research/ellipsometry/WVASE32/EXAMPLES/SI_BARE.DAT

   1 VASE data from bare silicon wafer\r
   2 nm\r
   3 250.000000      70.000000       34.9325 110.932 0.0269043       0.0613638\r
   4 260.000000      70.000000       35.6808 115.667 0.02716 0.0636253\r
   5 270.000000      70.000000       35.982  122.68  0.0272417       0.0680813\r
   6 280.000000      70.000000       35.1234 130.694 0.0269667       0.07561\r
   7 290.000000      70.000000       32.6998 138.141 0.0260491       0.085882\r
   8 300.000000      70.000000       29.6424 141.426 0.0246125       0.0916495\r
   9 310.000000      70.000000       27.7934 141.606 0.0236595       0.0926149\r
  10 320.000000      70.000000       26.9357 142.729 0.0231167       0.0942828\r
  11 330.000000      70.000000       26.2925 143.701 0.0227705       0.097055\r
  12 340.000000      70.000000       25.9896 145.455 0.022561        0.100904\r
  13 350.000000      70.000000       25.9808 147.028 0.0225837       0.105724\r
  14 360.000000      70.000000       26.7008 151.257 0.023014        0.119627\r
  15 370.000000      70.000000       26.2502 159.253 0.0227225       0.161258\r
  16 380.000000      70.000000       24.0607 165.788 0.0213217       0.231198\r
  17 390.000000      70.000000       21.6609 168.549 0.0196357       0.27946\r
  18 400.000000      70.000000       20.0353 169.104 0.0184222       0.292479\r
  19 410.000000      70.000000       18.8343 168.712 0.0175255       0.303806\r
  20 420.000000      70.000000       17.8933 169.222 0.0167679       0.31695\r
  21 430.000000      70.000000       17.1034 170.173 0.0160987       0.330246\r
  22 440.000000      70.000000       16.3708 170.283 0.0154976       0.342602\r
  23 450.000000      70.000000       15.7387 170.768 0.0149554       0.353454\r
  24 460.000000      70.000000       15.1392 170.314 0.0144649       0.362611\r
  25 470.000000      70.000000       14.645  170.918 0.0140213       0.370115\r
  26 480.000000      70.000000       14.205  171.576 0.0136193       0.376146\r
  27 490.000000      70.000000       13.7808 171.369 0.0132549       0.381072\r
  28 500.000000      70.000000       13.4238 171.902 0.0129243       0.385254\r
  29 510.000000      70.000000       13.0915 172.127 0.0126232       0.389001\r
  30 520.000000      70.000000       12.747  170.98  0.0123483       0.392555\r
  31 530.000000      70.000000       12.4949 171.938 0.0120955       0.39612\r
  32 540.000000      70.000000       12.2332 171.84  0.0118626       0.399833\r
  33 550.000000      70.000000       12.0047 172.21  0.0116467       0.403722\r
  34 560.000000      70.000000       11.7733 171.844 0.0114467       0.40783\r
  35 570.000000      70.000000       11.5872 172.572 0.0112597       0.41213\r
  36 580.000000      70.000000       11.3936 172.551 0.0110844       0.416601\r
  37 590.000000      70.000000       11.199  171.99  0.0109206       0.421252\r
  38 600.000000      70.000000       11.0515 172.838 0.0107662       0.426027\r
  39 610.000000      70.000000       10.8866 172.579 0.0106215       0.430963\r
  40 620.000000      70.000000       10.7386 172.658 0.0104842       0.435992\r
  41 630.000000      70.000000       10.5918 172.432 0.0103545       0.441139\r
  42 640.000000      70.000000       10.4517 172.134 0.0102319       0.446391\r
  43 650.000000      70.000000       10.3287 172.254 0.010116        0.451732\r
  44 660.000000      70.000000       10.2209 172.792 0.0100056       0.457132\r
  45 670.000000      70.000000       10.1148 173.113 0.0099014       0.46263\r
  46 680.000000      70.000000       9.98683 172.17  0.00980152      0.468159\r
  47 690.000000      70.000000       9.88853 172.358 0.00970771      0.473804\r
