research/ellipsometry/WVASE32/Mat/Semicond/Si.mat

   1 Si tabulated at UNL (multiple data sets fit)\r
   2 eV\r
   3 e1e2\r
   4 6       -7.8701 6.5769\r
   5 5.98    -7.9152 6.6551\r
   6 5.96    -7.964  6.7356\r
   7 5.94    -8.016  6.8186\r
   8 5.92    -8.0709 6.9042\r
   9 5.9     -8.1283 6.9926\r
  10 5.88    -8.188  7.084\r
  11 5.86    -8.2497 7.1783\r
  12 5.84    -8.3132 7.2758\r
  13 5.82    -8.3785 7.3763\r
  14 5.8     -8.4454 7.4801\r
  15 5.78    -8.5139 7.5872\r
  16 5.76    -8.584  7.6977\r
  17 5.74    -8.6558 7.8119\r
  18 5.72    -8.7292 7.9302\r
  19 5.7     -8.8045 8.0529\r
  20 5.68    -8.8815 8.1807\r
  21 5.66    -8.9602 8.3143\r
  22 5.64    -9.0401 8.4546\r
  23 5.62    -9.1208 8.6027\r
  24 5.6     -9.2012 8.7597\r
  25 5.58    -9.2797 8.9266\r
  26 5.56    -9.3546 9.104\r
  27 5.54    -9.4232 9.2923\r
  28 5.52    -9.4829 9.4909\r
  29 5.5     -9.5308 9.6987\r
  30 5.48    -9.5639 9.9135\r
  31 5.46    -9.5802 10.132\r
  32 5.44    -9.5779 10.35\r
  33 5.42    -9.5568 10.563\r
  34 5.4     -9.5179 10.766\r
  35 5.38    -9.4635 10.955\r
  36 5.36    -9.3973 11.124\r
  37 5.34    -9.324  11.273\r
  38 5.32    -9.2491 11.398\r
  39 5.3     -9.1783 11.499\r
  40 5.28    -9.1169 11.578\r
  41 5.26    -9.07   11.638\r
  42 5.24    -9.0414 11.681\r
  43 5.22    -9.0342 11.711\r
  44 5.2     -9.0502 11.734\r
  45 5.18    -9.0903 11.753\r
  46 5.16    -9.1544 11.771\r
  47 5.14    -9.2421 11.793\r
  48 5.12    -9.3523 11.821\r
  49 5.1     -9.484  11.858\r
  50 5.08    -9.6358 11.905\r
  51 5.06    -9.8066 11.965\r
  52 5.04    -9.9955 12.038\r
  53 5.02    -10.202 12.126\r
  54 5       -10.424 12.229\r
  55 4.98    -10.663 12.349\r
  56 4.96    -10.918 12.487\r
  57 4.94    -11.189 12.644\r
  58 4.92    -11.475 12.822\r
  59 4.9     -11.777 13.021\r
  60 4.88    -12.094 13.245\r
  61 4.86    -12.426 13.495\r
  62 4.84    -12.773 13.772\r
  63 4.82    -13.134 14.08\r
  64 4.8     -13.51  14.421\r
  65 4.78    -13.9   14.798\r
  66 4.76    -14.303 15.213\r
  67 4.74    -14.718 15.67\r
  68 4.72    -15.145 16.174\r
  69 4.7     -15.582 16.727\r
  70 4.68    -16.03  17.335\r
  71 4.66    -16.485 18.003\r
  72 4.64    -16.948 18.738\r
  73 4.62    -17.416 19.549\r
  74 4.6     -17.884 20.446\r
  75 4.58    -18.349 21.44\r
  76 4.56    -18.799 22.549\r
  77 4.54    -19.221 23.787\r
  78 4.52    -19.592 25.172\r
  79 4.5     -19.883 26.718\r
  80 4.48    -20.052 28.436\r
  81 4.46    -20.051 30.322\r
  82 4.44    -19.825 32.361\r
  83 4.42    -19.317 34.516\r
  84 4.4     -18.479 36.73\r
  85 4.38    -17.279 38.927\r
  86 4.36    -15.709 41.017\r
  87 4.34    -13.793 42.912\r
  88 4.32    -11.575 44.535\r
  89 4.3     -9.1194 45.823\r
  90 4.28    -6.4986 46.729\r
  91 4.26    -3.8007 47.218\r
  92 4.24    -1.1281 47.282\r
  93 4.22    1.4142  46.948\r
  94 4.2     3.7382  46.277\r
  95 4.18    5.7854  45.355\r
  96 4.16    7.5308  44.271\r
  97 4.14    8.9786  43.112\r
