research/ellipsometry/WVASE32/EXAMPLES/POLY_R.DAT

   1 Reflectance, poly/oxide/silicon\r
   2 nm\r
   3 pR      250.000000      15.000000       0.520205        0.010202\r
   4 pR      252.500000      15.000000       0.537473        0.0103747\r
   5 pR      255.000000      15.000000       0.52919 0.0102919\r
   6 pR      257.500000      15.000000       0.545118        0.0104512\r
   7 pR      260.000000      15.000000       0.546239        0.0104624\r
   8 pR      262.500000      15.000000       0.559598        0.010596\r
   9 pR      265.000000      15.000000       0.560433        0.0106043\r
  10 pR      267.500000      15.000000       0.559475        0.0105948\r
  11 pR      270.000000      15.000000       0.56527 0.0106527\r
  12 pR      272.500000      15.000000       0.571402        0.010714\r
  13 pR      275.000000      15.000000       0.571684        0.0107168\r
  14 pR      277.500000      15.000000       0.572699        0.010727\r
  15 pR      280.000000      15.000000       0.570825        0.0107082\r
  16 pR      282.500000      15.000000       0.570615        0.0107062\r
  17 pR      285.000000      15.000000       0.57085 0.0107085\r
  18 pR      287.500000      15.000000       0.566676        0.0106668\r
  19 pR      290.000000      15.000000       0.559792        0.0105979\r
  20 pR      292.500000      15.000000       0.553724        0.0105372\r
  21 pR      295.000000      15.000000       0.549334        0.0104933\r
  22 pR      297.500000      15.000000       0.541637        0.0104164\r
  23 pR      300.000000      15.000000       0.536443        0.0103644\r
  24 pR      302.500000      15.000000       0.530118        0.0103012\r
  25 pR      305.000000      15.000000       0.524327        0.0102433\r
  26 pR      307.500000      15.000000       0.521435        0.0102144\r
  27 pR      310.000000      15.000000       0.516712        0.0101671\r
  28 pR      312.500000      15.000000       0.512099        0.010121\r
  29 pR      315.000000      15.000000       0.510152        0.0101015\r
  30 pR      317.500000      15.000000       0.507558        0.0100756\r
  31 pR      320.000000      15.000000       0.503122        0.0100312\r
  32 pR      322.500000      15.000000       0.501563        0.0100156\r
  33 pR      325.000000      15.000000       0.498922        0.00998922\r
  34 pR      327.500000      15.000000       0.496513        0.00996513\r
  35 pR      330.000000      15.000000       0.495589        0.00995589\r
  36 pR      332.500000      15.000000       0.494149        0.00994149\r
  37 pR      335.000000      15.000000       0.493614        0.00993614\r
  38 pR      337.500000      15.000000       0.492692        0.00992692\r
  39 pR      340.000000      15.000000       0.492819        0.00992819\r
  40 pR      342.500000      15.000000       0.492403        0.00992403\r
  41 pR      345.000000      15.000000       0.492865        0.00992865\r
  42 pR      347.500000      15.000000       0.494247        0.00994247\r
  43 pR      350.000000      15.000000       0.49389 0.0099389\r
  44 pR      352.500000      15.000000       0.495479        0.00995479\r
  45 pR      355.000000      15.000000       0.49821 0.0099821\r
  46 pR      357.500000      15.000000       0.499643        0.00999643\r
  47 pR      360.000000      15.000000       0.499294        0.00999294\r
  48 pR      362.500000      15.000000       0.500363        0.0100036\r
  49 pR      365.000000      15.000000       0.500792        0.0100079\r
  50 pR      367.500000      15.000000       0.498305        0.00998305\r
  51 pR      370.000000      15.000000       0.496184        0.00996184\r
  52 pR      372.500000      15.000000       0.490548        0.00990548\r
  53 pR      375.000000      15.000000       0.48575 0.0098575\r
  54 pR      377.500000      15.000000       0.478595        0.00978595\r
  55 pR      380.000000      15.000000       0.473764        0.00973764\r
  56 pR      382.500000      15.000000       0.466672        0.00966672\r
  57 pR      385.000000      15.000000       0.462942        0.00962942\r
  58 pR      387.500000      15.000000       0.455662        0.00955663\r
  59 pR      390.000000      15.000000       0.452942        0.00952942\r
  60 pR      392.500000      15.000000       0.448947        0.00948947\r
