research/ellipsometry/WVASE32/Mat/POLYSI_A.MAT

   1 Poly-silicon interpolation file\r
   2 ALLOY\r
   3 nm\r
   4 NK\r
   5 6\r
   6 -0.1  0.00 .171 .318 .643 1.0\r
   7 0\r
   8 \r
   9 225     2.0182  2.1159\r
  10 227.5   1.9596  1.928\r
  11 230     2.001   1.9228\r
  12 232.5   2.0134  2.0109\r
  13 235     2.0837  1.979\r
  14 237.5   2.0862  1.9007\r
  15 240     2.1235  1.9472\r
  16 242.5   2.1414  1.9184\r
  17 245     2.1419  1.9242\r
  18 247.5   2.1835  1.9126\r
  19 250     2.2237  1.9203\r
  20 255     2.2781  1.9097\r
  21 260     2.3054  1.898\r
  22 265     2.3745  1.9021\r
  23 270     2.4212  1.8917\r
  24 275     2.4743  1.8761\r
  25 280     2.5254  1.8684\r
  26 285     2.5789  1.8586\r
  27 290     2.632   1.8428\r
  28 295     2.6855  1.8353\r
  29 300     2.7336  1.8193\r
  30 305     2.7873  1.801\r
  31 310     2.8375  1.7803\r
  32 315     2.8884  1.7553\r
  33 320     2.9374  1.7334\r
  34 325     2.9854  1.7053\r
  35 330     3.0322  1.6761\r
  36 335     3.0769  1.6427\r
  37 340     3.1193  1.608\r
  38 345     3.1566  1.5723\r
  39 350     3.1934  1.5332\r
  40 355     3.2257  1.4931\r
  41 360     3.2542  1.4517\r
  42 365     3.2758  1.4093\r
  43 370     3.295   1.3682\r
  44 380     3.3174  1.3022\r
  45 390     3.3454  1.2558\r
  46 400     3.3908  1.2156\r
  47 410     3.4525  1.1596\r
  48 420     3.5084  1.0804\r
  49 430     3.5397  0.98461\r
  50 440     3.5492  0.89266\r
  51 450     3.5465  0.81131\r
  52 460     3.5386  0.74066\r
  53 470     3.5281  0.67912\r
  54 480     3.5091  0.6118\r
  55 490     3.4946  0.56573\r
  56 500     3.4755  0.51759\r
  57 510     3.4555  0.47363\r
  58 520     3.4358  0.43404\r
  59 530     3.416   0.39789\r
  60 540     3.3951  0.36426\r
  61 550     3.3731  0.33362\r
  62 560     3.3524  0.30616\r
  63 570     3.3276  0.28322\r
  64 580     3.31    0.26131\r
  65 590     3.2923  0.24246\r
  66 600     3.2746  0.22546\r
  67 610     3.2598  0.20928\r
  68 620     3.2462  0.19289\r
  69 630     3.2341  0.17651\r
  70 640     3.221   0.16039\r
  71 650     3.2062  0.14496\r
  72 660     3.191   0.13122\r
  73 670     3.1766  0.11922\r
  74 680     3.1628  0.1089\r
  75 690     3.1503  0.099727\r
  76 700     3.1373  0.091408\r
  77 710     3.124   0.083712\r
  78 720     3.1117  0.077084\r
  79 730     3.1003  0.071155\r
  80 740     3.0896  0.066505\r
  81 750     3.0786  0.061769\r
  82 760     3.0676  0.057617\r
  83 770     3.0572  0.054126\r
  84 780     3.0477  0.051036\r
  85 790     3.0389  0.048295\r
  86 800     3.0301  0.046157\r
  87 810     3.0217  0.044063\r
  88 820     3.0115  0.042195\r
  89 830     3.0064  0.041329\r
  90 840     2.9976  0.039951\r
  91 \r
  92 225     1.4129  3.3912\r
  93 227.5   1.4898  3.4349\r
  94 230     1.5687  3.4576\r
  95 232.5   1.635   3.4601\r
  96 235     1.6779  3.4532\r
  97 237.5   1.6963  3.4514\r
  98 240     1.6972  3.466\r
  99 242.5   1.6903  3.5004\r
 100 245     1.683   3.5537\r
 101 247.5   1.68    3.6241\r
 102 250     1.6836  3.7084\r
 103 255     1.7187  3.9159\r
