.000000       28.7861 92.2076 0.030355        0.121742\r
  57 770.000000      60.000000       28.6868 95.6574 0.031329        0.122761\r
  58 775.000000      60.000000       28.7737 98.9097 0.031519        0.120533\r
  59 780.000000      60.000000       28.9714 101.956 0.031879        0.111902\r
  60 785.000000      60.000000       29.2286 104.877 0.030051        0.109543\r
  61 790.000000      60.000000       29.4913 107.632 0.030281        0.10732\r
  62 795.000000      60.000000       29.7774 110.338 0.028969        0.110213\r
  63 800.000000      60.000000       30.081  113.024 0.02872 0.105957\r
  64 805.000000      60.000000       30.3786 115.706 0.028223        0.114374\r
  65 810.000000      60.000000       30.6468 118.216 0.030479        0.112659\r
  66 815.000000      60.000000       30.9152 120.72  0.028154        0.115479\r
  67 820.000000      60.000000       31.1705 123.254 0.028112        0.112328\r
  68 825.000000      60.000000       31.3828 125.531 0.028257        0.115157\r
  69 830.000000      60.000000       31.593  127.874 0.028793        0.121203\r
  70 835.000000      60.000000       31.7609 130.089 0.029561        0.123985\r
  71 840.000000      60.000000       31.914  132.175 0.030792        0.130992\r
  72 845.000000      60.000000       32.0364 134.319 0.029134        0.132002\r
  73 850.000000      60.000000       32.1657 136.458 0.030678        0.141422\r
  74 855.000000      60.000000       32.2611 138.512 0.028955        0.139942\r
  75 860.000000      60.000000       32.303  140.485 0.030676        0.150231\r
  76 865.000000      60.000000       32.367  142.317 0.028279        0.150234\r
  77 870.000000      60.000000       32.4074 144.163 0.029913        0.154655\r
  78 875.000000      60.000000       32.431  145.983 0.028311        0.159319\r
  79 880.000000      60.000000       32.41   147.777 0.029254        0.16905\r
  80 885.000000      60.000000       32.4235 149.442 0.028499        0.170759\r
  81 890.000000      60.000000       32.4299 151.034 0.029202        0.193295\r
  82 895.000000      60.000000       32.3707 152.653 0.028513        0.187709\r
  83 900.000000      60.000000       32.333  154.188 0.029106        0.21807\r
  84 905.000000      60.000000       32.2843 155.699 0.029012        0.212355\r
  85 910.000000      60.000000       32.2227 157.161 0.029162        0.244661\r
  86 915.000000      60.000000       32.1524 158.594 0.028732        0.247257\r
  87 920.000000      60.000000       32.0773 159.9   0.028983        0.266794\r
  88 925.000000      60.000000       31.9791 161.072 0.029247        0.287528\r
  89 930.000000      60.000000       31.8687 162.56  0.028578        0.299558\r
  90 935.000000      60.000000       31.7444 163.833 0.029119        0.319083\r
  91 940.000000      60.000000       31.6275 164.936 0.027938        0.32941\r
  92 945.000000      60.000000       31.5058 166.132 0.029057        0.367815\r
  93 950.000000      60.000000       31.3844 167.203 0.028936        0.38471\r
  94 955.000000      60.000000       31.2708 168.212 0.029323        0.430452\r
  95 960.000000      60.000000       31.1569 169.187 0.029433        0.467492\r
  96 965.000000      60.000000       31.0275 170.106 0.030579        0.562506\r
  97 970.000000      60.000000       30.8895 171.154 0.029052        0.565772\r
  98 975.000000      60.000000       30.747  171.98  0.02908 0.686035\r
  99 980.000000      60.000000       30.6102 172.806 0.028693        0.683047\r
 100 985.000000      60.000000       30.4898 173.492 0.02966 0.891104\r
 101 990.000000      60.000000       30.3643 173.864 0.028608        0.808765\r
 102 995.000000      60.000000       30.2448 174.986 0.029525        1.10059\r
 103 1000.000000     60.000000       30.1208 175.12  0.029068        1.0566\r
 104 500.000000      70.000000       8.24812 71.1394 0.031616        0.248548\r
 105 505.000000      70.000000       7.51196 112.833 0.018125        0.144139\r