  61 pR      395.000000      15.000000       0.446009        0.00946009\r
  62 pR      397.500000      15.000000       0.441162        0.00941162\r
  63 pR      400.000000      15.000000       0.436941        0.00936941\r
  64 pR      402.500000      15.000000       0.431273        0.00931273\r
  65 pR      405.000000      15.000000       0.426936        0.00926937\r
  66 pR      407.500000      15.000000       0.425352        0.00925352\r
  67 pR      410.000000      15.000000       0.423112        0.00923112\r
  68 pR      412.500000      15.000000       0.421089        0.00921089\r
  69 pR      415.000000      15.000000       0.417488        0.00917487\r
  70 pR      417.500000      15.000000       0.411751        0.00911751\r
  71 pR      420.000000      15.000000       0.406056        0.00906056\r
  72 pR      422.500000      15.000000       0.404507        0.00904507\r
  73 pR      425.000000      15.000000       0.405788        0.00905788\r
  74 pR      427.500000      15.000000       0.409183        0.00909183\r
  75 pR      430.000000      15.000000       0.406408        0.00906408\r
  76 pR      432.500000      15.000000       0.40031 0.0090031\r
  77 pR      435.000000      15.000000       0.391269        0.00891269\r
  78 pR      437.500000      15.000000       0.381093        0.00881093\r
  79 pR      440.000000      15.000000       0.373291        0.00873291\r
  80 pR      442.500000      15.000000       0.373887        0.00873887\r
  81 pR      445.000000      15.000000       0.38193 0.0088193\r
  82 pR      447.500000      15.000000       0.396435        0.00896435\r
  83 pR      450.000000      15.000000       0.408637        0.00908637\r
  84 pR      452.500000      15.000000       0.414792        0.00914792\r
  85 pR      455.000000      15.000000       0.411733        0.00911733\r
  86 pR      457.500000      15.000000       0.396338        0.00896338\r
  87 pR      460.000000      15.000000       0.37453 0.0087453\r
  88 pR      462.500000      15.000000       0.346878        0.00846878\r
  89 pR      465.000000      15.000000       0.324223        0.00824223\r
  90 pR      467.500000      15.000000       0.312633        0.00812633\r
  91 pR      470.000000      15.000000       0.317404        0.00817404\r
  92 pR      472.500000      15.000000       0.33675 0.0083675\r
  93 pR      475.000000      15.000000       0.366975        0.00866975\r
  94 pR      477.500000      15.000000       0.40124 0.0090124\r
  95 pR      480.000000      15.000000       0.432224        0.00932224\r
  96 pR      482.500000      15.000000       0.455367        0.00955367\r
  97 pR      485.000000      15.000000       0.46321 0.0096321\r
  98 pR      487.500000      15.000000       0.45202 0.0095202\r
  99 pR      490.000000      15.000000       0.431397        0.00931397\r
 100 pR      492.500000      15.000000       0.39164 0.00891639\r
 101 pR      495.000000      15.000000       0.346875        0.00846875\r
 102 pR      497.500000      15.000000       0.292802        0.00792802\r
 103 pR      500.000000      15.000000       0.245577        0.00745577\r
 104 pR      502.500000      15.000000       0.215312        0.00715312\r
 105 pR      505.000000      15.000000       0.209353        0.00709353\r
 106 pR      507.500000      15.000000       0.231546        0.00731546\r
 107 pR      510.000000      15.000000       0.276253        0.00776253\r
 108 pR      512.500000      15.000000       0.333486        0.00833485\r
 109 pR      515.000000      15.000000       0.39291 0.0089291\r
 110 pR      517.500000      15.000000       0.44533 0.0094533\r
 111 pR      520.000000      15.000000       0.490761        0.00990761\r
 112 pR      522.500000      15.000000       0.52327 0.0102327\r
 113 pR      525.000000      15.000000       0.540787        0.0104079\r
 114 pR      527.500000      15.000000       0.544449        0.0104445\r
 115 pR      530.000000      15.000000       0.540505        0.0104051\r
 116 pR      532.500000      15.000000       0.524786        0.0102479\r
 117 pR      535.000000      15.000000       0.497615        0.00997615\r
 118 pR      537.500000      15.000000       0.453549        0.00953549\r
 119 pR      540.000000      15.000000       0.402235        0.00902235\r
 120 pR      542.500000      15.000000       0.338824        0.00838824\r
