research/ellipsometry/WVASE32/Mat/Semicond/Sige_2.mat

   1 Alloy model for SixGe(1-x) From Humlicek et al. J. Appl. Phys. 65, 2827 (1989) \r
   2 ALLOY\r
   3 ev\r
   4 e1e2\r
   5 9\r
   6 0.0 .086 .169 .25 .365 .487 .611 .782 1.0\r
   7 3\r
   8 0.8941   0.0421  0.1691   0\r
   9 2.108    1.134   0.153    0\r
  10 4.372   -0.069   0        0 \r
  11 \r
  12 1.5  21.560  2.772\r
  13 1.6  22.565  3.288\r
  14 1.7  23.819  3.925\r
  15 1.8  25.426  5.069\r
  16 1.9  27.622  6.761\r
  17 2.0  30.361  10.427\r
  18 2.1  30.373  18.791\r
  19 2.2  23.711  21.651\r
  20 2.3  20.254  23.466\r
  21 2.4  15.224  22.636\r
  22 2.5  13.153  20.695\r
  23 2.6  12.139  19.307\r
  24 2.7  11.642  18.289\r
  25 2.8  11.526  17.604\r
  26 2.9  11.717  17.282\r
  27 3.0  12.065  17.514\r
  28 3.1  12.240  18.349\r
  29 3.2  11.802  19.450\r
  30 3.3  10.944  20.385\r
  31 3.4  9.914  20.994\r
  32 3.5  9.052  21.442\r
  33 3.6  8.268  21.992\r
  34 3.7  7.470  22.664\r
  35 3.8  6.573  23.509\r
  36 3.9  5.521  24.595\r
  37 4.0  4.123  26.056\r
  38 4.1  1.910  27.965\r
  39 4.2  -2.045  30.025\r
  40 4.3  -9.177  30.089\r
  41 4.4  -15.474  23.494\r
  42 4.5  -14.655  16.782\r
  43 4.6  -12.727  13.620\r
  44 4.7  -11.243  11.768\r
  45 4.8  -10.071  10.510\r
  46 4.9  -9.107  9.592\r
  47 5.0  -8.277  8.911\r
  48 5.1  -7.567  8.424\r
  49 5.2  -6.980  8.115\r
  50 5.3  -6.511  7.943\r
  51 5.4  -6.232  7.893\r
  52 5.5  -6.176  7.842\r
  53 5.6  -6.247  7.741\r
  54 5.7  -6.501  7.507\r
  55 5.8  -6.794  6.946\r
  56 5.9  -6.789  6.275\r
  57 6.0  -6.648  5.672\r
  58 \r
  59         1.70    23.10     2.53\r
  60         1.80    24.42     3.60\r
  61         1.90    26.00     5.25\r
  62         2.00    28.31     7.06\r
  63         2.10    30.84    11.25\r
  64         2.20    30.19    19.69\r
  65         2.30    23.66    23.17\r
  66         2.40    19.23    24.45\r
  67         2.50    14.71    23.23\r
  68         2.60    12.79    21.35\r
  69         2.70    11.89    20.06\r
  70         2.80    11.47    19.21\r
  71         2.90    11.40    18.73\r
  72         3.00    11.57    18.93\r
  73         3.10    11.50    19.74\r
  74         3.20    10.78    20.75\r
  75         3.30     9.69    21.51\r
  76         3.40     8.50    21.98\r
  77         3.50     7.45    22.27\r
  78         3.60     6.53    22.67\r
  79         3.70     5.52    23.18\r
  80         3.80     4.40    23.81\r
  81         3.90     3.08    24.66\r
  82         4.00     1.33    25.71\r
  83         4.10    -1.25    26.97\r
  84         4.20    -5.48    27.73\r
  85         4.30   -11.39    25.85\r
  86         4.40   -14.84    19.65\r
  87         4.50   -13.67    14.65\r
  88         4.60   -11.99    12.06\r
  89         4.70   -10.66    10.49\r
  90         4.80    -9.57     9.41\r
  91         4.90    -8.67     8.63\r
  92         5.00    -7.90     8.04\r
  93         5.10    -7.25     7.62\r
  94         5.20    -6.69     7.36\r
  95         5.30    -6.27     7.27\r
  96         5.40    -6.06     7.23\r
  97         5.50    -6.06     7.24\r
  98 \r
  99         1.70    21.55     2.13\r
 100         1.80    22.56     2.74\r
 101         1.90    23.85     3.71\r
 102         2.00    25.51     4.95\r
 103         2.10    27.57     7.19\r
 104         2.20    29.85    11.49\r
 105         2.30    28.74    19.02\r
