research/ellipsometry/WVASE32/EXAMPLES/POLY_OX.DAT

   1 Poly-Silicon / Oxide / Silicon, VASE data\r
   2 nm\r
   3 250.000000      70.000000       32.9122 101.92  0.0330932       0.0738862\r
   4 255.000000      70.000000       32.951  103.87  0.0253854       0.0569369\r
   5 260.000000      70.000000       33.0379 106.659 0.0231351       0.0524465\r
   6 265.000000      70.000000       32.9721 109.069 0.0194434       0.0445768\r
   7 270.000000      70.000000       32.7353 111.893 0.0183024       0.0428339\r
   8 275.000000      70.000000       32.4796 114.675 0.017183        0.0411518\r
   9 280.000000      70.000000       31.8664 117.577 0.0163536       0.0404933\r
  10 285.000000      70.000000       31.1794 120.433 0.025361        0.0659571\r
  11 290.000000      70.000000       30.3411 123.106 0.0214022       0.05804\r
  12 295.000000      70.000000       29.3269 125.247 0.018116        0.0512396\r
  13 300.000000      70.000000       28.3927 126.701 0.0172672       0.0507052\r
  14 305.000000      70.000000       27.6025 127.907 0.0161631       0.0490272\r
  15 310.000000      70.000000       26.9106 128.837 0.0157126       0.0490644\r
  16 315.000000      70.000000       26.2873 129.705 0.0151002       0.0484471\r
  17 320.000000      70.000000       25.7389 130.459 0.0148951       0.0490208\r
  18 325.000000      70.000000       25.2868 131.231 0.0145476       0.0490084\r
  19 330.000000      70.000000       24.9254 132.064 0.0143797       0.0495622\r
  20 335.000000      70.000000       24.6128 133.006 0.0177142       0.0630468\r
  21 340.000000      70.000000       24.3804 133.924 0.0167311       0.0607735\r
  22 345.000000      70.000000       24.2212 135.053 0.0171529       0.0638827\r
  23 350.000000      70.000000       24.0916 136.445 0.0170515       0.0653497\r
  24 355.000000      70.000000       23.9688 138.064 0.0166563       0.0660058\r
  25 360.000000      70.000000       23.7177 140.118 0.0167711       0.0698348\r
  26 370.000000      70.000000       22.8187 145.252 0.0209951       0.101926\r
  27 380.000000      70.000000       21.2205 148.823 0.016147        0.0907417\r
  28 390.000000      70.000000       19.7262 150.821 0.0152597       0.0965204\r
  29 400.000000      70.000000       18.4993 151.951 0.0145382       0.100509\r
  30 410.000000      70.000000       17.5142 152.882 0.0139731       0.104322\r
  31 420.000000      70.000000       16.7167 152.609 0.0134712       0.10367\r
  32 430.000000      70.000000       15.7307 155.064 0.0130408       0.115434\r
  33 440.000000      70.000000       15.4059 150.805 0.0125732       0.0978543\r
  34 450.000000      70.000000       15.4253 159.219 0.0128501       0.137424\r
  35 460.000000      70.000000       11.9089 152.695 0.0104594       0.108625\r
  36 470.000000      70.000000       15.8067 145.115 0.0123951       0.0803429\r
  37 480.000000      70.000000       16.4094 166.484 0.0137535       0.211869\r
  38 490.000000      70.000000       8.65554 173.255 0.00897232      0.49345\r
  39 500.000000      70.000000       11.4077 119.591 0.0092308       0.0522328\r
  40 510.000000      70.000000       18.8899 141.997 0.0141716       0.0734639\r
  41 520.000000      70.000000       19.3229 171.395 0.0157663       0.330755\r
  42 530.000000      70.000000       13.2024 154.354 0.0114675       0.115288\r
  43 540.000000      70.000000       2.20783 65.2733 0.0119706       0.193339\r
