research/ellipsometry/WVASE32/DAT/11-07-11-spectr-muelller1.dat

   1 spectroscopic-mueller1\r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=0, Aniso=NoRegress, Revs=10, AutoSlit=2000, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Mon Jul 11 13:04:07 2011]\r
   3 Original[11-07-11-spectr-muelller1.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 E+45    3000.000000     25.000000       41.4026 180     4.23407 5415.36\r
   6 E+45    3100.000000     25.000000       42.5913 177.027 0.606883        23.2918\r
   7 E+45    3200.000000     25.000000       42.3737 169.498 0.349065        3.83693\r
   8 E+45    3300.000000     25.000000       41.8929 169.557 0.22106 2.44723\r
   9 E+45    3400.000000     25.000000       42.1514 171.214 0.144751        1.89907\r
  10 E+45    3500.000000     25.000000       42.1627 172.617 0.0988173       1.54024\r
  11 E+45    3600.000000     25.000000       42.3028 173.027 0.0716218       1.18086\r
  12 E+45    3700.000000     25.000000       42.4049 170.198 0.0517184       0.608476\r
  13 E+45    3800.000000     25.000000       42.43   170.263 0.0361296       0.427837\r
  14 E+45    3900.000000     25.000000       42.5108 171.097 0.0274334       0.354853\r
  15 E+45    4000.000000     25.000000       42.5824 172.397 0.0235802       0.356547\r
  16 E+45    4100.000000     25.000000       42.5914 171.03  0.0220389       0.282884\r
  17 E+45    4200.000000     25.000000       42.7421 171.463 0.0215443       0.290308\r
  18 E+45    4300.000000     25.000000       42.7068 171.478 0.02113 0.285255\r
  19 E+45    4400.000000     25.000000       42.8047 171.6   0.0208469       0.285397\r
  20 E+45    4500.000000     25.000000       42.803  171.498 0.0206687       0.279604\r
  21 E+45    4600.000000     25.000000       42.8449 172.304 0.0205921       0.307419\r
  22 E+45    4700.000000     25.000000       42.9361 172.208 0.0205148       0.302435\r
  23 E+45    4800.000000     25.000000       42.9359 171.533 0.0205478       0.278987\r
  24 E+45    4900.000000     25.000000       42.9547 172.224 0.0205229       0.303153\r
  25 E+45    5000.000000     25.000000       42.9823 172.19  0.0205079       0.301609\r
  26 E+45    5100.000000     25.000000       42.9772 172.411 0.0204965       0.310149\r
  27 E+45    5200.000000     25.000000       43.0213 172.346 0.0204867       0.307373\r
  28 E+45    5300.000000     25.000000       43.1147 171.989 0.0204809       0.293636\r
  29 E+45    5400.000000     25.000000       43.078  173.312 0.0204768       0.351129\r
  30 E+45    5500.000000     25.000000       43.1467 172.925 0.0204735       0.331954\r
  31 E+45    5600.000000     25.000000       43.1421 172.6   0.0204713       0.317481\r
  32 E+45    5700.000000     25.000000       43.164  172.617 0.0204699       0.318149\r
  33 E+45    5800.000000     25.000000       43.1755 172.76  0.0204691       0.324357\r
  34 E+45    5900.000000     25.000000       43.1976 172.871 0.020469        0.329381\r
  35 E+45    6000.000000     25.000000       43.2209 172.956 0.0204749       0.333388\r
  36 E+45    6100.000000     25.000000       43.2358 173.693 0.0204716       0.371958\r
  37 E+45    6200.000000     25.000000       43.2603 173.155 0.0204707       0.342876\r
  38 E+45    6300.000000     25.000000       43.179  173.117 0.0204741       0.341115\r
  39 E+45    6400.000000     25.000000       43.3225 172.429 0.0204798       0.310366\r
  40 E+45    6500.000000     25.000000       43.1897 172.432 0.0204829       0.310632\r
  41 E+45    6600.000000     25.000000       43.2126 175.042 0.0204901       0.472675\r
  42 E+45    6700.000000     25.000000       43.3214 171.197 0.0204882       0.267455\r
  43 E+45    6800.000000     25.000000       43.2175 173.721 0.0204881       0.373917\r
  44 E+45    6900.000000     25.000000       43.2868 174.035 0.020484        0.393301\r
  45 E+45    7000.000000     25.000000       43.3119 173.432 0.0205019       0.357719\r
  46 E+45    7100.000000     25.000000       43.3398 172.035 0.020508        0.295577\r
  47 E+45    7200.000000     25.000000       43.291  173.7   0.0205079       0.372952\r
  48 E+45    7300.000000     25.000000       43.2928 173.071 0.0205169       0.339507\r
