research/ellipsometry/WVASE32/Mat/Semicond/Polysi_c.mat

   1 Poly-silicon interpolation file, from LPCVD x=(0.1 is 545°, 0.9 is 655°)\r
   2 ALLOY\r
   3 nm\r
   4 NK\r
   5 9\r
   6 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.7 0.8 1.0\r
   7 0\r
   8 \r
   9 250     1.7239  2.7774\r
  10 255     1.8067  2.8211\r
  11 260     1.8928  2.8619\r
  12 265     1.9873  2.8974\r
  13 270     2.0796  2.9323\r
  14 275     2.1746  2.956\r
  15 280     2.2672  2.9808\r
  16 285     2.3635  3.0011\r
  17 290     2.461   3.0196\r
  18 295     2.5562  3.0392\r
  19 300     2.6625  3.0448\r
  20 305     2.7673  3.0515\r
  21 310     2.87    3.06\r
  22 315     2.9755  3.0389\r
  23 320     3.08    3.0202\r
  24 325     3.1833  3.0039\r
  25 330     3.2799  2.9731\r
  26 340     3.4679  2.9066\r
  27 350     3.6518  2.828\r
  28 360     3.8228  2.7176\r
  29 370     3.9611  2.5926\r
  30 380     4.0793  2.4692\r
  31 390     4.189   2.3443\r
  32 400     4.268   2.2031\r
  33 410     4.3515  2.0649\r
  34 420     4.3977  1.9336\r
  35 430     4.427   1.8046\r
  36 440     4.4601  1.6759\r
  37 450     4.472   1.5645\r
  38 460     4.4767  1.4591\r
  39 470     4.4838  1.3532\r
  40 480     4.4864  1.2542\r
  41 490     4.4758  1.1706\r
  42 500     4.4677  1.0908\r
  43 510     4.4627  1.0176\r
  44 520     4.4524  0.94932\r
  45 530     4.4302  0.89099\r
  46 540     4.4086  0.83197\r
  47 550     4.3876  0.77227\r
  48 560     4.3672  0.7119\r
  49 570     4.3449  0.6647\r
  50 580     4.3215  0.62481\r
  51 590     4.2983  0.58445\r
  52 600     4.2752  0.54363\r
  53 610     4.2524  0.50234\r
  54 620     4.2298  0.4607\r
  55 630     4.2113  0.43104\r
  56 640     4.193   0.40111\r
  57 650     4.1747  0.3709\r
  58 660     4.1536  0.34448\r
  59 670     4.1315  0.31923\r
  60 680     4.1094  0.2937\r
  61 690     4.0876  0.26891\r
  62 700     4.0679  0.25137\r
  63 710     4.0482  0.23366\r
  64 720     4.0284  0.21578\r
  65 730     4.0088  0.19805\r
  66 740     3.9913  0.18444\r
  67 750     3.9738  0.17071\r
  68 760     3.9562  0.15686\r
  69 770     3.9386  0.14289\r
  70 780     3.9231  0.13068\r
  71 790     3.9096  0.1202\r
  72 800     3.8961  0.10964\r
  73 810     3.8825  0.099009\r
  74 820     3.869   0.088305\r
  75 830     3.8549  0.078883\r
  76 840     3.8397  0.072032\r
  77 \r
  78 250     1.8883  3.5543\r
  79 255     2.012   3.6139\r
  80 260     2.1405  3.6685\r
  81 265     2.274   3.717\r
  82 270     2.412   3.7587\r
  83 275     2.5539  3.7927\r
  84 280     2.6992  3.8184\r
  85 285     2.8472  3.8353\r
  86 290     2.997   3.8431\r
  87 295     3.1477  3.8414\r
  88 300     3.2986  3.8301\r
  89 305     3.4486  3.8091\r
  90 310     3.597   3.7784\r
  91 315     3.7428  3.7382\r
  92 320     3.8853  3.6886\r
  93 325     4.0234  3.6298\r
  94 330     4.1563  3.5623\r
  95 340     4.403   3.403\r
  96 350     4.6187  3.2159\r
  97 360     4.7979  3.0089\r
  98 370     4.9382  2.7917\r
  99 380     5.0405  2.574\r
 100 390     5.1093  2.3645\r
 101 400     5.1514  2.1686\r
 102 410     5.1739  1.9888\r
 103 420     5.183   1.8241\r
 104 430     5.1825  1.673\r
 105 440     5.1747  1.5329\r
 106 450     5.1605  1.4025\r
