research/ellipsometry/WVASE32/DAT/221209 debuginfo.rtf

   1 Tue Dec 22 10:28:01 2009
   2
   3 ***** About Box:
   4 WVASE32 Version 3.698
   5 Hardware Version 6.256
   6
   7 TCP/IP link:  Listening on Port 2000
   8 Path: C:\WVASE32\
   9 Current OS:  Win95  v 4.10,  Build 67766446
  10 *********************************************
  11
  12 ***** Hardware Version Info:
  13 WVASE32: hardware=[6.256-6.256], interface=[1.000-1.020], motor=[1.000-1.000]
  14 DLL: hardware=[6.256-6.256], interface=[1.000-1.000], motor=[1.000-1.000]
  15 *********************************************
  16
  17 ***** Enhanced Hardware Window Display:
  18 Hardware Initialized  & Calibrated
  19
  20 Angle of Incidence = 90.00,180.00° [0,-45.00,120.00] {-50.00,120.00}{30.00,200.00}
  21
  22 Monochromator = 1500 nm    Grating #3    Slit Width = 200 µm
  23 Filter = 3.25, shuttered=1,
  24
  25 Polarizer = 0.00°
  26
  27 Auto Retarder Present: X=-0.002, Y=0.001 (-6, 10)
  28
  29
  30 Mono: DetSwitchVUV = 2800.0, DetSwitch = 10500.0, DetSwitchExIR = 16500.0
  31 Mono: HaveList=3, ActiveList=3, CalList=3, CurMux=1, CurDetGroup=0, CurDetElement=1, CurCard=0
  32 Det:Main, Active=1, HaveList=3, DAS=0
  33      VIS: mux=0,  Offset(0.00) PhDC(-102.403)
  34      IR: mux=1,  Offset(0.00) PhDC(-105.430)
  35
  36 [Hardware] current=0(0), zone=1
  37 zone#1, 70.000, -20.000, 100.000
  38
  39
  40 DL_Update=1,Calib=0,Acquire=0,Align=0,Mono=0,Meas=0
  41 DL_Fit=0,File=0,Gen=0,Exp=0,Model=0
  42 *********************************************
  43
  44 ***** C:\WVASE32\hardware.cnf:
  45 [Hardware]
  46 Type=Spectroscopic
  47 Base=Vert
  48 AutoRetarder=yes
  49 IRDet=yes
  50 CalWvls=5000 11770
  51 ;CalConfig=30 40 60 4 50 180
  52 ;AlignPolarizer=0
  53 NoOverloadMsg=1
  54 ;next line was commented out - Tony
  55 ;diagnose=1
  56
  57 ;Computer Configuration
  58 Dash16BASE=768
  59 Dash16Clk=1
  60 DMA_Channel=3
  61 DMA_AllocSize=16
  62 IntrNum=5
  63 PIO24=784 136
  64 PIO24#2=800 139
  65
  66 ;Monochromator Configuration
  67 Monochromator=dk242
  68 DK242=1800 3700 2900 8400 7800 18000 1 2000 2000
  69 DKComPort=1 9600
  70 FilterWvls=4200 6000 10400
  71 solarblind=0 0
  72 HomeFilter=70
  73 IRDetSwitchWvl=10500
  74
  75 [Motors]
  76 Filter=100 .024 1 2
  77 Polarizer=200 .002 5 1500 80
  78 Sample=400 .005 5 1800
  79 Detector=400 .005 5 1800
  80 comp1=200 .005 4 1200 80
  81 comp2=200 .005 4 1200 80
  82 ;comp1=200 .02 1 800 80
  83 ;comp2=200 .02 1 800 80
  84 ;ComputerSpeed=3120761.000000
  85 ;ComputerSpeed=3071999.000000
  86 ;ComputerSpeed=3120761.000000
  87 ;Computerspeed4=4153690.000000
  88 ;Computerspeed4=7513681.000000
  89 ;Computerspeed5=37154267.000000
  90 Computerspeed5=37154267.000000
  91
  92
  93 [Retarder]
  94 ;Calibration=2070.20069 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0
  95 Calibration=2082.69800 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 6.47379 32.28361 0.00000 0.00000 -0.41653 0.43077 0.61764 0.00000
  96 motports=32 33 -1
  97 motports=34 35 -1
  98 limits1=40 42 1
  99 limits2=43 45 1
 100 range1=-13.378 14.000
 101 range2=-13.656 14.000
 102 OldCalibration=2100.944002 0.0 0.0 0.0 0.0 0.719739 0.014047 -2013.982171 -1072.769975
 103
 104 [Mono]
 105 Calibration11=0.0000 5000.0000 17.7177 5000.0000 17.7177
 106 Calibration12=0.0000 5000.0000 17.7177 5000.0000 17.7177
 107 Calibration21=0.0000 5000.0000 17.7303 5000.0000 17.7303
 108 Calibration22=0.0000 5000.0000 17.7303 5000.0000 17.7303
 109 Calibration31=0.0000 5000.0000 8.7545 5000.0000 8.7545
 110 Calibration32=0.0000 5000.0000 8.7545 5000.0000 8.7545
 111 *********************************************
 112
 113 ***** VaseCM32 Log:
 114 01/30/2009 16:29:21:000  Only one copy of WVASE32 can initialize the hardware!\r
 115 01/30/2009 16:29:21:050  Could Not Load vasecm32.dll. Error#1114=<A dynamic link library (DLL) initialization routine failed.  >\r
 116 01/30/2009 16:29:26:100  WVASE32 lost communication with remote hardware, ending data collection.\r
 117 01/30/2009 16:29:31:650  Error #0 in UTRegister()\r
 118 01/30/2009 16:29:31:650  HardComInit failure.  Hardware NOT intialized.\r
 119 01/30/2009 16:29:35:610  Error #0 in UTRegister()\r
 120 01/30/2009 16:29:35:610  HardComInit failure.  Hardware NOT intialized.\r
 121 02/25/2009 14:31:36:200  Only one copy of WVASE32 can initialize the hardware!\r
 122 02/25/2009 14:31:36:260  Could Not Load vasecm32.dll. Error#1114=<A dynamic link library (DLL) initialization routine failed.  >\r
 123 03/23/2009 14:43:51:440  Only one copy of WVASE32 can initialize the hardware!\r
 124 03/23/2009 14:43:51:440  Could Not Load vasecm32.dll. Error#1114=<A dynamic link library (DLL) initialization routine failed.  >\r
 125
