--- /dev/null
+\r
+VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, ZoneAve=1, Revs=1000, MaxRevs=1000, I_Threshold=0.40, I_MinUsable=0.005, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Thu Feb 04 16:55:14 2010]\r
+Original[040210 500z30cu0.05 align out with tape zone on 1000 revs meas.dat]\r
+Angstroms\r
+3200.000000 55.000000 14.789055 111.63007 0.255255 1.40344\r
+3300.000000 55.000000 14.938137 110.41764 0.157262 0.818268\r
+3400.000000 55.000000 14.989319 111.43969 0.135349 0.712432\r
+3500.000000 55.000000 15.334233 112.11594 0.0885461 0.456515\r
+3600.000000 55.000000 16.155491 114.83531 0.0802047 0.399041\r
+3700.000000 55.000000 17.317322 124.1497 0.0640759 0.313437\r
+3800.000000 55.000000 16.02792 148.45546 0.0388745 0.28294\r
+3900.000000 55.000000 15.350544 135.20888 0.0444846 0.410948\r
+4000.000000 55.000000 16.605234 116.24303 0.0511759 0.358704\r
+4100.000000 55.000000 17.963907 111.32555 0.0557996 0.308995\r
+4200.000000 55.000000 18.87701 112.36047 0.0493581 0.243231\r
+4300.000000 55.000000 19.429382 115.02429 0.048977 0.228096\r
+4400.000000 55.000000 19.718946 118.13935 0.0450132 0.207322\r
+4500.000000 55.000000 19.841347 121.18398 0.043294 0.201279\r
+4600.000000 55.000000 19.861324 124.11175 0.0451694 0.207969\r
+4700.000000 55.000000 19.806522 126.86617 0.0401439 0.188611\r
+4800.000000 55.000000 19.708261 129.40674 0.0383918 0.184438\r
+4900.000000 55.000000 19.583975 131.72667 0.0353781 0.174747\r
+5000.000000 55.000000 19.465181 133.87177 0.0354824 0.180334\r
+5100.000000 55.000000 19.322302 135.95242 0.0355934 0.176709\r
+5200.000000 55.000000 19.177876 137.90126 0.0326697 0.166466\r
+5300.000000 55.000000 19.034502 139.70743 0.032712 0.171117\r
+5400.000000 55.000000 18.895332 141.41953 0.0307873 0.165406\r
+5500.000000 55.000000 18.753038 143.04027 0.031062 0.171448\r
+5600.000000 55.000000 18.620438 144.59361 0.0305832 0.173444\r
+5700.000000 55.000000 18.488392 146.1292 0.0335514 0.182684\r
+5800.000000 55.000000 18.352182 147.56097 0.0305109 0.170153\r
+5900.000000 55.000000 18.222057 148.9373 0.0311362 0.178272\r
+6000.000000 55.000000 18.09816 150.24948 0.0318282 0.186663\r
+6100.000000 55.000000 17.972778 151.50537 0.031833 0.191194\r
+6200.000000 55.000000 17.855345 152.77866 0.0324066 0.185781\r
+6300.000000 55.000000 17.73477 153.98026 0.0322325 0.188819\r
+6400.000000 55.000000 17.620272 155.12248 0.0329396 0.197134\r
+6500.000000 55.000000 17.506069 156.24202 0.0327693 0.20036\r
+6600.000000 55.000000 17.394812 157.32236 0.0328447 0.205069\r
+6700.000000 55.000000 17.282354 158.39177 0.0329922 0.210438\r
+6800.000000 55.000000 17.173687 159.41115 0.0324253 0.196897\r
+6900.000000 55.000000 17.06497 160.42398 0.0332163 0.205738\r