  48 700.000000      70.000000       9.79002 172.296 0.00962027      0.479602\r
  49 710.000000      70.000000       9.72432 173.644 0.00953898      0.485542\r
  50 720.000000      70.000000       9.64177 173.986 0.00946233      0.491559\r
  51 730.000000      70.000000       9.56313 174.316 0.00939083      0.497703\r
  52 740.000000      70.000000       9.47174 173.771 0.00932366      0.503944\r
  53 750.000000      70.000000       9.40686 174.46  0.00926071      0.510281\r
  54 760.000000      70.000000       9.31143 173.292 0.00920122      0.516689\r
  55 770.000000      70.000000       9.25042 173.834 0.00914571      0.523192\r
  56 780.000000      70.000000       9.18562 174.043 0.00909283      0.529737\r
  57 790.000000      70.000000       9.13287 174.794 0.00904312      0.536352\r
  58 800.000000      70.000000       9.07057 174.809 0.00899649      0.543034\r
  59 810.000000      70.000000       8.99397 173.805 0.00895227      0.549755\r
  60 820.000000      70.000000       8.94277 174.208 0.00891039      0.556517\r
  61 830.000000      70.000000       8.89694 174.867 0.00887021      0.563293\r
  62 840.000000      70.000000       8.82918 173.93  0.00883284      0.570131\r
  63 850.000000      70.000000       8.77461 173.724 0.00879706      0.576979\r
  64 860.000000      70.000000       8.74571 175.065 0.0087634       0.58385\r
  65 870.000000      70.000000       8.69136 174.673 0.00873071      0.590699\r
  66 880.000000      70.000000       8.65483 175.328 0.00870005      0.59758\r
  67 890.000000      70.000000       8.60144 174.661 0.00867136      0.604495\r
  68 900.000000      70.000000       8.55228 174.216 0.00864355      0.611385\r
  69 910.000000      70.000000       8.51459 174.465 0.0086171       0.618274\r
  70 920.000000      70.000000       8.46523 173.815 0.00859148      0.625143\r
  71 930.000000      70.000000       8.42577 173.698 0.00856769      0.632039\r
  72 940.000000      70.000000       8.40092 174.61  0.00854468      0.63891\r
  73 950.000000      70.000000       8.37282 175.239 0.00852242      0.64576\r
  74 960.000000      70.000000       8.34881 176.073 0.0085014       0.652609\r
  75 970.000000      70.000000       8.30634 175.43  0.00848109      0.659433\r
  76 980.000000      70.000000       8.28315 176.16  0.00846198      0.666254\r
  77 990.000000      70.000000       8.24161 175.378 0.00844355      0.673049\r
  78 1000.000000     70.000000       8.21394 175.564 0.00842626      0.67984\r
  79 250.000000      75.000000       34.3253 91.0315 0.0266868       0.0573056\r
  80 260.000000      75.000000       34.8246 96.3378 0.0268752       0.0576589\r
  81 270.000000      75.000000       34.6996 104.132 0.026833        0.0591116\r
  82 280.000000      75.000000       33.2323 113.304 0.0262846       0.0624411\r
  83 290.000000      75.000000       29.8923 121.764 0.0247532       0.0673788\r
  84 300.000000      75.000000       25.9783 124.55  0.0225345       0.0694519\r
  85 310.000000      75.000000       23.7826 123.979 0.0211525       0.0691298\r
  86 320.000000      75.000000       22.6455 124.543 0.0203401       0.0694792\r
  87 330.000000      75.000000       21.7887 125.587 0.0197691       0.0705461\r
  88 340.000000      75.000000       21.2493 127.543 0.0193605       0.0722948\r
  89 350.000000      75.000000       21.1475 130.139 0.0192621       0.0748518\r
  90 360.000000      75.000000       21.5551 136.28  0.0196012       0.0831053\r
  91 370.000000      75.000000       20.4018 147.612 0.0187059       0.106645\r
  92 380.000000      75.000000       17.2752 156.342 0.016246        0.142711\r
