research/ellipsometry/WVASE32/DAT/2009.01.31.cw.1.dat

   1 \r
   2 VASEmethod[EllipsometerType=5, Isotropic+Depolarization, AutoRetarder=1, TrackPol=1, Pol<0, Revs=20, AutoSlit=2000, WVASE=3.632, HardVer=6.256, Sat Jan 31 09:57:45 2009]\r
   3 Original[2009.01.31.cw.1.dat]\r
   4 Angstroms\r
   5 3000.000000     75.000000       39.131317       71.667534       0.91754 2.39047\r
   6 3100.000000     75.000000       37.155079       70.054161       0.478097        1.26583\r
   7 3200.000000     75.000000       36.060028       71.184059       0.223639        0.584115\r
   8 3300.000000     75.000000       35.536137       72.788246       0.134152        0.31155\r
   9 3400.000000     75.000000       34.842823       74.087044       0.150293        0.38824\r
  10 3500.000000     75.000000       34.398735       75.728508       0.109188        0.280469\r
  11 3600.000000     75.000000       34.186775       78.8564 0.0834007       0.211392\r
  12 3700.000000     75.000000       33.000507       84.213387       0.0677356       0.179583\r
  13 3800.000000     75.000000       30.314823       87.308899       0.0564684       0.154772\r
  14 3900.000000     75.000000       28.14814        87.745438       0.0677463       0.182206\r
  15 4000.000000     75.000000       26.54504        87.400841       0.0636353       0.187746\r
  16 4100.000000     75.000000       25.256643       87.1894 0.0543087       0.171498\r
  17 4200.000000     75.000000       24.142403       86.729446       0.0499902       0.161326\r
  18 4300.000000     75.000000       23.249439       86.373589       0.0466356       0.153365\r
  19 4400.000000     75.000000       22.390928       86.02697        0.041344        0.138943\r
  20 4500.000000     75.000000       21.633808       85.762863       0.0378586       0.129939\r
  21 4600.000000     75.000000       20.936039       85.453026       0.03662 0.132703\r
  22 4700.000000     75.000000       20.260559       85.119682       0.0475273       0.176009\r
  23 4800.000000     75.000000       19.682875       84.786545       0.0377227       0.141952\r
  24 4900.000000     75.000000       19.110777       84.532318       0.0342464       0.131137\r
  25 5000.000000     75.000000       18.596821       84.321106       0.0424003       0.165435\r
  26 5100.000000     75.000000       18.155684       84.017227       0.0553345       0.22727\r
  27 5200.000000     75.000000       17.684135       83.770287       0.0461682       0.192373\r
  28 5300.000000     75.000000       17.25148        83.422195       0.0408855       0.173458\r
  29 5400.000000     75.000000       16.876232       83.150223       0.0497783       0.214042\r
  30 5500.000000     75.000000       16.463503       82.961128       0.047469        0.207693\r
  31 5600.000000     75.000000       16.124535       82.638359       0.0406374       0.179759\r
  32 5700.000000     75.000000       15.77107        82.39257        0.0449869       0.208363\r
  33 5800.000000     75.000000       15.449722       82.139702       0.042025        0.197747\r
  34 5900.000000     75.000000       15.148183       81.941658       0.0467182       0.221625\r
  35 6000.000000     75.000000       14.849362       81.665634       0.049542        0.237867\r
  36 6100.000000     75.000000       14.566253       81.397766       0.0529467       0.25868\r
  37 6200.000000     75.000000       14.299769       81.278015       0.061331        0.312417\r
  38 6300.000000     75.000000       14.029967       80.903442       0.0553741       0.28566\r
  39 6400.000000     75.000000       13.786235       80.670036       0.050462        0.263337\r
  40 6500.000000     75.000000       13.546805       80.530144       0.0444988       0.234579\r
  41 6600.000000     75.000000       13.317742       80.239212       0.0457465       0.245922\r
  42 6700.000000     75.000000       13.094158       80.022957       0.057279        0.31056\r
  43 6800.000000     75.000000       12.869748       79.728119       0.0591771       0.333902\r
