research/ellipsometry/WVASE32/Mat/Dielectr/SI3N4.MAT

   1 SILICON NITRIDE: PALIK Vol. 1, p.774\r
   2 EV\r
   3 NK\r
   4 1.0  1.998   0\r
   5 1.5  2.008   0\r
   6 2.0  2.022   0\r
   7 2.5  2.041   0\r
   8 3.0  2.066   0\r
   9 3.5  2.099   0\r
  10 4.0  2.141   0\r
  11 4.25 2.167   0\r
  12 4.5  2.198   2.2e-4\r
  13 4.75 2.234   1.2e-3\r
  14 5.0  2.278   4.9e-3\r
  15 5.25 2.331   1.1e-2\r
  16 5.5  2.393   2.9e-2\r
  17 5.75 2.464   5.7e-2\r
  18 6.0  2.541   .102\r