  49 E+45    7400.000000     25.000000       43.4154 174.909 0.0205266       0.461082\r
  50 E+45    7500.000000     25.000000       43.5112 172.897 0.0205404       0.331506\r
  51 E+45    7600.000000     25.000000       43.5018 172.471 0.020566        0.313291\r
  52 E-45    3000.000000     25.000000       42.4551 180     4.43588 5497.12\r
  53 E-45    3100.000000     25.000000       41.8906 177.182 0.602483        24.4417\r
  54 E-45    3200.000000     25.000000       42.3195 168.308 0.346544        3.42739\r
  55 E-45    3300.000000     25.000000       42.2468 170.425 0.218936        2.63742\r
  56 E-45    3400.000000     25.000000       42.4282 170.677 0.143487        1.77364\r
  57 E-45    3500.000000     25.000000       42.5863 172.508 0.097561        1.49668\r
  58 E-45    3600.000000     25.000000       42.9675 172.028 0.0701326       1.01072\r
  59 E-45    3700.000000     25.000000       42.7184 172.09  0.0506212       0.73564\r
  60 E-45    3800.000000     25.000000       42.8791 170.824 0.0354206       0.444246\r
  61 E-45    3900.000000     25.000000       42.9447 171.299 0.0269688       0.356444\r
  62 E-45    4000.000000     25.000000       42.9972 170.346 0.0232984       0.277811\r
  63 E-45    4100.000000     25.000000       43.1131 171.865 0.0218891       0.3091\r
  64 E-45    4200.000000     25.000000       43.1619 171.583 0.0214407       0.292697\r
  65 E-45    4300.000000     25.000000       43.1838 171.278 0.0210673       0.277628\r
  66 E-45    4400.000000     25.000000       43.2884 172.186 0.0208101       0.305707\r
  67 E-45    4500.000000     25.000000       43.3039 172.104 0.0206476       0.300176\r
  68 E-45    4600.000000     25.000000       43.3013 172.317 0.0205796       0.307421\r
  69 E-45    4700.000000     25.000000       43.367  172.406 0.0205064       0.309844\r
  70 E-45    4800.000000     25.000000       43.4494 172.128 0.0205359       0.299367\r
  71 E-45    4900.000000     25.000000       43.4564 171.932 0.0205179       0.291913\r
  72 E-45    5000.000000     25.000000       43.4765 172.287 0.0205064       0.305012\r
  73 E-45    5100.000000     25.000000       43.5332 172.529 0.0204973       0.314644\r
  74 E-45    5200.000000     25.000000       43.5097 173.113 0.0204895       0.340974\r
  75 E-45    5300.000000     25.000000       43.5714 172.619 0.0204851       0.318255\r
  76 E-45    5400.000000     25.000000       43.5765 173.244 0.0204825       0.347352\r
  77 E-45    5500.000000     25.000000       43.6332 173.146 0.0204798       0.342367\r
  78 E-45    5600.000000     25.000000       43.6312 172.732 0.020479        0.323029\r
  79 E-45    5700.000000     25.000000       43.6806 173.049 0.0204788       0.337586\r
  80 E-45    5800.000000     25.000000       43.6824 172.963 0.020479        0.333481\r
  81 E-45    5900.000000     25.000000       43.7113 173.297 0.0204802       0.349971\r
  82 E-45    6000.000000     25.000000       43.7205 173.148 0.0204895       0.342574\r
  83 E-45    6100.000000     25.000000       43.7476 172.862 0.0204867       0.328914\r
  84 E-45    6200.000000     25.000000       43.754  172.986 0.0204883       0.334713\r
  85 E-45    6300.000000     25.000000       43.7726 175.075 0.0204945       0.475477\r
  86 E-45    6400.000000     25.000000       43.7639 172.335 0.0205032       0.30674\r
  87 E-45    6500.000000     25.000000       43.741  175.167 0.0205075       0.48476\r
  88 E-45    6600.000000     25.000000       43.9255 172.985 0.0205214       0.335124\r
  89 E-45    6700.000000     25.000000       43.9542 172.691 0.0205211       0.321713\r
  90 E-45    6800.000000     25.000000       43.8107 171.976 0.020525        0.29341\r
  91 E-45    6900.000000     25.000000       43.7747 172.763 0.0205213       0.324997\r
  92 E-45    7000.000000     25.000000       43.8919 175.593 0.0205538       0.532366\r
  93 E-45    7100.000000     25.000000       43.9478 177.405 0.0205668       0.900589\r
  94 E-45    7200.000000     25.000000       43.9283 174.919 0.0205711       0.462592\r
  95 E-45    7300.000000     25.000000       43.8167 174.289 0.02059 0.412344\r
  96 E-45    7400.000000     25.000000       44.0111 176.511 0.0206127       0.673096\r