 106         2.40    23.09    22.38\r
 107         2.50    18.44    23.30\r
 108         2.60    14.74    21.98\r
 109         2.70    13.08    20.50\r
 110         2.80    12.32    19.53\r
 111         2.90    12.00    18.97\r
 112         3.00    11.98    18.98\r
 113         3.10    11.83    19.64\r
 114         3.20    11.11    20.56\r
 115         3.30     9.99    21.28\r
 116         3.40     8.80    21.67\r
 117         3.50     7.77    21.93\r
 118         3.60     6.83    22.28\r
 119         3.70     5.87    22.77\r
 120         3.80     4.76    23.41\r
 121         3.90     3.44    24.19\r
 122         4.00     1.71    25.20\r
 123         4.10    -0.78    26.41\r
 124         4.20    -4.87    27.11\r
 125         4.30   -10.37    25.13\r
 126         4.40   -13.49    19.57\r
 127         4.50   -12.70    14.99\r
 128         4.60   -11.32    12.39\r
 129         4.70   -10.13    10.80\r
 130         4.80    -9.13     9.68\r
 131         4.90    -8.27     8.86\r
 132         5.00    -7.56     8.25\r
 133         5.10    -6.93     7.85\r
 134         5.20    -6.44     7.57\r
 135         5.30    -6.05     7.41\r
 136         5.40    -5.82     7.37\r
 137         5.50    -5.80     7.35\r
 138         5.60     6.04     7.19\r
 139 \r
 140         1.70    20.56     1.00\r
 141         1.80    21.58     0.94\r
 142         1.90    22.76     2.21\r
 143         2.00    24.20     2.86\r
 144         2.10    25.91     4.42\r
 145         2.20    28.02     6.79\r
 146         2.30    30.38    10.92\r
 147         2.40    30.32    17.95\r
 148         2.50    25.23    22.98\r
 149         2.60    20.04    24.21\r
 150         2.70    16.27    23.12\r
 151         2.80    14.45    21.78\r
 152         2.90    13.65    21.00\r
 153         3.00    13.35    20.80\r
 154         3.10    13.06    21.35\r
 155         3.20    12.22    22.30\r
 156         3.30    10.93    23.02\r
 157         3.40     9.58    23.42\r
 158         3.50     8.39    23.65\r
 159         3.60     7.34    24.02\r
 160         3.70     6.28    24.54\r
 161         3.80     5.06    25.24\r
 162         3.90     3.61    26.09\r
 163         4.00     1.66    27.23\r
 164         4.10    -1.19    28.50\r
 165         4.20    -5.77    29.08\r
 166         4.30   -11.69    26.60\r
 167         4.40   -14.65    20.50\r
 168         4.50   -13.78    15.73\r
 169         4.60   -12.34    12.98\r
 170         4.70   -11.03    11.28\r
 171         4.80    -9.94    10.10\r
 172         4.90    -9.02     9.24\r
 173         5.00    -8.24     8.57\r
 174         5.10    -7.56     8.15\r
 175         5.20    -7.02     7.86\r
 176         5.30    -6.64     7.73\r
 177         5.40    -6.43     7.66\r
 178         5.50    -6.49     7.64\r
 179         5.60    -6.70     7.39\r
 180 \r
 181         1.70    18.68     0.66\r
 182         1.80    19.58     0.14\r
 183         1.90    20.55     1.09\r
 184         2.00    21.86     1.04\r
 185         2.10    23.22     2.28\r
 186         2.20    24.83     3.73\r
 187         2.30    26.80     5.32\r
 188         2.40    29.09     8.31\r
 189         2.50    30.74    13.63\r
 190         2.60    28.34    20.38\r
 191         2.70    23.14    23.51\r
 192         2.80    18.74    23.63\r
 193         2.90    16.35    22.71\r
 194         3.00    15.30    22.22\r