 121 pR      545.000000      15.000000       0.271596        0.00771596\r
 122 pR      547.500000      15.000000       0.206487        0.00706487\r
 123 pR      550.000000      15.000000       0.152561        0.00652561\r
 124 pR      552.500000      15.000000       0.119127        0.00619127\r
 125 pR      555.000000      15.000000       0.11094 0.0061094\r
 126 pR      557.500000      15.000000       0.130923        0.00630923\r
 127 pR      560.000000      15.000000       0.173098        0.00673098\r
 128 pR      562.500000      15.000000       0.231284        0.00731284\r
 129 pR      565.000000      15.000000       0.294974        0.00794974\r
 130 pR      567.500000      15.000000       0.359212        0.00859212\r
 131 pR      570.000000      15.000000       0.416234        0.00916234\r
 132 pR      572.500000      15.000000       0.469664        0.00969664\r
 133 pR      575.000000      15.000000       0.511061        0.0101106\r
 134 pR      577.500000      15.000000       0.543299        0.010433\r
 135 pR      580.000000      15.000000       0.566391        0.0106639\r
 136 pR      582.500000      15.000000       0.583167        0.0108317\r
 137 pR      585.000000      15.000000       0.595791        0.0109579\r
 138 pR      587.500000      15.000000       0.602398        0.011024\r
 139 pR      590.000000      15.000000       0.602846        0.0110285\r
 140 pR      592.500000      15.000000       0.594899        0.010949\r
 141 pR      595.000000      15.000000       0.581506        0.0108151\r
 142 pR      597.500000      15.000000       0.565178        0.0106518\r
 143 pR      600.000000      15.000000       0.538038        0.0103804\r
 144 pR      602.500000      15.000000       0.508918        0.0100892\r
 145 pR      605.000000      15.000000       0.471241        0.00971241\r
 146 pR      607.500000      15.000000       0.427521        0.00927521\r
 147 pR      610.000000      15.000000       0.378518        0.00878518\r
 148 pR      612.500000      15.000000       0.322035        0.00822035\r
 149 pR      615.000000      15.000000       0.265003        0.00765003\r
 150 pR      617.500000      15.000000       0.208075        0.00708075\r
 151 pR      620.000000      15.000000       0.154864        0.00654864\r
 152 pR      622.500000      15.000000       0.110062        0.00610062\r
 153 pR      625.000000      15.000000       0.0767084       0.00576708\r
 154 pR      627.500000      15.000000       0.0594517       0.00559452\r
 155 pR      630.000000      15.000000       0.059178        0.00559178\r
 156 pR      632.500000      15.000000       0.0757072       0.00575707\r
 157 pR      635.000000      15.000000       0.10771 0.0060771\r
 158 pR      637.500000      15.000000       0.150358        0.00650358\r
 159 pR      640.000000      15.000000       0.201237        0.00701237\r
 160 pR      642.500000      15.000000       0.252437        0.00752437\r
 161 pR      645.000000      15.000000       0.303257        0.00803257\r
 162 pR      647.500000      15.000000       0.353251        0.00853251\r
 163 pR      650.000000      15.000000       0.399842        0.00899842\r
 164 pR      652.500000      15.000000       0.442543        0.00942543\r
 165 pR      655.000000      15.000000       0.477821        0.00977821\r
 166 pR      657.500000      15.000000       0.509927        0.0100993\r
 167 pR      660.000000      15.000000       0.538468        0.0103847\r
 168 pR      662.500000      15.000000       0.558088        0.0105809\r
 169 pR      665.000000      15.000000       0.576633        0.0107663\r
 170 pR      667.500000      15.000000       0.591488        0.0109149\r
 171 pR      670.000000      15.000000       0.602695        0.011027\r
 172 pR      672.500000      15.000000       0.611284        0.0111128\r
 173 pR      675.000000      15.000000       0.61914 0.0111914\r
 174 pR      677.500000      15.000000       0.622443        0.0112244\r
 175 pR      680.000000      15.000000       0.620627        0.0112063\r
 176 pR      682.500000      15.000000       0.616279        0.0111628\r
 177 pR      685.000000      15.000000       0.611276        0.0111128\r
 178 pR      687.500000      15.000000       0.608333        0.0110833\r
 179 pR      690.000000      15.000000       0.60459 0.0110459\r