 107 460     5.1402  1.2809\r
 108 470     5.1143  1.1677\r
 109 480     5.0837  1.0635\r
 110 490     5.0494  0.96799\r
 111 500     5.0125  0.88114\r
 112 510     4.9743  0.80235\r
 113 520     4.9358  0.73102\r
 114 530     4.897   0.66573\r
 115 540     4.8591  0.60631\r
 116 550     4.822   0.5517\r
 117 560     4.7854  0.50121\r
 118 570     4.7494  0.45442\r
 119 580     4.714   0.41101\r
 120 590     4.6792  0.37079\r
 121 600     4.6448  0.33356\r
 122 610     4.6108  0.29918\r
 123 620     4.5772  0.26751\r
 124 630     4.5442  0.23853\r
 125 640     4.5118  0.2121\r
 126 650     4.48    0.1881\r
 127 660     4.4491  0.16641\r
 128 670     4.419   0.14689\r
 129 680     4.3899  0.12942\r
 130 690     4.3616  0.1138\r
 131 700     4.3344  0.099916\r
 132 710     4.3083  0.087613\r
 133 720     4.2833  0.076731\r
 134 730     4.2593  0.067136\r
 135 740     4.2365  0.0587\r
 136 750     4.2147  0.051292\r
 137 760     4.1939  0.044795\r
 138 770     4.1741  0.039112\r
 139 780     4.1553  0.034147\r
 140 790     4.1374  0.029812\r
 141 800     4.1204  0.02603\r
 142 810     4.1043  0.022733\r
 143 820     4.0891  0.019862\r
 144 830     4.0745  0.017361\r
 145 840     4.0606  0.015181\r
 146 \r
 147 250     2.0851  3.6199\r
 148 255     2.2337  3.6582\r
 149 260     2.3823  3.6858\r
 150 265     2.5307  3.7036\r
 151 270     2.6786  3.7124\r
 152 275     2.8256  3.7127\r
 153 280     2.9713  3.7048\r
 154 285     3.1154  3.6891\r
 155 290     3.2575  3.6659\r
 156 295     3.3975  3.6357\r
 157 300     3.5351  3.5987\r
 158 305     3.6702  3.5555\r
 159 310     3.8032  3.5064\r
 160 315     3.9347  3.4514\r
 161 320     4.066   3.3896\r
 162 325     4.1975  3.3189\r
 163 330     4.3278  3.2359\r
 164 340     4.5685  3.0256\r
 165 350     4.7492  2.7694\r
 166 360     4.8565  2.5087\r
 167 370     4.9112  2.2743\r
 168 380     4.9396  2.0707\r
 169 390     4.9558  1.8898\r
 170 400     4.9637  1.724\r
 171 410     4.9644  1.5694\r
 172 420     4.9579  1.4236\r
 173 430     4.9439  1.2851\r
 174 440     4.9213  1.1534\r
 175 450     4.889   1.0298\r
 176 460     4.8472  0.91702\r
 177 470     4.7985  0.81752\r
 178 480     4.7469  0.73245\r
 179 490     4.6967  0.66032\r
 180 500     4.6506  0.59815\r
 181 510     4.6093  0.54223\r
 182 520     4.572   0.48965\r
 183 530     4.5369  0.43881\r
 184 540     4.5022  0.38925\r
 185 550     4.4668  0.34141\r
 186 560     4.4299  0.29602\r
 187 570     4.3917  0.25381\r
 188 580     4.3523  0.21538\r
 189 590     4.3123  0.18103\r
 190 600     4.2723  0.15087\r
 191 610     4.2327  0.12476\r
 192 620     4.1942  0.10248\r
 193 630     4.157   0.083669\r
 194 640     4.1215  0.067955\r
 195 650     4.0877  0.05494\r
 196 660     4.0558  0.044243\r
 197 670     4.0258  0.035511\r
 198 680     3.9977  0.028423\r
 199 690     3.9715  0.022696\r
 200 700     3.9469  0.018091\r
 201 710     3.9241  0.014399\r
 202 720     3.9027  0.011448\r
 203 730     3.8828  0.0090958\r
 204 740     3.8642  0.0072237\r
 205 750     3.8468  0.0057363\r
 206 760     3.8305  0.0045557\r
 207 770     3.8152  0.0036193\r
 208 780     3.8009  0.002877\r
 209 790     3.7874  0.0022886\r
 210 800     3.7747  0.0018222\r