 104 260     1.8023  4.1671\r
 105 265     1.9485  4.4546\r
 106 270     2.1792  4.7754\r
 107 275     2.5408  5.1192\r
 108 280     3.1082  5.4034\r
 109 285     3.8466  5.4437\r
 110 290     4.5422  5.155\r
 111 295     4.9927  4.6459\r
 112 300     5.1532  4.1455\r
 113 305     5.1632  3.7877\r
 114 310     5.1475  3.5541\r
 115 315     5.1479  3.3906\r
 116 320     5.1652  3.2628\r
 117 325     5.1959  3.1582\r
 118 330     5.2384  3.0703\r
 119 335     5.292   2.9962\r
 120 340     5.3574  2.9372\r
 121 345     5.4414  2.8982\r
 122 350     5.5635  2.8833\r
 123 355     5.7639  2.8796\r
 124 360     6.0835  2.8314\r
 125 365     6.5279  2.6085\r
 126 370     6.9001  2.0446\r
 127 380     6.5914  0.84942\r
 128 390     5.9962  0.42946\r
 129 400     5.5964  0.28406\r
 130 410     5.3218  0.20389\r
 131 420     5.1078  0.14897\r
 132 430     4.9326  0.11285\r
 133 440     4.7874  0.090355\r
 134 450     4.6667  0.076612\r
 135 460     4.5651  0.067887\r
 136 470     4.4788  0.061914\r
 137 480     4.4046  0.05741\r
 138 490     4.3402  0.053663\r
 139 500     4.2831  0.050332\r
 140 510     4.2326  0.047279\r
 141 520     4.1872  0.044414\r
 142 530     4.1462  0.041707\r
 143 540     4.109   0.039154\r
 144 550     4.075   0.036736\r
 145 560     4.0438  0.034448\r
 146 570     4.0151  0.032283\r
 147 580     3.9884  0.030237\r
 148 590     3.9638  0.028308\r
 149 600     3.941   0.026489\r
 150 610     3.9197  0.024771\r
 151 620     3.8997  0.023147\r
 152 630     3.881   0.021626\r
 153 640     3.8634  0.020186\r
 154 650     3.8469  0.018834\r
 155 660     3.8314  0.017554\r
 156 670     3.8167  0.016359\r
 157 680     3.8028  0.015227\r
 158 690     3.7897  0.014163\r
 159 700     3.7772  0.013167\r
 160 710     3.7654  0.012227\r
 161 720     3.7542  0.011341\r
 162 730     3.7435  0.01051\r
 163 740     3.7334  0.0097331\r
 164 750     3.7237  0.0090024\r
 165 760     3.7145  0.0083162\r
 166 770     3.7057  0.0076725\r
 167 780     3.6973  0.0070687\r
 168 790     3.6893  0.006503\r
 169 800     3.6815  0.0059735\r
 170 810     3.6742  0.005478\r
 171 820     3.6671  0.0050147\r
 172 830     3.6603  0.0045817\r
 173 840     3.6538  0.004177\r
 174 \r
 175 225     1.1875  3.5533\r
 176 227.5   1.3278  3.574\r
 177 230     1.3725  3.5723\r
 178 232.5   1.4188  3.5385\r
 179 235     1.4901  3.5891\r
 180 237.5   1.5288  3.6114\r
 181 240     1.5346  3.6707\r
 182 242.5   1.6103  3.706\r
 183 245     1.66    3.7635\r
 184 247.5   1.6989  3.8317\r
 185 250     1.7315  3.892\r
 186 255     1.8557  4.0328\r
 187 260     2.0104  4.1902\r
 188 265     2.1914  4.3642\r
 189 270     2.4326  4.5237\r
 190 275     2.7284  4.6654\r
 191 280     3.0671  4.7513\r
 192 285     3.448   4.7754\r
 193 290     3.8372  4.7054\r
 194 295     4.1895  4.5324\r
 195 300     4.4575  4.3162\r
 196 305     4.6622  4.1003\r
 197 310     4.8224  3.8913\r
 198 315     4.9523  3.6902\r
 199 320     5.0488  3.5125\r
 200 325     5.1339  3.3472\r
 201 330     5.2164  3.1994\r
 202 335     5.2979  3.0643\r
 203 340     5.3838  2.936\r