  98 4.12    10.156  41.948\r
  99 4.1     11.102  40.83\r
 100 4.08    11.864  39.792\r
 101 4.06    12.486  38.849\r
 102 4.04    13.007  38.006\r
 103 4.02    13.459  37.256\r
 104 4       13.865  36.59\r
 105 3.98    14.242  35.997\r
 106 3.96    14.6    35.465\r
 107 3.94    14.946  34.985\r
 108 3.92    15.285  34.549\r
 109 3.9     15.619  34.152\r
 110 3.88    15.951  33.789\r
 111 3.86    16.281  33.457\r
 112 3.84    16.613  33.154\r
 113 3.82    16.946  32.877\r
 114 3.8     17.283  32.625\r
 115 3.78    17.625  32.396\r
 116 3.76    17.972  32.189\r
 117 3.74    18.326  32.004\r
 118 3.72    18.687  31.841\r
 119 3.7     19.056  31.701\r
 120 3.68    19.432  31.586\r
 121 3.66    19.818  31.503\r
 122 3.64    20.215  31.455\r
 123 3.62    20.63   31.452\r
 124 3.6     21.07   31.506\r
 125 3.58    21.551  31.627\r
 126 3.56    22.093  31.829\r
 127 3.54    22.73   32.125\r
 128 3.52    23.509  32.518\r
 129 3.5     24.489  33.003\r
 130 3.48    25.748  33.551\r
 131 3.46    27.371  34.102\r
 132 3.44    29.457  34.55\r
 133 3.42    32.098  34.707\r
 134 3.4     35.318  34.257\r
 135 3.38    38.922  32.779\r
 136 3.36    42.356  29.955\r
 137 3.34    44.85   25.918\r
 138 3.32    45.874  21.335\r
 139 3.3     45.483  17.025\r
 140 3.28    44.169  13.481\r
 141 3.26    42.452  10.767\r
 142 3.24    40.652  8.7309\r
 143 3.22    38.911  7.1999\r
 144 3.2     37.287  6.044\r
 145 3.18    35.804  5.1674\r
 146 3.16    34.468  4.4947\r
 147 3.14    33.272  3.9668\r
 148 3.12    32.202  3.5389\r
 149 3.1     31.239  3.1794\r
 150 3.08    30.365  2.868\r
 151 3.06    29.563  2.5919\r
 152 3.04    28.82   2.3442\r
 153 3.02    28.127  2.1208\r
 154 3       27.475  1.9193\r
 155 2.98    26.86   1.7383\r
 156 2.96    26.277  1.5764\r
 157 2.94    25.725  1.4325\r
 158 2.92    25.2    1.3051\r
 159 2.9     24.702  1.1931\r
 160 2.88    24.229  1.0949\r
 161 2.86    23.779  1.0093\r
 162 2.84    23.352  0.93484\r
 163 2.82    22.946  0.8702\r
 164 2.8     22.56   0.81414\r
 165 2.78    22.194  0.7655\r
 166 2.76    21.845  0.7232\r
 167 2.74    21.514  0.68629\r
 168 2.72    21.198  0.65392\r
 169 2.7     20.898  0.62533\r
 170 2.68    20.611  0.59987\r
 171 2.66    20.338  0.57699\r
 172 2.64    20.077  0.55621\r
 173 2.62    19.827  0.53716\r
 174 2.6     19.588  0.5195\r
 175 2.58    19.359  0.50296\r
 176 2.56    19.14   0.48735\r
 177 2.54    18.929  0.47248\r
 178 2.52    18.726  0.45822\r
 179 2.5     18.531  0.44447\r
 180 2.48    18.342  0.43115\r
 181 2.46    18.161  0.41819\r
 182 2.44    17.986  0.40554\r
 183 2.42    17.816  0.39317\r
 184 2.4     17.653  0.38106\r
 185 2.38    17.494  0.36918\r
 186 2.36    17.34   0.35752\r
 187 2.34    17.192  0.34606\r
 188 2.32    17.047  0.33482\r
 189 2.3     16.907  0.32376\r
 190 2.28    16.771  0.3129\r
 191 2.26    16.639  0.30224\r
 192 2.24    16.511  0.29176\r
 193 2.22    16.386  0.28147\r
 194 2.2     16.264  0.27136\r