 180 pR      692.500000      15.000000       0.591956        0.0109196\r
 181 pR      695.000000      15.000000       0.580161        0.0108016\r
 182 pR      697.500000      15.000000       0.56183 0.0106183\r
 183 pR      700.000000      15.000000       0.541188        0.0104119\r
 184 pR      702.500000      15.000000       0.522422        0.0102242\r
 185 pR      705.000000      15.000000       0.496656        0.00996656\r
 186 pR      707.500000      15.000000       0.47153 0.0097153\r
 187 pR      710.000000      15.000000       0.443349        0.00943349\r
 188 pR      712.500000      15.000000       0.411225        0.00911225\r
 189 pR      715.000000      15.000000       0.376535        0.00876535\r
 190 pR      717.500000      15.000000       0.339985        0.00839985\r
 191 pR      720.000000      15.000000       0.302157        0.00802157\r
 192 pR      722.500000      15.000000       0.26297 0.0076297\r
 193 pR      725.000000      15.000000       0.224271        0.00724271\r
 194 pR      727.500000      15.000000       0.187236        0.00687236\r
 195 pR      730.000000      15.000000       0.149837        0.00649837\r
 196 pR      732.500000      15.000000       0.117138        0.00617138\r
 197 pR      735.000000      15.000000       0.0891377       0.00589138\r
 198 pR      737.500000      15.000000       0.0676655       0.00567666\r
 199 pR      740.000000      15.000000       0.0515653       0.00551565\r
 200 pR      742.500000      15.000000       0.0429172       0.00542917\r
 201 pR      745.000000      15.000000       0.0421755       0.00542175\r
 202 pR      747.500000      15.000000       0.0482353       0.00548235\r
 203 pR      750.000000      15.000000       0.0628048       0.00562805\r
 204 pR      752.500000      15.000000       0.0828831       0.00582883\r
 205 pR      755.000000      15.000000       0.107813        0.00607813\r
 206 pR      757.500000      15.000000       0.137075        0.00637075\r
 207 pR      760.000000      15.000000       0.169137        0.00669137\r
 208 pR      762.500000      15.000000       0.200887        0.00700887\r
 209 pR      765.000000      15.000000       0.234648        0.00734648\r
 210 pR      767.500000      15.000000       0.263924        0.00763924\r
 211 pR      770.000000      15.000000       0.297148        0.00797149\r
 212 pR      772.500000      15.000000       0.329128        0.00829128\r
 213 pR      775.000000      15.000000       0.357545        0.00857545\r
 214 pR      777.500000      15.000000       0.387999        0.00887999\r
 215 pR      780.000000      15.000000       0.412047        0.00912047\r
 216 pR      782.500000      15.000000       0.430461        0.00930461\r
 217 pR      785.000000      15.000000       0.45096 0.0095096\r
 218 pR      787.500000      15.000000       0.475854        0.00975854\r
 219 pR      790.000000      15.000000       0.492865        0.00992865\r
 220 pR      792.500000      15.000000       0.510656        0.0101066\r
 221 pR      795.000000      15.000000       0.526297        0.010263\r
 222 pR      797.500000      15.000000       0.532314        0.0103231\r
 223 pR      800.000000      15.000000       0.549583        0.0104958\r
 224 pR      802.500000      15.000000       0.559114        0.0105911\r
 225 pR      805.000000      15.000000       0.566321        0.0106632\r
 226 pR      807.500000      15.000000       0.575531        0.0107553\r
 227 pR      810.000000      15.000000       0.58129 0.0108129\r
 228 pR      812.500000      15.000000       0.58598 0.0108598\r
 229 pR      815.000000      15.000000       0.58875 0.0108875\r
 230 pR      817.500000      15.000000       0.590715        0.0109071\r
 231 pR      820.000000      15.000000       0.591805        0.010918\r
 232 pR      822.500000      15.000000       0.594261        0.0109426\r
 233 pR      825.000000      15.000000       0.602014        0.0110201\r
 234 pR      827.500000      15.000000       0.596972        0.0109697\r
 235 pR      830.000000      15.000000       0.593606        0.0109361\r
 236 pR      832.500000      15.000000       0.589372        0.0108937\r
 237 pR      835.000000      15.000000       0.586439        0.0108644\r
 238 pR      837.500000      15.000000       0.589533        0.0108953\r
 239 pR      840.000000      15.000000       0.590291        0.0109029