 211 810     3.7627  0.0014523\r
 212 820     3.7514  0.001159\r
 213 830     3.7407  0.00092604\r
 214 840     3.7305  0.00074093\r
 215 \r
 216 250     1.9749  2.955\r
 217 255     2.037   3.0172\r
 218 260     2.1129  3.0896\r
 219 265     2.2089  3.1667\r
 220 270     2.3278  3.2399\r
 221 275     2.4682  3.3004\r
 222 280     2.6245  3.3405\r
 223 285     2.7889  3.3562\r
 224 290     2.9528  3.3467\r
 225 295     3.1086  3.3147\r
 226 300     3.2505  3.2653\r
 227 305     3.3752  3.205\r
 228 310     3.4823  3.1409\r
 229 315     3.5738  3.0795\r
 230 320     3.6544  3.0258\r
 231 325     3.7303  2.9826\r
 232 330     3.8084  2.9495\r
 233 340     3.9933  2.8975\r
 234 350     4.2268  2.8214\r
 235 360     4.4825  2.6779\r
 236 370     4.7136  2.4574\r
 237 380     4.8826  2.181\r
 238 390     4.974   1.883\r
 239 400     4.9915  1.5957\r
 240 410     4.9513  1.3419\r
 241 420     4.8745  1.1329\r
 242 430     4.7815  0.96924\r
 243 440     4.6871  0.84409\r
 244 450     4.6001  0.74778\r
 245 460     4.5233  0.67089\r
 246 470     4.456   0.60629\r
 247 480     4.396   0.54952\r
 248 490     4.3407  0.49849\r
 249 500     4.2883  0.45267\r
 250 510     4.2378  0.41237\r
 251 520     4.1893  0.37809\r
 252 530     4.1435  0.34998\r
 253 540     4.1017  0.32756\r
 254 550     4.0647  0.30962\r
 255 560     4.0331  0.2945\r
 256 570     4.0067  0.28037\r
 257 580     3.9844  0.26572\r
 258 590     3.9649  0.24962\r
 259 600     3.9466  0.23183\r
 260 610     3.9283  0.21269\r
 261 620     3.909   0.19298\r
 262 630     3.8884  0.17356\r
 263 640     3.8666  0.15527\r
 264 650     3.8438  0.13874\r
 265 660     3.8205  0.12434\r
 266 670     3.7972  0.11222\r
 267 680     3.7745  0.1023\r
 268 690     3.7526  0.094369\r
 269 700     3.7318  0.088163\r
 270 710     3.7124  0.083375\r
 271 720     3.6943  0.079708\r
 272 730     3.6775  0.076906\r
 273 740     3.6619  0.074751\r
 274 750     3.6476  0.073069\r
 275 760     3.6343  0.071724\r
 276 770     3.6219  0.07062\r
 277 780     3.6105  0.069681\r
 278 790     3.5998  0.068856\r
 279 800     3.5898  0.068109\r
 280 810     3.5804  0.067418\r
 281 820     3.5716  0.066764\r
 282 830     3.5633  0.066135\r
 283 840     3.5555  0.065526\r
 284 \r
 285 250     2.0475  2.7494\r
 286 255     2.115   2.7552\r
 287 260     2.1797  2.7836\r
 288 265     2.259   2.8324\r
 289 270     2.366   2.8884\r
 290 275     2.5025  2.9333\r
 291 280     2.6594  2.9518\r
 292 285     2.8221  2.9373\r
 293 290     2.9763  2.8915\r
 294 295     3.1115  2.8216\r
 295 300     3.2224  2.7374\r
 296 305     3.308   2.6484\r
 297 310     3.3703  2.5626\r
 298 315     3.4127  2.4865\r
 299 320     3.4402  2.4255\r
 300 325     3.4592  2.3839\r
 301 330     3.4777  2.3639\r
 302 340     3.5513  2.3824\r
 303 350     3.7226  2.4262\r
 304 360     3.9892  2.4057\r
 305 370     4.2825  2.2655\r
 306 380     4.5247  2.0153\r
 307 390     4.6711  1.7035\r
 308 400     4.7149  1.384\r
 309 410     4.674   1.0976\r
 310 420     4.5783  0.86736\r
 311 430     4.4592  0.69779\r
 312 440     4.341   0.57975\r
 313 450     4.2369  0.49774\r
 314 460     4.1502  0.4368\r
 315 470     4.0779  0.38631\r