  44 550.000000      70.000000       14.0633 94.5248 0.0100159       0.0410046\r
  45 560.000000      70.000000       20.0015 128.15  0.0139093       0.0538312\r
  46 570.000000      70.000000       21.9273 154.266 0.0167626       0.109489\r
  47 580.000000      70.000000       20.7327 177.367 0.0167661       1.08248\r
  48 590.000000      70.000000       16.6826 151.025 0.0134843       0.0987393\r
  49 600.000000      70.000000       10.5498 111.336 0.00989495      0.0566964\r
  50 610.000000      70.000000       7.76496 20.4694 0.00799247      0.163402\r
  51 620.000000      70.000000       14.888  68.7621 0.0113815       0.0477018\r
  52 630.000000      70.000000       18.762  105.598 0.0123618       0.0410912\r
  53 640.000000      70.000000       21.0399 128.146 0.014712        0.0547246\r
  54 650.000000      70.000000       22.1734 147.49  0.0166118       0.0869018\r
  55 660.000000      70.000000       22.0619 165.861 0.0175102       0.202466\r
  56 670.000000      70.000000       20.7861 175.8   0.0169059       0.683377\r
  57 680.000000      70.000000       18.497  156.6   0.0149883       0.122831\r
  58 690.000000      70.000000       15.424  135.455 0.0120215       0.0649101\r
  59 700.000000      70.000000       12.0061 107.927 0.00999728      0.0496713\r
  60 710.000000      70.000000       9.59857 64.3095 0.00763255      0.0482963\r
  61 720.000000      70.000000       11.0544 5.60978 0.0104007       0.543358\r
  62 730.000000      70.000000       14.8956 52.6708 0.0112789       0.0552788\r
  63 740.000000      70.000000       16.9448 85.3769 0.0128151       0.0450559\r
  64 750.000000      70.000000       18.3598 105.663 0.0127378       0.0432051\r
  65 760.000000      70.000000       19.5651 120.839 0.0139759       0.0505089\r
  66 770.000000      70.000000       20.4398 133.791 0.0150919       0.0626568\r
  67 780.000000      70.000000       20.9282 145.98  0.0165471       0.087126\r
  68 790.000000      70.000000       20.9876 157.377 0.0175804       0.134493\r
  69 800.000000      70.000000       20.6458 168.572 0.0179231       0.269887\r
  70 810.000000      70.000000       19.9435 180     0.0180034       90\r
  71 820.000000      70.000000       18.9002 169.366 0.0160604       0.278667\r
  72 830.000000      70.000000       17.6044 158.393 0.0142094       0.130788\r
  73 840.000000      70.000000       16.0045 146.603 0.0138205       0.0925784\r
  74 250.000000      75.000000       32.9404 81.1087 0.0309892       0.0684598\r
  75 255.000000      75.000000       32.7879 83.27   0.0240583       0.0528653\r
  76 260.000000      75.000000       32.8474 85.7792 0.0215843       0.0471111\r
  77 265.000000      75.000000       32.5139 88.2474 0.018817        0.0410915\r
  78 270.000000      75.000000       32.086  91.3261 0.0172819       0.0379285\r
  79 275.000000      75.000000       31.3697 94.2599 0.0159318       0.0354145\r
  80 280.000000      75.000000       30.6376 97.1706 0.014948        0.0337793\r
  81 285.000000      75.000000       29.6905 100.07  0.0242597       0.0568937\r
  82 290.000000      75.000000       28.5336 102.712 0.0202836       0.049086\r
  83 295.000000      75.000000       27.2078 104.527 0.0165337       0.0414064\r
  84 300.000000      75.000000       26.0109 105.688 0.0156175       0.0405041\r
  85 305.000000      75.000000       25.0043 106.479 0.0142726       0.0381135\r
  86 310.000000      75.000000       24.0999 107.136 0.0138362       0.0380551\r