 126 *********************************************
 127
 128 ***** Current Log:
 129 Fri Jul 17 12:17:40 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 130 Fri Jul 17 12:28:47 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.3189±0.0028  Attn=1.0114±0.0003  As=20.445±0.008  Psi=19.635±0.019  Del=81.972±0.018  <I>=11.441,  MSE=2.04 (1.19)  Synch=113.612±0.014 [113.584,113.644]  M1=0.0069±0.0022 [0.0043,0.011]\r
 131 Fri Jul 17 12:28:47 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.3189±0.0028  IrAttn=0.9696±0.0004  IrAs=18.126±0.010  IrPsi=7.882±0.003  IrDel=70.104±0.022  <I>=10.060  MSE=2.04 (1.19)  Synch=110.652±0.043 [110.570,110.714]  M1=0.0083±0.0023 [0.0025,0.012]\r
 132 Fri Jul 17 12:28:47 2009  Calib: MSE=2.036 (1.189)  AzOffset=0.005±0.003548  ElOffset=0.002±0.003052  DP=0.204±0.110\r
 133 Fri Jul 17 13:35:04 2009  VASE File c:\wvase32\dat\170709 cal wafer.dat  \r
 134 Fri Jul 17 14:03:00 2009  \r
 135 Fri Jul 17 14:03:00 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 136 Fri Jul 17 14:14:05 2009  Warning: Possible loss of data-stream synchronization detected.\r
 137 first(last),id=0(59), det#0(#0)  Was=113.612(113.612).  Is=92.173(92.166).  Wvl=5000.0(5000.0), Ang=75.00(75.00), DC=12.5062(12.3490), P=-29.68(30.32), X=0.00(0.00), Y=0.00(0.00)\r
 138 Fri Jul 17 14:14:07 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.3175±0.0028  Attn=1.0125±0.0003  As=20.429±0.009  Psi=19.522±0.020  Del=82.429±0.018  <I>=11.906,  MSE=2.08 (1.21)  Synch=92.168±0.012 [92.140,92.204]  M1=0.0076±0.0019 [0.0045,0.011]\r
 139 Fri Jul 17 14:14:07 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.3175±0.0028  IrAttn=0.9700±0.0004  IrAs=18.122±0.010  IrPsi=7.810±0.003  IrDel=70.139±0.023  <I>=10.290  MSE=2.08 (1.21)  Synch=89.143±0.042 [89.069,89.206]  M1=0.011±0.0026 [0.0059,0.015]\r
 140 Fri Jul 17 14:14:07 2009  Calib: MSE=2.082 (1.205)  AzOffset=0.003±0.003627  ElOffset=0.009±0.003148  DP=0.152±0.112\r
 141 Fri Jul 17 15:41:47 2009  VASE File c:\wvase32\dat\170709 au (10709) 2.34 a 20 mins.dat  \r
 142 Fri Jul 17 16:22:58 2009  RT File c:\wvase32\dat\170709 au (10709) 2.34 a 20 mins rt.dat  \r
 143 \r
 144 Mon Jul 20 12:27:27 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 145 \r
 146 Mon Jul 20 12:34:05 2009  \r
 147 Mon Jul 20 12:34:05 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 148 Mon Jul 20 12:45:13 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.3662±0.0062  Attn=1.0092±0.0007  As=158.758±0.019  Psi=19.792±0.042  Del=81.929±0.040  <I>=9.873,  MSE=4.52 (2.54)  Synch=41.637±0.025 [41.584,41.693]  M1=0.0058±0.0018 [0.0014,0.0086]\r
 149 Mon Jul 20 12:45:13 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.3662±0.0062  IrAttn=0.9690±0.0009  IrAs=156.331±0.023  IrPsi=8.051±0.008  IrDel=70.280±0.049  <I>=9.018  MSE=4.52 (2.54)  Synch=38.904±0.036 [38.818,38.961]  M1=0.0047±0.0018 [0.00073,0.0086]\r
 150 Mon Jul 20 12:45:13 2009  Calib: MSE=4.521 (2.541)  AzOffset=-0.009±0.007814  ElOffset=-0.011±0.006719  DP=0.299±0.246\r
 151 Mon Jul 20 15:54:03 2009  VASE File c:\wvase32\dat\200709 au 170709 2.67 a 15 mins.dat  \r
 152 Mon Jul 20 16:34:38 2009  RT File c:\wvase32\dat\200709 au 170709 2.67 a 15 mins rt.dat  \r
 153 \r
 154 Wed Jul 22 11:50:53 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 155 \r
 156 Wed Jul 22 12:01:11 2009  \r
 157 Wed Jul 22 12:01:11 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 158 Wed Jul 22 12:12:18 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.4080±0.0061  Attn=1.0091±0.0007  As=78.996±0.019  Psi=18.789±0.043  Del=83.769±0.038  <I>=9.586,  MSE=4.53 (2.53)  Synch=113.705±0.026 [113.647,113.766]  M1=0.0062±0.0015 [0.0024,0.0094]\r
 159 Wed Jul 22 12:12:19 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.4080±0.0061  IrAttn=0.9692±0.0009  IrAs=76.585±0.023  IrPsi=7.469±0.007  IrDel=69.906±0.051  <I>=9.083  MSE=4.53 (2.53)  Synch=110.718±0.208 [110.508,111.239]  M1=0.004±0.0015 [0.0012,0.007]\r
 160 Wed Jul 22 12:12:19 2009  Calib: MSE=4.534 (2.531)  AzOffset=-0.003±0.008015  ElOffset=-0.005±0.007132  DP=0.134±0.237\r
 161 Wed Jul 22 13:22:21 2009  VASE File c:\wvase32\dat\210709 calibration wafer.dat  \r
 162 \r
 163 Mon Jul 27 14:49:41 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 164 \r
 165 Mon Jul 27 14:55:27 2009  \r
 166 Mon Jul 27 14:55:27 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 167 Mon Jul 27 15:06:35 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.4504±0.0058  Attn=1.0092±0.0006  As=130.056±0.018  Psi=18.649±0.041  Del=84.026±0.036  <I>=10.457,  MSE=4.31 (2.45)  Synch=-174.277±0.027 [-174.337,-174.217]  M1=0.006±0.0021 [0.00077,0.0097]\r