 106 510.000000      70.000000       8.62515 150.002 0.015817        0.29603\r
 107 515.000000      70.000000       10.8987 169.423 0.020006        0.692065\r
 108 520.000000      70.000000       13.6599 155.052 0.019104        0.246404\r
 109 525.000000      70.000000       16.5178 139.178 0.019009        0.147444\r
 110 530.000000      70.000000       19.3781 125.115 0.022068        0.120873\r
 111 535.000000      70.000000       21.9919 113.586 0.024204        0.110836\r
 112 540.000000      70.000000       24.5156 103.671 0.026858        0.108698\r
 113 545.000000      70.000000       26.952  95.5894 0.027187        0.116041\r
 114 550.000000      70.000000       29.6488 88.7328 0.029601        0.121503\r
 115 555.000000      70.000000       32.9164 83.3242 0.032845        0.128678\r
 116 560.000000      70.000000       37.2579 79.475  0.03729 0.13459\r
 117 565.000000      70.000000       43.9707 76.4888 0.036269        0.138455\r
 118 570.000000      70.000000       54.8918 72.2063 0.044394        0.153517\r
 119 575.000000      70.000000       70.3899 55.3812 0.081788        0.360918\r
 120 580.000000      70.000000       72.0227 42.9194 0.102557        0.553457\r
 121 585.000000      70.000000       57.0968 60.0272 0.050755        0.205343\r
 122 590.000000      70.000000       46.115  64.3765 0.045557        0.173433\r
 123 595.000000      70.000000       39.2707 66.9074 0.037584        0.159072\r
 124 600.000000      70.000000       34.655  69.7459 0.037528        0.153746\r
 125 605.000000      70.000000       31.2279 73.395  0.035114        0.145944\r
 126 610.000000      70.000000       28.4712 77.8757 0.03116 0.139319\r
 127 615.000000      70.000000       26.055  83.1079 0.028442        0.13151\r
 128 620.000000      70.000000       23.7488 89.0507 0.028217        0.128962\r
 129 625.000000      70.000000       21.4904 95.764  0.029626        0.118473\r
 130 630.000000      70.000000       19.1471 103.548 0.02467 0.118494\r
 131 635.000000      70.000000       16.8195 112.236 0.025275        0.116363\r
 132 640.000000      70.000000       14.5006 122.234 0.021818        0.138347\r
 133 645.000000      70.000000       12.2584 134.223 0.022697        0.163668\r
 134 650.000000      70.000000       10.2895 148.991 0.026938        0.294178\r
 135 655.000000      70.000000       8.72379 164.3   0.026304        0.66383\r
 136 660.000000      70.000000       8.15436 156.227 0.02228 0.528722\r
 137 665.000000      70.000000       8.73708 133.465 0.024498        0.249521\r
 138 670.000000      70.000000       10.4784 112.899 0.030192        0.186671\r
 139 675.000000      70.000000       13.1523 96.7591 0.031643        0.155937\r
 140 680.000000      70.000000       16.6741 84.5584 0.035399        0.164572\r
 141 685.000000      70.000000       20.8068 75.4063 0.044167        0.179193\r
 142 690.000000      70.000000       25.7882 67.2799 0.055881        0.189634\r
 143 695.000000      70.000000       32.3327 58.9441 0.062756        0.238387\r
 144 700.000000      70.000000       40.5384 46.9895 0.096712        0.321117\r
 145 705.000000      70.000000       48.469  30.2614 0.137912        0.573793\r
 146 710.000000      70.000000       51.0289 20.0295 0.130767        0.906028\r
 147 715.000000      70.000000       47.675  31.7258 0.10282 0.457672\r
 148 720.000000      70.000000       42.5649 42.3424 0.076492        0.304808\r
 149 725.000000      70.000000       38.394  48.2431 0.057638        0.257367\r
 150 730.000000      70.000000       35.4397 52.1095 0.046732        0.21117\r
 151 735.000000      70.000000       33.551  54.9646 0.045358        0.211644\r
 152 740.000000      70.000000       32.3446 57.3416 0.045217        0.188478\r
 153 745.000000      70.000000       31.5081 59.6701 0.040643        0.180286\r
 154 750.000000      70.000000       30.9468 62.1182 0.037672        0.17108\r
 155 755.000000      70.000000       30.5659 64.6096 0.037998        0.165275\r