  87 315.000000      75.000000       23.3391 107.74  0.0128938       0.0363435\r
  88 320.000000      75.000000       22.6787 108.284 0.0126967       0.0366746\r
  89 325.000000      75.000000       22.109  108.802 0.0122039       0.0359978\r
  90 330.000000      75.000000       21.5889 109.533 0.0118873       0.035844\r
  91 335.000000      75.000000       21.1489 110.309 0.0117528       0.0361817\r
  92 340.000000      75.000000       20.8011 111.286 0.0114554       0.0359201\r
  93 345.000000      75.000000       20.4691 112.517 0.0114949       0.036844\r
  94 350.000000      75.000000       20.1603 114.131 0.0114246       0.0375103\r
  95 355.000000      75.000000       19.8031 116.195 0.0112942       0.0382433\r
  96 360.000000      75.000000       19.3442 118.784 0.0112599       0.0397907\r
  97 370.000000      75.000000       17.6318 124.455 0.0127927       0.0523995\r
  98 380.000000      75.000000       15.4894 127.679 0.0116973       0.055714\r
  99 390.000000      75.000000       13.6044 128.4   0.0104244       0.0560277\r
 100 400.000000      75.000000       12.123  127.907 0.00948944      0.0559838\r
 101 410.000000      75.000000       10.964  127.245 0.00885533      0.0565651\r
 102 420.000000      75.000000       10.1792 124.93  0.00851641      0.0564732\r
 103 430.000000      75.000000       8.83698 125.809 0.00806994      0.0621198\r
 104 440.000000      75.000000       9.16462 118.196 0.00776816      0.052835\r
 105 450.000000      75.000000       7.91812 132.291 0.00742271      0.0691375\r
 106 460.000000      75.000000       6.02154 101.142 0.00692137      0.0581995\r
 107 470.000000      75.000000       10.3387 111.894 0.00780374      0.0445903\r
 108 480.000000      75.000000       8.03172 150.582 0.00815052      0.11449\r
 109 490.000000      75.000000       1.67183 44.8868 0.0182897       0.661365\r
 110 500.000000      75.000000       10.9933 70.0159 0.00855615      0.0460613\r
 111 510.000000      75.000000       13.7295 116.149 0.00979818      0.0454082\r
 112 520.000000      75.000000       10.9734 165.139 0.0100359       0.200631\r
 113 530.000000      75.000000       6.35711 107.795 0.00744499      0.0630463\r
 114 540.000000      75.000000       10.7699 8.05038 0.0108023       0.40513\r
 115 550.000000      75.000000       16.2117 59.9179 0.0115283       0.0482073\r
 116 560.000000      75.000000       16.8018 101.07  0.0109182       0.0389172\r
 117 570.000000      75.000000       15.4029 139.107 0.0119779       0.0693504\r
 118 580.000000      75.000000       12.4815 174.406 0.0112731       0.529385\r
 119 590.000000      75.000000       10.1062 118.165 0.00854361      0.0531042\r
 120 600.000000      75.000000       11.5568 54.8464 0.0102112       0.0612199\r
 121 610.000000      75.000000       16.5873 5.57123 0.0146427       0.539334\r
 122 620.000000      75.000000       19.4761 43.9162 0.014431        0.0647979\r
 123 630.000000      75.000000       18.729  76.1082 0.0121568       0.0401132\r
 124 640.000000      75.000000       17.7865 102.585 0.0117504       0.0402534\r
 125 650.000000      75.000000       16.4344 129.229 0.0123393       0.0571208\r
 126 660.000000      75.000000       14.572  157.963 0.0126749       0.134945\r
 127 670.000000      75.000000       12.6308 168.81  0.0116253       0.271787\r
 128 680.000000      75.000000       11.3492 132.106 0.0098744       0.0661515\r
 129 690.000000      75.000000       11.4137 93.7197 0.00864425      0.0423885\r