 168 Mon Jul 27 15:06:35 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.4504±0.0058  IrAttn=0.9685±0.0008  IrAs=127.641±0.021  IrPsi=7.416±0.007  IrDel=69.861±0.049  <I>=9.493  MSE=4.31 (2.45)  Synch=-177.247±0.195 [-177.486,-176.536]  M1=0.0046±0.0014 [0.0018,0.0078]\r
 169 Mon Jul 27 15:06:35 2009  Calib: MSE=4.313 (2.450)  AzOffset=-0.007±0.007654  ElOffset=-0.004±0.006842  DP=0.201±0.224\r
 170 Mon Jul 27 15:18:20 2009  \r
 171 Mon Jul 27 15:18:20 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 172 Mon Jul 27 15:29:27 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.4533±0.0069  Attn=1.0104±0.0005  As=129.994±0.013  Psi=18.679±0.025  Del=83.983±0.026  <I>=1.102,  MSE=2.42 (2.72)  Synch=-174.156±0.070 [-174.253,-174.058]  M1=0.0018±0.00075 [0.00059,0.0047]\r
 173 Mon Jul 27 15:29:27 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.4533±0.0069  IrAttn=0.9679±0.0008  IrAs=127.596±0.016  IrPsi=7.429±0.011  IrDel=69.759±0.055  <I>=1.338  MSE=2.42 (2.72)  Synch=-177.078±0.143 [-177.277,-176.667]  M1=0.0095±0.0031 [0.0023,0.014]\r
 174 Mon Jul 27 15:29:28 2009  Calib: MSE=2.422 (2.715)  AzOffset=0.003±0.004669  ElOffset=-0.012±0.004169  DP=0.139±0.144\r
 175 Mon Jul 27 17:26:54 2009  VASE File c:\wvase32\dat\270709 au on si of 240709 align in.dat  \r
 176 \r
 177 Mon Aug 10 11:28:02 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 178 \r
 179 Mon Aug 10 11:45:23 2009  \r
 180 Mon Aug 10 11:45:23 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 181 Mon Aug 10 11:49:52 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 182 Mon Aug 10 11:49:55 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.5071±0.0056  Attn=1.0102±0.0002  As=42.627±0.006  Psi=18.761±0.018  Del=83.875±0.017  <I>=18.218,  MSE=1.49 (1.08)\r
 183 Mon Aug 10 11:49:56 2009  Coarse Calib: MSE=1.485 (1.080)  AzOffset=-0.010±0.003449  ElOffset=-0.013±0.003075\r
 184 Mon Aug 10 12:36:55 2009  \r
 185 Mon Aug 10 12:36:55 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 186 Mon Aug 10 12:48:03 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.5019±0.0029  Attn=1.0117±0.0003  As=42.451±0.009  Psi=18.736±0.021  Del=83.933±0.018  <I>=10.550,  MSE=2.2 (1.3)  Synch=-174.260±0.027 [-174.305,-174.213]  M1=0.0074±0.002 [0.0046,0.012]\r
 187 Mon Aug 10 12:48:03 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.5019±0.0029  IrAttn=0.9686±0.0004  IrAs=40.102±0.011  IrPsi=7.453±0.004  IrDel=69.862±0.025  <I>=9.724  MSE=2.2 (1.3)  Synch=-177.278±0.052 [-177.371,-177.170]  M1=0.01±0.0029 [0.0037,0.015]\r
 188 Mon Aug 10 12:48:03 2009  Calib: MSE=2.201 (1.298)  AzOffset=-0.005±0.003902  ElOffset=0.007±0.003483  DP=0.164±0.115\r
 189 Mon Aug 10 14:08:14 2009  VASE File c:\wvase32\dat\100809 new glass slide.dat  \r
 190 Mon Aug 10 15:31:03 2009  RT File c:\wvase32\dat\100809 new glass slide rt.dat  \r
 191 \r
 192 Tue Aug 11 11:42:18 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 193 \r
 194 Tue Aug 11 11:55:11 2009  \r
 195 Tue Aug 11 11:55:11 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 196 Tue Aug 11 12:06:17 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.5407±0.0031  Attn=1.0097±0.0003  As=87.168±0.009  Psi=18.729±0.022  Del=83.934±0.019  <I>=9.821,  MSE=2.3 (1.37)  Synch=-30.590±0.060 [-30.688,-30.471]  M1=0.006±0.0022 [0.003,0.01]\r
 197 Tue Aug 11 12:06:17 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.5407±0.0031  IrAttn=0.9685±0.0004  IrAs=84.761±0.011  IrPsi=7.446±0.004  IrDel=69.936±0.026  <I>=9.194  MSE=2.3 (1.37)  Synch=-33.333±0.048 [-33.421,-33.254]  M1=0.0057±0.0018 [0.0022,0.0097]\r
 198 Tue Aug 11 12:06:17 2009  Calib: MSE=2.302 (1.368)  AzOffset=0.000±0.004077  ElOffset=0.007±0.003639  DP=0.223±0.120\r
 199 Tue Aug 11 13:27:54 2009  VASE File c:\wvase32\dat\110809 310709 au on si.dat  \r
 200 \r
 201 Mon Aug 17 12:51:10 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 202 \r
 203 Mon Aug 17 13:27:51 2009  \r
 204 Mon Aug 17 13:27:51 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 205 Mon Aug 17 13:38:59 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.5847±0.0038  Attn=1.0102±0.0004  As=11.546±0.012  Psi=18.720±0.027  Del=83.912±0.023  <I>=9.776,  MSE=2.82 (1.63)  Synch=41.635±0.056 [41.565,41.898]  M1=0.0072±0.0025 [0.0038,0.012]\r
 206 Mon Aug 17 13:38:59 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.5847±0.0038  IrAttn=0.9688±0.0005  IrAs=9.177±0.014  IrPsi=7.447±0.005  IrDel=69.740±0.032  <I>=9.222  MSE=2.82 (1.63)  Synch=38.697±0.037 [38.621,38.789]  M1=0.0089±0.002 [0.0041,0.013]\r
 207 Mon Aug 17 13:38:59 2009  Calib: MSE=2.817 (1.631)  AzOffset=0.005±0.004993  ElOffset=0.008±0.004455  DP=0.192±0.147\r
 208 Mon Aug 17 15:36:01 2009  VASE File c:\wvase32\dat\170809 old type of glass slide.dat  \r
 209 Mon Aug 17 16:58:04 2009  VASE File c:\wvase32\dat\170809 old type of glass slide roughened.dat  \r
 210 \r