+7000.000000 55.000000 16.96088 161.39468 0.0326611 0.20628\r
+7100.000000 55.000000 16.860746 162.30101 0.0329797 0.212261\r
+7200.000000 55.000000 16.753927 163.20117 0.0336053 0.22058\r
+7300.000000 55.000000 16.652691 164.13869 0.0333012 0.222737\r
+7400.000000 55.000000 16.562967 164.97804 0.0351511 0.222729\r
+7500.000000 55.000000 16.471174 165.80138 0.0345758 0.222959\r
+7600.000000 55.000000 16.371601 166.65506 0.0324879 0.213208\r
+7700.000000 55.000000 16.274321 167.42914 0.0339999 0.22693\r
+7800.000000 55.000000 16.179794 168.25954 0.0323134 0.219628\r
+7900.000000 55.000000 16.086533 169.03084 0.0329547 0.22821\r
+8000.000000 55.000000 15.992573 169.74515 0.0384097 0.270694\r
+8100.000000 55.000000 15.901982 170.46338 0.0322262 0.214731\r
+8200.000000 55.000000 15.823984 171.1651 0.0351065 0.238031\r
+8300.000000 55.000000 15.74181 171.87279 0.0340796 0.235177\r
+8400.000000 55.000000 15.652051 172.58238 0.0334049 0.233805\r
+8500.000000 55.000000 15.575362 173.28441 0.036046 0.255787\r
+8600.000000 55.000000 15.494869 173.91776 0.0363632 0.26213\r
+8700.000000 55.000000 15.407184 174.6076 0.0365148 0.24993\r
+8800.000000 55.000000 15.315944 175.30635 0.0374078 0.260185\r
+8900.000000 55.000000 15.249921 175.7892 0.0367803 0.259471\r
+9000.000000 55.000000 15.171677 176.3638 0.0373492 0.268067\r
+9100.000000 55.000000 15.093166 176.9837 0.0356869 0.259837\r
+9200.000000 55.000000 15.016258 177.5428 0.0362567 0.26781\r
+9300.000000 55.000000 14.93239 178.16473 0.0362412 0.271533\r
+9400.000000 55.000000 14.856772 178.74484 0.0371705 0.264181\r
+9500.000000 55.000000 14.782167 179.27525 0.0377196 0.27175\r
+9600.000000 55.000000 14.715693 179.78288 0.0369313 0.269598\r
+9700.000000 55.000000 14.638401 180.31908 0.0365767 0.270564\r
+9800.000000 55.000000 14.568311 180.84111 0.0369886 0.277124\r
+9900.000000 55.000000 14.49775 181.35704 0.0355686 0.26994\r
+10000.000000 55.000000 14.440485 181.76227 0.0360051 0.276688\r
+10100.000000 55.000000 14.370083 182.26596 0.0370059 0.270219\r
+10200.000000 55.000000 14.308564 182.74464 0.0344057 0.254254\r
+10300.000000 55.000000 14.243899 183.25722 0.034018 0.25426\r
+10400.000000 55.000000 14.174746 183.69167 0.0318425 0.241477\r
+10500.000000 55.000000 14.112669 184.27098 0.0349287 0.267673\r
+10600.000000 55.000000 14.271429 183.82219 0.0256814 0.195773\r
+10700.000000 55.000000 14.209901 184.28729 0.0266389 0.205587\r
+10800.000000 55.000000 14.141742 184.77602 0.0258497 0.202349\r
+10900.000000 55.000000 14.07475 185.207 0.0276669 0.206283\r
+11000.000000 55.000000 14.008145 185.64934 0.0299815 0.225704\r
+11100.000000 55.000000 13.950239 186.04947 0.0291417 0.22218\r
+11200.000000 55.000000 13.887948 186.46027 0.0281784 0.217262\r
+11300.000000 55.000000 13.824639 186.8622 0.0283854 0.220861\r