  44 6900.000000     75.000000       12.682401       79.567566       0.0450051       0.255938\r
  45 7000.000000     75.000000       12.476959       79.319809       0.044875        0.258199\r
  46 7100.000000     75.000000       12.306546       79.021591       0.0560189       0.326817\r
  47 7200.000000     75.000000       12.104671       78.944962       0.0471372       0.277229\r
  48 7300.000000     75.000000       11.916258       78.765793       0.0427299       0.254636\r
  49 7400.000000     75.000000       11.725657       78.382706       0.0591085       0.365402\r
  50 7500.000000     75.000000       11.569212       78.113457       0.0549  0.341849\r
  51 7600.000000     75.000000       11.389219       78.261322       0.0432086       0.266101\r
  52 7700.000000     75.000000       11.260108       77.693687       0.0411889       0.261074\r
  53 7800.000000     75.000000       11.107617       77.588272       0.0766057       0.493411\r
  54 7900.000000     75.000000       10.94045        77.260124       0.0668408       0.43217\r
  55 8000.000000     75.000000       10.811079       77.190781       0.0565324       0.369474\r
  56 8100.000000     75.000000       10.670317       76.758049       0.0558858       0.377538\r
  57 8200.000000     75.000000       10.538293       76.783272       0.0537393       0.363357\r
  58 8300.000000     75.000000       10.399337       76.56234        0.0649854       0.448409\r
  59 8400.000000     75.000000       10.238442       76.274658       0.0512977       0.359702\r
  60 8500.000000     75.000000       10.175324       76.196129       0.0656164       0.458256\r
  61 8600.000000     75.000000       10.02127        75.903366       0.0593005       0.418035\r
  62 8700.000000     75.000000       9.9037914       75.904778       0.0454685       0.322002\r
  63 8800.000000     75.000000       9.7805958       75.50016        0.0563961       0.411376\r
  64 8900.000000     75.000000       9.6857052       75.388374       0.0505961       0.372083\r
  65 9000.000000     75.000000       9.5896425       75.17305        0.0582954       0.429663\r
  66 9100.000000     75.000000       9.4805803       74.894432       0.0563713       0.419284\r
  67 9200.000000     75.000000       9.3690281       74.747406       0.0516859       0.38774\r
  68 9300.000000     75.000000       9.2648001       74.497765       0.0539237       0.410433\r
  69 9400.000000     75.000000       9.1594172       74.319603       0.0502842       0.388858\r
  70 9500.000000     75.000000       9.0593758       74.077965       0.0507528       0.395172\r
  71 9600.000000     75.000000       8.9741411       73.889473       0.0543435       0.427496\r
  72 9700.000000     75.000000       8.8879099       73.715324       0.0509376       0.402602\r
  73 9800.000000     75.000000       8.7907085       73.434471       0.0498945       0.39797\r
  74 9900.000000     75.000000       8.7049189       73.290413       0.0521751       0.413151\r
  75 10000.000000    75.000000       8.6314888       73.088974       0.0485114       0.390961\r
  76 dpolE   3000.000000     75.000000       5.3189  11.0156\r
  77 dpolE   3100.000000     75.000000       1.85907 5.88016\r
  78 dpolE   3200.000000     75.000000       1.94184 2.81917\r
  79 dpolE   3300.000000     75.000000       -1.20536        2.09638\r
  80 dpolE   3400.000000     75.000000       0.39192 1.75477\r
  81 dpolE   3500.000000     75.000000       0.551011        1.30487\r
  82 dpolE   3600.000000     75.000000       0.186296        1.03085\r
  83 dpolE   3700.000000     75.000000       0.440067        0.768769\r
  84 dpolE   3800.000000     75.000000       0.347662        0.626045\r
  85 dpolE   3900.000000     75.000000       0.0294842       0.870068\r
  86 dpolE   4000.000000     75.000000       0.458343        0.674154\r
  87 dpolE   4100.000000     75.000000       0.401374        0.515642\r
  88 dpolE   4200.000000     75.000000       0.282974        0.47073\r
  89 dpolE   4300.000000     75.000000       0.131714        0.436274\r
  90 dpolE   4400.000000     75.000000       0.218167        0.380646\r