 211 Tue Aug 18 09:52:57 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 212 \r
 213 Tue Aug 18 12:29:24 2009  \r
 214 Tue Aug 18 12:29:24 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 215 Tue Aug 18 12:40:31 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.6207±0.0066  Attn=1.0108±0.0005  As=167.028±0.013  Psi=19.177±0.024  Del=83.159±0.026  <I>=1.011,  MSE=2.27 (3)  Synch=-102.315±0.043 [-102.491,-102.203]  M1=0.0025±0.0013 [0.00028,0.0067]\r
 216 Tue Aug 18 12:40:31 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.6207±0.0066  IrAttn=0.9686±0.0008  IrAs=164.652±0.016  IrPsi=7.792±0.010  IrDel=69.856±0.051  <I>=1.296  MSE=2.27 (3)  Synch=-105.305±0.088 [-105.550,-105.088]  M1=0.0097±0.0044 [0.0013,0.02]\r
 217 Tue Aug 18 12:40:31 2009  Calib: MSE=2.274 (2.997)  AzOffset=-0.011±0.004404  ElOffset=0.000±0.003869  DP=0.270±0.141\r
 218 Tue Aug 18 13:59:09 2009  VASE File c:\wvase32\dat\170809 170709 au on glass 2.67 a 15 mins back roughened align in.dat  \r
 219 Tue Aug 18 16:54:50 2009  \r
 220 Tue Aug 18 16:54:50 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 221 Tue Aug 18 17:05:57 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.6236±0.0078  Attn=1.0114±0.0006  As=166.965±0.015  Psi=18.994±0.029  Del=83.373±0.030  <I>=1.087,  MSE=2.76 (3.73)  Synch=-102.318±0.023 [-102.371,-102.273]  M1=0.0019±0.00076 [0.00017,0.0035]\r
 222 Tue Aug 18 17:05:58 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.6236±0.0078  IrAttn=0.9685±0.0009  IrAs=164.601±0.018  IrPsi=7.675±0.012  IrDel=69.776±0.061  <I>=1.363  MSE=2.76 (3.73)  Synch=-105.398±0.047 [-105.561,-105.284]  M1=0.0065±0.0026 [0.0012,0.017]\r
 223 Tue Aug 18 17:05:58 2009  Calib: MSE=2.762 (3.728)  AzOffset=-0.003±0.005311  ElOffset=0.007±0.004686  DP=0.259±0.167\r
 224 Tue Aug 18 18:11:49 2009  VASE File c:\wvase32\dat\170809 170709 au on glass 2.634a 20 mins back roughened align in.dat  \r
 225 Thu Sep 03 10:51:41 2009  Initializing Error:  User Canceled Initialization.\r
 226 Thu Sep 03 10:51:49 2009  Initializing Error:  MonoInitWait() DK\r
 227 Thu Sep 03 10:51:51 2009  SendMonoCmd Error:  Monochromator Command Return Failed 31. DK\r
 228 Thu Sep 03 10:52:53 2009  GetMonoStatus Error:  Mono Return Failed 27. rtn=1. DK\r
 229 Thu Sep 03 10:52:53 2009  d=01 cmd=255 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 \r
 230 Thu Sep 03 10:52:53 2009  MonoCheck Error:  Monochromator Communication Failed. DK\r
 231 Thu Sep 03 10:52:53 2009  Could Not Adjust Slit Width. DK\r
 232 Thu Sep 03 10:55:05 2009  Could not initialize ComPort for DK Monochromator.\r
 233 Thu Sep 03 10:55:06 2009  SendMonoCmd Error:  Monochromator Command Return Failed 31. DK\r
 234 Thu Sep 03 10:55:44 2009  GetMonoStatus Error:  Mono Return Failed 27. rtn=1. DK\r
 235 Thu Sep 03 10:55:44 2009  d=01 cmd=27 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 \r
 236 Thu Sep 03 10:55:44 2009  MonoCheck Error:  Monochromator Communication Failed. DK\r
 237 Thu Sep 03 10:55:44 2009  Could Not Adjust Slit Width. DK\r
 238 \r
 239 Thu Sep 03 11:02:58 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 240 \r
 241 Thu Sep 03 11:30:00 2009  \r
 242 Thu Sep 03 11:30:00 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 243 Thu Sep 03 11:34:30 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 244 Thu Sep 03 11:34:33 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.6743±0.0091  Attn=1.0094±0.0003  As=179.971±0.009  Psi=19.147±0.029  Del=83.115±0.027  <I>=13.539,  MSE=2.37 (1.77)\r
 245 Thu Sep 03 11:34:33 2009  Coarse Calib: MSE=2.367 (1.773)  AzOffset=-0.012±0.005463  ElOffset=0.002±0.004800\r
 246 Thu Sep 03 11:47:55 2009  \r
 247 Thu Sep 03 11:47:55 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 248 Thu Sep 03 11:57:14 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.6698±0.0044  Attn=1.0102±0.0005  As=0.001±0.013  Psi=19.141±0.030  Del=83.142±0.027  <I>=7.802,  MSE=3.2 (1.91)  Synch=97.264±0.015 [97.225,97.288]  M1=0.0015±0.00084 [0.00014,0.0031]\r
 249 Thu Sep 03 11:57:14 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.6698±0.0044  IrAttn=0.9679±0.0006  IrAs=177.556±0.016  IrPsi=7.697±0.005  IrDel=69.967±0.036  <I>=8.595  MSE=3.2 (1.91)  Synch=94.894±0.178 [94.654,95.390]  M1=0.028±0.0076 [0.011,0.037]\r
 250 Thu Sep 03 11:57:15 2009  Calib: MSE=3.204 (1.907)  AzOffset=0.008±0.005623  ElOffset=0.011±0.004946  DP=0.186±0.170\r
 251 Thu Sep 03 13:46:45 2009  VASE File c:\wvase32\dat\030909 si-sergey ss.dat  \r
 252 Thu Sep 03 15:42:01 2009  VASE File c:\wvase32\dat\030909 si+multilayers-sergey ss.dat  \r
 253 \r
 254 Tue Sep 22 08:52:23 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 255 \r
 256 Tue Sep 22 09:13:07 2009  \r