  97 E-45    7500.000000     25.000000       43.9692 173.061 0.020642        0.340703\r
  98 E-45    7600.000000     25.000000       43.927  175.907 0.0206934       0.576775\r
  99 E0      3000.000000     25.000000       3.40938 86.6679 10.5471 23.5288\r
 100 E0      3100.000000     25.000000       0.370768        0       0.906521        241015\r
 101 E0      3200.000000     25.000000       3.96827 83.309  2.74687 7.20423\r
 102 E0      3300.000000     25.000000       4.84396 90.5702 1.42845 2.86772\r
 103 E0      3400.000000     25.000000       3.53965 94.7909 1.26857 3.06881\r
 104 E0      3500.000000     25.000000       3.23344 94.2845 0.939664        2.25791\r
 105 E0      3600.000000     25.000000       4.21457 93.2763 0.521514        1.12129\r
 106 E0      3700.000000     25.000000       1.4899  98.7303 1.03799 6.28214\r
 107 E0      3800.000000     25.000000       1.68848 96.0871 0.633139        2.57253\r
 108 E0      3900.000000     25.000000       2.29985 97.2125 0.34685 1.28487\r
 109 E0      4000.000000     25.000000       2.17772 96.1722 0.309759        1.06893\r
 110 E0      4100.000000     25.000000       1.66133 99.5886 0.374572        2.25283\r
 111 E0      4200.000000     25.000000       1.60413 100.037 0.377754        2.43958\r
 112 E0      4300.000000     25.000000       1.5012  100.471 0.394181        2.80165\r
 113 E0      4400.000000     25.000000       2.51315 95.1241 0.234794        0.669713\r
 114 E0      4500.000000     25.000000       1.3191  100.988 0.435544        3.62144\r
 115 E0      4600.000000     25.000000       1.86855 96.0338 0.309804        1.16497\r
 116 E0      4700.000000     25.000000       0.971318        104.866 0.576039        8.39167\r
 117 E0      4800.000000     25.000000       1.98642 97.3477 0.291101        1.21369\r
 118 E0      4900.000000     25.000000       1.56485 97.8701 0.366726        1.94584\r
 119 E0      5000.000000     25.000000       1.94683 98.1878 0.296327        1.36747\r
 120 E0      5100.000000     25.000000       1.56991 99.2579 0.365124        2.23069\r
 121 E0      5200.000000     25.000000       1.97291 97.5068 0.292198        1.24505\r
 122 E0      5300.000000     25.000000       0.91727 104.445 0.60621 8.9908\r
 123 E0      5400.000000     25.000000       1.70028 99.1839 0.337636        1.91649\r
 124 E0      5500.000000     25.000000       1.99733 98.4163 0.288526        1.33497\r
 125 E0      5600.000000     25.000000       1.55605 99.949  0.367845        2.41802\r
 126 E0      5700.000000     25.000000       1.95354 97.8475 0.294821        1.31099\r
 127 E0      5800.000000     25.000000       1.67165 98.0025 0.343161        1.75193\r
 128 E0      5900.000000     25.000000       1.78095 98.2758 0.322682        1.61155\r
 129 E0      6000.000000     25.000000       1.86015 96.4896 0.30942 1.23107\r
 130 E0      6100.000000     25.000000       2.22521 97.6171 0.259599        1.02416\r
 131 E0      6200.000000     25.000000       2.0664  96.6735 0.279146        1.05296\r
 132 E0      6300.000000     25.000000       0.287746        180     0.0216443       9352.76\r
 133 E0      6400.000000     25.000000       0.308851        180     0.0219873       8717.58\r
 134 E0      6500.000000     25.000000       2.32003 94.7634 0.249421        0.71334\r
 135 E0      6600.000000     25.000000       1.00221 110.319 0.55962 10.9956\r
 136 E0      6700.000000     25.000000       0.157157        180     0.0457326       17146.7\r
 137 E0      6800.000000     25.000000       2.64901 95.6974 0.219077        0.642826\r
 138 E0      6900.000000     25.000000       2.58901 96.7032 0.224038        0.731823\r
 139 E0      7000.000000     25.000000       2.28494 94.1985 0.253753        0.688169\r
 140 E0      7100.000000     25.000000       2.36449 94.6693 0.245511        0.688852\r
 141 E0      7200.000000     25.000000       3.1344  92.3723 0.185978        0.398861\r
 142 E0      7300.000000     25.000000       3.2678  92.8633 0.178653        0.391053\r
 143 E0      7400.000000     25.000000       2.85299 96.5436 0.204505        0.622286\r
 144 E0      7500.000000     25.000000       1.31556 100.359 0.435736        3.43223\r