+11400.000000 55.000000 13.769003 187.3004 0.0279009 0.219312\r
+11500.000000 55.000000 13.699853 187.65312 0.0292897 0.232927\r
+11600.000000 55.000000 13.643559 188.11006 0.0340973 0.258436\r
+11700.000000 55.000000 13.58687 188.44206 0.0312701 0.239772\r
+11800.000000 55.000000 13.530359 188.79543 0.0316076 0.245324\r
+11900.000000 55.000000 13.475995 189.18015 0.0280926 0.219968\r
+12000.000000 55.000000 13.42557 189.53107 0.0295614 0.233572\r
+12100.000000 55.000000 13.36215 189.86511 0.0278176 0.221659\r
+12200.000000 55.000000 13.313139 190.2171 0.0310368 0.249739\r
+12300.000000 55.000000 13.262568 190.5406 0.0299892 0.243832\r
+12400.000000 55.000000 13.212087 190.88814 0.0311189 0.241061\r
+12500.000000 55.000000 13.160395 191.24323 0.0353875 0.277736\r
+12600.000000 55.000000 13.101373 191.70435 0.0329261 0.261231\r
+12700.000000 55.000000 13.058025 191.9594 0.0304852 0.2449\r
+12800.000000 55.000000 13.011806 192.23457 0.0312373 0.252268\r
+12900.000000 55.000000 12.962995 192.62732 0.0317904 0.258544\r
+13000.000000 55.000000 12.910803 192.96579 0.0319159 0.262174\r
+13100.000000 55.000000 12.865429 193.22777 0.0323286 0.268055\r
+13200.000000 55.000000 12.816598 193.53908 0.034544 0.273672\r
+13300.000000 55.000000 12.764421 193.8517 0.0306117 0.244841\r
+13400.000000 55.000000 12.711694 194.20955 0.0332827 0.268433\r
+13500.000000 55.000000 12.660542 194.51776 0.0343741 0.279868\r
+13600.000000 55.000000 12.601065 194.82063 0.0305109 0.25063\r
+13700.000000 55.000000 12.56486 195.15652 0.0323639 0.269296\r
+13800.000000 55.000000 12.514452 195.39621 0.0300938 0.251958\r
+13900.000000 55.000000 12.459803 195.75003 0.0304629 0.256543\r
+14000.000000 55.000000 12.412374 195.97984 0.0281586 0.239625\r
+14100.000000 55.000000 12.360108 196.2278 0.0345431 0.281265\r
+14200.000000 55.000000 12.32424 196.61794 0.0338928 0.27902\r
+14300.000000 55.000000 12.279752 196.89749 0.0343734 0.285209\r
+14400.000000 55.000000 12.22802 197.16873 0.0351016 0.2934\r
+14500.000000 55.000000 12.175973 197.41241 0.0343084 0.288786\r
+14600.000000 55.000000 12.139077 197.67897 0.0321042 0.272243\r
+14700.000000 55.000000 12.081741 197.96205 0.0315954 0.271045\r
+14800.000000 55.000000 12.039886 198.15196 0.0302499 0.263753\r
+14900.000000 55.000000 11.995936 198.52702 0.0314433 0.261241\r
+15000.000000 55.000000 11.941871 198.76999 0.03237 0.270374\r
+dpolE 3200.000000 55.000000 2.84108 1.56341\r
+dpolE 3300.000000 55.000000 1.12511 0.941732\r
+dpolE 3400.000000 55.000000 1.56666 0.819141\r
+dpolE 3500.000000 55.000000 1.5728 0.561449\r
+dpolE 3600.000000 55.000000 1.33554 0.542657\r
+dpolE 3700.000000 55.000000 1.52502 0.412345\r
+dpolE 3800.000000 55.000000 8.14745 0.178995\r