 130 700.000000      75.000000       13.0225 58.6236 0.0105622       0.0543584\r
 131 710.000000      75.000000       16.0015 28.2017 0.0138312       0.107899\r
 132 720.000000      75.000000       19.5717 3.52555 0.0167856       0.849579\r
 133 730.000000      75.000000       20.7072 33.6566 0.0166996       0.0895804\r
 134 740.000000      75.000000       19.535  57.0195 0.0142389       0.0527706\r
 135 750.000000      75.000000       18.3656 75.3561 0.0124912       0.0421182\r
 136 760.000000      75.000000       17.3828 92.0078 0.0119591       0.0408703\r
 137 770.000000      75.000000       16.3859 108.288 0.0116595       0.0440933\r
 138 780.000000      75.000000       15.2595 125.11  0.0126791       0.0595196\r
 139 790.000000      75.000000       14.0326 142.65  0.0138443       0.0948876\r
 140 800.000000      75.000000       12.7934 161.469 0.0144744       0.206594\r
 141 810.000000      75.000000       11.6389 180     0.015171        90\r
 142 820.000000      75.000000       10.7354 156.214 0.0114064       0.149653\r
 143 830.000000      75.000000       10.2564 133.858 0.00835056      0.0623012\r
 144 840.000000      75.000000       10.2325 110.588 0.00769235      0.0439205\r
 145 250.000000      80.000000       34.7595 56.8007 0.0298509       0.0757759\r
 146 255.000000      80.000000       34.5143 57.9135 0.0244012       0.061222\r
 147 260.000000      80.000000       34.3125 59.9372 0.0224613       0.0552546\r
 148 265.000000      80.000000       33.8149 62.1451 0.0193242       0.0467269\r
 149 270.000000      80.000000       33.3389 64.3155 0.0179511       0.042814\r
 150 275.000000      80.000000       32.4818 66.9509 0.0165651       0.0391425\r
 151 280.000000      80.000000       31.4752 69.0913 0.0258896       0.0618625\r
 152 285.000000      80.000000       30.2486 71.4548 0.0235551       0.0566867\r
 153 290.000000      80.000000       28.8848 73.0879 0.0197733       0.0483736\r
 154 295.000000      80.000000       27.4112 73.9327 0.01635 0.0410249\r
 155 300.000000      80.000000       26.1237 74.0268 0.0152689       0.039505\r
 156 305.000000      80.000000       25.0801 73.8343 0.0140424       0.0373319\r
 157 310.000000      80.000000       24.1647 73.5827 0.0135687       0.0370745\r
 158 315.000000      80.000000       23.3611 73.3153 0.0127369       0.0356532\r
 159 320.000000      80.000000       22.6628 73.0073 0.0124729       0.035765\r
 160 325.000000      80.000000       22.0559 72.8123 0.0120137       0.0351536\r
 161 330.000000      80.000000       21.4961 72.7498 0.0116983       0.0349018\r
 162 335.000000      80.000000       20.9841 72.8696 0.011422        0.0346812\r
 163 340.000000      80.000000       20.507  73.217  0.0110904       0.034189\r
 164 345.000000      80.000000       20.0015 73.7818 0.011008        0.0345277\r
 165 350.000000      80.000000       19.4626 74.7312 0.0107565       0.0343062\r
 166 355.000000      80.000000       18.8061 76.0359 0.0103471       0.0336851\r
 167 360.000000      80.000000       17.9403 77.4642 0.0100686       0.0338665\r
 168 370.000000      80.000000       15.4851 78.8559 0.0109114       0.0418418\r
 169 380.000000      80.000000       13.1353 75.3088 0.00964885      0.0432132\r
 170 390.000000      80.000000       11.7553 68.6047 0.0087663       0.0448264\r
 171 400.000000      80.000000       11.0539 61.6418 0.00853137      0.0487388\r
 172 410.000000      80.000000       10.6735 55.5077 0.00853118      0.0537761\r