 145 E0      7600.000000     25.000000       1.5194  102.258 0.380421        3.10881\r
 146 E90     3000.000000     25.000000       7.54381 92.2274 4.04104 8.17721\r
 147 E90     3100.000000     25.000000       4.23913 95.4152 3.75331 8.92698\r
 148 E90     3200.000000     25.000000       4.54022 87.7531 2.02499 4.18006\r
 149 E90     3300.000000     25.000000       0.0699102       180     0.205438        385875\r
 150 E90     3400.000000     25.000000       2.24808 84.5133 1.67632 5.26945\r
 151 E90     3500.000000     25.000000       1.64515 84.5719 1.54002 5.85541\r
 152 E90     3600.000000     25.000000       0.321741        0       0.0659702       26925\r
 153 E90     3700.000000     25.000000       0.262095        0       0.0482149       23993.2\r
 154 E90     3800.000000     25.000000       0.572596        71.4643 1.51438 41.2273\r
 155 E90     3900.000000     25.000000       1.60554 82.429  0.458887        2.30782\r
 156 E90     4000.000000     25.000000       2.00955 85.2704 0.322738        0.99143\r
 157 E90     4100.000000     25.000000       1.58724 83.0606 0.383379        1.80901\r
 158 E90     4200.000000     25.000000       1.73697 83.3735 0.344639        1.4642\r
 159 E90     4300.000000     25.000000       1.30023 79.2897 0.448397        3.68302\r
 160 E90     4400.000000     25.000000       0.216651        5.62797 0.553289        269.997\r
 161 E90     4500.000000     25.000000       1.97624 85.8139 0.293617        0.851584\r
 162 E90     4600.000000     25.000000       1.13787 79.596  0.498093        4.45565\r
 163 E90     4700.000000     25.000000       1.32024 80.8974 0.431184        2.99864\r
 164 E90     4800.000000     25.000000       1.93336 83.1907 0.298506        1.19774\r
 165 E90     4900.000000     25.000000       1.44237 80.6403 0.396291        2.6255\r
 166 E90     5000.000000     25.000000       2.07528 84.3447 0.278106        0.934384\r
 167 E90     5100.000000     25.000000       0.25117 0       0.0206948       10711.6\r
 168 E90     5200.000000     25.000000       1.8897  85.4392 0.304537        0.948097\r
 169 E90     5300.000000     25.000000       1.52035 80.6645 0.376078        2.37813\r
 170 E90     5400.000000     25.000000       1.84064 82.9439 0.312339        1.33514\r
 171 E90     5500.000000     25.000000       1.70945 82.517  0.335601        1.59117\r
 172 E90     5600.000000     25.000000       1.89642 83.0059 0.3033  1.25956\r
 173 E90     5700.000000     25.000000       1.41745 80.5131 0.402166        2.73772\r
 174 E90     5800.000000     25.000000       1.78267 82.5398 0.322134        1.47491\r
 175 E90     5900.000000     25.000000       1.86329 82.687  0.308544        1.34427\r
 176 E90     6000.000000     25.000000       1.75586 82.5286 0.327018        1.5167\r
 177 E90     6100.000000     25.000000       1.93473 83.272  0.297454        1.1822\r
 178 E90     6200.000000     25.000000       1.7746  82.5061 0.323596        1.49225\r
 179 E90     6300.000000     25.000000       0.210697        0       0.0206373       12758.6\r
 180 E90     6400.000000     25.000000       0.920757        69.7564 0.603744        12.6785\r
 181 E90     6500.000000     25.000000       0.261106        0       0.0210861       10299.9\r
 182 E90     6600.000000     25.000000       0.289191        0       0.0204886       9302.91\r
 183 E90     6700.000000     25.000000       0.257214        0       0.0209087       10458.3\r
 184 E90     6800.000000     25.000000       0.295313        0       0.0210863       9109.26\r
 185 E90     6900.000000     25.000000       0.170452        0       0.0207217       15779\r
 186 E90     7000.000000     25.000000       0.760286        70.8622 0.717968        16.5343\r
 187 E90     7100.000000     25.000000       2.03941 80.2421 0.282992        1.45857\r
 188 E90     7200.000000     25.000000       0.981438        70.2142 0.570083        11.0817\r
 189 E90     7300.000000     25.000000       0.242833        0       0.0207835       11092.7\r
 190 E90     7400.000000     25.000000       2.23313 82.9493 0.259121        0.963769\r
 191 E90     7500.000000     25.000000       2.1666  86.3197 0.267091        0.700096\r
 192 E90     7600.000000     25.000000       0.262781        0       0.0205582       10273.1