 257 Tue Sep 22 09:13:07 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 258 Tue Sep 22 09:17:36 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 259 Tue Sep 22 09:17:39 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.7109±0.0073  Attn=1.0096±0.0003  As=25.562±0.007  Psi=20.147±0.023  Del=81.368±0.023  <I>=14.646,  MSE=1.89 (1.38)\r
 260 Tue Sep 22 09:17:40 2009  Coarse Calib: MSE=1.891 (1.378)  AzOffset=0.015±0.004258  ElOffset=0.010±0.003622\r
 261 Tue Sep 22 10:08:10 2009  \r
 262 Tue Sep 22 10:08:10 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 263 Tue Sep 22 10:17:45 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.7124±0.0037  Attn=1.0108±0.0004  As=25.496±0.011  Psi=20.073±0.024  Del=81.525±0.024  <I>=8.761,  MSE=2.64 (1.57)  Synch=-29.770±0.024 [-29.852,-29.736]  M1=0.0016±0.00047 [0.00064,0.0026]\r
 264 Tue Sep 22 10:17:46 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.7124±0.0037  IrAttn=0.9681±0.0005  IrAs=23.119±0.014  IrPsi=8.062±0.004  IrDel=70.417±0.029  <I>=9.163  MSE=2.64 (1.57)  Synch=-32.853±0.032 [-32.915,-32.803]  M1=0.019±0.0052 [0.0072,0.026]\r
 265 Tue Sep 22 10:17:46 2009  Calib: MSE=2.644 (1.571)  AzOffset=-0.004±0.004545  ElOffset=-0.001±0.003878  DP=0.164±0.146\r
 266 Tue Sep 22 12:29:47 2009  VASE File c:\wvase32\dat\220909 500z30 ss.dat  \r
 267 Tue Sep 22 17:25:47 2009  RT File c:\wvase32\dat\220909 500z30 rt.dat  \r
 268 \r
 269 Tue Oct 27 09:53:48 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 270 \r
 271 Tue Oct 27 10:40:40 2009  \r
 272 Tue Oct 27 10:40:40 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 273 Tue Oct 27 10:45:10 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 274 Tue Oct 27 10:45:12 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.7441±0.0105  Attn=1.0113±0.0004  As=128.222±0.010  Psi=19.411±0.032  Del=82.643±0.031  <I>=10.559,  MSE=2.63 (1.98)\r
 275 Tue Oct 27 10:45:13 2009  Coarse Calib: MSE=2.627 (1.977)  AzOffset=-0.020±0.006065  ElOffset=-0.024±0.005286\r
 276 Tue Oct 27 10:55:16 2009  \r
 277 Tue Oct 27 10:55:16 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 278 Tue Oct 27 11:04:37 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.7498±0.0060  Attn=1.0119±0.0007  As=128.194±0.018  Psi=19.346±0.040  Del=82.563±0.037  <I>=6.208,  MSE=4.22 (2.44)  Synch=-47.005±0.019 [-47.070,-46.972]  M1=0.0014±0.00068 [0.00022,0.0032]\r
 279 Tue Oct 27 11:04:38 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.7498±0.0060  IrAttn=0.9685±0.0008  IrAs=125.864±0.022  IrPsi=7.818±0.007  IrDel=70.281±0.048  <I>=7.346  MSE=4.22 (2.44)  Synch=-49.708±0.042 [-49.777,-49.648]  M1=0.023±0.0056 [0.0073,0.029]\r
 280 Tue Oct 27 11:04:38 2009  Calib: MSE=4.225 (2.437)  AzOffset=0.007±0.007435  ElOffset=-0.020±0.006474  DP=0.838±0.226\r
 281 Tue Oct 27 13:53:59 2009  VASE File c:\wvase32\dat\271009 500z30 ss.dat  \r
 282 Tue Oct 27 15:09:44 2009  RT File c:\wvase32\dat\271009 500z30 rt.dat  \r
 283 \r
 284 Wed Oct 28 10:31:15 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 285 \r
 286 Wed Oct 28 10:43:46 2009  \r
 287 Wed Oct 28 10:43:46 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 288 Wed Oct 28 10:54:54 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.7973±0.0040  Attn=1.0105±0.0004  As=111.491±0.012  Psi=19.886±0.026  Del=81.840±0.025  <I>=6.063,  MSE=2.77 (1.67)  Synch=96.795±0.046 [96.716,96.894]  M1=0.0017±0.00048 [0.00082,0.0031]\r
 289 Wed Oct 28 10:54:54 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.7973±0.0040  IrAttn=0.9683±0.0005  IrAs=109.054±0.014  IrPsi=7.992±0.005  IrDel=70.246±0.031  <I>=7.266  MSE=2.77 (1.67)  Synch=94.164±0.043 [94.098,94.265]  M1=0.027±0.0059 [0.014,0.035]\r
 290 Wed Oct 28 10:54:54 2009  Calib: MSE=2.766 (1.670)  AzOffset=0.014±0.004777  ElOffset=0.016±0.004101  DP=0.098±0.152\r
 291 Wed Oct 28 11:41:01 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka.dat  \r
 292 Wed Oct 28 11:42:29 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka1.dat  \r
 293 Wed Oct 28 11:56:27 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka1.dat  \r
 294 Wed Oct 28 13:48:54 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka2pol.dat  \r
 295 Wed Oct 28 14:19:28 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka3.dat  \r
 296 Wed Oct 28 14:24:06 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka468filter.dat  \r
 297 Wed Oct 28 15:28:03 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka468filter.dat  \r
 298 Wed Oct 28 15:42:05 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka468filter2.dat  \r
 299 Wed Oct 28 15:46:57 2009  RT File c:\wvase32\dat\281009luka468filter3.dat  \r
 300 \r
 301 Thu Oct 29 09:17:01 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 302 \r
 303 Thu Oct 29 09:26:39 2009  \r