+dpolE 3900.000000 55.000000 15.0415 0.182435\r
+dpolE 4000.000000 55.000000 15.6049 0.257243\r
+dpolE 4100.000000 55.000000 13.0067 0.310305\r
+dpolE 4200.000000 55.000000 10.002 0.314812\r
+dpolE 4300.000000 55.000000 7.63799 0.335589\r
+dpolE 4400.000000 55.000000 5.79925 0.3231\r
+dpolE 4500.000000 55.000000 4.54753 0.317216\r
+dpolE 4600.000000 55.000000 3.64385 0.310374\r
+dpolE 4700.000000 55.000000 2.98911 0.276531\r
+dpolE 4800.000000 55.000000 2.49271 0.264577\r
+dpolE 4900.000000 55.000000 2.14549 0.2426\r
+dpolE 5000.000000 55.000000 1.87213 0.24182\r
+dpolE 5100.000000 55.000000 1.64972 0.228555\r
+dpolE 5200.000000 55.000000 1.49253 0.207841\r
+dpolE 5300.000000 55.000000 1.35269 0.206082\r
+dpolE 5400.000000 55.000000 1.24578 0.191902\r
+dpolE 5500.000000 55.000000 1.14595 0.191402\r
+dpolE 5600.000000 55.000000 1.08737 0.186185\r
+dpolE 5700.000000 55.000000 1.00279 0.196194\r
+dpolE 5800.000000 55.000000 0.943007 0.17624\r
+dpolE 5900.000000 55.000000 0.891762 0.177766\r
+dpolE 6000.000000 55.000000 0.8569 0.179481\r
+dpolE 6100.000000 55.000000 0.799493 0.177252\r
+dpolE 6200.000000 55.000000 0.760013 0.176426\r
+dpolE 6300.000000 55.000000 0.72594 0.173266\r
+dpolE 6400.000000 55.000000 0.708414 0.174836\r
+dpolE 6500.000000 55.000000 0.684261 0.171684\r
+dpolE 6600.000000 55.000000 0.653617 0.169886\r
+dpolE 6700.000000 55.000000 0.641146 0.168329\r
+dpolE 6800.000000 55.000000 0.598422 0.164484\r
+dpolE 6900.000000 55.000000 0.570975 0.166325\r
+dpolE 7000.000000 55.000000 0.5751 0.161499\r
+dpolE 7100.000000 55.000000 0.550004 0.161099\r
+dpolE 7200.000000 55.000000 0.551696 0.162008\r
+dpolE 7300.000000 55.000000 0.523049 0.158507\r
+dpolE 7400.000000 55.000000 0.501464 0.16833\r
+dpolE 7500.000000 55.000000 0.513245 0.163581\r
+dpolE 7600.000000 55.000000 0.507513 0.151811\r
+dpolE 7700.000000 55.000000 0.48009 0.157034\r
+dpolE 7800.000000 55.000000 0.458025 0.147748\r
+dpolE 7900.000000 55.000000 0.461683 0.14872\r
+dpolE 8000.000000 55.000000 0.489042 0.171285\r
+dpolE 8100.000000 55.000000 0.445058 0.145895\r
+dpolE 8200.000000 55.000000 0.422822 0.156956\r
+dpolE 8300.000000 55.000000 0.43747 0.150462\r
+dpolE 8400.000000 55.000000 0.431939 0.146045\r
+dpolE 8500.000000 55.000000 0.415827 0.156131\r
+dpolE 8600.000000 55.000000 0.399428 0.155833\r
+dpolE 8700.000000 55.000000 0.384367 0.159174\r
+dpolE 8800.000000 55.000000 0.367638 0.161191\r
+dpolE 8900.000000 55.000000 0.399045 0.156962\r
+dpolE 9000.000000 55.000000 0.398556 0.157896\r
+dpolE 9100.000000 55.000000 0.390339 0.149439\r
+dpolE 9200.000000 55.000000 0.392217 0.150403\r
+dpolE 9300.000000 55.000000 0.377586 0.148944\r
+dpolE 9400.000000 55.000000 0.339391 0.156044\r
+dpolE 9500.000000 55.000000 0.342447 0.15689\r