 195         3.10    14.58    22.51\r
 196         3.20    13.57    23.37\r
 197         3.30    12.08    24.03\r
 198         3.40    10.51    24.33\r
 199         3.50     9.22    24.52\r
 200         3.60     8.15    24.84\r
 201         3.70     6.97    25.34\r
 202         3.80     5.67    26.06\r
 203         3.90     4.12    26.89\r
 204         4.00     2.12    28.02\r
 205         4.10    -0.81    29.38\r
 206         4.20    -5.51    29.95\r
 207         4.30   -11.47    27.37\r
 208         4.40   -14.44    21.34\r
 209         4.50   -13.78    16.57\r
 210         4.60   -12.39    13.70\r
 211         4.70   -11.13    11.88\r
 212         4.80   -10.02    10.61\r
 213         4.90    -9.10     9.68\r
 214         5.00    -8.34     9.01\r
 215         5.10    -7.69     8.54\r
 216         5.20    -7.15     8.24\r
 217         5.30    -6.78     8.08\r
 218         5.40    -6.60     7.95\r
 219         5.50    -6.64     7.79\r
 220         5.60    -6.82     7.51\r
 221 \r
 222         1.70    17.02     1.49\r
 223         1.80    17.71     1.15\r
 224         1.90    18.45     1.43\r
 225         2.00    19.34     1.61\r
 226         2.10    20.34     1.90\r
 227         2.20    21.73     2.63\r
 228         2.30    23.39     3.43\r
 229         2.40    25.34     4.94\r
 230         2.50    27.49     7.58\r
 231         2.60    29.61    11.91\r
 232         2.70    29.03    18.71\r
 233         2.80    23.85    23.13\r
 234         2.90    19.16    23.66\r
 235         3.00    16.62    22.95\r
 236         3.10    15.36    22.79\r
 237         3.20    14.06    23.39\r
 238         3.30    12.39    23.88\r
 239         3.40    10.76    24.04\r
 240         3.50     9.43    24.07\r
 241         3.60     8.34    24.26\r
 242         3.70     7.24    24.69\r
 243         3.80     6.01    25.30\r
 244         3.90     4.55    26.11\r
 245         4.00     2.64    27.23\r
 246         4.10    -0.14    28.54\r
 247         4.20    -4.65    29.22\r
 248         4.30   -10.60    26.82\r
 249         4.40   -13.53    21.08\r
 250         4.50   -13.05    16.50\r
 251         4.60   -11.80    13.69\r
 252         4.70   -10.61    11.88\r
 253         4.80    -9.60    10.62\r
 254         4.90    -8.70     9.69\r
 255         5.00    -7.96     9.04\r
 256         5.10    -7.32     8.55\r
 257         5.20    -6.32     8.27\r
 258         5.30    -6.50     8.10\r
 259         5.40    -6.38     7.99\r
 260         5.50    -6.43     7.88\r
 261         5.60    -6.50     7.61\r
 262 \r
 263         1.70    16.30     0.10\r
 264         1.80    16.85     0.11\r
 265         1.90    17.46     0.11\r
 266         2.00    18.20     0.12\r
 267         2.10    19.08     0.27\r
 268         2.20    20.09     0.72\r
 269         2.30    21.28     1.55\r
 270         2.40    22.75     2.33\r
 271         2.50    24.89     3.51\r
 272         2.60    26.84     5.08\r
 273         2.70    29.55     8.02\r
 274         2.80    31.86    13.51\r
 275         2.90    30.30    20.92\r
 276         3.00    25.00    25.21\r
 277         3.10    20.61    26.00\r
 278         3.20    17.78    26.31\r
 279         3.30    15.26    26.61\r
 280         3.40    13.08    26.54\r
 281         3.50    11.48    26.38\r
 282         3.60    10.24    26.55\r
 283         3.70     9.02    27.04\r
 284         3.80     7.67    27.77\r