 304 Thu Oct 29 09:26:39 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 305 Thu Oct 29 09:31:09 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 306 Thu Oct 29 09:31:12 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.8361±0.0073  Attn=1.0097±0.0003  As=129.198±0.007  Psi=19.889±0.022  Del=81.923±0.022  <I>=11.554,  MSE=1.85 (1.38)\r
 307 Thu Oct 29 09:31:12 2009  Coarse Calib: MSE=1.853 (1.375)  AzOffset=0.006±0.004208  ElOffset=0.007±0.003617\r
 308 Thu Oct 29 11:00:24 2009  \r
 309 Thu Oct 29 11:00:24 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 310 Thu Oct 29 11:04:55 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 311 Thu Oct 29 11:04:57 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.8331±0.0067  Attn=1.0116±0.0003  As=128.970±0.007  Psi=19.888±0.021  Del=81.967±0.020  <I>=12.730,  MSE=1.71 (1.26)\r
 312 Thu Oct 29 11:04:57 2009  Coarse Calib: MSE=1.709 (1.261)  AzOffset=0.002±0.003878  ElOffset=0.010±0.003337\r
 313 Thu Oct 29 11:18:08 2009  \r
 314 Thu Oct 29 11:18:08 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 315 Thu Oct 29 11:27:29 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.8336±0.0034  Attn=1.0118±0.0004  As=128.985±0.010  Psi=19.878±0.023  Del=81.998±0.022  <I>=7.571,  MSE=2.49 (1.46)  Synch=-29.270±0.021 [-29.312,-29.235]  M1=0.0018±0.00081 [0.00037,0.003]\r
 316 Thu Oct 29 11:27:29 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.8336±0.0034  IrAttn=0.9689±0.0005  IrAs=126.640±0.013  IrPsi=7.979±0.004  IrDel=70.415±0.027  <I>=8.758  MSE=2.49 (1.46)  Synch=-32.356±0.048 [-32.450,-32.294]  M1=0.027±0.0075 [0.0083,0.035]\r
 317 Thu Oct 29 11:27:29 2009  Calib: MSE=2.486 (1.455)  AzOffset=-0.002±0.004291  ElOffset=0.001±0.003694  DP=0.191±0.136\r
 318 Thu Oct 29 12:37:45 2009  RT File c:\wvase32\dat\291009 500z30 repeat.dat  \r
 319 Thu Oct 29 14:22:31 2009  VASE File c:\wvase32\dat\291009 500z30 repeat ss.dat  \r
 320 \r
 321 Fri Oct 30 09:23:01 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 322 \r
 323 Fri Oct 30 09:30:24 2009  \r
 324 Fri Oct 30 09:30:24 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 325 Fri Oct 30 09:41:31 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.8775±0.0053  Attn=1.0100±0.0006  As=100.866±0.016  Psi=20.053±0.035  Del=81.573±0.034  <I>=7.406,  MSE=3.81 (2.17)  Synch=-30.129±0.165 [-30.312,-29.684]  M1=0.0015±0.00074 [0.00026,0.003]\r
 326 Fri Oct 30 09:41:31 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.8775±0.0053  IrAttn=0.9681±0.0007  IrAs=98.439±0.020  IrPsi=8.070±0.006  IrDel=70.412±0.041  <I>=8.748  MSE=3.81 (2.17)  Synch=-33.244±0.045 [-33.328,-33.166]  M1=0.025±0.0065 [0.011,0.034]\r
 327 Fri Oct 30 09:41:31 2009  Calib: MSE=3.815 (2.170)  AzOffset=0.012±0.006561  ElOffset=0.006±0.005603  DP=0.313±0.210\r
 328 Fri Oct 30 10:21:56 2009  RT File c:\wvase32\dat\301009 baseline500z30mg15.dat  \r
 329 Fri Oct 30 11:41:56 2009  RT File c:\wvase32\dat\301009 baseline500z30mg15.dat  \r
 330 Fri Oct 30 12:18:53 2009  RT File c:\wvase32\dat\301009 500z30mg15 rt.dat  \r
 331 Fri Oct 30 13:18:44 2009  VASE File c:\wvase32\dat\301009 500z30mg15 ss.dat  \r
 332 \r
 333 Thu Nov 05 14:41:36 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 334 \r
 335 \r
 336 Mon Nov 09 10:47:42 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 337 \r
 338 Mon Nov 09 10:55:38 2009  \r
 339 Mon Nov 09 10:55:38 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 340 Mon Nov 09 11:00:07 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 341 Mon Nov 09 11:00:11 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.9149±0.0070  Attn=1.0109±0.0003  As=99.555±0.007  Psi=20.454±0.021  Del=81.066±0.022  <I>=15.427,  MSE=1.8 (1.32)\r
 342 Mon Nov 09 11:00:11 2009  Coarse Calib: MSE=1.801 (1.315)  AzOffset=0.012±0.004023  ElOffset=0.004±0.003404\r
 343 Mon Nov 09 11:03:14 2009  \r
 344 Mon Nov 09 11:03:14 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 345 Mon Nov 09 11:12:35 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.9191±0.0038  Attn=1.0113±0.0004  As=99.541±0.011  Psi=20.452±0.025  Del=81.078±0.025  <I>=9.206,  MSE=2.76 (1.57)  Synch=167.832±0.020 [167.797,167.866]  M1=0.0043±0.00078 [0.0025,0.0056]\r
 346 Mon Nov 09 11:12:35 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.9191±0.0038  IrAttn=0.9685±0.0005  IrAs=97.153±0.014  IrPsi=8.274±0.005  IrDel=70.634±0.029  <I>=9.703  MSE=2.76 (1.57)  Synch=165.160±0.044 [165.082,165.236]  M1=0.026±0.0053 [0.014,0.033]\r
 347 Mon Nov 09 11:12:35 2009  Calib: MSE=2.763 (1.569)  AzOffset=-0.002±0.004701  ElOffset=-0.000±0.003979  DP=0.186±0.155\r
 348 Mon Nov 09 12:04:08 2009  RT File c:\wvase32\dat\071109 baseline.dat  \r
 349 Mon Nov 09 12:51:56 2009  RT File c:\wvase32\dat\071109 500z30mg16 trans.dat  \r