 316 480     4.0148  0.34069\r
 317 490     3.9563  0.29835\r
 318 500     3.8991  0.26021\r
 319 510     3.842   0.22836\r
 320 520     3.7859  0.20488\r
 321 530     3.7334  0.1908\r
 322 540     3.6877  0.18531\r
 323 550     3.6516  0.18547\r
 324 560     3.626   0.18698\r
 325 570     3.6093  0.18555\r
 326 580     3.598   0.17845\r
 327 590     3.588   0.16519\r
 328 600     3.5762  0.14722\r
 329 610     3.5607  0.12702\r
 330 620     3.5413  0.10717\r
 331 630     3.5188  0.089584\r
 332 640     3.4946  0.075298\r
 333 650     3.4702  0.064539\r
 334 660     3.4465  0.056964\r
 335 670     3.4244  0.051957\r
 336 680     3.4041  0.048844\r
 337 690     3.3856  0.047028\r
 338 700     3.3689  0.046045\r
 339 710     3.3538  0.045564\r
 340 720     3.3401  0.045364\r
 341 730     3.3276  0.045315\r
 342 740     3.316   0.045334\r
 343 750     3.3054  0.045374\r
 344 760     3.2955  0.045416\r
 345 770     3.2863  0.045446\r
 346 780     3.2776  0.045457\r
 347 790     3.2695  0.04545\r
 348 800     3.2619  0.045424\r
 349 810     3.2548  0.045381\r
 350 820     3.248   0.045319\r
 351 830     3.2416  0.045243\r
 352 840     3.2355  0.045153\r
 353 \r
 354 250     2.2097  1.9166\r
 355 255     2.2713  1.9154\r
 356 260     2.3308  1.9106\r
 357 265     2.388   1.9025\r
 358 270     2.4427  1.8919\r
 359 275     2.4948  1.8793\r
 360 280     2.544   1.8658\r
 361 285     2.5905  1.8524\r
 362 290     2.6353  1.8406\r
 363 295     2.6807  1.8316\r
 364 300     2.7306  1.8244\r
 365 305     2.7878  1.8131\r
 366 310     2.847   1.7902\r
 367 315     2.8967  1.7589\r
 368 320     2.9369  1.7318\r
 369 325     2.9803  1.7116\r
 370 330     3.0313  1.687\r
 371 340     3.1236  1.6115\r
 372 350     3.1893  1.532\r
 373 360     3.2444  1.4565\r
 374 370     3.2883  1.3813\r
 375 380     3.3192  1.3158\r
 376 390     3.352   1.2652\r
 377 400     3.3998  1.2162\r
 378 410     3.4531  1.1516\r
 379 420     3.4981  1.0725\r
 380 430     3.5275  0.98654\r
 381 440     3.5421  0.90115\r
 382 450     3.5453  0.82055\r
 383 460     3.5399  0.74648\r
 384 470     3.5285  0.67938\r
 385 480     3.5132  0.61898\r
 386 490     3.4954  0.5647\r
 387 500     3.4761  0.5159\r
 388 510     3.4557  0.47197\r
 389 520     3.435   0.43232\r
 390 530     3.4142  0.39646\r
 391 540     3.3936  0.36393\r
 392 550     3.3733  0.33439\r
 393 560     3.3533  0.30751\r
 394 570     3.3339  0.283\r
 395 580     3.315   0.26063\r
 396 590     3.2965  0.24018\r
 397 600     3.2786  0.22147\r
 398 610     3.2615  0.2043\r
 399 620     3.2448  0.18856\r
 400 630     3.2286  0.1741\r
 401 640     3.2132  0.16081\r
 402 650     3.1983  0.14857\r
 403 660     3.1838  0.1373\r
 404 670     3.17    0.12691\r
 405 680     3.1566  0.11733\r
 406 690     3.1438  0.10848\r
 407 700     3.1315  0.1003\r
 408 710     3.1196  0.092748\r
 409 720     3.1082  0.085758\r
 410 730     3.0971  0.07929\r
 411 740     3.0865  0.073297\r
 412 750     3.0764  0.067744\r
 413 760     3.0665  0.062599\r
 414 770     3.0572  0.057824\r
 415 780     3.0481  0.053394\r
 416 790     3.0393  0.049283\r
 417 800     3.0309  0.045465\r
 418 810     3.0228  0.041918\r
 419 820     3.015   0.038621\r
 420 830     3.0075  0.035557\r