 204 345     5.4788  2.8093\r
 205 350     5.5883  2.6737\r
 206 355     5.7053  2.5151\r
 207 360     5.8224  2.3122\r
 208 365     5.9184  2.0695\r
 209 370     6.0916  1.7672\r
 210 380     5.7039  1.3593\r
 211 390     5.5386  1.0864\r
 212 400     5.377   0.8973\r
 213 410     5.224   0.74626\r
 214 420     5.1021  0.64013\r
 215 430     4.9901  0.55178\r
 216 440     4.8863  0.47619\r
 217 450     4.7926  0.41318\r
 218 460     4.709   0.36079\r
 219 470     4.6266  0.32167\r
 220 480     4.5661  0.28301\r
 221 490     4.5051  0.24865\r
 222 500     4.4456  0.2178\r
 223 510     4.389   0.1937\r
 224 520     4.3396  0.17479\r
 225 530     4.2953  0.15887\r
 226 540     4.2539  0.14548\r
 227 550     4.2151  0.13403\r
 228 560     4.1803  0.12354\r
 229 570     4.1485  0.11387\r
 230 580     4.1205  0.10529\r
 231 590     4.0943  0.096635\r
 232 600     4.0671  0.088754\r
 233 610     4.0432  0.081092\r
 234 620     4.0205  0.074339\r
 235 630     4.0008  0.068589\r
 236 640     3.9815  0.062925\r
 237 650     3.9619  0.057152\r
 238 660     3.9432  0.052043\r
 239 670     3.9263  0.047734\r
 240 680     3.9114  0.043417\r
 241 690     3.8997  0.040688\r
 242 700     3.8989  0.04212\r
 243 710     3.8535  0.028583\r
 244 720     3.8441  0.026821\r
 245 730     3.8351  0.024974\r
 246 740     3.8232  0.022483\r
 247 750     3.8116  0.020615\r
 248 760     3.8007  0.018583\r
 249 770     3.7897  0.016307\r
 250 780     3.7798  0.014431\r
 251 790     3.7702  0.013068\r
 252 800     3.7609  0.012064\r
 253 810     3.7521  0.010726\r
 254 820     3.742   0.0090733\r
 255 830     3.7359  0.0081832\r
 256 840     3.7264  0.0070074\r
 257 \r
 258 225     1.5472  3.1316\r
 259 227.5   1.592   3.1556\r
 260 230     1.6439  3.1947\r
 261 232.5   1.6926  3.2231\r
 262 235     1.7421  3.2557\r
 263 237.5   1.791   3.2847\r
 264 240     1.8534  3.3122\r
 265 242.5   1.9062  3.3387\r
 266 245     1.9598  3.3647\r
 267 247.5   2.0184  3.3907\r
 268 250     2.0744  3.4132\r
 269 255     2.1942  3.4571\r
 270 260     2.3176  3.4994\r
 271 265     2.451   3.5339\r
 272 270     2.5855  3.5606\r
 273 275     2.7251  3.5829\r
 274 280     2.8705  3.5988\r
 275 285     3.0138  3.6026\r
 276 290     3.1581  3.6009\r
 277 295     3.305   3.587\r
 278 300     3.4527  3.5656\r
 279 305     3.5977  3.5323\r
 280 310     3.7429  3.4889\r
 281 315     3.8845  3.4342\r
 282 320     4.0209  3.3718\r
 283 325     4.15    3.2972\r
 284 330     4.2754  3.213\r
 285 335     4.388   3.1237\r
 286 340     4.4923  3.0251\r
 287 345     4.5838  2.9252\r
 288 350     4.6651  2.8189\r
 289 355     4.7369  2.7111\r
 290 360     4.8012  2.6004\r
 291 365     4.8578  2.4903\r
 292 370     4.9077  2.3791\r
 293 380     4.9817  2.1645\r
 294 390     5.0255  1.9608\r
 295 400     5.0458  1.7694\r
 296 410     5.0469  1.593\r
 297 420     5.0348  1.4333\r
 298 430     5.01    1.2883\r
 299 440     4.9798  1.1551\r
 300 450     4.9439  1.0326\r
 301 460     4.903   0.92383\r
 302 470     4.861   0.82896\r
 303 480     4.8173  0.73951\r
 304 490     4.7722  0.6601\r