 285         3.90     6.06    28.82\r
 286         4.00     4.01    30.26\r
 287         4.10     0.83    32.07\r
 288         4.20    -4.63    33.37\r
 289         4.30   -12.17    30.65\r
 290         4.40   -15.60    23.47\r
 291         4.50   -14.97    18.09\r
 292         4.60   -13.46    14.75\r
 293         4.70   -11.99    12.63\r
 294         4.80   -10.75    11.23\r
 295         4.90    -9.70    10.23\r
 296         5.00    -8.85     9.52\r
 297         5.10    -8.12     9.03\r
 298         5.20    -7.59     8.76\r
 299         5.30    -7.27     8.58\r
 300         5.40    -7.18     8.41\r
 301         5.50    -7.28     8.10\r
 302         5.60    -7.35     7.67\r
 303 \r
 304         1.70    15.37     0.09\r
 305         1.80    15.82     0.09\r
 306         1.90    16.32     0.10\r
 307         2.00    16.90     0.11\r
 308         2.10    17.57     0.12\r
 309         2.20    18.37     0.13\r
 310         2.30    19.27     0.14\r
 311         2.40    20.34     0.80\r
 312         2.50    21.61     1.34\r
 313         2.60    23.15     2.18\r
 314         2.70    25.05     3.24\r
 315         2.80    27.51     4.68\r
 316         2.90    30.61     7.31\r
 317         3.00    33.99    12.52\r
 318         3.10    34.35    21.17\r
 319         3.20    28.85    28.42\r
 320         3.30    21.84    30.74\r
 321         3.40    17.20    29.98\r
 322         3.50    14.58    29.13\r
 323         3.60    12.96    28.96\r
 324         3.70    11.49    29.32\r
 325         3.80     9.91    30.03\r
 326         3.90     8.21    31.14\r
 327         4.00     6.09    32.81\r
 328         4.10     2.76    35.12\r
 329         4.20    -3.34    37.26\r
 330         4.30   -12.60    34.53\r
 331         4.40   -16.77    26.26\r
 332         4.50   -16.34    19.98\r
 333         4.60   -14.67    15.97\r
 334         4.70   -12.93    13.52\r
 335         4.80   -11.45    11.95\r
 336         4.90   -10.24    10.88\r
 337         5.00    -9.27    10.14\r
 338         5.10    -8.60     9.51\r
 339         5.20    -7.95     9.41\r
 340         5.30    -7.71     9.25\r
 341         5.40    -7.74     8.96\r
 342         5.50    -7.85     8.42\r
 343         5.60    -7.75     7.86\r
 344 \r
 345     5.298513   -8.663040  11.675768\r
 346     5.253610   -8.697213  11.624684\r
 347     5.209462   -8.738000  11.764800\r
 348     5.166050   -8.720307  11.901924\r
 349     5.123355   -8.999424  11.930080\r
 350     5.081361   -9.295160  12.050442\r
 351     5.040049   -9.664704  12.169400\r
 352     4.999403   -9.984072  12.402154\r
 353     4.959408  -10.426245  12.746492\r
 354     4.920048  -10.865324  13.062000\r
 355     4.881307  -11.397407  13.336824\r
 356     4.843172  -11.970816  13.832840\r
 357     4.805628  -12.606264  14.378630\r
 358     4.768662  -13.217904  15.044130\r
 359     4.732260  -13.936308  15.675856\r
 360     4.696409  -14.717700  16.473600\r
 361     4.661098  -15.525020  17.611008\r
 362     4.626313  -16.415948  18.792336\r
 363     4.592044  -17.273525  20.211828\r
 364     4.558279  -17.995224  22.185350\r
 365     4.525007  -18.569664  24.363520\r
 366     4.492217  -18.750303  26.790304\r
 367     4.459899  -18.538695  29.445128\r
 368     4.428043  -17.974868  32.224176\r
 369     4.396638  -16.977665  35.076648\r
 370     4.365676  -15.529371  37.888820\r