 156 760.000000      70.000000       30.2957 67.2544 0.035771        0.158161\r
 157 765.000000      70.000000       30.0989 69.8621 0.037157        0.156708\r
 158 770.000000      70.000000       29.9335 72.7349 0.042318        0.15653\r
 159 775.000000      70.000000       29.8052 75.6023 0.044653        0.151695\r
 160 780.000000      70.000000       29.6911 78.5239 0.03991 0.147372\r
 161 785.000000      70.000000       29.6153 81.4529 0.035433        0.134364\r
 162 790.000000      70.000000       29.534  84.2081 0.033289        0.124003\r
 163 795.000000      70.000000       29.4087 87.0743 0.035708        0.129506\r
 164 800.000000      70.000000       29.2796 89.966  0.03771 0.125783\r
 165 805.000000      70.000000       29.1204 92.9994 0.035448        0.118208\r
 166 810.000000      70.000000       28.9846 95.8746 0.030163        0.117558\r
 167 815.000000      70.000000       28.8387 98.7814 0.029858        0.110012\r
 168 820.000000      70.000000       28.6638 101.845 0.028272        0.10966\r
 169 825.000000      70.000000       28.4882 104.58  0.027753        0.107656\r
 170 830.000000      70.000000       28.2825 107.553 0.029291        0.11164\r
 171 835.000000      70.000000       28.0707 110.33  0.027935        0.109657\r
 172 840.000000      70.000000       27.8552 113.077 0.027278        0.114516\r
 173 845.000000      70.000000       27.5979 115.898 0.030645        0.121238\r
 174 850.000000      70.000000       27.3347 118.748 0.031277        0.124572\r
 175 855.000000      70.000000       27.0645 121.52  0.031297        0.121062\r
 176 860.000000      70.000000       26.7941 124.184 0.027029        0.128221\r
 177 865.000000      70.000000       26.5165 126.934 0.028505        0.12906\r
 178 870.000000      70.000000       26.2312 129.606 0.027314        0.134969\r
 179 875.000000      70.000000       25.937  132.285 0.025407        0.122298\r
 180 880.000000      70.000000       25.6179 134.954 0.024917        0.131441\r
 181 885.000000      70.000000       25.3396 137.331 0.026006        0.134179\r
 182 890.000000      70.000000       25.0337 139.798 0.025333        0.138883\r
 183 895.000000      70.000000       24.7147 142.27  0.024607        0.149369\r
 184 900.000000      70.000000       24.3881 144.633 0.023961        0.148402\r
 185 905.000000      70.000000       24.0672 146.994 0.024945        0.168906\r
 186 910.000000      70.000000       23.738  149.24  0.024611        0.171781\r
 187 915.000000      70.000000       23.3983 151.623 0.024309        0.191267\r
 188 920.000000      70.000000       23.094  153.681 0.023759        0.197123\r
 189 925.000000      70.000000       22.7721 155.79  0.024008        0.230377\r
 190 930.000000      70.000000       22.465  157.933 0.024154        0.243981\r
 191 935.000000      70.000000       22.1601 159.991 0.027872        0.281236\r
 192 940.000000      70.000000       21.859  161.818 0.023826        0.28773\r
 193 945.000000      70.000000       21.5585 163.735 0.022843        0.346985\r
 194 950.000000      70.000000       21.2712 165.679 0.024722        0.372222\r
 195 955.000000      70.000000       20.979  167.23  0.022492        0.43208\r
 196 960.000000      70.000000       20.7032 168.939 0.0252  0.508803\r
 197 965.000000      70.000000       20.4435 170.257 0.027749        0.61925\r
 198 970.000000      70.000000       20.1875 171.769 0.023608        0.693786\r
 199 975.000000      70.000000       19.9483 172.981 0.022363        0.735476\r
 200 980.000000      70.000000       19.7143 174.919 0.022588        1.08452\r
 201 985.000000      70.000000       19.5079 175.049 0.021738        1.04309\r
 202 990.000000      70.000000       19.3128 175.332 0.022203        1.18751\r
 203 995.000000      70.000000       19.1442 175.652 0.02054 1.11531\r
 204 1000.000000     70.000000       18.9987 174.884 0.022381        1.13496\r
 205 500.000000      80.000000       15.186  14.9322 0.027233        0.778064\r