 305 500     4.7263  0.58715\r
 306 510     4.681   0.52177\r
 307 520     4.6368  0.46303\r
 308 530     4.5915  0.41042\r
 309 540     4.5511  0.36348\r
 310 550     4.5104  0.31128\r
 311 560     4.4646  0.28498\r
 312 570     4.4296  0.24457\r
 313 580     4.3936  0.20883\r
 314 590     4.3554  0.18178\r
 315 600     4.3165  0.15581\r
 316 610     4.2797  0.12323\r
 317 620     4.2392  0.10552\r
 318 630     4.2047  0.086836\r
 319 640     4.1704  0.07024\r
 320 650     4.1391  0.056327\r
 321 660     4.1056  0.044117\r
 322 670     4.0754  0.034172\r
 323 680     4.048   0.026258\r
 324 690     4.0207  0.019865\r
 325 700     3.9967  0.015082\r
 326 710     3.9742  0.010785\r
 327 720     3.9482  0.0082732\r
 328 730     3.9281  0.0063903\r
 329 740     3.9102  0.0050931\r
 330 750     3.8917  0.0041779\r
 331 760     3.8758  0.0038197\r
 332 770     3.8605  0.0036995\r
 333 780     3.847   0.0020036\r
 334 790     3.8317  0.0015204\r
 335 800     3.8198  0.0031397\r
 336 810     3.8078  0.0029874\r
 337 820     3.7954  0.0029785\r
 338 830     3.7861  0.0029849\r
 339 840     3.7764  0.0031942\r
 340 \r
 341 225     1.1418  2.811\r
 342 227.5   1.2311  2.8807\r
 343 230     1.2345  2.902\r
 344 232.5   1.2727  2.939\r
 345 235     1.3224  2.9589\r
 346 237.5   1.3569  3.0091\r
 347 240     1.4199  3.05\r
 348 242.5   1.4564  3.0739\r
 349 245     1.4956  3.1108\r
 350 247.5   1.5505  3.1327\r
 351 250     1.591   3.1733\r
 352 255     1.6909  3.2343\r
 353 260     1.7929  3.3005\r
 354 265     1.9177  3.3489\r
 355 270     2.0203  3.4056\r
 356 275     2.1372  3.4514\r
 357 280     2.2579  3.4922\r
 358 285     2.3819  3.5277\r
 359 290     2.5028  3.5562\r
 360 295     2.6352  3.5806\r
 361 300     2.7658  3.5976\r
 362 305     2.8976  3.6058\r
 363 310     3.0325  3.6071\r
 364 315     3.1659  3.601\r
 365 320     3.2992  3.5876\r
 366 325     3.4316  3.566\r
 367 330     3.5642  3.5351\r
 368 335     3.6912  3.4991\r
 369 340     3.8156  3.4567\r
 370 345     3.9395  3.4062\r
 371 350     4.0607  3.3517\r
 372 355     4.1802  3.2934\r
 373 360     4.2999  3.2193\r
 374 365     4.4116  3.1348\r
 375 370     4.5118  3.0419\r
 376 380     4.6827  2.8534\r
 377 390     4.828   2.659\r
 378 400     4.9485  2.4587\r
 379 410     5.0441  2.2479\r
 380 420     5.107   2.0382\r
 381 430     5.1379  1.83\r
 382 440     5.1388  1.6351\r
 383 450     5.1178  1.4583\r
 384 460     5.0826  1.3056\r
 385 470     5.0422  1.1746\r
 386 480     4.9976  1.0569\r
 387 490     4.9512  0.95372\r
 388 500     4.9036  0.86264\r
 389 510     4.8578  0.78314\r
 390 520     4.811   0.72734\r
 391 530     4.7683  0.62117\r
 392 540     4.7246  0.56602\r
 393 550     4.6816  0.51215\r
 394 560     4.6401  0.46279\r
 395 570     4.5997  0.41749\r
 396 580     4.5613  0.37527\r
 397 590     4.5236  0.33635\r
 398 600     4.486   0.30054\r
 399 610     4.4498  0.26735\r
 400 620     4.4141  0.23757\r
 401 630     4.3803  0.21087\r
 402 640     4.3476  0.18614\r
 403 650     4.3158  0.16282\r
 404 660     4.284   0.14139\r