 421 840     3.0003  0.032708\r
 422 \r
 423 250     1.586   2.4978\r
 424 255     1.6074  2.5443\r
 425 260     1.6358  2.6172\r
 426 265     1.6821  2.7126\r
 427 270     1.7555  2.8232\r
 428 275     1.8634  2.9378\r
 429 280     2.008   3.0406\r
 430 285     2.1823  3.1145\r
 431 290     2.3694  3.1485\r
 432 295     2.5494  3.1438\r
 433 300     2.7082  3.1126\r
 434 305     2.8421  3.0699\r
 435 310     2.955   3.0277\r
 436 315     3.0543  2.9926\r
 437 320     3.1476  2.9666\r
 438 325     3.2405  2.9481\r
 439 330     3.3355  2.9346\r
 440 340     3.5344  2.9251\r
 441 350     3.7873  2.9584\r
 442 360     4.2001  2.9593\r
 443 370     4.7181  2.7204\r
 444 380     5.085   2.2091\r
 445 390     5.1588  1.6323\r
 446 400     5.0219  1.1821\r
 447 410     4.8219  0.89486\r
 448 420     4.6391  0.7167\r
 449 430     4.4881  0.59585\r
 450 440     4.362   0.50644\r
 451 450     4.2542  0.4375\r
 452 460     4.161   0.38328\r
 453 470     4.08    0.33992\r
 454 480     4.0093  0.3045\r
 455 490     3.9473  0.27484\r
 456 500     3.8927  0.24931\r
 457 510     3.8441  0.22675\r
 458 520     3.8004  0.20637\r
 459 530     3.7607  0.18764\r
 460 540     3.7241  0.17025\r
 461 550     3.6901  0.15404\r
 462 560     3.658   0.13898\r
 463 570     3.6274  0.12512\r
 464 580     3.5982  0.11256\r
 465 590     3.5701  0.10144\r
 466 600     3.5432  0.091829\r
 467 610     3.5175  0.083754\r
 468 620     3.4932  0.077164\r
 469 630     3.4703  0.071937\r
 470 640     3.4488  0.067891\r
 471 650     3.429   0.064825\r
 472 660     3.4106  0.062531\r
 473 670     3.3936  0.060817\r
 474 680     3.378   0.059524\r
 475 690     3.3635  0.058524\r
 476 700     3.3502  0.057719\r
 477 710     3.3379  0.057044\r
 478 720     3.3264  0.056449\r
 479 730     3.3157  0.055905\r
 480 740     3.3057  0.05539\r
 481 750     3.2963  0.054895\r
 482 760     3.2875  0.054411\r
 483 770     3.2792  0.053934\r
 484 780     3.2714  0.053463\r
 485 790     3.264   0.052996\r
 486 800     3.257   0.052533\r
 487 810     3.2503  0.052074\r
 488 820     3.244   0.051619\r
 489 830     3.238   0.051169\r
 490 840     3.2323  0.050722\r
 491 \r
 492 250     1.7424  3.7535\r
 493 255     1.8324  3.8807\r
 494 260     1.9493  4.041\r
 495 265     2.1179  4.2233\r
 496 270     2.3494  4.3953\r
 497 275     2.6384  4.5364\r
 498 280     2.969   4.6246\r
 499 285     3.3205  4.6508\r
 500 290     3.6696  4.5989\r
 501 295     4       4.4971\r
 502 300     4.2953  4.3441\r
 503 305     4.5428  4.1493\r
 504 310     4.7395  3.9399\r
 505 315     4.8842  3.7267\r
 506 320     4.9863  3.5277\r
 507 325     5.067   3.3656\r
 508 330     5.1397  3.2253\r
 509 340     5.3318  2.9876\r
 510 350     5.5702  2.6852\r
 511 360     5.748   2.2759\r
 512 370     5.7911  1.8356\r
 513 380     5.6993  1.44\r
 514 390     5.5466  1.1432\r
 515 400     5.3849  0.93404\r
 516 410     5.2351  0.78155\r
 517 420     5.1077  0.66663\r
 518 430     4.9908  0.57113\r
 519 440     4.8901  0.49318\r
 520 450     4.7991  0.42732\r
 521 460     4.7103  0.36949\r
 522 470     4.6378  0.32322\r
 523 480     4.5627  0.28155\r
 524 490     4.4961  0.24679\r
 525 500     4.4356  0.21745\r