 371     4.335147  -13.514256  40.826880\r
 372     4.305042  -10.543680  43.684498\r
 373     4.275352   -6.421280  45.702078\r
 374     4.246068   -2.289084  46.224640\r
 375     4.217184    1.509532  45.626976\r
 376     4.188689    4.634549  44.426820\r
 377     4.160577    6.969000  42.889382\r
 378     4.132840    8.794111  41.408640\r
 379     4.105470   10.059624  40.003370\r
 380     4.078461   11.125143  38.760224\r
 381     4.051804   12.074712  37.670534\r
 382     4.025494   12.661272  36.643046\r
 383     3.999523   13.202535  35.810488\r
 384     3.973885   13.658652  35.063136\r
 385     3.948573   14.114352  34.499614\r
 386     3.923582   14.583440  33.948288\r
 387     3.898906   14.942235  33.443708\r
 388     3.874538   15.335421  33.078500\r
 389     3.850472   15.728937  32.728016\r
 390     3.826704   16.157700  32.427648\r
 391     3.803227   16.594112  32.130816\r
 392     3.780037   16.949664  31.868200\r
 393     3.757127   17.365704  31.710490\r
 394     3.734494   17.768160  31.500738\r
 395     3.712132   18.176631  31.348160\r
 396     3.690036   18.500969  31.242480\r
 397     3.668201   18.961233  31.114856\r
 398     3.646624   19.342848  31.051136\r
 399     3.625298   19.745132  31.024176\r
 400     3.604221   20.124189  31.065140\r
 401     3.583387   20.612220  31.162592\r
 402     3.562793   21.117560  31.335498\r
 403     3.542434   21.712944  31.608640\r
 404     3.522307   22.401624  31.983110\r
 405     3.502407   23.113519  32.493480\r
 406     3.482730   24.233995  33.152628\r
 407     3.463274   25.724927  33.930264\r
 408     3.444033   27.777636  34.594560\r
 409     3.425006   30.371535  34.960032\r
 410     3.406187   33.468225  34.715912\r
 411     3.387574   36.835515  33.528708\r
 412     3.369163   40.000128  31.273154\r
 413     3.350951   42.510523  28.186236\r
 414     3.332935   44.173116  24.465280\r
 415     3.315112   44.718307  20.603124\r
 416     3.297479   44.323089  17.018800\r
 417     3.280032   43.282544  14.058930\r
 418     3.262768   41.944419  11.703020\r
 419     3.245686   40.443381  9.761220\r
 420     3.228781   38.987597  8.313396\r
 421     3.212052   37.700828  7.228896\r
 422     3.195495   36.509649  6.356120\r
 423     3.179108   35.382305  5.632848\r
 424     3.162888   34.369408  5.008056\r
 425     3.146832   33.419115  4.507732\r
 426     3.130939   32.625993  4.074776\r
 427     3.115206   31.848168  3.719674\r
 428     3.099630   31.086807  3.428576\r
 429     3.084209   30.400216  3.146970\r
 430     3.068941   29.751232  2.916174\r
 431     3.053823   29.129909  2.701500\r
 432     3.038853   28.567275  2.514500\r
 433     3.024029   28.051317  2.353644\r
 434     3.009350   27.549909  2.206260\r
 435     2.994812   27.094080  2.073182\r
 436     2.980413   26.662168  1.953126\r
 437     2.966153   26.243476  1.845360\r
 438     2.952029   25.858160  1.750272\r
 439     2.938038   25.485705  1.656728\r
 440     2.924179   25.135607  1.575024\r
 441     2.910451   24.817455  1.505168\r
 442     2.896850   24.491665  1.425888\r
 443     2.883377   24.197197  1.358196\r
 444     2.870028   23.913975  1.301272\r
 445     2.856802   23.642112  1.245184\r
 446     2.843697   23.390868  1.199824\r
 447     2.830712   23.141183  1.145256\r
 448     2.817845   22.892571  1.100780\r