 350 Mon Nov 09 15:00:01 2009  VASE File c:\wvase32\dat\071109 500z30mg16 ss.dat  \r
 351 \r
 352 Fri Nov 13 10:11:37 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 353 \r
 354 Fri Nov 13 10:21:55 2009  \r
 355 Fri Nov 13 10:21:55 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 356 Fri Nov 13 10:26:24 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 357 Fri Nov 13 10:26:27 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.9625±0.0072  Attn=1.0108±0.0003  As=138.278±0.007  Psi=21.400±0.021  Del=79.625±0.023  <I>=13.154,  MSE=1.81 (1.33)\r
 358 Fri Nov 13 10:26:27 2009  Coarse Calib: MSE=1.812 (1.328)  AzOffset=-0.013±0.003975  ElOffset=-0.001±0.003274\r
 359 Fri Nov 13 10:44:30 2009  \r
 360 Fri Nov 13 10:44:30 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 361 Fri Nov 13 10:53:50 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=0.9618±0.0037  Attn=1.0121±0.0004  As=138.173±0.011  Psi=21.378±0.023  Del=79.645±0.025  <I>=8.355,  MSE=2.59 (1.48)  Synch=-30.096±0.023 [-30.137,-30.045]  M1=0.0015±0.00043 [0.00064,0.0024]\r
 362 Fri Nov 13 10:53:50 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=0.9618±0.0037  IrAttn=0.9688±0.0005  IrAs=135.814±0.014  IrPsi=8.711±0.004  IrDel=70.889±0.027  <I>=9.822  MSE=2.59 (1.48)  Synch=-33.179±0.040 [-33.253,-33.116]  M1=0.025±0.0061 [0.013,0.033]\r
 363 Fri Nov 13 10:53:50 2009  Calib: MSE=2.590 (1.482)  AzOffset=0.002±0.004328  ElOffset=-0.009±0.003568  DP=0.149±0.150\r
 364 Fri Nov 13 16:41:57 2009  VASE File c:\wvase32\dat\131109 500z30 ss slightly anisotropic.dat  \r
 365 \r
 366 Fri Nov 20 12:18:43 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 367 \r
 368 \r
 369 Tue Nov 24 09:46:28 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 370 \r
 371 Tue Nov 24 09:52:02 2009  \r
 372 Tue Nov 24 09:52:02 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=80.000, t=0, d=3\r
 373 Tue Nov 24 09:56:30 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 374 Tue Nov 24 09:56:34 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=1.0145±0.0157  Attn=1.0116±0.0004  As=0.591±0.013  Psi=25.314±0.019  Del=48.784±0.063  <I>=1.649,  MSE=1.68 (1.99)\r
 375 Tue Nov 24 09:56:34 2009  Coarse Calib: MSE=1.678 (1.991)  AzOffset=0.023±0.008030  ElOffset=-0.010±0.003429\r
 376 Tue Nov 24 11:12:54 2009  \r
 377 Tue Nov 24 11:12:54 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=80.000, t=1, d=3\r
 378 Tue Nov 24 11:22:28 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=1.0087±0.0100  Attn=1.0126±0.0005  As=0.455±0.016  Psi=25.258±0.017  Del=48.663±0.055  <I>=1.178,  MSE=2.35 (1.74)  Synch=-173.958±0.022 [-174.004,-173.919]  M1=0.0019±0.00088 [5.4e-005,0.0036]\r
 379 Tue Nov 24 11:22:28 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=1.0087±0.0100  IrAttn=0.9690±0.0007  IrAs=178.148±0.022  IrPsi=16.699±0.006  IrDel=26.936±0.093  <I>=2.160  MSE=2.35 (1.74)  Synch=-177.319±0.050 [-177.430,-177.243]  M1=0.019±0.0073 [0.0094,0.031]\r
 380 Tue Nov 24 11:22:28 2009  Calib: MSE=2.345 (1.745)  AzOffset=-0.002±0.006935  ElOffset=0.015±0.002976  DP=0.235±0.142\r
 381 Tue Nov 24 16:28:55 2009  VASE File c:\wvase32\dat\241109 ss 500z30 high anisotropy.dat  \r
 382 \r
 383 Mon Dec 14 14:43:56 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 384 \r
 385 \r
 386 Mon Dec 14 14:55:46 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 387 \r
 388 Mon Dec 14 15:04:29 2009  \r
 389 Mon Dec 14 15:04:29 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 390 Mon Dec 14 15:15:37 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=1.0101±0.0041  Attn=1.0123±0.0005  As=26.962±0.012  Psi=19.195±0.028  Del=83.102±0.026  <I>=7.146,  MSE=2.98 (1.72)  Synch=-46.293±0.146 [-46.447,-45.826]  M1=0.005±0.0012 [0.0031,0.0085]\r
 391 Mon Dec 14 15:15:38 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=1.0101±0.0041  IrAttn=0.9699±0.0006  IrAs=24.653±0.015  IrPsi=7.697±0.005  IrDel=70.293±0.034  <I>=8.109  MSE=2.98 (1.72)  Synch=-49.415±0.051 [-49.526,-49.353]  M1=0.04±0.009 [0.021,0.052]\r
 392 Mon Dec 14 15:15:38 2009  Calib: MSE=2.983 (1.724)  AzOffset=-0.013±0.005239  ElOffset=0.008±0.004602  DP=0.162±0.159\r
 393 Mon Dec 21 10:18:59 2009  Initializing Error:  Could not establish communication with the DK monochromator.\r
 394 Mon Dec 21 10:19:23 2009  Initializing Error:  MonoInitWait() DK\r
 395 Mon Dec 21 10:19:44 2009  SendMonoCmd Error:  Monochromator Command Return Failed 31. DK\r
 396 Mon Dec 21 10:20:20 2009  GetMonoStatus Error:  Mono Return Failed 27. rtn=1. DK\r
 397 Mon Dec 21 10:20:20 2009  d=01 cmd=255 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 \r
 398 Mon Dec 21 10:20:20 2009  MonoCheck Error:  Monochromator Communication Failed. DK\r
 399 Mon Dec 21 10:20:20 2009  Could Not Adjust Slit Width. DK\r