  91 dpolE   4500.000000     75.000000       0.206639        0.347349\r
  92 dpolE   4600.000000     75.000000       0.195266        0.304612\r
  93 dpolE   4700.000000     75.000000       0.181995        0.391401\r
  94 dpolE   4800.000000     75.000000       0.220423        0.30832\r
  95 dpolE   4900.000000     75.000000       0.105165        0.279457\r
  96 dpolE   5000.000000     75.000000       0.0809016       0.34134\r
  97 dpolE   5100.000000     75.000000       0.148519        0.407354\r
  98 dpolE   5200.000000     75.000000       0.1545  0.337282\r
  99 dpolE   5300.000000     75.000000       0.187356        0.29511\r
 100 dpolE   5400.000000     75.000000       0.238718        0.361274\r
 101 dpolE   5500.000000     75.000000       0.202817        0.339926\r
 102 dpolE   5600.000000     75.000000       0.216388        0.290663\r
 103 dpolE   5700.000000     75.000000       0.0444433       0.295265\r
 104 dpolE   5800.000000     75.000000       0.119877        0.27393\r
 105 dpolE   5900.000000     75.000000       0.103536        0.303901\r
 106 dpolE   6000.000000     75.000000       0.0549857       0.320593\r
 107 dpolE   6100.000000     75.000000       0.0876429       0.341797\r
 108 dpolE   6200.000000     75.000000       0.095376        0.363511\r
 109 dpolE   6300.000000     75.000000       0.116849        0.325998\r
 110 dpolE   6400.000000     75.000000       0.0382147       0.295531\r
 111 dpolE   6500.000000     75.000000       0.0665752       0.262753\r
 112 dpolE   6600.000000     75.000000       0.196193        0.266455\r
 113 dpolE   6700.000000     75.000000       0.0771068       0.333393\r
 114 dpolE   6800.000000     75.000000       0.115295        0.315927\r
 115 dpolE   6900.000000     75.000000       0.0970067       0.240217\r
 116 dpolE   7000.000000     75.000000       0.119566        0.240717\r
 117 dpolE   7100.000000     75.000000       0.163691        0.298248\r
 118 dpolE   7200.000000     75.000000       0.0478957       0.249786\r
 119 dpolE   7300.000000     75.000000       0.040771        0.224847\r
 120 dpolE   7400.000000     75.000000       0.0814809       0.288327\r
 121 dpolE   7500.000000     75.000000       0.0964384       0.26698\r
 122 dpolE   7600.000000     75.000000       -0.0326485      0.225727\r
 123 dpolE   7700.000000     75.000000       -0.0126026      0.201327\r
 124 dpolE   7800.000000     75.000000       0.0892742       0.370113\r
 125 dpolE   7900.000000     75.000000       0.048165        0.323547\r
 126 dpolE   8000.000000     75.000000       -0.0636638      0.274066\r
 127 dpolE   8100.000000     75.000000       0.140156        0.250664\r
 128 dpolE   8200.000000     75.000000       0.00915174      0.242169\r
 129 dpolE   8300.000000     75.000000       0.0761481       0.290578\r
 130 dpolE   8400.000000     75.000000       0.0637905       0.227514\r
 131 dpolE   8500.000000     75.000000       -0.0111647      0.295374\r
 132 dpolE   8600.000000     75.000000       -0.0327796      0.264948\r
 133 dpolE   8700.000000     75.000000       0.0615683       0.222866\r
 134 dpolE   8800.000000     75.000000       0.0937036       0.235547\r
 135 dpolE   8900.000000     75.000000       0.076108        0.211235\r
 136 dpolE   9000.000000     75.000000       0.0207567       0.24323\r
 137 dpolE   9100.000000     75.000000       0.0590093       0.234988\r
 138 dpolE   9200.000000     75.000000       0.0138578       0.214994\r
 139 dpolE   9300.000000     75.000000       0.0472416       0.22174\r
 140 dpolE   9400.000000     75.000000       0.0398628       0.196412\r
 141 dpolE   9500.000000     75.000000       0.0533177       0.197732\r
 142 dpolE   9600.000000     75.000000       0.0452659       0.208073\r
 143 dpolE   9700.000000     75.000000       0.0477791       0.194766\r
 144 dpolE   9800.000000     75.000000       0.0492171       0.189893\r
 145 dpolE   9900.000000     75.000000       0.0473646       0.201107\r
 146 dpolE   10000.000000    75.000000       0.0539311       0.183914