 449     2.786184   22.333293  1.002124\r
 450     2.755227   22.259552  0.915486\r
 451     2.724949   21.391955  0.823428\r
 452     2.695330   20.905440  0.759118\r
 453     2.666348   20.505912  0.697466\r
 454     2.637983   20.127985  0.646128\r
 455     2.610215   19.798011  0.596300\r
 456     2.583025   19.470600  0.556038\r
 457     2.556396   19.172160  0.516722\r
 458     2.530310   18.884691  0.478060\r
 459     2.504752   18.625152  0.448864\r
 460     2.479704   18.470304  0.429800\r
 461     2.455152   18.153912  0.400534\r
 462     2.431082   17.941760  0.372768\r
 463     2.407480   17.739180  0.353808\r
 464     2.384331   17.554500  0.335200\r
 465     2.361623   17.362445  0.316692\r
 466     2.339343   17.196240  0.306878\r
 467     2.317480   17.047416  0.289030\r
 468     2.296022   16.907520  0.263168\r
 469     2.274958   16.751688  0.253766\r
 470     2.254276   16.612876  0.244560\r
 471     2.233968   16.466523  0.235364\r
 472     2.214021   16.336980  0.226352\r
 473     2.194428   16.216000  0.217458\r
 474     2.175179   16.103544  0.200650\r
 475     2.156264   15.983428  0.191904\r
 476     2.137676   15.879649  0.191280\r
 477     2.119405   15.776255  0.182712\r
 478     2.101444   15.673197  0.174196\r
 479     2.083785   15.586263  0.165816\r
 480     2.066420   15.491696  0.157440\r
 481     2.049342   15.397335  0.164808\r
 482     2.032544   15.319035  0.148732\r
 483     2.016020   15.233048  0.148314\r
 484     1.999761   15.155125  0.140148\r
 485     1.983763   15.092936  0.132090\r
 486     1.968019   15.015369  0.124000\r
 487     1.952523   14.953400  0.131478\r
 488     1.937269   14.883908  0.123456\r
 489     1.922251   14.822275  0.115500\r
 490     1.907465   14.760739  0.115260\r
 491     1.892904   14.699360  0.107352\r
 492     1.878564   14.630429  0.107100\r
 493     1.864439   14.576928  0.106904\r
 494     1.850525   14.531175  0.099112\r
 495     1.836818   14.477856  0.098930\r
 496     1.823312   14.424660  0.091152\r
 497     1.810003   14.363931  0.098540\r
 498     1.796887   14.326104  0.083270\r
 499     1.783960   14.273163  0.083116\r
 500     1.771217   14.220320  0.082962\r
 501     1.758655   14.182656  0.075320\r
 502     1.746270   14.137500  0.075200\r
 503     1.734059   14.099944  0.067590\r
 504     1.722017   14.047404  0.074960\r
 505     1.710141   14.009949  0.074860\r
 506     1.698427   13.980057  0.059824\r
 507     1.686873   13.950144  0.067230\r
 508     1.675476   13.897920  0.059648\r
 509     1.664231   13.868112  0.059584\r
 510     1.653136   13.823488  0.044616\r
 511     1.642188   13.808592  0.059456\r
 512     1.631384   13.764036  0.059360\r
 513     1.620722   13.749215  0.051912\r
 514     1.610197   13.697376  0.037010\r
 515     1.599809   13.689951  0.051800\r
 516     1.589554   13.645572  0.059104\r
 517     1.579429   13.593888  0.066366\r
 518     1.569433   13.571820  0.044208\r
 519     1.559562   13.564408  0.066294\r
 520     1.549815   13.527668  0.029424\r
 521     1.540189   13.461536  0.036690\r
 522     1.530681   13.454175  0.051352\r
 523     1.521291   13.461536  0.036690\r
 524     1.512015   13.417544  0.036630\r
 525     1.502851   13.402896  0.036610\r
 526     1.493798   13.380915  0.051212\r
 527     1.484853   13.322451  0.051100\r
 528     1.476014   13.380883  0.065844\r