 526 510     4.3801  0.19242\r
 527 520     4.33    0.17122\r
 528 530     4.285   0.15309\r
 529 540     4.2377  0.1368\r
 530 550     4.2011  0.12344\r
 531 560     4.16    0.11119\r
 532 570     4.1274  0.10097\r
 533 580     4.0965  0.091894\r
 534 590     4.0645  0.083724\r
 535 600     4.0364  0.076564\r
 536 610     4.0104  0.070223\r
 537 620     3.9864  0.064559\r
 538 630     3.964   0.059485\r
 539 640     3.9441  0.05492\r
 540 650     3.9247  0.050757\r
 541 660     3.9041  0.046929\r
 542 670     3.8866  0.043453\r
 543 680     3.8723  0.040318\r
 544 690     3.8539  0.037376\r
 545 700     3.8408  0.03471\r
 546 710     3.8252  0.032223\r
 547 720     3.8138  0.029944\r
 548 730     3.7991  0.027811\r
 549 740     3.7887  0.025855\r
 550 750     3.7764  0.024022\r
 551 760     3.7647  0.02232\r
 552 770     3.7554  0.020744\r
 553 780     3.7467  0.019271\r
 554 790     3.7356  0.017895\r
 555 800     3.7261  0.016614\r
 556 810     3.7173  0.015423\r
 557 820     3.7094  0.014311\r
 558 830     3.7019  0.013274\r
 559 840     3.6947  0.012305\r
 560 \r
 561 250     1.7378  3.666\r
 562 255     1.7652  3.8459\r
 563 260     1.8444  4.0756\r
 564 265     1.9562  4.3515\r
 565 270     2.1565  4.6809\r
 566 275     2.5465  5.0141\r
 567 280     3.0723  5.2367\r
 568 285     3.6987  5.3138\r
 569 290     4.4516  5.1293\r
 570 295     4.9074  4.5898\r
 571 300     5.0553  4.0982\r
 572 305     5.0761  3.7662\r
 573 310     5.068   3.5345\r
 574 315     5.0723  3.3746\r
 575 320     5.0888  3.2508\r
 576 325     5.1266  3.1488\r
 577 330     5.1725  3.0656\r
 578 340     5.2875  2.9364\r
 579 350     5.4789  2.8841\r
 580 360     6.0025  2.8805\r
 581 370     6.8357  2.0667\r
 582 380     6.5408  0.8987\r
 583 390     5.9693  0.47323\r
 584 400     5.5857  0.30753\r
 585 410     5.3022  0.22232\r
 586 420     5.089   0.1722\r
 587 430     4.9218  0.13815\r
 588 440     4.7867  0.11511\r
 589 450     4.675   0.097097\r
 590 460     4.5736  0.083067\r
 591 470     4.4875  0.072057\r
 592 480     4.4134  0.063046\r
 593 490     4.3464  0.055047\r
 594 500     4.2982  0.050024\r
 595 510     4.2363  0.044037\r
 596 520     4.1903  0.040025\r
 597 530     4.1473  0.037013\r
 598 540     4.1122  0.032039\r
 599 550     4.0762  0.030013\r
 600 560     4.0422  0.028013\r
 601 570     4.0132  0.025027\r
 602 580     3.9852  0.024\r
 603 590     3.9592  0.022014\r
 604 600     3.9362  0.020014\r
 605 610     3.9141  0.019029\r
 606 620     3.8931  0.018015\r
 607 630     3.8752  0.016015\r
 608 640     3.8581  0.016015\r
 609 650     3.8421  0.015\r
 610 660     3.8251  0.014\r
 611 670     3.8121  0.013016\r
 612 680     3.7981  0.012016\r
 613 690     3.7851  0.011033\r
 614 700     3.7711  0.011\r
 615 710     3.7601  0.01\r
 616 720     3.7481  0.0099828\r
 617 730     3.7391  0.008035\r
 618 740     3.7281  0.0080177\r
 619 750     3.7181  0.0060359\r
 620 760     3.7101  0.008\r
 621 770     3.7011  0.0050369\r
 622 780     3.6941  0.0079814\r
 623 790     3.6841  0.0060566\r
 624 800     3.6781  0.0040956\r
 625 810     3.668   0.0069612\r
 626 820     3.6631  0.005\r
 627 830     3.6581  0.0069604\r
 628 840     3.6481  0.0068833\r
 629 \r