 195 2.18    16.146  0.26144\r
 196 2.16    16.031  0.25171\r
 197 2.14    15.918  0.24216\r
 198 2.12    15.809  0.2328\r
 199 2.1     15.702  0.22363\r
 200 2.08    15.598  0.21464\r
 201 2.06    15.497  0.20583\r
 202 2.04    15.398  0.19721\r
 203 2.02    15.301  0.18878\r
 204 2       15.207  0.18053\r
 205 1.98    15.114  0.17247\r
 206 1.96    15.024  0.16459\r
 207 1.94    14.936  0.1569\r
 208 1.92    14.85   0.14939\r
 209 1.9     14.766  0.14207\r
 210 1.88    14.684  0.13493\r
 211 1.86    14.603  0.12798\r
 212 1.84    14.524  0.12122\r
 213 1.82    14.447  0.11464\r
 214 1.8     14.372  0.10824\r
 215 1.78    14.298  0.10203\r
 216 1.76    14.226  0.096009\r
 217 1.74    14.155  0.090171\r
 218 1.72    14.086  0.084517\r
 219 1.7     14.018  0.079049\r
 220 1.68    13.952  0.073767\r
 221 1.66    13.887  0.068669\r
 222 1.64    13.824  0.063757\r
 223 1.62    13.761  0.059031\r
 224 1.6     13.7    0.05449\r
 225 1.58    13.641  0.050134\r
 226 1.56    13.582  0.045963\r
 227 1.54    13.525  0.041978\r
 228 1.52    13.469  0.038178\r
 229 1.5     13.414  0.034564\r
 230 1.48    13.36   0.031135\r
 231 1.46    13.307  0.027891\r
 232 1.44    13.255  0.024833\r
 233 1.42    13.205  0.02196\r
 234 1.4     13.155  0.019272\r
 235 1.38    13.106  0.01677\r
 236 1.36    13.059  0.014453\r
 237 1.34    13.013  0.012321\r
 238 1.32    12.967  0.010375\r
 239 1.3     12.923  0.0086132\r
 240 1.28    12.879  0.0070361\r
 241 1.26    12.837  0.0056425\r
 242 1.24    12.795  0.0044301\r
 243 1.22    12.754  0.0033952\r
 244 1.2     12.715  0.0025316\r
 245 1.18    12.676  0.0018302\r
 246 1.16    12.639  0.0012782\r
 247 1.14    12.602  0.00085907\r
 248 1.12    12.566  0.0005536\r
 249 1.1     12.532  0.0003408\r
 250 1.08    12.498  0.00019972\r
 251 1.06    12.465  0.00011105\r
 252 1.04    12.433  5.8411e-005\r
 253 1.02    12.402  2.898e-005\r
 254 1       12.371  1.3529e-005\r
 255 0.98    12.342  5.9284e-006\r
 256 0.96    12.313  2.4338e-006\r
 257 0.94    12.285  0\r
 258 0.92    12.258  0\r
 259 0.9     12.232  0\r
 260 0.88    12.206  0\r
 261 0.86    12.181  0\r
 262 0.84    12.157  0\r
 263 0.82    12.134  0\r
 264 0.8     12.111  0\r
 265 0.78    12.089  0\r
 266 0.76    12.067  0\r
 267 0.74    12.046  0\r
 268 0.72    12.026  0\r
 269 0.7     12.007  0\r
 270 0.68    11.988  0\r
 271 0.66    11.97   0\r
 272 0.64    11.952  0\r
 273 0.62    11.935  0\r
 274 0.6     11.919  0\r
 275 0.58    11.903  0\r
 276 0.56    11.888  0\r
 277 0.54    11.873  0\r
 278 0.52    11.859  0\r
 279 0.5     11.845  0\r
 280 0.48    11.832  0\r
 281 0.46    11.82   0\r
 282 0.44    11.808  0\r
 283 0.42    11.797  0\r
 284 0.4     11.786  0\r
 285 0.38    11.776  0\r
 286 0.36    11.767  0\r
 287 0.34    11.757  0\r
 288 0.32    11.749  0\r
 289 0.3     11.741  0\r
 290 0.28    11.733  0\r
 291 0.26    11.726  0\r
 292 0.24    11.72   0\r
 293 0.22    11.714  0\r
 294 0.2     11.709  0