 206 505.000000      80.000000       11.2536 10.3729 0.026988        1.17626\r
 207 510.000000      80.000000       10.7029 32.0483 0.025832        0.406433\r
 208 515.000000      80.000000       14.2543 50.708  0.020851        0.207884\r
 209 520.000000      80.000000       19.2353 55.8588 0.023511        0.189133\r
 210 525.000000      80.000000       23.9867 54.8652 0.027175        0.191295\r
 211 530.000000      80.000000       28.0451 51.7095 0.028998        0.197865\r
 212 535.000000      80.000000       31.3107 48.3158 0.031489        0.218846\r
 213 540.000000      80.000000       34.0705 45.2689 0.033681        0.230403\r
 214 545.000000      80.000000       36.6903 42.8837 0.034202        0.245733\r
 215 550.000000      80.000000       39.6702 41.2232 0.036693        0.256311\r
 216 555.000000      80.000000       43.7403 39.8813 0.03677 0.262751\r
 217 560.000000      80.000000       49.7447 37.0575 0.036762        0.294375\r
 218 565.000000      80.000000       57.6881 26.4672 0.039412        0.403762\r
 219 570.000000      80.000000       60.9714 10.9795 0.039108        1.04911\r
 220 575.000000      80.000000       54.686  26.0892 0.040764        0.422472\r
 221 580.000000      80.000000       47.5855 32.0972 0.038456        0.333048\r
 222 585.000000      80.000000       42.8191 33.8176 0.036568        0.327227\r
 223 590.000000      80.000000       39.562  34.7457 0.03706 0.302883\r
 224 595.000000      80.000000       37.0628 35.9082 0.036296        0.308012\r
 225 600.000000      80.000000       34.8188 37.3644 0.034198        0.28168\r
 226 605.000000      80.000000       32.5521 39.0428 0.035201        0.280381\r
 227 610.000000      80.000000       30.182  40.7554 0.032497        0.260263\r
 228 615.000000      80.000000       27.5453 42.1549 0.03078 0.248426\r
 229 620.000000      80.000000       24.6295 42.7881 0.029201        0.250739\r
 230 625.000000      80.000000       21.4783 42.0234 0.027381        0.254124\r
 231 630.000000      80.000000       18.1673 38.5125 0.026751        0.293823\r
 232 635.000000      80.000000       15.3209 30.6339 0.028748        0.382748\r
 233 640.000000      80.000000       13.5169 17.5258 0.029149        0.725862\r
 234 645.000000      80.000000       13.487  6.5112  0.030122        1.86589\r
 235 650.000000      80.000000       15.1636 15.4631 0.030465        0.788049\r
 236 655.000000      80.000000       17.9953 23.9433 0.029978        0.478015\r
 237 660.000000      80.000000       21.2414 28.1728 0.031949        0.389107\r
 238 665.000000      80.000000       24.6016 30.0779 0.033271        0.377505\r
 239 670.000000      80.000000       28.2963 30.5175 0.033669        0.35309\r
 240 675.000000      80.000000       32.2228 29.7135 0.039518        0.383888\r
 241 680.000000      80.000000       36.6111 27.6394 0.040742        0.386633\r
 242 685.000000      80.000000       41.2452 23.447  0.04152 0.475112\r
 243 690.000000      80.000000       45.5836 16.3605 0.047719        0.694347\r
 244 695.000000      80.000000       48.2954 7.91983 0.048615        1.41101\r
 245 700.000000      80.000000       48.0941 11.2302 0.048904        1.02408\r
 246 705.000000      80.000000       45.7104 18.7994 0.048296        0.596322\r
 247 710.000000      80.000000       43.0851 23.206  0.041659        0.482934\r
 248 715.000000      80.000000       40.9821 25.4768 0.041316        0.417391\r
 249 720.000000      80.000000       39.4539 26.8353 0.040508        0.412178\r
 250 725.000000      80.000000       38.398  27.8519 0.040194        0.376901\r
 251 730.000000      80.000000       37.6345 28.8147 0.037722        0.372284\r
 252 735.000000      80.000000       37.0859 29.8785 0.03945 0.357936\r
 253 740.000000      80.000000       36.6686 30.976  0.037869        0.348565\r
 254 745.000000      80.000000       36.3013 32.2004 0.037694        0.32965\r
 255 750.000000      80.000000       35.9693 33.5997 0.038243        0.32014\r
