research/ellipsometry/WVASE32/DAT/300611_nick_si-r1.dat

   1 SiO2-sample1E\r
   2 RTmethod[PolRT=90.00, RevsRT=10, SlitRT=2000, AutoSlitMin=100, Interleave=Off, WVASE=3.698, HardVer=6.256, Thu Jun 30 13:50:08 2011]\r
   3 Original[300611_nick_si-r1.dat]\r
   4 nm\r
   5 sT      300.000000      90.000000       0.0358509       0.02\r
   6 sT      310.000000      90.000000       0.0671924       0.02\r
   7 sT      320.000000      90.000000       0.113567        0.02\r
   8 sT      330.000000      90.000000       0.173456        0.02\r
   9 sT      340.000000      90.000000       0.258381        0.02\r
  10 sT      350.000000      90.000000       0.371725        0.02\r
  11 sT      360.000000      90.000000       0.507891        0.02\r
  12 sT      370.000000      90.000000       0.709753        0.02\r
  13 sT      380.000000      90.000000       1.0933  0.02\r
  14 sT      390.000000      90.000000       1.72282 0.02\r
  15 sT      400.000000      90.000000       2.64821 0.02\r
  16 sT      410.000000      90.000000       3.62317 0.02\r
  17 sT      420.000000      90.000000       4.32574 0.02\r
  18 sT      430.000000      90.000000       5.29312 0.02\r
  19 sT      440.000000      90.000000       6.77396 0.02\r
  20 sT      450.000000      90.000000       8.90017 0.02\r
  21 sT      460.000000      90.000000       10.4241 0.02\r
  22 sT      470.000000      90.000000       14.8773 0.02\r
  23 sT      480.000000      90.000000       11.8846 0.02\r
  24 sT      490.000000      90.000000       12.9566 0.02\r
  25 sT      500.000000      90.000000       13.7882 0.02\r
  26 sT      510.000000      90.000000       14.7025 0.02\r
  27 sT      520.000000      90.000000       15.6573 0.02\r
  28 sT      530.000000      90.000000       16.2722 0.02\r
  29 sT      540.000000      90.000000       16.748  0.02\r
  30 sT      550.000000      90.000000       17.2087 0.02\r
  31 sT      560.000000      90.000000       17.4151 0.02\r
  32 sT      570.000000      90.000000       17.6699 0.02\r
  33 sT      580.000000      90.000000       17.8254 0.02\r
  34 sT      590.000000      90.000000       17.8294 0.02\r
  35 sT      600.000000      90.000000       16.37   0.02\r
  36 sT      610.000000      90.000000       16.8115 0.02\r
  37 sT      620.000000      90.000000       17.2803 0.02\r
  38 sT      630.000000      90.000000       16.6187 0.02\r
  39 sT      640.000000      90.000000       15.4396 0.02\r
  40 sT      650.000000      90.000000       15.2571 0.02\r
  41 sT      660.000000      90.000000       13.9616 0.02\r
  42 sT      670.000000      90.000000       14.3948 0.02\r
  43 sT      680.000000      90.000000       14.2549 0.02\r
  44 sT      690.000000      90.000000       15.4569 0.02\r
  45 sT      700.000000      90.000000       12.8343 0.02\r
  46 sT      710.000000      90.000000       12.4566 0.02\r
  47 sT      720.000000      90.000000       12.5739 0.02\r
  48 sT      730.000000      90.000000       11.9774 0.02\r
  49 sT      740.000000      90.000000       11.2468 0.02\r
  50 sT      750.000000      90.000000       10.5944 0.02\r
  51 sT      760.000000      90.000000       9.66061 0.02\r
  52 sT      770.000000      90.000000       9.08624 0.02\r
  53 sT      780.000000      90.000000       6.61175 0.02\r
  54 sT      790.000000      90.000000       7.89591 0.02\r
  55 sT      800.000000      90.000000       7.02523 0.02