  93 390.000000      75.000000       14.1885 158.857 0.0136321       0.160456\r
  94 400.000000      75.000000       12.2646 159.035 0.0118781       0.15852\r
  95 410.000000      75.000000       10.8962 158.817 0.0106175       0.156563\r
  96 420.000000      75.000000       9.75393 158.29  0.00957702      0.155514\r
  97 430.000000      75.000000       8.80175 158.169 0.00881071      0.156451\r
  98 440.000000      75.000000       7.95316 157.587 0.00829132      0.159498\r
  99 450.000000      75.000000       7.24356 157.585 0.00795805      0.164182\r
 100 460.000000      75.000000       6.5949  156.926 0.00776999      0.170235\r
 101 470.000000      75.000000       6.01679 155.994 0.00769854      0.177481\r
 102 480.000000      75.000000       5.51964 155.284 0.00772261      0.185795\r
 103 490.000000      75.000000       5.06889 154.205 0.00782664      0.195137\r
 104 500.000000      75.000000       4.65318 152.644 0.00799883      0.205479\r
 105 510.000000      75.000000       4.28234 151.036 0.00823085      0.216818\r
 106 520.000000      75.000000       3.96471 149.777 0.00851658      0.229137\r
 107 530.000000      75.000000       3.68074 148.526 0.0088532       0.242475\r
 108 540.000000      75.000000       3.42846 147.335 0.00923789      0.256803\r
 109 550.000000      75.000000       3.1819  145.581 0.00967079      0.272069\r
 110 560.000000      75.000000       2.96272 143.915 0.0101494       0.288125\r
 111 570.000000      75.000000       2.74054 141.549 0.0106767       0.304855\r
 112 580.000000      75.000000       2.56609 139.967 0.0112532       0.322006\r
 113 590.000000      75.000000       2.3712  137.239 0.0118756       0.339203\r
 114 600.000000      75.000000       2.22733 135.441 0.0125473       0.356041\r
 115 610.000000      75.000000       2.06824 132.7   0.0132627       0.371962\r
 116 620.000000      75.000000       1.96048 130.9   0.0140265       0.386293\r
 117 630.000000      75.000000       1.83421 128.095 0.0148315       0.398194\r
 118 640.000000      75.000000       1.70983 124.888 0.0156715       0.406709\r
 119 650.000000      75.000000       1.64871 122.843 0.0165384       0.410793\r
 120 660.000000      75.000000       1.54297 119.217 0.0174267       0.409258\r
 121 670.000000      75.000000       1.47082 115.989 0.0183161       0.401381\r
 122 680.000000      75.000000       1.41052 112.576 0.0192007       0.386085\r
 123 690.000000      75.000000       1.33794 108.571 0.020056        0.363671\r
 124 700.000000      75.000000       1.24931 104.064 0.0208647       0.335192\r
 125 710.000000      75.000000       1.21985 100.312 0.0216056       0.303846\r
 126 720.000000      75.000000       1.16607 95.9865 0.0222646       0.27503\r
 127 730.000000      75.000000       1.17176 92.2594 0.022823        0.258682\r
 128 740.000000      75.000000       1.14637 88.0829 0.0232711       0.264721\r
 129 750.000000      75.000000       1.11877 83.8704 0.023603        0.296891\r
 130 760.000000      75.000000       1.07209 79.3232 0.0238176       0.350402\r
 131 770.000000      75.000000       1.1212  76.3131 0.0239227       0.416202\r
 132 780.000000      75.000000       1.04482 71.0639 0.0239219       0.488302\r
 133 790.000000      75.000000       1.09248 68.3421 0.0238317       0.561036\r
 134 800.000000      75.000000       1.09847 64.8902 0.0236682       0.631146\r
 135 810.000000      75.000000       1.11446 61.8079 0.023441        0.697282\r
 136 820.000000      75.000000       1.11248 58.269  0.0231646       0.758272\r
 137 830.000000      75.000000       1.12235 55.1265 0.0228442       0.81399\r
 138 840.000000      75.000000       1.15849 53.1401 0.0225088       0.863511\r