 256 755.000000      80.000000       35.6551 35.0257 0.036678        0.304768\r
 257 760.000000      80.000000       35.3526 36.5404 0.037689        0.288438\r
 258 765.000000      80.000000       35.0355 38.1814 0.036333        0.279761\r
 259 770.000000      80.000000       34.6799 39.8669 0.038797        0.272978\r
 260 775.000000      80.000000       34.2828 41.6511 0.039739        0.265318\r
 261 780.000000      80.000000       33.8911 43.4197 0.040945        0.250581\r
 262 785.000000      80.000000       33.4567 45.2945 0.036702        0.242077\r
 263 790.000000      80.000000       33.0169 47.0507 0.037416        0.227005\r
 264 795.000000      80.000000       32.525  48.9684 0.035209        0.219432\r
 265 800.000000      80.000000       31.977  50.9218 0.033634        0.202181\r
 266 805.000000      80.000000       31.4055 52.9136 0.032073        0.205708\r
 267 810.000000      80.000000       30.7836 54.9027 0.033252        0.193594\r
 268 815.000000      80.000000       30.1149 56.9397 0.032001        0.186894\r
 269 820.000000      80.000000       29.3795 59.0597 0.02953 0.172261\r
 270 825.000000      80.000000       28.6476 61.0325 0.028701        0.172396\r
 271 830.000000      80.000000       27.81   63.1682 0.028723        0.163211\r
 272 835.000000      80.000000       26.964  65.2164 0.028994        0.161829\r
 273 840.000000      80.000000       26.1064 67.19   0.027947        0.155296\r
 274 845.000000      80.000000       25.1686 69.2042 0.033532        0.159994\r
 275 850.000000      80.000000       24.1466 71.3181 0.029526        0.147805\r
 276 855.000000      80.000000       23.1415 73.3234 0.029996        0.160092\r
 277 860.000000      80.000000       22.097  75.2928 0.030385        0.146781\r
 278 865.000000      80.000000       20.9893 77.1761 0.027131        0.137001\r
 279 870.000000      80.000000       19.8851 79.0906 0.024458        0.13381\r
 280 875.000000      80.000000       18.7201 80.9507 0.022291        0.132186\r
 281 880.000000      80.000000       17.5356 82.7325 0.019975        0.129698\r
 282 885.000000      80.000000       16.4316 84.2945 0.019897        0.128028\r
 283 890.000000      80.000000       15.2885 85.7647 0.020081        0.129666\r
 284 895.000000      80.000000       14.1504 87.1316 0.016955        0.125692\r
 285 900.000000      80.000000       13.0004 88.3553 0.017931        0.123152\r
 286 905.000000      80.000000       11.8993 89.4241 0.015383        0.121735\r
 287 910.000000      80.000000       10.7787 90.2404 0.01694 0.134764\r
 288 915.000000      80.000000       9.67805 90.8906 0.013   0.118506\r
 289 920.000000      80.000000       8.69315 91.1183 0.01305 0.135741\r
 290 925.000000      80.000000       7.70921 90.9774 0.014632        0.148091\r
 291 930.000000      80.000000       6.74935 90.3246 0.013649        0.130057\r
 292 935.000000      80.000000       5.87421 89.2347 0.017111        0.166958\r
 293 940.000000      80.000000       5.04497 87.1483 0.015445        0.17703\r
 294 945.000000      80.000000       4.30501 84.0985 0.017372        0.212716\r
 295 950.000000      80.000000       3.58843 79.3623 0.0202  0.269535\r
 296 955.000000      80.000000       3.0156  72.7735 0.027815        0.347225\r
 297 960.000000      80.000000       2.66972 64.6472 0.037191        0.560858\r
 298 965.000000      80.000000       2.42563 54.606  0.0538  1.02012\r
 299 970.000000      80.000000       2.2854  42.965  0.041863        1.27896\r
 300 975.000000      80.000000       2.37103 36.3572 0.038088        1.36363\r
 301 980.000000      80.000000       2.50103 30.6905 0.024787        1.07383\r
 302 985.000000      80.000000       2.90582 34.8391 0.031392        1.01466\r
 303 990.000000      80.000000       3.2377  35.9162 0.025648        0.785127\r
 304 995.000000      80.000000       3.58211 37.9203 0.018761        0.543412\r
 305 1000.000000     80.000000       4.03281 41.0728 0.024611        0.560162