1 Poly-silicon interpolation file, from LPCVD x=(0.1 is 545°, 0.9 is 655°)
\r
6 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.7 0.8 1.0
\r
131 700 4.3344 0.099916
\r
132 710 4.3083 0.087613
\r
133 720 4.2833 0.076731
\r
134 730 4.2593 0.067136
\r
136 750 4.2147 0.051292
\r
137 760 4.1939 0.044795
\r
138 770 4.1741 0.039112
\r
139 780 4.1553 0.034147
\r
140 790 4.1374 0.029812
\r
142 810 4.1043 0.022733
\r
143 820 4.0891 0.019862
\r
144 830 4.0745 0.017361
\r
145 840 4.0606 0.015181
\r
194 640 4.1215 0.067955
\r
196 660 4.0558 0.044243
\r
197 670 4.0258 0.035511
\r
198 680 3.9977 0.028423
\r
199 690 3.9715 0.022696
\r
200 700 3.9469 0.018091
\r
201 710 3.9241 0.014399
\r
202 720 3.9027 0.011448
\r
203 730 3.8828 0.0090958
\r
204 740 3.8642 0.0072237
\r
205 750 3.8468 0.0057363
\r
206 760 3.8305 0.0045557
\r
207 770 3.8152 0.0036193
\r
208 780 3.8009 0.002877
\r
209 790 3.7874 0.0022886
\r
210 800 3.7747 0.0018222
\r
211 810 3.7627 0.0014523
\r
212 820 3.7514 0.001159
\r
213 830 3.7407 0.00092604
\r
214 840 3.7305 0.00074093
\r
268 690 3.7526 0.094369
\r
269 700 3.7318 0.088163
\r
270 710 3.7124 0.083375
\r
271 720 3.6943 0.079708
\r
272 730 3.6775 0.076906
\r
273 740 3.6619 0.074751
\r
274 750 3.6476 0.073069
\r
275 760 3.6343 0.071724
\r
277 780 3.6105 0.069681
\r
278 790 3.5998 0.068856
\r
279 800 3.5898 0.068109
\r
280 810 3.5804 0.067418
\r
281 820 3.5716 0.066764
\r
282 830 3.5633 0.066135
\r
283 840 3.5555 0.065526
\r
331 630 3.5188 0.089584
\r
332 640 3.4946 0.075298
\r
333 650 3.4702 0.064539
\r
334 660 3.4465 0.056964
\r
335 670 3.4244 0.051957
\r
336 680 3.4041 0.048844
\r
337 690 3.3856 0.047028
\r
338 700 3.3689 0.046045
\r
339 710 3.3538 0.045564
\r
340 720 3.3401 0.045364
\r
341 730 3.3276 0.045315
\r
343 750 3.3054 0.045374
\r
344 760 3.2955 0.045416
\r
345 770 3.2863 0.045446
\r
346 780 3.2776 0.045457
\r
348 800 3.2619 0.045424
\r
349 810 3.2548 0.045381
\r
351 830 3.2416 0.045243
\r
352 840 3.2355 0.045153
\r
408 710 3.1196 0.092748
\r
409 720 3.1082 0.085758
\r
411 740 3.0865 0.073297
\r
412 750 3.0764 0.067744
\r
413 760 3.0665 0.062599
\r
414 770 3.0572 0.057824
\r
415 780 3.0481 0.053394
\r
416 790 3.0393 0.049283
\r
417 800 3.0309 0.045465
\r
418 810 3.0228 0.041918
\r
420 830 3.0075 0.035557
\r
421 840 3.0003 0.032708
\r
466 600 3.5432 0.091829
\r
467 610 3.5175 0.083754
\r
468 620 3.4932 0.077164
\r
469 630 3.4703 0.071937
\r
470 640 3.4488 0.067891
\r
472 660 3.4106 0.062531
\r
473 670 3.3936 0.060817
\r
475 690 3.3635 0.058524
\r
476 700 3.3502 0.057719
\r
477 710 3.3379 0.057044
\r
478 720 3.3264 0.056449
\r
479 730 3.3157 0.055905
\r
481 750 3.2963 0.054895
\r
482 760 3.2875 0.054411
\r
483 770 3.2792 0.053934
\r
484 780 3.2714 0.053463
\r
487 810 3.2503 0.052074
\r
490 840 3.2323 0.050722
\r
533 580 4.0965 0.091894
\r
534 590 4.0645 0.083724
\r
535 600 4.0364 0.076564
\r
536 610 4.0104 0.070223
\r
537 620 3.9864 0.064559
\r
540 650 3.9247 0.050757
\r
541 660 3.9041 0.046929
\r
542 670 3.8866 0.043453
\r
543 680 3.8723 0.040318
\r
544 690 3.8539 0.037376
\r
546 710 3.8252 0.032223
\r
547 720 3.8138 0.029944
\r
548 730 3.7991 0.027811
\r
549 740 3.7887 0.025855
\r
550 750 3.7764 0.024022
\r
552 770 3.7554 0.020744
\r
553 780 3.7467 0.019271
\r
554 790 3.7356 0.017895
\r
555 800 3.7261 0.016614
\r
556 810 3.7173 0.015423
\r
557 820 3.7094 0.014311
\r
558 830 3.7019 0.013274
\r
559 840 3.6947 0.012305
\r
590 460 4.5736 0.083067
\r
591 470 4.4875 0.072057
\r
592 480 4.4134 0.063046
\r
593 490 4.3464 0.055047
\r
594 500 4.2982 0.050024
\r
595 510 4.2363 0.044037
\r
596 520 4.1903 0.040025
\r
597 530 4.1473 0.037013
\r
598 540 4.1122 0.032039
\r
599 550 4.0762 0.030013
\r
600 560 4.0422 0.028013
\r
601 570 4.0132 0.025027
\r
603 590 3.9592 0.022014
\r
604 600 3.9362 0.020014
\r
605 610 3.9141 0.019029
\r
606 620 3.8931 0.018015
\r
607 630 3.8752 0.016015
\r
608 640 3.8581 0.016015
\r
611 670 3.8121 0.013016
\r
612 680 3.7981 0.012016
\r
613 690 3.7851 0.011033
\r
616 720 3.7481 0.0099828
\r
617 730 3.7391 0.008035
\r
618 740 3.7281 0.0080177
\r
619 750 3.7181 0.0060359
\r
621 770 3.7011 0.0050369
\r
622 780 3.6941 0.0079814
\r
623 790 3.6841 0.0060566
\r
624 800 3.6781 0.0040956
\r
625 810 3.668 0.0069612
\r
627 830 3.6581 0.0069604
\r
628 840 3.6481 0.0068833
\r