 400 Mon Dec 21 10:20:54 2009  Could not initialize ComPort for DK Monochromator.\r
 401 Mon Dec 21 10:20:55 2009  SendMonoCmd Error:  Monochromator Command Return Failed 31. DK\r
 402 Mon Dec 21 10:21:31 2009  GetMonoStatus Error:  Mono Return Failed 27. rtn=1. DK\r
 403 Mon Dec 21 10:21:31 2009  d=01 cmd=27 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 \r
 404 Mon Dec 21 10:21:31 2009  MonoCheck Error:  Monochromator Communication Failed. DK\r
 405 Mon Dec 21 10:21:31 2009  Could Not Adjust Slit Width. DK\r
 406 Mon Dec 21 10:21:38 2009  Could not initialize ComPort for DK Monochromator.\r
 407 Mon Dec 21 10:21:40 2009  SendMonoCmd Error:  Monochromator Command Return Failed 31. DK\r
 408 Mon Dec 21 10:22:15 2009  GetMonoStatus Error:  Mono Return Failed 27. rtn=1. DK\r
 409 Mon Dec 21 10:22:15 2009  d=01 cmd=27 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 \r
 410 Mon Dec 21 10:22:15 2009  MonoCheck Error:  Monochromator Communication Failed. DK\r
 411 Mon Dec 21 10:22:15 2009  Could Not Adjust Slit Width. DK\r
 412 Mon Dec 21 10:22:37 2009  Could not initialize ComPort for DK Monochromator.\r
 413 Mon Dec 21 10:22:39 2009  SendMonoCmd Error:  Monochromator Command Return Failed 31. DK\r
 414 Mon Dec 21 10:23:14 2009  GetMonoStatus Error:  Mono Return Failed 27. rtn=1. DK\r
 415 Mon Dec 21 10:23:14 2009  d=01 cmd=27 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 \r
 416 Mon Dec 21 10:23:14 2009  MonoCheck Error:  Monochromator Communication Failed. DK\r
 417 Mon Dec 21 10:23:14 2009  Could Not Adjust Slit Width. DK\r
 418 \r
 419 Mon Dec 21 10:28:00 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 420 \r
 421 Mon Dec 21 10:48:45 2009  \r
 422 Mon Dec 21 10:48:45 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 423 Mon Dec 21 10:53:15 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 424 Mon Dec 21 10:53:17 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=1.0766±0.0573  Attn=1.0109±0.0009  As=179.522±0.025  Psi=4.782±0.055  Del=151.070±1.180  <I>=10.715,  MSE=7.03 (5.46)\r
 425 Mon Dec 21 10:53:18 2009  Coarse Calib: MSE=7.025 (5.464)  AzOffset=-0.028±0.055685  ElOffset=0.084±0.197437\r
 426 Mon Dec 21 11:30:10 2009  \r
 427 Mon Dec 21 11:30:10 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 428 Mon Dec 21 11:39:46 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=1.0668±0.0037  Attn=1.0120±0.0002  As=179.380±0.005  Psi=4.772±0.008  Del=151.579±0.188  <I>=5.217,  MSE=1.48 (4.06)  Synch=41.743±0.056 [41.671,41.958]  M1=0.0024±0.00081 [0.00034,0.0061]\r
 429 Mon Dec 21 11:39:47 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=1.0668±0.0037  IrAttn=0.9689±0.0002  IrAs=177.097±0.006  IrPsi=1.863±0.004  IrDel=22.989±0.291  <I>=7.298  MSE=1.48 (4.06)  Synch=38.595±0.124 [38.116,39.046]  M1=0.028±0.0031 [0.018,0.04]\r
 430 Mon Dec 21 11:39:47 2009  Calib: MSE=1.479 (4.062)  AzOffset=-0.039±0.008908  ElOffset=0.057±0.029388  DP=0.007±0.011\r
 431 Mon Dec 21 14:12:54 2009  VASE File c:\wvase32\dat\211209 500z30 cu 0.05.dat  \r
 432 Mon Dec 21 15:40:06 2009  RT File c:\wvase32\dat\211209 500z30 cu 005 rt.dat  \r
 433 \r
 434 Tue Dec 22 09:21:19 2009  Init User: alex (v3.698, 6.256 DLL)\r
 435 \r
 436 Tue Dec 22 09:28:23 2009  \r
 437 Tue Dec 22 09:28:23 2009  Calib: rvs=5, pts=100, span=180.0, aoi=75.000, t=0, d=3\r
 438 Tue Dec 22 09:32:53 2009  Calib: Coarse Calibration was successful.  A Fine Calibration must be performed before ellipsometric data acquisition.\r
 439 Tue Dec 22 09:32:56 2009  Coarse Calib: Wvl1=5000.0  Ps=1.1127±0.0104  Attn=1.0105±0.0002  As=119.933±0.005  Psi=4.725±0.010  Del=152.048±0.218  <I>=11.265,  MSE=1.29 (1.98)\r
 440 Tue Dec 22 09:32:56 2009  Coarse Calib: MSE=1.294 (1.976)  AzOffset=0.001±0.010521  ElOffset=0.015±0.036642\r
 441 Tue Dec 22 09:34:45 2009  \r
 442 Tue Dec 22 09:34:45 2009  Calib: rvs=30, pts=60, span=60.0, aoi=75.000, t=1, d=3\r
 443 Tue Dec 22 09:44:07 2009  Calib: Wvl1=5000.0  Ps=1.1248±0.0031  Attn=1.0105±0.0002  As=119.867±0.004  Psi=4.724±0.007  Del=152.180±0.158  <I>=5.210,  MSE=1.23 (3.19)  Synch=-102.403±0.065 [-102.522,-102.134]  M1=0.0019±0.00097 [0.00073,0.007]\r
 444 Tue Dec 22 09:44:07 2009  Calib: Wvl2=11770.0  Ps=1.1248±0.0031  IrAttn=0.9685±0.0002  IrAs=117.541±0.005  IrPsi=1.867±0.003  IrDel=22.344±0.256  <I>=7.048  MSE=1.23 (3.19)  Synch=-105.430±0.103 [-105.546,-104.917]  M1=0.032±0.0047 [0.009,0.036]\r
 445 Tue Dec 22 09:44:08 2009  Calib: MSE=1.232 (3.191)  AzOffset=-0.028±0.007543  ElOffset=0.049±0.025361  DP=0.005±0.009\r
 446 Tue Dec 22 10:03:06 2009  RT File c:\wvase32\dat\221209 base 2000micron slit.dat  \r
 447 Tue Dec 22 10:20:48 2009  RT File c:\wvase32\dat\221209 base 200micron slit.dat
 448 *********************************************
 449