 139 850.000000      75.000000       1.17339 50.4679 0.022152        0.907797\r
 140 860.000000      75.000000       1.23988 50.1624 0.0217911       0.946862\r
 141 870.000000      75.000000       1.25878 47.9388 0.0214154       0.981509\r
 142 880.000000      75.000000       1.24905 44.4802 0.0210491       1.01191\r
 143 890.000000      75.000000       1.24731 41.4471 0.0206969       1.03869\r
 144 900.000000      75.000000       1.32862 42.7043 0.0203437       1.06233\r
 145 910.000000      75.000000       1.29388 38.0176 0.0200017       1.08321\r
 146 920.000000      75.000000       1.31767 36.4464 0.0196639       1.10163\r
 147 930.000000      75.000000       1.38592 37.6258 0.01935 1.11818\r
 148 940.000000      75.000000       1.41748 36.8351 0.0190431       1.13292\r
 149 950.000000      75.000000       1.43805 35.4585 0.0187443       1.14604\r
 150 960.000000      75.000000       1.46233 34.4271 0.0184627       1.15801\r
 151 970.000000      75.000000       1.49193 33.8014 0.0181902       1.1688\r
 152 980.000000      75.000000       1.47302 30.1326 0.0179353       1.17885\r
 153 990.000000      75.000000       1.5377  32.0219 0.0176899       1.18806\r
 154 1000.000000     75.000000       1.51618 28.2523 0.0174617       1.19684\r
 155 250.000000      80.000000       35.2917 65.1672 0.0270118       0.0631574\r
 156 260.000000      80.000000       35.4249 70.2814 0.02705 0.0608978\r
 157 270.000000      80.000000       34.6815 77.6469 0.0268125       0.0586498\r
 158 280.000000      80.000000       32.4067 86.5435 0.0259174       0.0574024\r
 159 290.000000      80.000000       27.808  93.611  0.0236557       0.0574135\r
 160 300.000000      80.000000       23.2093 93.0599 0.0207786       0.0573833\r
 161 310.000000      80.000000       21.1175 90.1003 0.0192623       0.0572959\r
 162 320.000000      80.000000       19.8978 88.918  0.0183291       0.0573065\r
 163 330.000000      80.000000       18.8889 88.9292 0.017554        0.0573055\r
 164 340.000000      80.000000       18.0342 90.0741 0.0168521       0.0572958\r
 165 350.000000      80.000000       17.4026 92.4158 0.016376        0.0573512\r
 166 360.000000      80.000000       16.7064 101.014 0.0157719       0.0583679\r
 167 370.000000      80.000000       13.3963 113.416 0.0129175       0.0624484\r
 168 380.000000      80.000000       8.62926 117.189 0.00870383      0.0653474\r
 169 390.000000      80.000000       5.58719 101.765 0.00771267      0.0695425\r
 170 400.000000      80.000000       4.77557 79.4765 0.00794438      0.0763598\r
 171 410.000000      80.000000       4.73911 61.526  0.00796088      0.0913865\r
 172 420.000000      80.000000       5.01786 47.9361 0.00784262      0.108912\r
 173 430.000000      80.000000       5.45145 38.0343 0.00773189      0.125506\r
 174 440.000000      80.000000       5.95726 31.0851 0.00769665      0.141336\r
 175 450.000000      80.000000       6.46069 25.8918 0.00774517      0.157124\r
 176 460.000000      80.000000       6.95707 22.2654 0.00786183      0.173238\r
 177 470.000000      80.000000       7.41699 19.4642 0.00802662      0.189696\r
 178 480.000000      80.000000       7.84519 17.4031 0.00822257      0.206397\r
 179 490.000000      80.000000       8.21886 15.3354 0.00843626      0.223248\r
 180 500.000000      80.000000       8.56448 13.764  0.00865793      0.240178\r
 181 510.000000      80.000000       8.88849 12.7219 0.00888138      0.257186\r
 182 520.000000      80.000000       9.18445 11.9006 0.00910231      0.274272\r
 183 530.000000      80.000000       9.46214 11.4343 0.00931887      0.291535\r
 184 540.000000      80.000000       9.71333 10.9747 0.00952908      0.308993\r