 173 420.000000      80.000000       10.7899 50.7036 0.00884663      0.0589925\r
 174 430.000000      80.000000       10.3197 43.6717 0.00907837      0.0709738\r
 175 440.000000      80.000000       11.482  43.8952 0.00943154      0.0665458\r
 176 450.000000      80.000000       9.30026 38.3385 0.00825169      0.0790313\r
 177 460.000000      80.000000       12.6437 27.0521 0.0107496       0.106606\r
 178 470.000000      80.000000       12.7664 47.0687 0.00982802      0.0596595\r
 179 480.000000      80.000000       6.82601 34.0869 0.00755386      0.108034\r
 180 490.000000      80.000000       13.5709 5.00394 0.0118805       0.578483\r
 181 500.000000      80.000000       18.3186 31.5362 0.0142214       0.0890789\r
 182 510.000000      80.000000       13.7648 61.5771 0.00987616      0.0466281\r
 183 520.000000      80.000000       3.23345 53.6455 0.00962308      0.159736\r
 184 530.000000      80.000000       12.4049 27.7533 0.0107609       0.106137\r
 185 540.000000      80.000000       21.4878 2.71947 0.0172581       1.04865\r
 186 550.000000      80.000000       23.0104 32.8306 0.016887        0.0850933\r
 187 560.000000      80.000000       18.4779 59.2163 0.0125809       0.0474676\r
 188 570.000000      80.000000       10.2188 86.182  0.00784297      0.0422149\r
 189 580.000000      80.000000       1.738   88.0784 0.01747 0.194\r
 190 590.000000      80.000000       12.2567 46.3639 0.00996376      0.0636495\r
 191 600.000000      80.000000       20.306  23.2973 0.0160662       0.122473\r
 192 610.000000      80.000000       25.9638 1.96812 0.0199099       1.45192\r
 193 620.000000      80.000000       26.5674 25.75   0.0192565       0.109208\r
 194 630.000000      80.000000       23.3369 44.8422 0.0162112       0.0621079\r
 195 640.000000      80.000000       19.0159 62.047  0.0129343       0.0463963\r
 196 650.000000      80.000000       13.0553 80.7494 0.00961249      0.0424488\r
 197 660.000000      80.000000       5.55572 104.478 0.00847202      0.0765232\r
 198 670.000000      80.000000       3.09529 87.7488 0.011606        0.120846\r
 199 680.000000      80.000000       10.3755 57.7093 0.00901259      0.0572708\r
 200 690.000000      80.000000       16.3708 41.0262 0.0126249       0.0692067\r
 201 700.000000      80.000000       21.1144 26.9555 0.0163932       0.105678\r
 202 710.000000      80.000000       25.1311 13.3926 0.0193212       0.21379\r
 203 720.000000      80.000000       28.1369 2.87492 0.0210781       0.997261\r
 204 730.000000      80.000000       28.0099 20.1878 0.0205782       0.14192\r
 205 740.000000      80.000000       25.7559 33.3497 0.0185972       0.085173\r
 206 750.000000      80.000000       23.1476 43.8402 0.0164085       0.0644271\r
 207 760.000000      80.000000       20.3    53.6943 0.0144013       0.053808\r
 208 770.000000      80.000000       16.9961 63.3511 0.0121537       0.04734\r
 209 780.000000      80.000000       13.0771 73.0639 0.011176        0.0513832\r
 210 790.000000      80.000000       8.67362 81.9852 0.00711893      0.0449967\r
 211 800.000000      80.000000       3.95237 87.6945 0.00885147      0.0870846\r
 212 810.000000      80.000000       1.1977  48.264  0.0268061       1.18318\r
 213 820.000000      80.000000       5.63577 58.9752 0.00661397      0.0686382\r
 214 830.000000      80.000000       9.66057 52.6002 0.00772106      0.055072\r
 215 840.000000      80.000000       13.3461 44.8743 0.0117187       0.0717535