 405 670     4.2535  0.12273\r
 406 680     4.2246  0.10615\r
 407 690     4.1966  0.090792\r
 408 700     4.1689  0.077374\r
 409 710     4.1423  0.06437\r
 410 720     4.1168  0.05376\r
 411 730     4.0927  0.04394\r
 412 740     4.0695  0.035642\r
 413 750     4.0468  0.028529\r
 414 760     4.0239  0.02255\r
 415 770     4.0041  0.017209\r
 416 780     3.9858  0.012675\r
 417 790     3.9665  0.0092652\r
 418 800     3.9493  0.0053832\r
 419 810     3.932   0.0035892\r
 420 820     3.9148  0.002487\r
 421 830     3.902   0\r
 422 840     3.8867  0\r
 423 \r
 424 225     1.3199  3.419\r
 425 227.5   1.3602  3.4037\r
 426 230     1.3766  3.3532\r
 427 232.5   1.5047  3.3982\r
 428 235     1.52    3.3848\r
 429 237.5   1.54    3.4674\r
 430 240     1.6282  3.4896\r
 431 242.5   1.7103  3.5167\r
 432 245     1.744   3.5391\r
 433 247.5   1.8276  3.5785\r
 434 250     1.8782  3.6108\r
 435 255     2.0047  3.6782\r
 436 260     2.1208  3.7099\r
 437 265     2.268   3.7586\r
 438 270     2.4074  3.7869\r
 439 275     2.5581  3.8259\r
 440 280     2.7052  3.849\r
 441 285     2.8504  3.8663\r
 442 290     2.9996  3.8745\r
 443 295     3.1543  3.8705\r
 444 300     3.3075  3.86\r
 445 305     3.4619  3.8364\r
 446 310     3.6123  3.806\r
 447 315     3.7608  3.7622\r
 448 320     3.9082  3.7079\r
 449 325     4.0465  3.6458\r
 450 330     4.1844  3.5738\r
 451 335     4.3105  3.4944\r
 452 340     4.4284  3.4064\r
 453 345     4.5382  3.3119\r
 454 350     4.6377  3.2136\r
 455 355     4.7307  3.1105\r
 456 360     4.8113  3.005\r
 457 365     4.886   2.897\r
 458 370     4.9495  2.787\r
 459 380     5.052   2.5773\r
 460 390     5.1256  2.3659\r
 461 400     5.1723  2.1684\r
 462 410     5.198   1.9824\r
 463 420     5.2077  1.8138\r
 464 430     5.2045  1.6563\r
 465 440     5.191   1.5102\r
 466 450     5.1708  1.3757\r
 467 460     5.1446  1.2549\r
 468 470     5.1146  1.1449\r
 469 480     5.0793  1.0428\r
 470 490     5.0429  0.95286\r
 471 500     5.0062  0.86837\r
 472 510     4.9694  0.79253\r
 473 520     4.9331  0.72334\r
 474 530     4.8966  0.65989\r
 475 540     4.8589  0.59975\r
 476 550     4.8208  0.54376\r
 477 560     4.7841  0.49297\r
 478 570     4.7477  0.44653\r
 479 580     4.7136  0.40387\r
 480 590     4.679   0.36496\r
 481 600     4.6434  0.32787\r
 482 610     4.6098  0.29445\r
 483 620     4.571   0.26152\r
 484 630     4.5432  0.23501\r
 485 640     4.5128  0.20958\r
 486 650     4.4813  0.18557\r
 487 660     4.4499  0.16372\r
 488 670     4.4202  0.14409\r
 489 680     4.3917  0.12639\r
 490 690     4.3651  0.11043\r
 491 700     4.3386  0.095698\r
 492 710     4.3095  0.082822\r
 493 720     4.2842  0.071063\r
 494 730     4.2594  0.061261\r
 495 740     4.237   0.053003\r
 496 750     4.2147  0.045432\r
 497 760     4.1925  0.038963\r
 498 770     4.1715  0.033505\r
 499 780     4.1521  0.028941\r
 500 790     4.134   0.025126\r
 501 800     4.1166  0.021961\r
 502 810     4.0993  0.019403\r
 503 820     4.0814  0.017322\r
 504 830     4.0707  0.016146\r
 505 840     4.0544  0.014866\r