+dpolE 9600.000000 55.000000 0.357029 0.152272\r
+dpolE 9700.000000 55.000000 0.344155 0.149498\r
+dpolE 9800.000000 55.000000 0.331181 0.149962\r
+dpolE 9900.000000 55.000000 0.332084 0.143033\r
+dpolE 10000.000000 55.000000 0.3557 0.143692\r
+dpolE 10100.000000 55.000000 0.34651 0.150783\r
+dpolE 10200.000000 55.000000 0.354363 0.139095\r
+dpolE 10300.000000 55.000000 0.351994 0.136523\r
+dpolE 10400.000000 55.000000 0.338351 0.126941\r
+dpolE 10500.000000 55.000000 0.287184 0.138466\r
+dpolE 10600.000000 55.000000 0.262546 0.102641\r
+dpolE 10700.000000 55.000000 0.264899 0.105747\r
+dpolE 10800.000000 55.000000 0.294471 0.101765\r
+dpolE 10900.000000 55.000000 0.285504 0.11103\r
+dpolE 11000.000000 55.000000 0.282729 0.119618\r
+dpolE 11100.000000 55.000000 0.267741 0.115409\r
+dpolE 11200.000000 55.000000 0.269387 0.110874\r
+dpolE 11300.000000 55.000000 0.260914 0.111158\r
+dpolE 11400.000000 55.000000 0.242704 0.108722\r
+dpolE 11500.000000 55.000000 0.25928 0.113367\r
+dpolE 11600.000000 55.000000 0.261533 0.134418\r
+dpolE 11700.000000 55.000000 0.257514 0.1224\r
+dpolE 11800.000000 55.000000 0.234856 0.1228\r
+dpolE 11900.000000 55.000000 0.23429 0.10866\r
+dpolE 12000.000000 55.000000 0.27971 0.11384\r
+dpolE 12100.000000 55.000000 0.235951 0.106721\r
+dpolE 12200.000000 55.000000 0.232836 0.118519\r
+dpolE 12300.000000 55.000000 0.24505 0.113901\r
+dpolE 12400.000000 55.000000 0.231237 0.120258\r
+dpolE 12500.000000 55.000000 0.264212 0.13619\r
+dpolE 12600.000000 55.000000 0.225794 0.126021\r
+dpolE 12700.000000 55.000000 0.236985 0.115723\r
+dpolE 12800.000000 55.000000 0.259583 0.11858\r
+dpolE 12900.000000 55.000000 0.218001 0.120522\r
+dpolE 13000.000000 55.000000 0.234415 0.120522\r
+dpolE 13100.000000 55.000000 0.247732 0.121522\r
+dpolE 13200.000000 55.000000 0.209523 0.131643\r
+dpolE 13300.000000 55.000000 0.223354 0.116072\r
+dpolE 13400.000000 55.000000 0.199301 0.125777\r
+dpolE 13500.000000 55.000000 0.234195 0.129313\r
+dpolE 13600.000000 55.000000 0.214652 0.114358\r
+dpolE 13700.000000 55.000000 0.203244 0.120163\r
+dpolE 13800.000000 55.000000 0.246666 0.111756\r
+dpolE 13900.000000 55.000000 0.230777 0.113161\r
+dpolE 14000.000000 55.000000 0.222225 0.103963\r
+dpolE 14100.000000 55.000000 0.229914 0.12891\r
+dpolE 14200.000000 55.000000 0.220088 0.125534\r
+dpolE 14300.000000 55.000000 0.238398 0.126955\r
+dpolE 14400.000000 55.000000 0.237203 0.129431\r
+dpolE 14500.000000 55.000000 0.235748 0.126292\r
+dpolE 14600.000000 55.000000 0.207545 0.118567\r
+dpolE 14700.000000 55.000000 0.210949 0.115954\r
+dpolE 14800.000000 55.000000 0.212585 0.109407\r
+dpolE 14900.000000 55.000000 0.218667 0.115685\r
+dpolE 15000.000000 55.000000 0.184741 0.119192
\ No newline at end of file