 185 550.000000      80.000000       9.92529 9.94057 0.00973292      0.326696\r
 186 560.000000      80.000000       10.1361 9.53047 0.00992706      0.344531\r
 187 570.000000      80.000000       10.328  9.03092 0.0101074       0.362379\r
 188 580.000000      80.000000       10.5173 8.96251 0.0102752       0.380238\r
 189 590.000000      80.000000       10.6843 8.59414 0.0104305       0.398056\r
 190 600.000000      80.000000       10.8136 7.18319 0.010576        0.415903\r
 191 610.000000      80.000000       10.9646 7.04971 0.0107113       0.433725\r
 192 620.000000      80.000000       11.1286 7.82678 0.0108389       0.451619\r
 193 630.000000      80.000000       11.2367 6.64574 0.0109586       0.469537\r
 194 640.000000      80.000000       11.3812 7.37271 0.0110711       0.487464\r
 195 650.000000      80.000000       11.4832 6.57239 0.0111769       0.505388\r
 196 660.000000      80.000000       11.6094 7.14121 0.0112773       0.523363\r
 197 670.000000      80.000000       11.6764 5.26883 0.0113714       0.541298\r
 198 680.000000      80.000000       11.7696 4.81449 0.0114613       0.559303\r
 199 690.000000      80.000000       11.8952 6.25288 0.0115462       0.577297\r
 200 700.000000      80.000000       11.9522 4.50304 0.0116267       0.595301\r
 201 710.000000      80.000000       12.0656 5.88622 0.0117028       0.613269\r
 202 720.000000      80.000000       12.1408 5.48341 0.0117759       0.63127\r
 203 730.000000      80.000000       12.2092 4.93037 0.0118452       0.649246\r
 204 740.000000      80.000000       12.276  4.45811 0.0119113       0.667224\r
 205 750.000000      80.000000       12.3599 5.15723 0.0119743       0.685178\r
 206 760.000000      80.000000       12.4393 5.79264 0.0120347       0.703151\r
 207 770.000000      80.000000       12.5047 5.83864 0.0120919       0.72105\r
 208 780.000000      80.000000       12.5561 5.16208 0.0121473       0.73899\r
 209 790.000000      80.000000       12.6014 4.26359 0.0122001       0.756882\r
 210 800.000000      80.000000       12.6374 2.93105 0.0122502       0.774702\r
 211 810.000000      80.000000       12.7215 4.78788 0.0122985       0.792505\r
 212 820.000000      80.000000       12.7708 4.57264 0.0123449       0.810271\r
 213 830.000000      80.000000       12.7937 2.68711 0.01239 0.828065\r
 214 840.000000      80.000000       12.8434 2.75098 0.0124325       0.845709\r
 215 850.000000      80.000000       12.9056 3.79325 0.0124736       0.863347\r
 216 860.000000      80.000000       12.9522 3.9293  0.0125129       0.880858\r
 217 870.000000      80.000000       12.9802 2.78836 0.0125515       0.898415\r
 218 880.000000      80.000000       13.0418 4.21979 0.0125882       0.915836\r
 219 890.000000      80.000000       13.0936 5.13996 0.0126228       0.933106\r
 220 900.000000      80.000000       13.1126 3.67702 0.0126569       0.950382\r
 221 910.000000      80.000000       13.1681 5.06917 0.0126896       0.967564\r
 222 920.000000      80.000000       13.1918 4.09175 0.0127217       0.98474\r
 223 930.000000      80.000000       13.2292 4.3505  0.0127518       1.00171\r
 224 940.000000      80.000000       13.2246 1.31381 0.0127813       1.01865\r
 225 950.000000      80.000000       13.304  5.05016 0.0128101       1.03556\r
 226 960.000000      80.000000       13.3175 3.61101 0.0128376       1.05232\r
 227 970.000000      80.000000       13.358  4.44079 0.0128645       1.06903\r
 228 980.000000      80.000000       13.3568 1.90223 0.01289 1.08558\r
 229 990.000000      80.000000       13.3728 0.836291        0.0129148       1.10206\r
 230 1000.000000     80.000000       13.41   1.70027 0.0129384       1.11835